KR101595149B1

KR101595149B1 - 유지 패드

Info

Publication number: KR101595149B1
Application number: KR1020127004057A
Authority: KR
Inventors: 요시히데 카와무라; 토모히로 이와오; 아야코 사토
Original assignee: 후지보홀딩스가부시끼가이샤
Priority date: 2009-09-03
Filing date: 2009-09-24
Publication date: 2016-02-17
Also published as: KR20120073200A; TWI490085B; JP5587576B2; CN102574267B; WO2011027412A1; CN102574267A; TW201109119A; JP2011051075A

Abstract

유지면의 평탄성 정밀도를 높여 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있는 유지 패드를 제공한다. 유지 패드(10)는 우레탄 시트(2)를 구비하고 있다. 우레탄 시트(2)는 습식 응고법에 의해 형성되어 있고, 피연마물을 유지하기 위한 유지면(Sh)을 가지고 있다. 우레탄 시트(2)는 미세한 다공 구조의 스킨층(2a)을 가지고, 스킨층(2a)으로부터 내측으로 두께의 거의 전체에 걸친 다수의 발포(3)가 형성되어 있다. 우레탄 시트(2)에서는, 두께(t)로 했을 때, 이면(Sr)으로부터 0.1t 의 두께만큼 내측까지의 범위에 발포(3)의 저부가 형성되어 있다. 이면(Sr)으로부터 0.1t 의 두께만큼 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면과 0.4t 의 두께만큼 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면 사이에 끼워진 하층부(Pr)에서, 발포(3)에 의한 공극률이 75~95% 의 범위로 조정되어 있다. 연마 가공 시에 하층부(Pr)에서의 압축 변형량이 증대한다.

Description

유지 패드{RETAINING PAD}

본 발명은 유지 패드에 관한 것으로, 특히, 습식 응고법에 의해 수직형 발포(vertical foam)가 형성되고 피연마물을 유지하기 위한 유지면을 가지는 수지 시트를 구비한 유지 패드에 관한 것이다.

반도체용 웨이퍼(WF), 평판 디스플레이(FPD)용 유리 기판이나 하드 디스크용 기판 등의 각종 재료(피연마물)의 표면(가공면)에서는, 평탄성을 향상시키기 위해 대향 배치된 2개의 정반을 구비한 연마기를 이용한 연마 가공을 하고 있다. 이들 피연마물 중에서도, 예를 들어, 반도체용 WF에서는 사용되는 휴대기기 등의 소형화에 따라 효율적으로 기판을 제조하기 위해 연마 가공에 공급되는 피연마물이 대형화하는 경향이다. 또 FPD용 유리 기판에서는, FPD 자체의 대형화, 박육화(薄肉化)에 대응하기 위해 피연마물인 유리기판이 대형화, 박육화하는 경향이 있다. 이러한 대형화, 박육화한 피연마물에 대해서도 평탄성에 대한 요구도가 점점 높아지고 있다.

피연마물을, 예를 들면, 한 면을 연마 가공할 때는, 연마기의 일측 정반에 연마 패드가 장착되고, 타측의 정반에 피연마물이 연마 패드와 대향하도록 유지된다. 연마 가공 시에는, 피연마물과 연마 패드 사이에 연마 입자[砥砬]를 포함하는 연마 슬러리가 공급되고, 피연마물에 연마압(가압력)이 가해진다. 피연마물이 정반과의 접촉으로 인해 손상되는 것을 방지하기 위해, 통상, 피연마물을 유지하는 정반에는 유지 패드가 장착되어 있다. 즉, 유지 패드로는, 연마 과정에서 피연마물을 일시적으로 유지할 수 있다.

유지 패드로서는, 습식 응고법에 의해 형성된 발포 구조를 갖는 연질의 우레탄 필름(수지 시트)을 구비한 유지 패드가 사용되고 있다(예를 들면, 일본공개특허공보 제2006－62059호 참조). 습식 응고법에 의해 형성되는 우레탄 필름에서는, 표면층(스킨층)의 표면(유지면)이 평활성을 가지기 때문에 피연마물의 유지성이 뛰어나다. 또 표면층으로부터 내측으로는 두께의 거의 전체에 걸친 크기의 수직형 발포가 형성되어 있다. 때문에, 연마 가공 시의 연마압에 의해 압축되었을 때 쿠션성을 발휘할 수 있다. 쿠션성이 너무 낮으면 연마압에 의해 피연마물이 받는 응력에 불균일이 발생하기 때문에, 유지 패드 측으로 함몰된 피연마물의 돌출부에 응력이 집중되고, 이 응력 집중 부분이 과잉 연마되어 연마 불균일이 발생한다. 반대로, 쿠션성이 높아지면 피연마물이 받는 응력에 불균일이 발생하기 어려워져, 피연마물의 표면 평활성이 향상되지만, 함몰이 커져 유지 패드 자체가 연삭될 가능성이 있다. 따라서 통상 습식 응고법에서는 수지의 선정이나 각종 첨가제에 의해 발포의 크기나 형성 상태가 조정되어 있다.

