JP2005091853A - 感光性組成物およびそれを用いて形成したフォトスペーサを有するカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液晶表示装置を構成するカラーフィルタ側基板1もしくはTFT側基板にフォトスペーサ5を形成する際に用いる感光性樹脂組成物において、溶剤に不溶な平均粒径1〜100nmの微粒子を全固形分中の0.5〜20重量部含有する。なお、溶剤に不要な微粒子以外に少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、重合性モノマーを含有すること、溶剤に不要な微粒子以外に少なくともアルカリ可溶性ノボラック樹脂、ナフトキノンジアジド誘導体を含有することも含まれる。
【選択図】 図1
Description
また、透明基板2上に設けられるブラックマトリックス3は、光漏れによるコントラストの低下を防ぐ目的で各色の画素間や着色層4の形成領域の外側に設けられている。このようなブラックマトリックス3は、クロム、酸化クロムの多層蒸着薄膜をパターニングして形成する方法やカーボンブラックなどの遮光性顔料を分散させた樹脂BMレジストを用い、通常のフォトリソグラフィー法によって形成する方法などが知られている。
[樹脂の合成]
(樹脂溶液A)
1リットル容の5つ口フラスコに、n-ブチルメタクリレート75g、メタクリル酸30g、2-ヒドロキシエチルメタクリレート25g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300gを仕込み、窒素雰囲気下でAIBN2gを添加し、80〜85℃で8時間反応させた。さらに、この樹脂の不揮発分が20重量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで調製し、樹脂Aの溶液(樹脂溶液A)を得た。
(樹脂溶液B)
1リットル容の5つ口フラスコに、n-ブチルメタクリレート50g、メチルメタクリレート15g、メタクリル酸20g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300gを仕込み、窒素雰囲気下でAIBN2gを添加し、80〜85℃で8時間反応させた。さらに、この樹脂の不揮発分が20重量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで調製し、樹脂Bの溶液(樹脂溶液B)を得た。
(樹脂溶液C)
内容量が1リットルの5つ口反応容器に、n-ブチルメタクリレート30g、スチレン10g、メタクリル酸20g、2-ヒドロキシエチルメタクリレート40g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300gを仕込み、窒素雰囲気下でAIBN2gを添加し、80〜85℃で8時間反応させた。次いで、フラスコ内温を60℃とし、イソシアネートエチルメタクリレート20g、オクチル酸錫0.07g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50gを仕込み、60〜65℃で4時間反応させた。さらに、この樹脂の不揮発分が20重量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで調製し、樹脂Cの溶液(樹脂溶液C)を得た。
(実施例1)
(フォトスペーサ作製用感光性組成物の調整)
表1に示すように固形分重量でアルカリ可溶性樹脂A 100重量部、重合性モノマー M402 100重量部、および光重合開始剤Irugacure907 14重量部、平均粒径30nmのSiO2微粒子10重量部に、レジスト中の固形分が30重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈し、感光性樹脂組成物1を調整した。
カラーフィルタ作製に用いる着色材料を着色する着色剤には以下のものを使用した。
緑色用顔料:C.I. Pigment Green 36(東洋インキ製造製「リオノールグリーン 6YK」)、およびC.I. Pigment Yellow 150(バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Y−5688」)
青色用顔料:C.I. Pigment Blue 15(東洋インキ製造製「リオノールブルーES」)C.I. Pigment Violet 23(BASF社製「パリオゲンバイオレット 5890」)
それぞれの顔料を用いて赤色・緑色・青色の着色材料を作製した。
・赤色着色材料
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
赤色顔料:C.I. Pigment Red 177 2重量部
アクリルワニス(固形分20%) 108重量部
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルターで濾過して赤色着色材料を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート 13重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 3重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 1重量部
シクロヘキサノン 253重量部
・緑色着色材料
組成がそれぞれ下記組成となるように,赤色着色材料と同様の方法で作製した。
黄色顔料:C.I. Pigment Yellow 150 8重量部
アクリルワニス(固形分20%) 102重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート 14重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 4重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 2重量部
シクロヘキサノン 257重量部
・青色着色材料
組成がそれぞれ下記組成となるように,赤色着色材料と同様の方法で作製した。
紫色顔料:C.I. Pigment Violet 23 2重量部
分散剤(ゼネカ社製「ソルスバーズ20000」) 6重量部
アクリルワニス(固形分20%) 200重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート 19重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 4重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 2重量部
