JP4562616B2

JP4562616B2 - 研磨布装着具

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Publication number: JP4562616B2
Application number: JP2005233904A
Authority: JP
Inventors: 吉見望月; 正孝高木
Original assignee: Fujibo Holdins Inc
Current assignee: Fujibo Holdins Inc
Priority date: 2005-08-12
Filing date: 2005-08-12
Publication date: 2010-10-13
Anticipated expiration: 2025-08-12
Also published as: JP2007044844A

Description

本発明は、研磨布装着具に係り、特に、一面側に研磨層を有する研磨布の他面側を定盤に装着するための研磨布装着具に関する。

従来、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、ハードディスク用基板、半導体ウエハ（シリコンウエハ）、液晶ディスプレイ用ガラス基板、フォトマスク等の材料（被研磨物）では、高精度な平坦性が要求されるため、研磨布を使用した研磨加工が行われている。通常、研磨加工には、被研磨物の両面を同時に研磨する両面研磨機、又は、片面ずつ研磨する片面研磨機が使用されている。両面研磨機では、表面が平坦な上下定盤にそれぞれ研磨布を装着し研磨粒子等を含む研磨液を供給しながら被研磨物の両面が研磨加工される。一方、片面研磨機では、表面が平坦な保持定盤に被研磨物の一面側を保持させ、表面が平坦な研磨定盤に研磨布を装着し研磨液を供給しながら被研磨物の他面（加工表面）が研磨加工される。

一般に、研磨布には、ポリウレタン等の樹脂を含浸した不織布等の繊維シート、ポリウレタン等の樹脂を湿式成膜した軟質発泡シート、樹脂を乾式成形後にシート状に切断した硬質発泡シート、無発泡の樹脂シート等が使用されている。これらのシートは、一面側に被研磨物の加工表面を研磨加工するための研磨層を有しており、研磨層の表面性状や研磨加工時に供給される研磨液中の研磨粒子の保持性等が異なることから、被研磨物の性質や研磨加工方法に合わせて選択される。このような研磨布で研磨加工するときには、通常、接着剤を使用して定盤に研磨布が装着される。例えば、研磨布の他面（研磨層と反対面）に接着剤を塗布しておき、そのまま定盤に貼付する技術（特許文献１参照）やポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）等の基材の両面に接着剤を塗着した両面テープで貼付する技術（特許文献２参照）が開示されている。

ところが、定盤に研磨布を装着するときに両面テープ等の接着剤を使用すると、研磨布及び定盤間にエアの咬み込みが生じることがあり、エア抜きができずに研磨布及び定盤間にエアが貯留する。エアが貯留したまま研磨加工を行うと、エアの貯留部分で被研磨物にかかる圧力が大きくなるため、当該部分の加工表面が大きく研磨加工され（エア貯留部分が被研磨物に転写され）て平坦性を損なうこととなる。これを回避するために、研磨布の貼り直しが必要となるが、両面テープ等で一度貼付した研磨布を剥離すると、却ってしわ等が発生する。特に、大型の研磨布ではエアの咬み込みが生じやすいため、定盤への装着には熟練を要する。研磨布の装着時にエアの咬み込みを防止するために、研磨布にドリル等で上下に貫通する孔を形成した研磨布が開示されている（例えば、特許文献３参照）。

また、研磨布の寿命等で定盤から研磨布を剥離すると、両面テープ等の接着剤が定盤に付着したまま残る糊残りが生じる。糊残りが生じたまま新しい研磨布を装着すると、糊残りが生じた部分が盛り上がり、エアが貯留したときと同様に被研磨物の平坦性を損なうため、研磨布の交換時には毎回、定盤に付着している接着剤（糊）等を剥がし取る清掃作業が必要となる。接着剤を剥がし取る手間を軽減するために、両面テープの基材を易接着タイプとすることで定盤への糊残りを生じ難くする技術が開示されている（例えば、特許文献４参照）。

特開平８−２９３４７７号公報特開２０００−７７３６６号公報特開２００１−２１９３６２号公報特開２００５−８１４８６号公報

しかしながら、特許文献３の技術では、研磨布に上下に貫通する孔が形成されているため、エアの咬み込みを解消することはできるものの、定盤への装着には両面テープが使用されるため、研磨布を貼り直す等で剥離するときには、定盤に糊残りが生じる。このため、新しい研磨布を装着するには清掃作業が必要となり研磨布交換の作業性が低下する。また、特許文献４の技術では、両面テープの基材が易接着タイプのため、基材及び定盤間の接着剤の基材に対する接着力が定盤に対する接着力より大きくなることから、研磨布を剥離するときに接着剤を研磨布と共に剥がし易くはなるものの、定盤に対する糊残りを防止するには不十分である。更に、これらの研磨布では、両面テープと研磨層を有する樹脂シート等とが一体型に形成されているため、研磨布を交換するたびに両面テープごと交換する必要があり両面テープ分で高コストとなる。

本発明は上記事案に鑑み、定盤に研磨布を容易に装着可能で研磨布交換の作業性を向上させることができる研磨布装着具を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、一面側に研磨層を有する研磨布の他面側を定盤に装着するための研磨布装着具において、湿式成膜により形成されたスキン層を有する軟質プラスチックシートと、前記軟質プラスチックシートの背面側に配された粘着部材とを備え、前記粘着部材により前記定盤に貼着され、前記軟質プラスチックシートのスキン層と前記研磨布の他面側との間に液体を介在させて前記研磨布を前記定盤に装着することを特徴とする。

第１の態様では、湿式成膜により形成されたスキン層を有する軟質プラスチックシートと、軟質プラスチックシートの背面側に配された粘着部材とを備えるため、予め粘着部材により定盤に研磨布装着具を貼着しておき、軟質プラスチックシートのスキン層と一面側に研磨層を有する研磨布の他面側との間に水等の液体を介在させることで、スキン層の微多孔に浸入した液体の表面張力が作用するので、研磨布装着具を介して研磨布を定盤に容易に装着することができ、研磨布の交換時には、研磨布装着具を定盤に貼着したまま研磨布のみを取り外すことができるので、研磨布交換の作業性を向上させることができる。本態様において、粘着部材が基材と該基材の両面に配された粘着材とを有してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明の第２の態様は、一面側に研磨層を有する研磨布の他面側を定盤に装着するための研磨布装着具において、湿式成膜により形成されたスキン層を有する２枚の軟質プラスチックシートの背面同士が貼り合わされており、前記軟質プラスチックシートのいずれか一方のスキン層と前記定盤との間に液体を介在させて前記定盤に装着され、前記軟質プラスチックシートのいずれか他方のスキン層と前記研磨布の他面側との間に液体を介在させて前記研磨布を前記定盤に装着することを特徴とする。