그러나, 종래의 습식 응고법에 의해 얻어진 우레탄 필름에서는 수직형 발포가 형성되기 때문에 발포가 형성된 부분과 발포 사이의 수지 부분에서 밀도 불균일이 발생된다는 문제가 있다. 때문에 발포 형성 부분과 수지 부분에서는 연마 가공 시에 연마압이 가해졌을 때의 압축 변형량이 다르고, 상기 서술한 바와 같은 박육화, 대형화하는 피연마물에 대한 고도의 평탄도 요구를 만족시키기에는 충분하다고 할 수 없다. 즉, 유지 패드에 밀도 불균일이 있으면 피연마물에 가해진 응력의 크기가 국소적으로 다르기 때문에 가공면을 전체 영역에 걸쳐 균일하게 연마 가공하기 어려워져 면내 균일성이 손상된다. 압축 변형량의 불균일을 저감하여 유지면의 평탄성 정밀도를 높일 수 있으면, 피연마물에 대한 고도의 면내 균일성 요구를 만족시키는 것이 가능해진다.

본 발명은 상기 사안을 감안하여, 유지면의 평탄성 정밀도를 높이고 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있는 유지 패드를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 습식 응고법에 의해 수직형 발포가 형성되고, 피연마물을 유지하기 위한 유지면을 갖는 수지 시트를 구비한 유지 패드에 있어서, 상기 수지 시트는 상기 유지면의 배면으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측까지의 범위에 상기 발포의 저부가 형성되어 있고, 한편, 상기 배면으로부터 상기 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 상기 배면과 평행하는 단면(斷面)과 40% 만큼 내측에서 상기 배면과 평행하는 단면 사이에 끼워진 하층부의 공극률이 70% 이상 95% 이하이고, 상기 하층부에 형성된 상기 발포 간의 수지부분이 박육화하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 수지 시트 유지면의 배면측에서의 일정 두께만큼의 하층부의 공극률이 70% 이상 95% 이하이고, 하층부에 형성된 발포 간의 수지부분이 박육화하고 있기 때문에, 하층부에 의해 쿠션성이 확보됨으로써 피연마물에 가해지는 부하가 분산되고, 연마 가공에 의해 압축되었을 때에 하층부에서의 발포 형상이 변화됨으로써 피연마물에 대한 부담이 경감되므로, 유지면의 평탄성 정밀도를 높여 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있다.

이 경우에 있어서, 수지 시트가, 유지면으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면과 평행하는 단면에 발포로 형성된 구멍의 평균 구경을 A로 하고, 하층부에서의 유지면과 평행하는 단면에 발포로 형성된 구멍의 최대 구경을 B로 했을 때, 비 B/A가 20~50의 범위인 것이 바람직하다. 또, 수지 시트의 유지면으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면과 평행하는 단면과, 40% 만큼 내측에서 유지면과 평행하는 단면 사이에 끼워진 상층부의 공극률을 35% 이상 55% 이하로 할 수 있다. 수지 시트의 하층부의 공극률을 75% 이상 90% 이하, 상층부의 공극률을 40% 이상 50% 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, 수지 시트의 하층부에서, 유지면과 평행하는 단면 중 단위면적당 발포로 형성된 구멍의 총면적의 비율이 최대를 나타내는 단면에서 비율의 최대치를 80% 이상 95% 이하로 할 수 있다. 수지 시트를 폴리우레탄 수지로 형성해도 좋다. 수지 시트의 발포 사이의 폴리우레탄 수지가 미세한 다공 형상으로 형성되어 있어도 좋다. 이때, 폴리우레탄 수지의 100% 모듈러스를 20㎫ 보다 작게 하는 것이 바람직하다. 또한 수지 시트의 배면측에 연마기에 장착하기 위한 점착재가 도포되어 있어도 좋다. 이때, 수지 시트와 점착재의 사이에 추가로 수지 시트를 지지하기 위한 지지재를 접합하도록 할 수 있다.

