JP4639312B2 - 有機・無機ハイブリッド組成物 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の目的は、耐光性、耐熱性に優れ、近紫外線から可視光線波長領域で長期にわたり光学的透明性を維持することが可能な有機・無機ハイブリッド組成物を提供することである。
すなわち本発明は、チタンイソプロポキシドをケイ素アルコキシドに添加した金属アルコキシド混合物の加水分解物と、ポリオルガノシロキサンとの縮合反応物である有機・無機ハイブリッド組成物であって、
チタンイソプロポキシドおよびケイ素アルコキシドの加水分解と、加水分解により生じた加水分解物とポリオルガノシロキサンとの縮合反応は、第3級アルコールの溶媒中で行われ、
チタンイソプロポキシド(B)とケイ素アルコキシド(A)の質量比(B/A)は、1/100〜1/40の範囲であり、
ポリオルガノシロキサンの質量平均分子量は、10000〜40000の範囲であり、
水の添加量は、チタンアルコキシド、ケイ素アルコキシド、ポリオルガノシロキサンおよび溶媒の混合物に対して、0.01〜0.25質量%の範囲であり、
金属アルコキシド混合物は、加水分解触媒を使用することなく加水分解され、
更に、加水分解物とポリオルガノシロキサンは、反応促進剤を使用することなく縮合反応される有機・無機ハイブリッド組成物を提供するものである。
本発明にあっては、チタンアルコキシドやジルコニウムアルコキシドのような金属アルコキシドBをそれ以外の金属アルコキシドAに添加すると、金属アルコキシドBおよび上記それ以外の金属アルコキシドAは加水分解触媒を添加することなく加水分解し、かつ得られた加水分解物は反応促進剤を添加することなくポリオルガノシロキサンと縮合反応して有機・無機ハイブリッド組成物を生成する。
本発明の有機・無機ハイブリッド組成物は、金属アルコキシドBをそれ以外の金属アルコキシドAに添加し、加水分解触媒を使用することなく加水分解し、該加水分解により得られた加水分解物を反応促進剤を使用することなくポリオルガノシロキサンと縮合反応させることによって得られることを特徴とする。
一方、無機成分と有機成分とを分子レベルで化学的に結合した有機・無機ハイブリッド組成物が、金属アルコキシドとポリオルガノシロキサンから合成され、有機および無機の特徴を兼ね備えた新しい材料として注目されている。
本発明に用いられる金属アルコキシドAを形成する金属または半金属の種類としては、ホウ素、アルミニウム、ケイ素、バナジウム、マンガン、鉄、コバルト、亜鉛、ゲルマニウム、イットリウム、ニオブ、カドミウム、タンタル、タングステン等のアルコキシドを形成しうる金属または半金属が挙げられる。
金属アルコキシドBとしては、例えば、チタンアルコキシド、ジルコニウムアルコキシド等が例示される。
本発明に用いられるポリオルガノシロキサンとしては、片末端または両末端に、金属およびまたは半金属アルコキシドの加水分解物と反応可能な官能基および/またはポリオルガノシロキサン相互が縮合可能な官能基を有するポリオルガノシロキサンを使用することができる。
なお、下式におけるRおよびR’は、各々独立に、置換または未置換のアルキレン基、アルキル基を示す。
上記低分子成分除去を行えば、低分子量成分残存による有機・無機ハイブリッド組成物の表面のべたつき、機械的強度の劣化等の不具合を効果的に解消することができる。
金属アルコキシドAおよび金属アルコキシドBを所定量の水分が存在する溶媒中に添加し、攪拌することによって加水分解触媒を添加することなく加水分解し第1液とする。
上記加水分解時の温度は10〜35℃、好ましくは20〜35℃で、攪拌時間は0.1〜2時間、好ましくは0.5〜1時間とする。
該ゾル液を加熱して縮合反応せしめてゲル化(硬化)を行ない、有機・無機ハイブリッド組成物とする。
この場合の加熱温度は通常50〜250℃、望ましくは100〜180℃程度とする。
金属アルコキシドAおよび金属アルコキシドBを所定量の水分が存在する溶媒中に添加し、攪拌することによって加水分解触媒を添加することなく加水分解し、第1液とする。
次いで、上記ポリオルガノシロキサンを添加して攪拌し、第2液とする。
以下方法1と同様にしてゲル化を行ない、有機・無機ハイブリッド組成物とする。
金属アルコキシドAおよび金属アルコキシドBと、ポリオルガノシロキサンとを共に所定量の水分が存在する溶媒中に添加し、攪拌することによって金属アルコキシドを加水分解触媒を添加することなく加水分解してゾル液とする。
金属アルコキシドA、Bの加水分解
金属アルコキシドA、Bの加水分解物とポリオルガノシロキサンとの縮合反応
金属アルコキシドA、Bの加水分解
ポリオルガノシロキサンの加水分解
金属アルコキシドA,Bとポリオルガノシロキサンとの縮合反応
50℃未満であると、溶媒等が十分蒸発せず、硬度、耐熱性が得られない場合がある。250℃を越えると、加熱に要する熱エネルギーが大であり、省エネの観点で好ましくなく、コストアップを招く場合がある。
まず、加熱初期に関しては、オーブン等の加熱器内の温度を前記ゾル液の成形品を投入する前に設定温度に十分高くしておき、その加熱器にゾル液を投入して初期から急激な加熱を行うことが望ましい。これにより、硬化物である有機・無機ハイブリッド組成物の特性のばらつきを最小限にすることができる。