第２の態様では、湿式成膜により形成されたスキン層を有する２枚の軟質プラスチックシートの背面同士が貼り合わされているため、両面に軟質プラスチックシートのスキン層が位置することから、いずれか一方の表面層と定盤との間、及び、いずれか他方のスキン層と一面側に研磨層を有する研磨布の他面側との間にそれぞれ水等の液体を介在させることで、それぞれのスキン層の微多孔に浸入した液体の表面張力が作用するので、研磨布装着具を定盤に装着し、研磨布装着具を介して研磨布を定盤に容易に装着することができ、研磨布の交換時には、研磨布装着具を定盤に装着したまま研磨布のみを取り外すことができるので、研磨布交換の作業性を向上させることができ、研磨布装着具の交換時には、両面テープ等の接着剤を使用する場合と比較して、定盤に接着剤が残留しないので、再装着に手間がかからない。本態様において、軟質プラスチックシートの背面同士が、基材と該基材の両面に配された粘着剤とを有する固着部材で貼り合わされていてもよい。

第１、第２の態様において、軟質プラスチックシートの背面側が軟質プラスチックシートの厚さが一様となるようにバフ処理されていれば、研磨布装着具全体の厚さを均一化することができ、研磨布を略平坦に装着することができる。また、軟質プラスチックシートが、スキン層の内側に発泡層を有していれば、発泡層が弾性を有するので、研磨布を弾性状態で装着することができる。また、軟質プラスチックシートが、孔形成剤により、湿式成膜時にスキン層の表面に多孔が更に形成されており、該多孔が前記発泡層に形成された発泡と連通していれば、定盤に研磨布装着具や研磨布を装着するときにエアの咬み込みが生じてもエアが多孔を通じて発泡に吸い込まれるので、エアの咬み込みが解消され研磨布装着具、研磨布を略平坦に装着することができる。

本発明によれば、研磨布装着具は、湿式成膜により形成されたスキン層を有する軟質プラスチックシートと、軟質プラスチックシートの背面側に配された粘着部材とを備えるため、粘着部材により定盤に貼着しておき、軟質プラスチックシートのスキン層と研磨布の他面側との間に液体を介在させることで、スキン層の微多孔に浸入した液体の表面張力が作用するので、研磨布装着具を介して研磨布を定盤に容易に装着することができ、研磨布の交換時には、研磨布装着具を定盤に貼着したまま研磨布のみを取り外すことができるので、研磨布交換の作業性を向上させることができる、という効果を得ることができる。

（第１実施形態）
以下、図面を参照して、本発明に係る研磨布装着具の第１の実施の形態について説明する。

（装着パッド）
図１に示すように、研磨布装着具（以下、装着パッドという。）１は、ポリウレタン樹脂で形成された軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシート２を有している。ポリウレタンシート２は、スキン層（表面層）２ａと、スキン層２ａの内側（ポリウレタンシート２の内部）にナップ層（発泡層）２ｂとを有している。ポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面には、粘着部材としての両面テープ３が貼り合わされている。両面テープ３は、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）製フィルムの基材４の両面に粘着剤５が塗着されている。装着パッド１は、スキン層２ａの表面が研磨布を装着する研磨布装着面Ｐとなり、両面テープ３のポリウレタンシート２と反対面により研磨機の研磨定盤に装着される。ポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面（ナップ層２ｂの下面）側は、ポリウレタンシート２の厚さ（図１の縦方向の長さ）が一様となるようにバフ処理されている（詳細後述）。このため、装着パッド１の研磨布装着面Ｐが略平坦となる。

ポリウレタンシート２のスキン層２ａには、図示を省略した緻密な微多孔が形成されている。ナップ層２ｂには、ポリウレタンシート２の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面略三角状の発泡７が形成されている。発泡７の孔径は、研磨布装着面Ｐ側の大きさが、研磨布装着面Ｐの背面側より小さく形成されている。発泡７同士の間のポリウレタン樹脂中には、スキン層２ａに形成された微多孔より孔径が大きくナップ層２ｂに形成された発泡７より孔径が小さな図示しない発泡が形成されている。発泡７及び図示しない発泡は、不図示の連通孔で立体網目状につながっている。

ポリウレタンシート２の研磨布装着面Ｐ（スキン層２ａの表面）には、ナップ層２ｂに形成された発泡７と連通する多孔８が更に形成されている。多孔８の孔径は、スキン層２ａに形成された微多孔より大きく、ナップ層２ｂに形成された発泡７より小さく形成されている。多孔８及び発泡７を連通する連通孔の孔径は、スキン層２ａの微多孔の孔径より大きく形成されている。この多孔８は、後述するポリウレタンシート２の成膜時にポリウレタン樹脂溶液に添加された孔形成剤で形成される。

（装着パッドの製造）
装着パッド１は、図２に示す各工程を経て製造される。まず、準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）、添加剤及び孔形成剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、１００％モジュラス（２倍長に引っ張る時の張力）が２０ＭＰａ以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、発泡７の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤及びポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。

また、孔形成剤としては、ポリウレタン樹脂溶解用のＤＭＦに可溶性であり、水に難溶性又は不溶性のセルロース誘導体を所定量添加する。セルロース誘導体には、少なくともエステル系誘導体、エーテル系誘導体、エーテルエステル系誘導体及び芳香族含有誘導体から選択される１種を使用することができる。エステル系誘導体には、セルロースアセテート、セルロースプロピオネート、セルロースブチレート、セルロースバレレート、セルロースアセテートブチレート等を挙げることができる。エーテル系誘導体には、エチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース等を挙げることができる。エーテルエステル系誘導体には、アセチルエチルセルロース、アセトキシプロピルセルロース等を挙げることができる。このセルロース誘導体の添加量は、スキン層２ａの表面での多孔８の孔径に合わせて設定する。得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液を得る。

塗布工程、凝固再生工程及び洗浄・乾燥工程では、準備工程で得られたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂を凝固再生させ、洗浄後乾燥させてポリウレタンシートを得る。塗布工程、凝固再生工程及び洗浄・乾燥工程は、図３に示す成膜装置で連続して実行される。