본 발명에 의하면, 수지 시트 유지면의 배면측에서의 일정 두께만큼의 하층부의 공극률이 70% 이상 95% 이하이고, 하층부에 형성된 발포 간의 수지부분이 박육화하고 있기 때문에, 하층부에 더욱 쿠션성이 확보됨으로써 피연마물에 가해지는 부하가 분산되고, 연마 가공에 수반하여 압축되었을 때에 하층부에서의 발포 형상이 변화함으로써 피연마물에 대한 부담이 경감되므로, 유지면의 평탄성 정밀도를 높여 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명을 적용한 실시형태의 유지 패드를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 실시형태의 유지 패드를 구성하는 우레탄 시트에 있어서의 발포의 형성 상태를 모식적으로 나타내는 것으로, (A)는 우레탄 시트의 두께 방향의 단면도이고, (B)는 (A)의 B－B선 단면에 발포로 형성된 구멍을 모식적으로 나타내는 설명도이고, (C)는 (A)의 C－C선 단면에 발포로 형성된 구멍을 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 3은 종래의 유지 패드를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 종래의 유지 패드를 구성하는 우레탄 시트에 있어서의 발포의 형성 상태를 모식적으로 나타내는 것으로, (A)는 우레탄 시트의 두께 방향의 단면도이고, (B)는 (A)의 B－B선 단면에 발포로 형성된 구멍을 모식적으로 나타내는 설명도이고, (C)는 (A)의 C－C선 단면에 발포로 형성된 구멍을 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 5는 유지 패드를 구성하는 우레탄 시트의 유지면으로부터의 두께에 대한 그 두께마다의 단면에 발포로 형성된 구멍의 개구율을 나타내는 그래프이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 적용한 유지 패드의 실시형태에 대해 설명한다.

(구성)

도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 유지 패드(10)는, 폴리우레탄 수지로 제조된 수지 시트로서의 우레탄 시트(2)를 구비하고 있다. 우레탄 시트(2)는, 습식 응고법에 의해 형성되어 있고, 피연마물을 유지하기 위한 유지면(Sh)을 가지고 있다.

우레탄 시트(2)는, 유지면(Sh)의 바로 아래에서 수㎛ 정도의 두께에 걸쳐 치밀한 미세한 다공이 형성된 스킨층(2a)을 가지고 있다. 즉, 스킨층(2a)은 미세한 다공 구조를 가지고 있다. 우레탄 시트(2)의 스킨층(2a)으로부터 내측(내부)으로는, 다수의 발포(3)가 대략 균등하게 분산된 상태로 형성되어 있다. 발포(3)는, 우레탄 시트(2) 두께의 거의 전체에 걸친 크기를 가지고 있고, 두께 방향으로 세로로 길고 둥그스름한 원추형으로 형성되어 있다. 우레탄 시트(2)가 스킨층(2a)을 가지기 때문에, 유지면(Sh)에는, 발포(3)의 개구는 형성되어 있지 않다. 또, 우레탄 시트(2)에서는, 유지면(Sh)의 배면(이하, 이면(Sr)이라고 함)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측까지의 범위에 발포(3)의 저부가 형성되어 있다. 발포(3)끼리의 사이의 폴리우레탄 수지 중에는 발포(3)보다 작은 미세한 다공(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 우레탄 시트(2)에서는, 스킨층(2a)의 미세한 다공, 발포(3) 및 미세한 다공이 그물코 모양으로 연통하고 있고, 발포가 연속 발포형상으로 형성된 연속 발포 구조를 가지고 있다.

우레탄 시트(2)에서는, 이면(Sr)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면과, 40% 만큼 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면 사이에 끼워진 하층부(Pr)의 공극률이 70% 이상 95% 이하로 조정되어 있다. 즉, 우레탄 시트(2)의 두께 t로 했을 때, 이면(Sr)으로부터 0.1t 의 두께만큼 내측의 단면과 0.4t 의 두께만큼 내측의 단면 사이에 끼워진 하층부(Pr)에서는, 발포(3)에 의한 공극률이 75~95% 의 범위이다. 이에 대해, 유지면(Sh)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면과, 40% 만큼 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면 사이에 끼워진 상층부(Ph)의 공극률이 35% 이상 55% 이하로 조정되어 있다. 즉, 유지면(Sh)으로부터 0.1t 의 두께만큼 내측의 단면과 0.4t 의 두께만큼 내측의 단면 사이에 끼워진 상층부(Ph)에서는, 발포(3)에 의한 공극률이 35~55% 의 범위이다. 이러한 상층부(Ph), 하층부(Pr)의 공극률은, 사용하는 폴리우레탄 수지의 선정이나 습식 응고법의 조건 설정에 의해 조정할 수 있다(이하에 상세하게 설명).

또, 우레탄 시트(2)에서는, 유지면(Sh)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면에 발포(3)에 의해 형성되는 구멍의 평균 구경을 A로 하고, 하층부(Pr)에서의 이면(Sr)과 평행하는 단면 중 단위면적당 발포(3)에 의해 형성되는 구멍의 총면적의 비율(이하, 개구율이라고 함.)이 최대치를 나타내는 단면에 형성된 구멍의 최대 구경을 B로 했을 때, 평균 구경(A)에 대한 최대 구경(B)의 비 B/A가 20~50의 범위로 조정되어 있다. 즉, 유지면(Sh) 근방에 형성된 발포의 평균 구경에 대해서 20~50배 크기의 발포 직경을 가지는 발포가 하층부(Pr)에서의 개구율이 최대치를 나타내는 단면에 형성되어 있다. 또, 개구율의 최대치는 80% 이상 95% 이하로 조정되어 있다.