また、前記半導体集積回路周辺材料としては、例えば、LSI、超LSI材料のマイクロリソグラフィー用のレジスト材料等が挙げられる。
実施例および比較例における各種測定は、下記の方法により行なった。
各実施例において、得られた有機・無機ハイブリッド組成物である硬化物を、10mm×30mm×膜厚2mmに切り取り、分光光度計U−3300(日立製作所製)を用いて、波長350〜800nmの分光透過率(%T)を測定した。
得られた各硬化物を、10mm×30mm×膜厚2mmに切り取り、有機・無機ハイブリッド組成物を作製した。この硬化体について、25℃における波長587nmの光の屈折率をアタゴ社製のアッベ屈折率計で測定した。
前記の条件で作製した光透過性試験用の試料を、各々耐光性については、ウシオ電機社製UVスポット照射装置SP−9を用い、60℃の雰囲気で、波長365nm、光量3000mW/cm2の光を24時間照射し、耐熱性については加熱オーブンを用い、200℃の雰囲気に200時間放置した後、前記の測定条件で光透過率を測定し、初期の状態との比較を行った。
(原料液の調製)
テトライソプロポキシチタン(TIPT)(関東化学社製)0.2質量%をt−ブタノール(和光純薬工業社製)8.2質量%に添加し、そこにテトラエトキシシラン(TEOS)(関東化学社製)10.2質量%加え攪拌した。この溶液をポリジメチルシロキサン(PDMS)(重量平均分子量:20000、商品名:XF3905、GE東芝シリコーン社製)81.4質量%中に投入し、これを室温で30分間攪拌し原料液(硬化性樹脂組成物)を得た
この原料液をフッ素樹脂製シャーレに流し込み、バッチ式のオーブンにて100℃で1時間硬化を行った後、120℃で3時間焼成を行い(脱水縮合工程)、有機・無機ハイブリッド組成物である硬化物を得た。
−初期特性−
・硬化特性
硬化物について、目視及び指触により以下の判断基準により評価した。
◎:垂れない程度に十分に硬化しており、硬度も均一である。
○:十分に硬化しているが、気泡が見られる。
△:全体として硬化しているが、一部柔らかくタック感のある部分がある。
×:硬化が不十分で液として垂れてしまう。
評価結果を表1に示す。
前述の条件により、硬化物の25℃における波長587nmの光の屈折率及び350〜800nmの光透過率を測定した。
結果を表1に示す。
前述の条件により耐光試験、耐熱試験を行った各試料について、前記光透過率を測定し、初期特性と比較した。
結果を表1に示す。
実施例1の原料液の調製において、溶媒としてt−ブタノールの代わりにイソプロピルアルコールを用いた以外は同様にして有機・無機ハイブリッド組成物の作製を行い、同様の評価を行った。
なお、本実施例で調製した原料液について、液調製から24時間放置後再度硬化を行ったところ、他の実施例に比べ十分な硬化特性が得られなかった。
(原料液の調製)
−原料液A−
テトラエトキシシラン(TEOS)(関東化学社製)20.5質量%と、ポリジメチルシロキサン(PDMS)(重量平均分子量:20000、商品名:XF3905、GE東芝シリコーン社製)76.9質量%と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)2.5質量%と、水0.1質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Aを得た。
テトライソプロポキシチタン(TIPT)(関東化学社製)0.5質量%と、ポリジメチルシロキサン(PDMS)(重量平均分子量:20000、商品名:XF3905、GE東芝シリコーン社製)86質量%と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)13.5質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Bを得た。
上記原料液A及び原料液Bを質量比1/1の割合で混合し、室温で30分間攪拌後(加水分解工程)、脱泡し、無色透明な液体を得た。この液体をフッ素樹脂製シャーレに流し込み、100℃で1時間硬化を行った後、120℃で3時間焼成を行い(脱水縮合工程)、無色透明な硬化物(有機・無機ハイブリッド組成物)を得た。この硬化物について実施例1と同様の評価を行った。
結果を表1に示す。
実施例3の原料液Aの調製において、PDMSを77.0質量%とし水を用いなかった以外は同様にして有機・無機ハイブリッド組成物の作製を行い、同様の評価を行った。
結果を表1に示す。
実施例3の原料液Aの調製において、PDMSを77.0質量%とし水を0.14質量%とした以外は同様にして硬化物(有機・無機ハイブリッド組成物)の作製を行い、同様の評価を行った。
結果を表1に示す。
実施例1の原料液の調製において、TIPTを0.1質量%、t−ブタノールを13.0質量%とし、TEOSを用いなかった以外は同様にして有機・無機ハイブリッド組成物の作製を試みたが、加熱後に硬化物は得られなかった。
実施例1の原料液の調製において、TEOSを9.8質量%、t−ブタノールを11.8質量%とし、TIPTを用いなかった以外は同様にして有機・無機ハイブリッド組成物の作製を試みたが、加熱後に硬化物は得られなかった。
実施例3で得た無色透明な硬化物(有機・無機ハイブリッド組成物)について、以下の評価テストを行った。