図３に示すように、成膜装置６０は、成膜基材の不織布や織布を前処理するための水又はＤＭＦ水溶液（ＤＭＦと水との混合液）等の前処理液１５が満たされた前処理槽１０、ポリウレタン樹脂を凝固再生させるための、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液２５が満たされた凝固槽２０、凝固再生後のポリウレタン樹脂を洗浄するための水等の洗浄液３５が満たされた洗浄槽３０及びポリウレタン樹脂を乾燥させるためのシリンダ乾燥機５０を連続して備えている。

前処理槽１０の上流側には、成膜基材４３を供給する基材供給ローラ４１が配置されている。前処理槽１０には、成膜基材４３の搬送方向と同じ長手方向の略中央部の内側下部に一対のガイドローラ対１３が配置されている。前処理槽１０の上方で、基材供給ローラ４１側にはガイドローラ１１、１２が配設されており、凝固槽２０側には前処理した成膜基材４３に含まれる過剰な前処理液１５を除去するマングルローラ１８が配置されている。マングルローラ１８の下流側には、成膜基材４３にポリウレタン樹脂溶液４５を略均一に塗布するナイフコータ４６が配置されている。ナイフコータ４６の下流側で凝固槽２０の上方にはガイドローラ２１が配置されている。

凝固槽２０には、洗浄槽３０側の内側下部にガイドローラ２３が配置されている。凝固槽２０の上方で洗浄槽３０側には凝固再生後のポリウレタン樹脂を脱水処理するマングルローラ２８が配置されている。マングルローラ２８の下流側で洗浄槽３０の上方にはガイドローラ３１が配置されている。洗浄槽３０には、成膜基材４３の搬送方向と同じ長手方向で上部に４本、下部に５本のガイドローラ３３が上下交互となるように配設されている。洗浄槽３０の上方でシリンダ乾燥機５０側には、洗浄後のポリウレタン樹脂を脱水処理するマングルローラ３８が配置されている。シリンダ乾燥機５０には、内部に熱源を有する４本のシリンダが上下４段に配設されている。シリンダ乾燥機５０の下流側には、乾燥後のポリウレタン樹脂を（成膜基材４３と共に）巻き取る巻取ローラ４２が配置されている。なお、マングルローラ１８、２８、３８、シリンダ乾燥機５０及び巻取ローラ４２は、図示を省略した回転駆動モータに接続されており、これらの回転駆動力により成膜基材４３が基材供給ローラ４１から巻取ローラ４２まで搬送される。

成膜基材４３に不織布又は織布を用いる場合は、成膜基材４３が基材供給ローラ４１から引き出され、ガイドローラ１１、１２を介して前処理液１５中に連続的に導入される。前処理液１５中で一対のガイドローラ１３間に成膜基材４３を通過させて前処理（目止め）を行うことにより、ポリウレタン樹脂溶液４５を塗布するときに、成膜基材４３内部へのポリウレタン樹脂溶液４５の浸透が抑制される。成膜基材４３は、前処理液１５から引き上げられた後、マングルローラ１８で加圧されて余分な前処理液１５が絞り落とされる。前処理後の成膜基材４３は、凝固槽２０方向に搬送される。なお、成膜基材４３としてＰＥＴ製等の可撓性フィルムを用いる場合は、前処理が不要のため、ガイドローラ１２から直接マングルローラ１８に送り込むようにするか、又は、前処理槽１０に前処理液１５を入れないようにしてもよい。以下、本例では、成膜基材４３をＰＥＴ製フィルムとして説明する。

図２に示すように、塗布工程では、準備工程で調製したポリウレタン樹脂溶液４５が常温下でナイフコータ４６により成膜基材４３に略均一に塗布される。このとき、ナイフコータ４６と成膜基材４３の上面との間隙（クリアランス）を調整することで、ポリウレタン樹脂溶液４５の塗布厚さ（塗布量）を調整する。

凝固再生工程では、ナイフコータ４６でポリウレタン樹脂溶液４５が塗布された成膜基材４３が、ガイドローラ２１からガイドローラ２３へ向けて凝固液２５中に導入される。凝固液２５中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液４５の表面でポリウレタン樹脂溶液４５のＤＭＦと凝固液２５との置換が進行して緻密な微多孔が形成される。この微多孔は厚さ数μｍ程度に形成されスキン層２ａを構成する。その後、スキン層２ａ及び成膜基材４３間のポリウレタン樹脂溶液４５中のＤＭＦと凝固液２５との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材４３の片面に凝固再生される。ＤＭＦの脱溶媒による凝固液２５との置換に伴い、スキン層２ａの内側には発泡７、及び、発泡７を立体網目状に連通する連通孔が形成されてナップ層２ｂを構成する。スキン層２ａの厚さが数μｍ程度であることから、ポリウレタン樹脂溶液４５の塗布厚さの大部分でナップ層２ｂが形成されるため、ナップ層２ｂの厚さはスキン層２ａの厚さより大きくなる。また、脱溶媒時に、ポリウレタン樹脂溶液４５に添加されているセルロース誘導体で多孔８が形成され、多孔８及び発泡７を連通する連通孔が形成される。発泡７は、ＰＥＴ製フィルムの成膜基材４３が水を浸透させないため、ポリウレタン樹脂溶液４５の表面側（スキン層２ａ側）で脱溶媒が生じて成膜基材４３側が表面側より大きく形成される。

ここで、多孔８の形成について説明すると、ポリウレタン樹脂溶液４５中では、セルロース誘導体及びポリウレタン樹脂の相溶性が乏しいため、２相分離していると考えられる。その上、ポリウレタン樹脂の凝固再生時には、セルロース誘導体及びポリウレタン樹脂の凝固液２５中での凝固特性が異なるため、収縮量に差が生じ、また、相溶性が乏しいことから、セルロース誘導体及びポリウレタン樹脂間の界面接合力が小さくなり脱離的現象も生じるので、多孔８が形成されると考えられる。このため、多孔８はスキン層２ａの微多孔より大きくナップ層２ｂの発泡７より小さくなり、多孔８及び発泡７を連通する連通孔の孔径は微多孔の孔径より大きくなる。