이러한 우레탄 시트(2)에서는, 유지면(Sh) 근방에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면에 형성된 구멍에 비해, 이면(Sr) 근방에서 이면(Sr)과 평행하는 단면에 형성된 구멍이 근접하도록 형성되어 있다. 도 2A에 도시한 바와 같이, 유지면(Sh) 근방을 유지면(Sh)으로부터 우레탄 시트(2)의 두께(t)의 10% 만큼, 즉, 0.1t 만큼 내측의 위치(화살표 B의 위치), 이면(Sr) 근방을 이면(Sr)으로부터 0.1t 만큼 내측의 위치(화살표 C의 위치)로 한다. 이 경우, 도 2B에 도시하는 바와 같이, 유지면(Sh) 근방의 B－B선 단면에서는, 발포(3)에 의해 형성되는 구멍이 서로 이격하도록 형성되어 있다. 이에 대해, 도 2C에 도시하는 바와 같이, 이면(Sr) 근방의 C－C선 단면에서는 발포(3)에 의해 형성되는 구멍이 근접하도록 형성되어 있다.

또, 유지 패드(10)는, 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측에, 연마기에 유지 패드(10)를 장착하기 위한 점착재로서의 양면 테이프(7)가 접합되어 있다. 양면 테이프(7)는, 도시하지 않는 기재를 가지고 있고, 기재의 양면에 아크릴계 점착제 등의 감압형 점착제 층(도시하지 않음)이 각각 형성되어 있다. 기재에는, 예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(이하, PET로 약칭함.)제 필름 등의 가요성 필름이 사용되고 있다. 양면 테이프(7)는, 기재의 일면측의 점착제층에서 우레탄 시트(2)와 접합되어 있고, 타면측(우레탄 시트(2)와 반대측)의 점착제층이 표면을 박리지(8)로 덮고 있다. 또한, 본 예에서는 이 양면 테이프(7)의 기재가 우레탄 시트(2)를 지지하기 위한 지지재도 겸하고 있다.

(제조)

유지 패드(10)는, 습식 응고법에 의해 형성된 우레탄 시트(2)와 양면 테이프(7)를 접합하여 제조된다. 즉, 폴리우레탄 수지 용액을 준비하는 준비 공정, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포하고, 응고액 중에서 폴리우레탄 수지 용액을 응고시키고 폴리우레탄 수지를 재생시키는 응고 재생 공정, 시트형의 폴리우레탄 수지를 세정하고 건조시키는 세정·건조 공정, 얻어진 우레탄 시트(2)와 양면 테이프(7)를 접합하는 라미네이트 공정을 거쳐 유지 패드(10)가 제조된다. 이하, 공정 순서대로 설명한다.

준비 공정에서는, 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지를 용해 가능한 수혼화성 유기 용매 및 첨가제를 혼합하여 폴리우레탄 수지를 용해시킨다. 유기 용매 로서는 N,N－디메틸포름아미드(이하, DMF라고 약칭함.)나 N,N－디메틸아세트아미드(DMAc) 등을 예로 들 수 있지만, 본 예에서는 DMF를 사용한다. 폴리우레탄 수지는, 폴리에스테르계, 폴리에테르계, 폴리카보네이트계 등의 수지로부터 선택하여 이용할 수 있지만, 상기 서술한 발포 구조를 형성하기 위해, DMF에 폴리우레탄 수지를 20중량% 로 용해시킨 수지 용액에 대해, B형 회전 점도계를 사용하여 25℃에서 측정한 점도가 5~10㎩·s의 범위의 수지를 선정하여 사용한다. 또, 사용하는 폴리우레탄 수지가 20㎫ 보다 작은 100% 모듈러스를 가지는 것이 바람직하다. 이 폴리우레탄 수지를 10~30중량% 의 범위가 되도록 DMF에 용해시킨다. 또 첨가제로서는 발포(3)의 크기나 양(개수)을 제어하기 위해, 카본 블랙 등의 안료, 발포를 촉진시키는 친수성 첨가제, 폴리우레탄 수지의 재생을 안정시키는 소수성 첨가제 등을 사용할 수 있다. 얻어진 용액을 감압하에서 탈포하여 폴리우레탄 수지 용액을 얻는다.

응고 재생 공정에서는, 준비 공정에서 얻어진 폴리우레탄 수지 용액을 상온 하에서 나이프 코터(knife coater) 등의 도포장치에 의해 띠 모양의 성막 기재에 시트형으로 대략 균일하게 도포한다. 이때, 나이프 코터 등과 성막 기재의 간극(클리어런스)을 조정함으로써, 폴리우레탄 수지 용액의 도포 두께(도포량)를 조정한다. 성막 기재로서는 수지제 필름, 포백(布帛), 부직포 등을 사용할 수 있지만, 본 예에서는 PET제 필름이 사용된다.