シクロヘキサノン 214重量部
[着色層形成および透明導電膜形成]
得られた着色材料を用いて着色層を形成した。
炭酸水素ナトリウム 0.5重量%
陰イオン系界面活性剤(花王・ペリレックスNBL) 8.0重量%
水 90重量%
このカラーフィルタに酸化インジウム−スズ(ITO)を一般的なスパッタリング法により1500オングストローム形成した。
[フォトスペーサの形成]
フォトスペーサ形成用感光性組成物Aを上述のITO付きカラーフィルタ上に仕上り膜厚が4μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。フォトスペーサ形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射した。尚、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。その後、カラーフィルタの作製と同様の現像液を用いて、現像をした。水洗を施したのち、230℃30分ポストベークしてフォトスペーサをカラーフィルタ上に形成した。フォトスペーサの上底面積は100μm2、下底面積は400μm2であった。
[フォトスペーサの弾性測定]
上記のようにして得られたフォトスペーサの弾性特性を島津製作所(株)製ダイナミック超微少硬度計DUH−200によって評価した。弾性特性は、図2に示すように、φ50μmの平坦圧子を用い、1μmまで変形するように一定の速度で圧力を掛け、1秒間保持した後、一定の速度で圧力を開放したときの荷重と変形量とのヒステリシス曲線から総変形量T0、塑性変形量T1、弾性変形量T2を求め、0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲での弾性復元率[T2/T0*100]および総変形量がフォトスペーサの高さtの20%になったときの塑性変形率[T1/t*100]の値を算出した。表2に示し示した通り、0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲での最も小さくなる時の弾性復元率は65%であった。また、総変形量がフォトスペーサの高さの20%になるまで変形するように荷重した際の塑性変形量は該フォトスペーサの高さの4%であった。
感光性樹脂組成物1の代わりに表1中に示した感光性樹脂組成物2〜13を用いる以外は実施例1と同様にしてITO付きカラーフィルタ上にフォトスペーサを形成した。尚、フォトスペーサの形状を実施例1と同等にするため、露光ギャップ、露光量を調整した。作製したフォトスペーサを実施例1と同様の方法で評価した結果を実施例1と合わせて表2に示す。
(比較例1)
微粒子を添加しない以外は実施例1と同様にして感光性組成物を調整した。その他は、実施例1と同様にしてITO付きカラーフィルタ上にフォトスペーサを形成した。得られたフォトスペーサの弾性特性を実施例と同様に島津製作所(株)製ダイナミック超微少硬度計DUH−200によって評価した。0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲での最も小さくなる時の弾性復元率は47%であった。また、総変形量がフォトスペーサの高さの20%になるまで変形するように荷重した際の塑性変形量は該フォトスペーサの高さの10%であった。
(比較例2)
微粒子を添加しない以外は実施例7と同様にして感光性組成物を調整した。その他は、実施例7と同様にしてITO付きカラーフィルタ上にフォトスペーサを形成した。得られたフォトスペーサの弾性特性を実施例と同様に島津製作所(株)製ダイナミック超微少硬度計DUH−200によって評価した。0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲での最も小さくなる時の弾性復元率は47%であった。また、総変形量がフォトスペーサの高さの20%になるまで変形するように荷重した際の塑性変形量は該フォトスペーサの高さの9%であった。
(比較例3)
微粒子を添加しない以外は実施例12と同様にして感光性組成物を調整した。その他は、実施例12と同様にしてITO付きカラーフィルタ上にフォトスペーサを形成した。得られたフォトスペーサの弾性特性を実施例と同様に島津製作所(株)製ダイナミック超微少硬度計DUH−200によって評価した。0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲での最も小さくなる時の弾性復元率は51%であった。また、総変形量がフォトスペーサの高さの20%になるまで変形するように荷重した際の塑性変形量は該フォトスペーサの高さの8%であった。
2 透明基板
3 ブラックマトリクス
4 着色層
4−1 赤色画素
4−2 緑色画素
4−3 青色画素
5 フォトスペーサ
Claims (5)
- 液晶表示装置を構成するカラーフィルタ側基板もしくはTFT側基板にフォトスペーサを形成する際に用いる感光性樹脂組成物において、溶剤に不溶な平均粒径1〜100nmの微粒子を全固形分中の0.5〜20重量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 請求項1記載の感光性樹脂組成物が、溶剤に不要な微粒子以外に少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、重合性モノマーを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 請求項1記載の感光性樹脂組成物が、溶剤に不要な微粒子以外に少なくともアルカリ可溶性ノボラック樹脂、ナフトキノンジアジド誘導体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 透明基板上に所定のパターンで形成された複数の着色層と、その上にパネル作製時に一定のセルギャップを保持する為に形成されたフォトスペーサを有するカラーフィルタにおいて、該フォトスペーサが請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物で形成されたことを特徴とするカラーフィルタ。
- カラーフィルタ上に形成されたフォトスペーサが25℃において0.2から0.8mN/μm2の圧力に対する弾性復元率[弾性変形量(μm)/総変形量(μm)*100]が55%以上であり、且つ、総変形量が該フォトスペーサの高さの20%になるまで変形するように荷重した際の塑性変形量が該フォトスペーサの高さの8%以下であること特徴とする請求項4記載のカラーフィルタ。
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