ポリウレタン樹脂の凝固再生は、ポリウレタン樹脂溶液４５が塗布された成膜基材４３が凝固液２５中に進入してからガイドローラ２３に到る間に完了する。凝固再生したポリウレタン樹脂は、凝固液２５から引き上げられ、マングルローラ２８で余分な凝固液２５が絞り落とされた後、ガイドローラ３１を介して洗浄槽３０に搬送され洗浄液３５中に導入される。

洗浄・乾燥工程では、洗浄液３５中に導入されたポリウレタン樹脂をガイドローラ３３に上下交互に通過させることによりポリウレタン樹脂が洗浄される。洗浄後、ポリウレタン樹脂は洗浄液３５から引き上げられ、マングルローラ３８で余分な洗浄液３５が絞り落とされる。その後、ポリウレタン樹脂を、シリンダ乾燥機５０の４本のシリンダ間を交互（図３の矢印方向）に、シリンダの周面に沿って通過させることで乾燥させる。乾燥後のポリウレタン樹脂は、成膜基材４３と共に巻取ローラ４２に巻き取られる。

裏面バフ処理工程では、乾燥後のポリウレタンシートの研磨布装着面Ｐの背面側にバフ処理が施される。図４（Ａ）に示すように、巻取ローラ４２に巻き取られたポリウレタンシート２は成膜基材４３のＰＥＴ製フィルム上に形成されている。成膜時にはポリウレタンシート２の厚さにバラツキが生じるため、研磨布装着面Ｐには凹凸が形成されている。成膜基材４３を剥離した後、図４（Ｂ）に示すように、研磨布装着面Ｐの表面に、表面が平坦な圧接ローラ６５の表面を圧接することで、研磨布装着面Ｐが平坦となり、研磨布装着面Ｐの背面Ｎ側に凹凸が出現する。背面Ｎ側に出現した凹凸がバフ処理で除去される。本例では、連続的に製造されたポリウレタンシート２が帯状のため、研磨布装着面Ｐに圧接ローラ６５を圧接しながら、背面Ｎ側を連続的にバフ処理する。これにより、図４（Ｃ）に示すように、背面Ｎ側がバフ処理されて平坦な背面Ｎ’が形成されたポリウレタンシート２は、厚さのバラツキが解消される。なお、図４（Ｃ）では説明をわかりやすくするために研磨布装着面Ｐ及び背面Ｎ’を平坦に示しているが、ポリウレタンシート２の単体では両面共にポリウレタンシート２の厚さが一様となる凹凸を呈しており、ポリウレタンシート２の背面Ｎ’を両面テープ３と貼り合わせることで研磨布装着面Ｐが平坦となる。

図２に示すように、貼り合わせ工程では、バフ処理されたポリウレタンシート２の研磨布装着面Ｐの背面に、基材４の両面に粘着剤５が塗着された両面テープ３の一面の粘着剤５を貼り合わせる。基材４には、ＰＥＴ等の可撓性フィルムを使用することができ、使用可能な粘着剤５としては、例えば、アクリル系粘着剤等を挙げることができる。裁断工程で円形等の所望の形状、サイズに裁断した後、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い装着パッド１を完成させる。

被研磨物の研磨加工を行うときは、片面研磨機の研磨定盤に装着パッド１を両面テープ３により貼着し、研磨布装着面Ｐに研磨布を装着する。図５に示すように、片面研磨機７０は、下側に回転可能な研磨定盤７１、上側に被研磨物７８を押圧する加圧定盤７２を備えている。研磨定盤７１の上面及び加圧定盤７２の下面は、いずれも平坦に形成されている。加圧定盤７２の下面には被研磨物保持用の保持パッド７７が装着されており、保持パッド７７の下面に被研磨物７８が当接している。研磨定盤７１の上面には装着パッド１が貼着されており、装着パッド１の上面（研磨布装着面Ｐ）には研磨布７３が装着されている。このため、研磨布７３が装着パッド１を介して研磨定盤７１に装着される。研磨布７３は、被研磨物７８を研磨加工するための研磨層７３ａを有しており、研磨層７３ａの下側（研磨定盤７１側）にＰＥＴ製フィルムの基材７３ｂが接着剤や両面テープで貼り合わされている。研磨層７３ａとしては、例えば、ポリウレタンシート２と同様に湿式成膜した樹脂シート、ポリウレタン等の樹脂を含浸した不織布等の繊維シート、樹脂を乾式成形後にシート状に切断した硬質発泡シート、無発泡の樹脂シート等を使用することができる。基材７３ｂとしては、ＰＥＴ製フィルム以外に、水等の液体の浸透性がない樹脂製フィルムを使用してもよく、研磨層７３ａの下側が液体の浸透性がなければ基材７３ｂが貼り合わされていなくてもよい。湿式成膜した樹脂シートの場合には、成膜基材をそのまま基材７３ｂとすることもできる。

研磨定盤７１に研磨布７３を装着するときは、装着パッド１のスキン層２ａに適量の水等の液体を含ませておき、研磨布７３の基材７３ｂ側を研磨定盤７１側に押し付ける。装着パッド１のスキン層２ａの微多孔に浸入した水等の液体の表面張力が装着パッド１及び研磨布７３間に作用すると共に、ポリウレタンシート２のポリウレタン樹脂の粘着性で研磨布７３が装着パッド１を介して研磨定盤７１に装着される。すなわち、研磨布７３は間接的に研磨定盤７１に装着される。水等の液体としては、ポリウレタンシート２を溶解しなければ特に制限はないが、取り扱いやすさを考慮すれば、水が好ましい。研磨加工時には、被研磨物７８及び研磨布７３間に研磨粒子を含む研磨液を供給すると共に、加圧定盤７２で被研磨物７８に圧力をかけながら研磨定盤７１を回転させることで、被研磨物７８の下面（加工表面）が研磨加工される。このとき、研磨加工しながら被研磨物７８の加工表面の研磨状態をレーザ光等で光学的に測定するようにしてもよい。例えば、図６に示すように、装着パッド１及び研磨定盤７１に上下に貫通する開口部７６を形成し、研磨布７３の研磨層７３ａのみに開口部７５を形成しておき、開口部７５、７６の位置を合わせて研磨定盤７１に装着パッド１、研磨布７３を装着する。このとき、研磨液の流出、落下を防止するため、研磨布７３の基材７３ｂには開口を形成しない。研磨定盤７１の下方に配置された図示しないレーザ光照射装置から開口部７５、７６を通じて被研磨物７８にレーザ光を照射し、反射光を検出することで被研磨物７８の研磨状態を測定することができる。なお、開口部７５に樹脂、ガラス、石英等の光透過性のプラグを嵌合してもよい。このようにすれば、開口部７５での研磨液の貯留が防止されるため、レーザ光透過を妨害することなく測定することができる。また、研磨布７３には上下に貫通する開口部を形成し、装着パッド１のポリウレタンシート２には開口部を形成し、両面テープ３には開口を形成せず光透過性のものを使用するようにしてもよい。このとき、ポリウレタンシート２の開口部に樹脂等の光透過性のプラグを嵌合してもよい。