성막 기재에 도포된 폴리우레탄 수지 용액을, 폴리우레탄 수지에 대해서 빈용매인 물을 주성분으로 하는 응고액(수계 응고액) 중에 연속적으로 안내한다. 응고액에는, 폴리우레탄 수지의 재생 속도를 조정하기 위해서, DMF나 DMF 이외의 극성 용매 등의 유기 용매 를 첨가해도 좋지만, 본 예에서는 물을 사용한다. 응고액 중에서는, 우선, 폴리우레탄 수지 용액과 응고액의 계면에 피막이 형성되고, 피막의 바로 아래의 폴리우레탄 수지 중에 스킨층(2a)을 구성하는 무수의 미세한 다공이 형성된다. 그 후, 폴리우레탄 수지 용액 중의 DMF의 응고액 중으로의 확산과, 폴리우레탄 수지 중으로의 물의 침입의 협조 현상에 의해 연속 발포 구조를 가지는 폴리우레탄 수지의 재생이 진행된다. 이때, 성막 기재의 PET제 필름이 물(응고액)을 침투시키지 않기 때문에, DMF와 물의 치환이 스킨층(2a) 측에서 발생하여 성막 기재 측이 스킨층(2a) 측보다 큰 발포(4)가 형성된다.

여기서, 폴리우레탄 수지의 재생에 수반되는 발포 형성에 대해 설명한다. 폴리우레탄 수지에서는 응집력이 커지기 때문에 피막 바로 아래의 폴리우레탄 수지 중에서 급속히 재생이 진행되어 스킨층(2a)이 형성된다. 본 예에서는, 100% 모듈러스가 20㎫ 보다 작은 폴리우레탄 수지가 사용된다. 또 폴리우레탄 수지 용액의 점도가 5~10㎩·s의 범위를 나타낸다. 즉 저모듈러스의 폴리우레탄 수지를 저점도가 되도록 용해시킨 폴리우레탄 수지 용액이 사용된다. 때문에, 스킨층(2a)이 형성된 후에는, 응고 전의 폴리우레탄 수지 용액 중의 폴리우레탄 수지가 스킨층(2a) 측으로 이동하여 응집되게 된다. 이에 수반하여 성막 기재 측에서는, 폴리우레탄 수지량이 감소하기 때문에, 스킨층(2a) 측과 비교해 비대화한 발포(3)가 형성된다. 바꾸어 말하면, 상층부(Ph)와 비교해 하층부(Pr)에서는, 발포(3)가 비대화함으로써 공극률이 커진다. 또, DMF의 폴리우레탄 수지 용액으로부터의 탈용매, 즉, DMF와 물의 치환에 의해, 스킨층(2a), 발포(3) 및 미세한 다공이 형성되고, 스킨층(2a)의 미세한 다공, 발포(3) 및 미세한 다공이 그물코 모양으로 연통한다. 또한 폴리우레탄 수지가 성막 기재 상에서 재생되는 점에서, 성막 기재의 표면에 접촉하여 형성된 이면(Sr)에서는, 발포(3)의 개구는 형성되어 있지 않다.

세정·건조 공정에서는, 재생 공정에서 재생한 폴리우레탄 수지를 물 등의 세정액 중에서 세정하여 폴리우레탄 수지 중에 잔류하는 DMF를 제거한 후, 건조시킨다. 폴리우레탄 수지의 건조에는, 본 예에서는 내부에 열원을 가지는 실린더를 구비한 실린더 건조기를 사용한다. 폴리우레탄 수지가 실린더의 둘레면을 따라 통과함으로써 건조된다. 얻어진 우레탄 시트(2)를 롤 형태로 감는다.

라미네이트 공정에서는, 습식 응고법으로 제작된 우레탄 시트(2)와 양면 테이프(7)를 접합한다. 이때, 우레탄 시트(2)의 이면(Sr)과 양면 테이프(7)를 접합한다. 그리고, 원형이나 각형 등의 원하는 형상, 사이즈로 재단한 후, 흠집이나 오염, 이물 등의 부착이 없음을 확인하는 등의 검사를 하여 유지 패드(10)를 완성시킨다.

(작용 등)

다음으로, 본 실시형태의 유지 패드(10)의 작용 등에 대해 설명한다.

알기 쉽게 설명하기 위해서, 종래 습식 응고법에 의해 형성되는 우레탄 시트의 발포 구조에 대해 설명한다. 종래 습식 응고법에서는, PET제 필름 등의 성막 기재 상에 도포된 폴리우레탄 수지 용액이 물 등의 응고액 중에서 응고된다. 때문에, 도 3에 도시한 바와 같이, 종래의 유지 패드(20)를 구성하는 우레탄 시트(12)에서는, 습식 응고 시의 초기에 형성된 스킨층(12a)으로부터 내측으로, 우레탄 시트(12) 두께의 거의 전체에 걸친 다수의 발포(13)가 형성된다. 이 발포(13)는, 유지면(Sh) 측이 이면(Sr) 측보다 직경이 축소되어 있고, 두께 방향을 따르듯이 수직 방향으로 형성되어 있다.