(評価テスト1)
硬化物を200℃の環境下で200時間放置した場合の透明性を前記した分光光度計U−3300を用いた測定した。
初期データは89.0〜91.6%Tであるのに対し、200℃、200時間放置後は90.2〜92.4%Tであり、ほとんど変化しないことが分かった。
硬化物を200℃の環境下で200時間放置した場合の質量減を測定した。
初期データを100とした場合に、200℃、200時間放置後は97.4であった。すなわち、質量減は2.6%であった。
硬化物を150℃の環境下で400時間放置した場合の透明性の保持について目視検査を行った。評価基準は、目視にて観察した結果、剥離、亀裂、ボイドおよび白濁が無ければ○(=状態変化(変質)無し)、剥離、亀裂、ボイドまたは白濁があれば×とした。結果は、○であった。
硬化物について前期したUVスポット照射装置SP−9を用いて耐紫外線試験を行った。試験条件は、波長400mm、照度中心部10w/cm2、照度周辺部5w/cm2、試験時間350時間とした。また、評価基準は、評価テスト3と同じである。結果は、○であった。
硬化物について、80℃、85%Rhの環境下で150時間の高温高湿テストを行った。評価基準は、評価テスト3と同じである。結果は、○であった。
硬化物について、60℃、60%Rhの環境下で140時間の高温高湿テストを行った。評価基準は、評価テスト3と同じである。結果は、○であった。
硬化物について、−40℃、120℃を600サイクル繰り返すヒートサイクルテストを行った。評価基準は、評価テスト3と同じである。結果は、○であった。
硬化物を200℃の環境下で60時間放置した前後での引っ張り強度を測定した。測定器は、島津製作所製万能試験機(型番:AGS−1kNG)を用いた。その結果、初期データおよび試験後データは共に0.5MPaであり、60時間放置前後で変化しないことが分かった。
(原料液の調製)
(原料液A)
テトライソプロポキシチタン(TIPT)(和光純薬工業社製)0.2質量%と、ポリジメチルシロキサン(PDMS)(重量平均分子量:20000、商品名:XF3905、GE東芝シリコーン社製)98質量%中と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)1.8質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Aを得た。
テトラエトキシシラン(TEOS)(関東化学社製)93質量%と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)6.8質量%と、水0.2質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Bを得た。
上記原料液A:原料液B=7:1の質量比の割合で混合し、室温で30分間攪拌後(加水分解工程)、無色透明な液体を得た。
この液体をフッ素樹脂製シャーレに流し込み、120℃で4時間焼成を行い(脱水縮合工程)、透明な硬化物(有機・無機ハイブリッド組成物)を得た。
(原料液の調製)
(原料液A)
テトラブトキシジルコニウム(TBZR)(和光純薬工業社製)0.5質量%と、ポリジメチルシロキサン(PDMS)(重量平均分子量:20000、商品名:XF3905、GE東芝シリコーン社製)95.2質量%と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)4.3質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Aを得た。
テトラエトキシシラン(TEOS)(関東化学社製)93質量%と、t−ブタノール(和光純薬工業社製)6.8質量%と、水0.2質量%とを混合し、これを室温で30分間攪拌し原料液Bを得た。
上記原料液A:原料液B=10:1の質量比の割合で混合し、室温で30分間攪拌後(加水分解工程)、無色透明な液体を得た。
この液体をフッ素樹脂製シャーレに流し込み、120℃で4時間焼成を行い(脱水縮合工程)、透明な硬化物(有機・無機ハイブリッド組成物)を得た。
Claims (1)
- チタンイソプロポキシドをケイ素アルコキシドに添加した金属アルコキシド混合物の加水分解物と、ポリオルガノシロキサンとの縮合反応物である有機・無機ハイブリッド組成物であって、
前記チタンイソプロポキシドおよび前記ケイ素アルコキシドの加水分解と、該加水分解により生じた加水分解物と前記ポリオルガノシロキサンとの縮合反応は、第3級アルコールの溶媒中で行われ、
前記チタンイソプロポキシド(B)と前記ケイ素アルコキシド(A)の質量比(B/A)は、1/100〜1/40の範囲であり、
ポリオルガノシロキサンの質量平均分子量は、10000〜40000の範囲であり、
水の添加量は、前記チタンイソプロポキシド、前記ケイ素アルコキシド、前記ポリオルガノシロキサンおよび前記溶媒の混合物に対して、0.01〜0.25質量%の範囲であり、
前記金属アルコキシド混合物は、加水分解触媒を使用することなく加水分解され、
更に、前記加水分解物と前記ポリオルガノシロキサンは、反応促進剤を使用することなく縮合反応されることを特徴とする有機・無機ハイブリッド組成物
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