（作用等）
次に、本実施形態の装着パッド１の作用等について説明する。

本実施形態の装着パッド１では、ポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面に両面テープ３が一面側の粘着剤５で貼り合わされている。このため、装着パッド１は、両面テープ３の他面側の粘着剤５により研磨定盤７１に貼着される。研磨布７３を装着パッド１に装着するときは、微多孔が形成されたスキン層２ａに少量の水を含ませておき、研磨布７３の基材７３ｂを押し付けることで微多孔に浸入した水の表面張力が作用するので、水のみで容易に装着パッド１に装着することができる。従って、装着パッド１への研磨布７３の装着時にエアの咬み込み、位置ずれ等が生じても容易に貼り直すことができるため、装着や交換作業に熟練を要することなく平坦かつ容易に装着することができる。

また、従来、研磨布の研磨定盤への装着には、研磨布と一体化された両面テープ等の接着剤が使用されるため、一度貼付した研磨布を研磨定盤から剥離するためには両面テープ等の接着力以上の力で剥離し、剥離時に研磨定盤に接着剤が残留（糊残り）することがある。接着剤が残留していると、新たな研磨布を貼付したときに糊残り部分が盛り上がるため、研磨布の表面の平坦性が損なわれる。これを避けるため、寿命等で研磨布を交換するときや貼り直しをするときには、研磨定盤に残留している接着剤を完全に剥がし取る清掃作業が必要となるので、清掃作業に手間がかかり装着の作業性を低下させる。これに対して本実施形態では、装着パッド１を研磨定盤７１に貼着しておくことで、この装着パッド１の研磨布装着面Ｐには水のみで研磨布７３を装着することができるため、研磨布７３のみを容易に取り外すことができる。また、装着パッド１は研磨定盤７１及び研磨布７３間に介在しているため、研磨加工による摩耗等が生じないので、研磨布交換のたびに装着パッド１を交換する必要がない。従って、研磨定盤７１に装着パッド１を接着剤で貼着していても研磨定盤７１の清掃頻度を低減することができるので、研磨布交換の作業性を向上させることができる。

更に、本実施形態の装着パッド１では、ポリウレタンシート２に、基材４の両面に粘着剤５を塗着した両面テープ３が貼り合わされており、この基材４にはＰＥＴ製フィルムが用いられている。このため、ポリウレタンシート２が基材４で支持されるため、研磨定盤７１への装着パッド１の貼着作業を容易に行うことができる。また、研磨定盤７１の表面が若干の歪みを有していても発泡７が形成されたナップ層２ｂが弾性を有することから、研磨布７３が研磨定盤７１側へ押し付けられることでナップ層２ｂが変形し研磨定盤７１の歪みを緩和することができる。更に、ナップ層２ｂが弾性を有するため、研磨布７３を弾性状態で装着することができる。

また更に、本実施形態の装着パッド１では、ポリウレタンシート２の研磨布装着面Ｐの背面がポリウレタンシート２の厚さが一様となるようにバフ処理されている。このため、装着パッド１全体の厚さが略均一となり、平坦な研磨定盤７１に貼着することで研磨布装着面Ｐが略平坦となるので、研磨布７３を略平坦に装着することができる。従って、研磨加工で被研磨物７８の平坦性を向上させることができる。

更にまた、本実施形態の装着パッド１では、ポリウレタンシート２に１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂が使用されている。このため、研磨布装着面Ｐが研磨布に密着して粘着性を発揮するので、研磨布の装着を確実にすることができる。

また、本実施形態の装着パッド１では、研磨布装着面Ｐにナップ層２ｂの発泡７と連通する多孔８が形成されている。このため、スキン層２ａに水を含ませて研磨布７３を装着したときに、弾性を有するポリウレタンシート２が変形しナップ層２ｂの発泡７が変形する。これにより、装着パッド１及び研磨布７３間にエアの咬み込みが生じても、発泡７と連通した多孔８を通じて発泡７にエアが収容される（吸い込まれる）ので、装着パッド１及び研磨布７３間でのエアの貯留を防止することができる。このとき、スキン層２ａには水を含ませているため、スキン層２ａの微多孔にはエアが入り込むことができないが、多孔８では孔径が微多孔より大きいため、エアが入り込むことができる。従って、エアが貯留することなく研磨布を略平坦に装着することができるため、研磨加工時に被研磨物７８を略均等に押圧することができ、被研磨物７８の加工表面が研磨布で略均等に研磨されるので、加工表面の平坦性を向上させることができる。

更に、本実施形態の装着パッド１では、ナップ層２ｂに形成された発泡７の孔径が多孔８より大きいため、装着パッド１及び研磨布間に咬み込まれたエアを確実に収容することができる。また、多孔８及び発泡７を連通する連通孔の孔径が、スキン層２ａの微多孔の孔径より大きいため、咬み込まれたエアを円滑に収容することができる。更に、発泡７は連通孔で立体網目状に連通しているため、エアの咬み込み量が大きくてもナップ層２ｂに形成された発泡７の全体でエアを収容することができる。

従来、研磨布を研磨定盤に装着するときには両面テープ等が使用されるため、装着に失敗して貼り直しをすると研磨定盤に接着剤が残留し、また、却って研磨布にしわが生じて使用できなくなる。このため、研磨布の装着は難しく、特に、大型の研磨布の場合はかなりの熟練を要する。更に、寿命等で交換する場合にも研磨定盤への接着剤の残留が生じるため、残留した接着剤を剥がし取る清掃作業が必要となる。このため、清掃作業に手間がかかるので、研磨布の研磨定盤への装着の作業性がかなり低下する。本実施形態は、これらの問題を解決することができる装着パッドである。

（第２実施形態）
次に、本発明に係る研磨布装着具の第２の実施の形態について説明する。本実施形態は、ポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面に両面テープ３を貼り合わせたことに代えて、２枚のポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面同士を貼り合わせたものである。なお、本実施形態において、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる箇所のみ説明する。