또, 우레탄 시트(12)에서는, 유지면(Sh) 부근에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면에 형성된 구멍과, 이면(Sr) 부근에서 이면(Sr)과 평행하는 단면에 형성된 구멍이 모두 이격되도록 형성되어 있다. 발포(13)의 구경이 유지면(Sh) 측보다 이면(Sr) 측에서 커지기 때문에, 이격되는 정도로서는 유지면(Sh) 측이 커진다. 즉, 도 4A에 도시한 바와 같이, 유지면(Sh) 근방을 유지면(Sh)으로부터 우레탄 시트(12) 두께의 10% 만큼 내측의 위치(화살표 B의 위치), 이면(Sr) 근방을 이면(Sr)으로부터 우레탄 시트(12)의 두께의 10% 만큼 내측의 위치(화살표 C의 위치)로 한다. 이 경우, 도 4B에 도시한 바와 같이, 유지면(Sh) 근방의 B－B선 단면에서 발포(13)에 의해 형성되는 구멍이 이격되게 형성되어 있다. 도 4C에 도시한 바와 같이, 이면(Sr) 근방의 C－C선 단면에서 발포(13)에 의해 형성된 구멍에서도 이격되어 형성되어 있다. C－C선 단면에 형성된 구멍에서는, B－B선 단면에 형성된 구멍보다 근접하지만, 상기 서술한 유지 패드(10)를 구성하는 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 근방의 단면에 형성된 구멍과 비교해 이격되어 형성되어 있다(도 2C 참조). 이러한 우레탄 시트(12)에서는, 상기 서술한 우레탄 시트(2)에 있어서의 상층부(Ph), 하층부(Pr)와 동일한 영역을 고려하면, 상층부의 공극률이 30~45% 정도, 하층부의 공극률이 70% 이하 정도이다.

우레탄 시트(12)를 이용한 종래의 유지 패드(20)에서는, 발포(13)가 형성된 부분과 발포(13)간의 수지 부분에서 밀도 불균일이 발생하게 된다. 때문에, 발포 형성 부분과 수지 부분에서는, 연마 가공 시에 연마압이 가해졌을 때의 압축 변형량이 다르고, 피연마물에 대한 고도의 평탄도 요구를 만족시키기 어려워진다. 즉, 유지 패드(20)에서는, 밀도 불균일이 발생하여, 피연마물에 가해지는 응력의 크기가 국소적으로 다르기 때문에, 피연마물의 가공면을 전체 영역에 걸쳐서 균일하게 연마 가공하는 것이 어려워진다. 따라서, 유지 패드(20)에서는, 대형화, 박육화하는 경향에 있는 반도체용 WF나 FPD용 유리 기판에서 요구되는 고정밀도의 평탄성을 만족시키기에는 충분하다고 할 수 없다.

이것에 대해, 본 실시형태에서는, 유지 패드(10)를 구성하는 우레탄 시트(2)의 이면(Sr)으로부터 두께(t)의 10% 만큼(0.1t 만큼) 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면과 40% 만큼(0.4t 만큼) 내측에서 이면(Sr)과 평행하는 단면 사이에 끼워진 하층부(Pr)의 공극률이 70% 이상 95% 이하로 조정되어 있다. 또, 유지면(Sh)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면에 발포(3)에 의해 형성되는 구멍의 평균 구경(A)에 대한, 하층부(Pr)에 있어서의 이면(Sr)과 평행하는 단면 중 개구율이 최대치를 나타내는 단면에 형성된 구멍의 최대 구경(B)의 비 B/A가 20~50의 범위로 조정되어 있다. 즉, 유지면(Sh) 근방에 형성된 발포의 평균 구경에 대해서 20~50배의 크기의 발포 직경을 가지는 발포가 하층부(Pr)에 있어서의 개구율이 최대치를 나타내는 단면에 형성되어 있다. 때문에, 유연하고 발포(3)가 풍부하게 형성된 하층부(Pr)가 에어 쿠션 작용을 하여, 피연마물에 가해지는 압력(연마압)을 쉽게 분산시킬 수 있다. 또, 연마 가공에 수반하여 압축되었을 때, 피연마물에 가해지는 압력에 따라 하층부(Pr)에서의 발포 형상이 압축 변형됨으로써, 피연마물의 휨이나 기복에 맞추어 피연마물에 대한 부담(반발 응력)을 저감할 수 있으므로, 피연마물의 평탄성을 고도로 향상시킬 수 있다. 하층부(Pr)에서의 압축 변형량의 확보를 고려하면, 하층부(Pr)의 공극률을 75~90% 의 범위로 조정하는 것이 바람직하다.

