JP4611730B2 - 軟質プラスチックシート及び軟質プラスチックシートの装着方法 - Google Patents
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図1に示すように、バックパッド1は、ポリウレタン樹脂で形成された軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシート4を備えている。ポリウレタンシート4は、被研磨物に当接する保持面P側に、図示しない緻密な微多孔が形成されたスキン層4aを有しており、スキン層4aの保持面Pと反対側(内側)には、ナップ層4b(発泡層)を有している。ナップ層4bには、ポリウレタンシート4の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面略三角状の発泡3が連続して形成されている。発泡3の空間体積は、スキン層4aに形成された図示しない微多孔より大きく、保持面P側の大きさが保持面Pの反対面側より小さく形成されている。発泡3は、該発泡3の空間体積の平均直径より小さい図示を省略した連通孔で立体網目状に連通している。ポリウレタンシート4は、保持面Pの反対面側が、ポリウレタンシート4の厚さ(図1の縦方向の長さ)がほぼ一様となるようにバフ処理されている(詳細後述)。このため、発泡3の一部が反対面側の表面で開口している。
バックパッド1は、図2に示す各工程を経て製造される。まず、準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと略記する。)、添加剤及び孔形成剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、100%モジュラスが20MPa以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が30%となるようにDMFに溶解させる。添加剤としては、発泡3の大きさや量(個数)を制御するため、カーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤及びポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。
次に、本実施形態のバックパッド1の作用等について説明する。
実施例1では、ポリウレタン樹脂として、100%モジュラスが10MPaのポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。セルロース誘導体としてセルロースアセテートブチレートを、ポリウレタン樹脂を30%含むDMF溶液100部に対して0.2部添加した。更に、粘度調整用のDMFの50部、顔料のカーボンブラックを30%含むDMF分散液の20部を混合してポリウレタン樹脂溶液45を調製した。このとき、セルロースアセテートブチレートは固形物(固体)であるので、均一に混合させるために予め少量の粘度調整用のDMFで溶解して添加した。ポリウレタン樹脂溶液45を塗布する際に塗布装置のクリアランスを1mmに設定した。洗浄工程での洗浄効果を高めるために凝固再生後の洗浄を温水で行った。ポリウレタンシート4のバフ処理量を0.25mmとしてバフ番手♯180のサンドペーパーを用いてバフ処理し実施例1のバックパッド1を製造した。
実施例2では、セルロースアセテートブチレートの添加量をポリウレタン樹脂のDMF溶液100部に対して2.0部とする以外は実施例1と同様にした。
比較例1では、セルロース誘導体を添加しない以外は実施例1と同様にして比較例1のバックパッドを製造した。
次に、実施例及び比較例のバックパッドについて、多孔2の孔径をスキン層4a表面の電子顕微鏡観察により測定し平均孔径を算出した。エア貯留の有無は、以下の方法で測定した。図6(A)、(B)に示すように、直径660mmに裁断したバックパッド1を表面が略平坦な定盤81に貼着し、バックパッド1の表面(保持面P)に水を霧吹きで吹き付けた後、表面の水をワイパで軽く除く。次に、バックパッド1上に縦370mm×横470mm×厚さ0.7mmのガラス板82を置き、ガラス板82に80g/cm2の荷重がかかるようにおもり83を載せる。おもり83を載せてから1分後及び5分後におもり83を取り除き、エア貯留の有無を目視にて判定した。平均孔径及びエア貯留の有無の測定結果を下表1に示した。
1 バックパッド
2 多孔
3 発泡
4 ポリウレタンシート(軟質プラスチックシート)
4a スキン層
4b ナップ層(発泡層)
Claims (8)
- 一面側が定盤に固着され他面側が被研磨物に当接して前記定盤に前記被研磨物を保持するための軟質プラスチックシートであって、前記他面側に配されたスキン層と、前記スキン層の内側に配され発泡が連続して形成された発泡層とを有する軟質プラスチックシートにおいて、前記スキン層の表面には、前記軟質プラスチックシート作製用の軟質プラスチック溶液に添加された孔形成剤により、前記被研磨物との間に咬み込まれたエアの入り込みを許容し、前記スキン層の表面での孔径が0.5μm以上10μm未満の範囲で開口した多孔が形成されており、該多孔が前記発泡層に形成された発泡と連通しており、前記スキン層の表面が前記被研磨物を保持するための保持面であることを特徴とする軟質プラスチックシート。
- 前記孔形成剤は、前記軟質プラスチック溶液に可溶性であり、水に難溶性又は不溶性であることを特徴とする請求項1に記載の軟質プラスチックシート。
- 前記孔形成剤は、セルロース誘導体であることを特徴とする請求項2に記載の軟質プラスチックシート。
- 前記セルロース誘導体は、少なくともエステル系誘導体、エーテル系誘導体、エーテルエステル系誘導体及び芳香族含有誘導体から選択される1種であることを特徴とする請求項3に記載の軟質プラスチックシート。
- 前記発泡層に形成された発泡は、立体網目状に連通していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の軟質プラスチックシート。
- 前記一面側は、前記軟質プラスチックシートの厚さがほぼ一様となるようにバフ処理されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の軟質プラスチックシート。
- スキン層と、前記スキン層の内側に配され発泡が連続して形成された発泡層とを有し、前記スキン層の表面に、軟質プラスチックシート作製用の軟質プラスチック溶液に添加された孔形成剤により、前記被研磨物との間に咬み込まれたエアの入り込みを許容し、前記スキン層の表面での孔径が0.5μm以上10μm未満の範囲で開口した多孔が形成されており、該多孔が前記発泡層に形成された発泡と連通しており、前記スキン層の表面が前記被研磨物を保持するための保持面である軟質プラスチックシート、を定盤に装着する装着方法であって、
前記定盤に前記軟質プラスチックシートの発泡層側を固着する固着ステップと、
前記軟質プラスチックシートのスキン層側に水を介して前記被研磨物を当接させる当接ステップと、
前記軟質プラスチックシート及び前記被研磨物間に咬み込まれたエアが前記発泡層に形成された発泡内に収容されるように前記被研磨物を押圧する押圧ステップと、
を含むことを特徴とする装着方法。 - 前記固着ステップで、両面粘着テープを介して前記定盤に前記軟質プラスチックシートの発泡層側を貼着することを特徴とする請求項7に記載の装着方法。
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