図７に示すように、本実施形態の装着パッド８１は、２枚の同質のポリウレタンシート２を有している。２枚のポリウレタンシート２は、スキン層２ａの背面同士が、固着部材としての粘着剤５で貼り合わされている。装着パッド８１は、両面にスキン層２ａが位置しており、一方が研磨布７３を装着する研磨布装着面Ｐ、他方が片面研磨機７０の研磨定盤７１に装着される定盤装着面Ｑとなる。装着パッド８１では、研磨布装着面Ｐの背面側及び定盤装着面Ｑの背面側が、各ポリウレタンシート２の厚さ（図６の縦方向の長さ）が一様となるようにバフ処理されている。このため、装着パッド８１の両面、すなわち研磨布装着面Ｐ及び定盤装着面Ｑが略平坦となる。

被研磨物の研磨加工を行うときは、片面研磨機７０の研磨定盤７１に装着パッド８１を定盤装着面Ｑにより装着し、研磨布装着面Ｐに研磨布７３を装着する。研磨定盤７１に装着パッド８１を装着するときは、装着パッド８１の定盤装着面Ｑに適量の水を含ませて研磨定盤７１に押し付ける。定盤装着面Ｑ側のスキン層２ａの微多孔に浸入した水の表面張力が装着パッド８１及び研磨定盤７１間に作用すると共に、ポリウレタンシート２のポリウレタン樹脂の粘着性で装着パッド８１が研磨定盤７１に装着される。

本実施形態の装着パッド８１では、２枚のポリウレタンシート２のスキン層２ａと反対の背面同士が貼り合わされている。このため、微多孔が形成されたスキン層２ａが両面側に位置するので、一方のスキン層２ａの表面、すなわち研磨布装着面Ｐに研磨布７３が装着され、他方のスキン層２ａの表面、すなわち定盤装着面Ｑにより研磨定盤７１に装着される。研磨定盤７１への装着では、定盤装着面Ｑ側のスキン層２ａに少量の水を含ませることで微多孔に浸入した水の表面張力が作用するので、水のみで容易に装着することができる。従って、研磨定盤７１への装着パッド８１の装着時にエアの咬み込み、位置ずれ等が生じても容易に貼り直すことができるため、装着作業に熟練を要することなく平坦かつ容易に装着することができる。

また、本実施形態の装着パッド８１では、水のみで研磨布７３を装着するため、研磨布の交換時には、研磨布のみを容易に取り外すことができる。また、研磨定盤７１に対しても装着パッド８１を水のみで装着するため、装着パッド８１を容易に取り外すことができる。このため、研磨布７３の交換時に装着パッド８１を取り外すことも可能である。これにより、装着パッド８１を洗浄等することができ、再使用することができる。また、装着パッド８１を水のみで研磨定盤７１に装着するため、取り外しても研磨定盤７１に接着剤の残留が発生しない。このため、装着パッド８１を取り外したときの研磨定盤７１の清掃作業を簡略化することができるので、手間をかけることなく装着パッド８１の装着の作業性を向上させることができる。

更に、本実施形態の装着パッド８１では、定盤装着面Ｑにナップ層２ｂの発泡７と連通する多孔８が形成されている。このため、スキン層２ａに水を含ませて片面研磨機７０に装着したときに、弾性を有するポリウレタンシート２が変形しナップ層２ｂの発泡７が変形する。これにより、研磨定盤７１及び装着パッド８１間にエアの咬み込みが生じても、発泡７と連通した多孔８を通じて発泡７にエアが収容されるので、研磨定盤７１及び装着パッド８１間でのエアの貯留を防止することができる。従って、エアが貯留することなく研磨布７３を装着パッド８１を介して研磨定盤７１に略平坦に装着することができるため、研磨加工時に被研磨物７８を略均等に押圧することができ、被研磨物７８の加工表面が研磨布７３で略均等に研磨加工されるので、加工表面の平坦性を向上させることができる。

また更に、本実施形態の装着パッド８１では、ポリウレタンシート２の研磨布装着面Ｐの背面、及び、定盤装着面Ｑの背面がそれぞれのポリウレタンシート２の厚さが一様となるようにバフ処理されている。このため、各ポリウレタンシート２の厚さが略均一となるので、装着パッド８１全体の厚さが略均一となる。これにより、平坦な研磨定盤７１に装着パッド８１を装着し、その装着パッド８１に研磨布７３を装着することで、研磨布７３の研磨面（被研磨物７８側の面）が略平坦となる。従って、被研磨物７８の加工表面が研磨布７３で略均等に研磨加工されるので、加工表面の平坦性を向上させることができる。

なお、上記実施形態では、ポリウレタン樹脂を湿式成膜したポリウレタンシート２を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。ポリウレタン樹脂以外に使用可能な樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂等を挙げることができ、１００％モジュラスを２０ＭＰａ以下とすれば、湿式成膜した樹脂シートが研磨布７３に密着するので、研磨布７３の装着力を向上させることができる。また、ポリウレタン樹脂を用いれば、湿式成膜法で容易にスキン層２ａを形成することができる。

また、上記実施形態では、多孔８を形成させる孔形成剤としてセルロース誘導体を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ポリウレタン樹脂の溶解に使用する有機溶媒に可溶性であり、凝固液２５に用いられる水に難溶性又は不溶性のものであればよい。このような孔形成剤としてはセルロース誘導体以外に、例えば、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、塩化ビニリデン／塩化ビニル共重合体、ポリカプロラクトン（ＰＣＬ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等の高分子化合物を挙げることができる。また、これらの高分子化合物や上述したセルロース誘導体の２種以上を混合して使用してもよい。また、ポリウレタン樹脂溶液４５に添加するセルロース誘導体の添加量を変えることで、多孔８の孔径を調整することができる。

更に、上記実施形態では、裏面バフ処理工程で研磨布装着面Ｐ、定盤装着面Ｑに圧接ローラ６５を圧接させながら背面側を連続的にバフ処理する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、バフ処理前のポリウレタンシートを所望の大きさに裁断した後、研磨布装着面Ｐ、定盤装着面Ｑに、平坦な表面を有する平板をそれぞれ圧接して背面側をバフ処理してもよい。