또, 본 실시형태에서는, 하층부(Pr)에 있어서의 이면(Sr)과 평행하는 단면 중, 단위면적당 발포(3)에 의해 형성되는 구멍의 총면적의 비율을 나타내는 개구율의 최대치가 80% 이상 95% 이하로 조정되어 있다. 때문에, 하층부(Pr), 특히 이면(Sr) 근방에서 발포(3)의 직경이 비대화하여 충분한 쿠션성을 확보할 수 있다. 이것에 의해, 연마 가공 시에 피연마물에 대한 응력이 균등화되므로, 평탄성 향상을 도모할 수 있다. 하층부(Pr)의 공극률과 마찬가지로, 압축 변형량의 확보를 고려하면, 개구율을 82~90% 의 범위로 조정하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시형태에서는, 우레탄 시트(2)의 유지면(Sh)으로부터 두께(t)의 10% 만큼 (0.1t 만큼) 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면과, 40% 만큼 (0.4t 만큼) 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면 사이에 끼워진 상층부(Ph)의 공극률이 35% 이상 55% 이하로 조정되어 있다. 때문에, 하층부(Pr)와 비교해 폴리우레탄 수지의 격벽이 두꺼워져 강성(剛性)이 확보되므로, 연마 가공 시에 피연마물의 유지 패드 측으로의 함몰을 억제할 수 있다. 유지 패드의 강성이 불충분하여 피연마물의 함몰이 커지면, 연마 가공 시에 유지 패드(우레탄 시트) 자체가 연삭되어 버리는 경우가 있다. 이에 대해서, 유지 패드(10)에서는, 피연마물의 함몰이 억제되므로, 우레탄 시트(2)가 연삭되는 일 없이 연마 가공을 계속할 수 있다. 상층부(Ph)의 공극률이 35% 미만에서는, 강성이 높아지지만 경도가 높아지기 때문에, 오히려, 평탄성을 향상시키기 어려워진다. 평탄성 향상의 관점에서 강성을 확보하는 것을 고려하면, 상층부(Ph)의 공극률을 40~50% 의 범위로 조정하는 것이 바람직하다.

또 추가로, 본 실시형태에서는, 우레탄 시트(2)가 상기 서술한 발포 구조를 가지기 때문에 상층부(Ph)에서 피연마물의 함몰 억제에 필요한 강성이 확보되고, 하층부(Pr)에서 피연마물에 대한 응력의 균등화에 필요한 쿠션성이 확보되므로, 1장의 우레탄 시트(2)에 의해 강성과 쿠션성을 양립시킬 수 있다. 강성을 가지는 수지 시트와 쿠션성을 가지는 수지 시트를 접합하여 구성하는 것도 가능하지만, 이 경우에는 연마 가공 시에 2장의 수지 시트가 박리되는 경우가 있다. 따라서, 유지 패드(10)에서는, 우레탄 시트(2)가 강성, 쿠션성을 겸비함으로써, 피연마물의 평탄성 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 폴리우레탄 수지제의 우레탄 시트(2)를 구비한 유지 패드(10)를 예시했지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 폴리우레탄 수지 대신에, 예를 들면, 폴리에틸렌 등의 수지를 사용해도 좋고, 습식 응고법에 의해 상기 서술한 발포 구조를 형성할 수 있는 수지이면 특별히 제한은 없다.

또, 본 실시형태에서는, 우레탄 시트(2)와 기재를 가지는 양면 테이프(7)를 접합하여 구성한 유지 패드(10)를 예시했지만, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 유지 패드로서는, 우레탄 시트(2)와, 연마기에 장착하기 위한 점착재를 구비하고 있으면 되고, 예를 들면, 양면 테이프(7) 대신에, 여러 가지의 점착제만을 우레탄 시트(2)(의 이면(Sr))에 도포하도록 해도 좋다. 또, 본 실시형태에서는, 양면 테이프(7)의 기재가 유지 패드(10)의 지지재를 겸하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 우레탄 시트(2)와 양면 테이프(7) 사이에 다른 지지재를 접합하도록 해도 좋다. 이러한 지지재로서는, 특별히 제한되지 않고, PET제 등의 필름이나 부직포 등을 예로 들 수 있다.

더욱이, 본 실시형태에서는, 특별히 언급하지 않지만, 습식 응고법에 의해 형성된 우레탄 시트(2)의 두께 불균일이 커졌을 때는, 유지면(Sh)과 이면(Sr)이 평행이 되도록, 이면(Sr) 측을 버프(buff)나 슬라이스 등의 방법에 의해 평활하게 해 두는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 유지면(Sh)의 평탄성을 더욱 향상시킬 수 있다.

실시예

다음으로, 본 실시형태에 따라 제조한 유지 패드(10)의 실시예에 대해 설명한다. 또한 비교를 위해 제조한 비교예에 대해서도 함께 설명한다.

