JP5916982B2 - 被加工物保持材 - Google Patents
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Description
測定条件は、下記の表1の通りである。
実施例の被加工物保持材の圧縮率は、35.1%であった。
その他の構成は、上述の実施の形態と同様である。
3 樹脂フィルム 4 両面テープ
5,6 ヒートロール
Claims (2)
- 多数の涙滴状の気泡を有する発泡層を備えるとともに、前記発泡層の表面が、被加工物を保持する保持面とされる被加工物保持材であって、
前記発泡層は、その密度が、当該発泡層における表面側及び裏面側では、厚み方向の中央部に比べて大きく、前記表面側から及び前記裏面側から厚み方向の中央部側にそれぞれいくにつれて小さくなるように傾斜した密度分布を有することを特徴とする被加工物保持材。 - 多数の涙滴状の気泡を有する発泡層を備えるとともに、前記発泡層の表面が、被加工物を保持する保持面とされる被加工物保持材であって、
前記発泡層は、その縦断面における単位面積当たりの空隙部の割合である空隙率が、当該発泡層における表面側及び裏面側では、厚み方向の中央部に比べて小さく、前記表面側から及び前記裏面側から厚み方向の中央部側にそれぞれいくにつれて大きくなるように傾斜した空隙率分布を有することを特徴とする被加工物保持材。
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