また更に、上記実施形態では、湿式成膜したポリウレタンシート２は、バフ機等で研磨布装着面Ｐ、定盤装着面Ｑの背面側がバフ処理されるが、バフ処理量はポリウレタンシート２の厚さの範囲（最大厚さと最小厚さとの差）の２倍以上の厚みをバフ処理することが望ましい。バフ処理ではサンドペーパーやダイヤモンドバフロール等の種々のものが使用されるが、均一な処理（研削除去）ができるものであればいずれも使用することができる。このとき、バフ番手（砥粒の粗さを示す番号）を高くする程、細かな砥粒で研削でき均一なバフ処理ができる。また、バフ処理を、１回目で低いバフ番手（粗い砥粒）で研削をし、２回目で１回目より高いバフ番手のもので研削量を小さくしてバフ仕上げ処理することで、厚み精度を更に上げることもできる。更に、例えば、成膜時にポリウレタン樹脂溶液４５の塗布厚さの調整精度を高めることで、ポリウレタンシート２の厚み精度を向上させれば、ポリウレタンシート２をバフ処理せずにそのまま使用することも可能である。

更にまた、上記実施形態では、ポリウレタン樹脂溶液４５の塗布にナイフコータ４６を例示したが、例えば、リバースコータ、ロールコータ等を用いてもよく、成膜基材４３に略均一な厚さに塗布可能であれば特に制限されるものではない。また、本実施形態では、ポリウレタン樹脂の乾燥にシリンダ乾燥機５０を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、熱風乾燥機等を用いてもよい。

また、第１実施形態の装着パッド１では、粘着部材として、基材４の両面に粘着剤５を塗着した両面テープ３を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、基材４を使用せず粘着剤５のみとすることも可能である。更に、基材４にＰＥＴ製フィルムを例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、不織布や織布等を使用してもよい。

更に、第２実施形態の装着パッド８１では、２枚の同質のポリウレタンシート２を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、装着パッド８１を装着する研磨定盤７１や装着パッド８１に装着する研磨布７３の特性に合わせて異なる２枚の樹脂シートを貼り合わせてもよく、厚さが異なるようにしてもよい。

また更に、第２実施形態の装着パッド８１では、２枚のポリウレタンシート２の貼り合わせに固着部材としての粘着剤５を使用する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、固着部材として、ＰＥＴ製フィルム等の基材の両面に粘着剤５を塗着した両面テープを使用してもよく、基材、粘着剤５をそれぞれ別に準備して貼り合わせるようにしてもよい。また、ポリウレタンシート２の貼り合わせる面を加熱しながら貼り合わせることで固着部材を使用することなく樹脂自体の粘着性で貼り合わせてもよい。加熱時の温度管理で平坦性を確保しつつ貼り合わせることが可能である。このようにすれば、基材や粘着剤５のコスト分を削減することができる。

以下、上記実施形態に従い製造した装着パッド１、装着パッド８１の実施例について説明する。

（実施例１）
実施例１では、第１実施形態に従い装着パッド１を製造した。ポリウレタン樹脂として、１００％モジュラスが１０ＭＰａのポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）ポリウレタン樹脂を用いた。また、セルロース誘導体としてセルロースアセテートブチレートを、ポリウレタン樹脂を３０％含むＤＭＦ溶液１００部に対して０．２部添加した。更に、粘度調整用のＤＭＦの５０部、顔料のカーボンブラックを３０％含むＤＭＦ分散液の２０部を混合してポリウレタン樹脂溶液４５を調製した。このとき、セルロースアセテートブチレートは固形物（固体）であるので、均一に混合させるために予め少量の粘度調整用のDMFで溶解して添加した。ポリウレタン樹脂溶液４５を塗布する際に塗布装置のクリアランスを１ｍｍに設定した。洗浄工程での洗浄効果を高めるために凝固再生後の洗浄を温水で行った。得られたポリウレタンシート２の厚さバラツキは、標準偏差σが０．０１３ｍｍであった。裏面バフ処理工程では、バフ番手♯１８０のサンドペーパーを用い、バフ処理量を０．２５ｍｍとした。

（実施例２）
実施例２では、第２実施形態に従い、実施例１と同様にして得た２枚のポリウレタンシート２を粘着剤５のみで貼り合わせることで装着パッド８１を製造した。この装着パッド８１では、同一条件で成膜した２枚のポリウレタンシート２を貼り合わせたが、厳密にいえば、スキン層２ａの微多孔やナップ層２ｂの発泡７等の形成位置や大きさ等が微妙に異なるため、同一のものとはいえず、同質のものを貼り合わせたものである。

（評価）
次に、各実施例の装着パッドを使用して研磨布７３を定盤に装着するときの作業性について、オスカー式ガラス研磨機（加工回転数：３０〜１００ｒｐｍ、加工圧力：３０〜２００ｇｆ／ｃｍ^２）を使用し、以下の方法で評価した。研磨布７３には、実施例１と同様に作製したポリウレタンシートを研磨層７３ａとし、そのスキン層と反対の面にＰＥＴ製フィルムの基材７３ｂを両面テープで貼り合わせたものを使用した。実施例１の評価では、装着パッド１を両面テープ３により表面が略平坦な直径１０００ｍｍの下定盤（研磨定盤７１）に貼着しておき、研磨布装着面Ｐに水をスプレで吹き付けた後、表面の水をワイパで軽く除き、研磨布７３を装着した。実施例２の評価では、装着パッド８１の定盤装着面Ｑに水をスプレで吹き付けた後、表面の水をワイパで軽く除き、下定盤に装着しておき、研磨布装着面Ｐに研磨布７３を装着した。装着後の研磨布７３のしわの発生状況を目視にて評価した。また、一度装着した研磨布７３を取り外し、新しい研磨布７３を装着したときについても同様に評価した。更に、下定盤に研磨布７３を装着した後、直径６７０ｍｍの上定盤（加圧定盤７２）に保持パッド７５を装着し、４７０ｍｍ×３７０ｍｍ×０．７ｍｍのガラス基板を保持させた。ガラス基板を保持させた上定盤を回転させないでそのまま下降させ、ガラス基板に１００ｇｆ／ｃｍ^２の荷重がかかるように加圧した。１分後、上定盤を上昇させ、ガラス基板の加圧部分（４７０ｍｍ×３７０ｍｍ）においてエアの貯留に伴う研磨布７３の部分的な盛り上がり状況を目視にて評価した。なお、比較として、研磨布７３を両面テープ（基材に塗着された接着剤は一般的には感圧型である。）で下定盤に貼着した場合についても評価した。

研磨布７３を両面テープで下定盤に貼着した場合には、エアの咬み込みが生じエアの貯留による研磨布７３の部分的な盛り上がり（凸部）が生じた。このまま研磨加工を行うと被研磨物の平坦性を損なうため、針などで孔を空けて貯留したエアを抜くか、貼り直し（剥がした研磨布を廃棄して新しい研磨布に交換する。）が必要となった。貼り直しをすることでエアを抜くことはできたが、研磨布７３にしわが生じてしまい、平坦に装着するのに手間がかかった。また、研磨布７３を取り外したときには、下定盤に接着剤の残留が認められ、残留した接着剤を剥がし取る清掃作業にも手間を要した。接着剤が残留したまま新しい研磨布７３を貼着すると、接着剤の残留部分で盛り上がりが生じた。このため、しわの発生部分やエアの貯留部分では被研磨物が大きく研磨加工されるので、研磨加工後の被研磨物の高度な平坦性を期待することはできない。

これに対して、実施例１の装着パッド１を使用した場合には、下定盤への装着パッド１の装着に両面テープ３を用いているが、下定盤への貼着時に平坦にしておけば、研磨布７３の装着には水のみを用いるため、研磨布７３にしわが生じることなく容易に装着することができた。また、実施例２の装着パッド８１を使用した場合には、下定盤への装着パッド８１の装着にも水のみを用いるため、装着パッド８１も容易に装着することができた。更に、実施例１、実施例２のいずれの場合にも、装着した研磨布７３の表面に部分的な盛り上がりは認められなかった。このことから、スキン層２ａに多孔８を形成させることで、装着パッド１及び研磨布７３間、装着パッド８１及び研磨布７３間でのエアの貯留を防止することができることが判った。更に、実施例２の装着パッド８１では、装着パッド８１と下定盤との間でもエアの貯留を解消することができた。

また、装着パッド１、装着パッド８１の厚さをダイヤルゲージ（最小目盛り０．０１mm）で測定（加重１００ｇ／ｃｍ^２）し、厚さの標準偏差σを求めた結果、バフ処理していないポリウレタンシートが０．０１３ｍｍであったのに対して、ポリウレタンシート２のスキン層２ａの背面側をバフ処理した装着パッド１、装着パッド８１では、厚さの標準偏差σがそれぞれ０．００３ｍｍ、０．００４ｍｍを示した。このことから、バフ処理することで、ポリウレタンシート２の厚さ精度を向上させることができ、装着パッド１、装着パッド８１の厚さをそれぞれ均一化することができることが判明した。

更に、研磨布７３の交換時には、装着パッド１、装着パッド８１を下定盤に装着したまま、研磨布７３のみを容易に交換することができた。交換時の清掃作業でも、装着パッド１、装着パッド８１の表面に残った水分を拭き取るだけで、ほとんど手間がかからなかった。更に、研磨パッド１、研磨パッド８１を使用して研磨布７３を装着したオスカー式ガラス研磨機でガラス基板の研磨加工を行った結果、研磨加工中に研磨布７３の剥離やズレの発生等は確認されなかった。従って、装着パッド１、装着パッド８１では、スキン層２ａに含ませた水の表面張力の作用により容易に研磨布７３をエアの貯留がなく略平坦に装着することができ、研磨布交換の作業性を向上させることができることが判明した。

本発明は定盤に研磨布を容易に装着可能で研磨布交換の作業性を向上させることができる研磨布装着具を提供するため、研磨布の製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。

本発明に係る第１実施形態の装着パッドを示す断面図である。装着パッドの製造工程を示す工程図である。装着パッドのポリウレタンシートの製造に用いる成膜装置の概略構成を示す正面図である。裏面バフ処理工程でのポリウレタンシートの変化を示す断面図であり、（Ａ）は成膜基材に形成されたポリウレタンシート、（Ｂ）は圧接ローラに研磨布装着面を圧接したときのポリウレタンシート、（Ｃ）は裏面バフ処理後のポリウレタンシートをそれぞれ示す。装着パッドを使用して研磨布を装着した片面研磨機の研磨布装着部分を示す断面図である。研磨加工時に被研磨物の研磨状態を測定するために、開口部を形成した装着パッドを装着した片面研磨機を示す断面図である。本発明に係る第２実施形態の装着パッドを示す断面図である。

符号の説明

１、８１装着パッド（研磨布装着具）
２ポリウレタンシート（軟質プラスチックシート）
２ａスキン層（表面層）
３両面テープ（粘着部材）
７発泡
７１研磨定盤（定盤）
７３研磨布
７３ａ研磨層

Claims

一面側に研磨層を有する研磨布の他面側を定盤に装着するための研磨布装着具において、湿式成膜により形成されたスキン層を有する軟質プラスチックシートと、前記軟質プラスチックシートの背面側に配された粘着部材とを備え、前記粘着部材により前記定盤に貼着され、前記軟質プラスチックシートのスキン層と前記研磨布の他面側との間に液体を介在させて前記研磨布を前記定盤に装着することを特徴とする研磨布装着具。
前記粘着部材は、基材と該基材の両面に配された粘着剤とを有することを特徴とする請求項１に記載の研磨布装着具。
一面側に研磨層を有する研磨布の他面側を定盤に装着するための研磨布装着具において、湿式成膜により形成されたスキン層を有する２枚の軟質プラスチックシートの背面同士が貼り合わされており、前記軟質プラスチックシートのいずれか一方のスキン層と前記定盤との間に液体を介在させて前記定盤に装着され、前記軟質プラスチックシートのいずれか他方のスキン層と前記研磨布の他面側との間に液体を介在させて前記研磨布を前記定盤に装着することを特徴とする研磨布装着具。
前記軟質プラスチックシートの背面同士は、基材と該基材の両面に配された粘着剤とを有する固着部材で貼り合わされていることを特徴とする請求項３に記載の研磨布装着具。
前記軟質プラスチックシートの背面側は、それぞれの軟質プラスチックシートの厚さが一様となるようにバフ処理されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の研磨布装着具。
前記軟質プラスチックシートは、前記スキン層の内側に発泡層を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の研磨布装着具。
前記軟質プラスチックシートは、孔形成剤により、湿式成膜時に前記スキン層の表面に多孔が更に形成されており、該多孔が前記発泡層に形成された発泡と連通していることを特徴とする請求項６に記載の研磨布装着具。