(실시예 1)

실시예 1에서는, 우레탄 시트(2)의 제작에 100% 수지 모듈러스가 10㎫ 의 폴리에스테르 MDI(디페닐 메탄 디이소시아네이트) 폴리우레탄 수지를 사용하고, DMF에 18중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 1중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 3.3㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 폴리우레탄 수지 용액을 도포할 때에 도포 장치의 클리어런스를 0.7㎜ 로 설정했다. PET제 필름의 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 25℃의 물(응고액)에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(10)를 제조했다.

(실시예 2)

실시예 2에서는, 실시예 1과 동일한 폴리우레탄 수지를 DMF에 20중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 1중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 5.3㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 도포 장치의 클리어런스를 1.0㎜ 로 설정하고, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 10℃의 물에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(10)를 제조했다.

(실시예 3)

실시예 3에서는, 실시예 1과 동일한 폴리우레탄 수지를 DMF에 21중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 3중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 8.2㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 도포 장치의 클리어런스를 1.0㎜ 로 설정하고, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 10℃의 물에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(10)를 제조했다.

(실시예 4)

실시예 4에서는, 실시예 1과 동일한 폴리우레탄 수지를 DMF에 21중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 7.9㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 도포 장치의 클리어런스를 1.0㎜ 로 설정하고, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 25℃의 물에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(10)를 제조했다.

(실시예 5)

실시예 5에서는, 실시예 1과 동일한 폴리우레탄 수지를 DMF에 21.5중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 1중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 9.5㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 도포 장치의 클리어런스를 1.2㎜ 로 설정하고, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 10℃의 물에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(2)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(10)를 제조했다.

(비교예 1)

비교예 1에서는, 실시예 1과 동일한 폴리우레탄 수지를 DMF에 21중량% 의 비율로 용해시킨 다음, 폴리우레탄 수지에 대해 1중량% 의 친수성 첨가제, 및 폴리우레탄 수지에 대해 5중량% 의 카본블랙을 첨가하고, B형 회전 점도계로 8.2㎩·s의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 용액을 조제했다. 도포 장치의 클리어런스를 0.7㎜ 로 설정하고, 성막 기재에 폴리우레탄 수지 용액을 도포한 후, 온도 25℃의 물에 침지하여 폴리우레탄 수지를 완전히 재생시켰다. 세정, 건조 후, 얻어진 우레탄 시트(12)의 이면(Sr) 측을 버핑하고, 버프면에 양면 테이프(7)를 접합하여 유지 패드(20)를 제조했다. 즉, 비교예 1의 유지 패드(20)는 종래의 유지 패드이다(도 3 참조).

(평가 1)

얻어진 각 실시예 및 비교예의 우레탄 시트에 대해 상층부(Ph) 및 하층부(Pr)의 공극률, 개구율의 최대치, 최소 발포 직경에 대한 최대 발포 직경의 비를 나타내는 발포 직경비(Max/Min)를 측정했다. 공극률의 측정은 다음과 같이 실시했다. 즉, 삼차원 계측 X선 CT장치(야마토과학 제조, TDM1000－IS/SP)를 이용하여 단면을 스캔하고, 유지면(Sh)으로부터 10㎛ 간격의 연속 단층 화상을 얻었다. 얻어진 각 단층 화상을 SEM용 화상 해석 소프트웨어「Scandium」(Olympus Soft－Imaging Solutions 사 제조)에 의해 화상 처리하여 각각 농담이 있는 화상을 얻었다. 농담이 있는 화상의 각각에 대해, 농도가 진한 부분을 개구부로서 농도 범위(역치)를 화상과 일치하도록 눈으로 설정하고, 개구부로서 적산함으로써, 관측 면적당 차지하는 총 개구 면적의 비율을 개구율로서 구했다. 계속하여, 상층부(Ph), 하층부(Pr)의 영역에 있어서의 단층 화상으로부터 구한 개구율의 합을 각각 구하고, 상층부(Ph), 하층부(Pr)의 관측 면적의 합으로 나눈 백분율을 공극률로 했다. 이러한 공극률은, 간편법으로서 우레탄 시트의 표면으로부터 버핑이나 슬라이스에 의해 일정 두께만큼씩 연삭하고, 연삭 가공 표면을 SEM나 현미경 등으로 관찰함으로써 공극률을 구할 수도 있다. 개구율의 최대치는, 공극률의 측정에서 구한 개구율로부터 구했다. 발포 직경비는 다음과 같이 하여 구했다. 즉, 유지면(Sh)으로부터 두께 전체의 10% 만큼 내측에서 유지면(Sh)과 평행하는 단면에서의 3.3㎟ 의 범위에 형성된 개구의 평균 개구직경을 "스칸듐(Scandium)"를 이용해 산출하여 최소 발포 직경으로 했다. 하층부(Pr)의 영역에서 개구율의 최대치를 나타내는 단면에서의 3.3㎟ 의 범위에 형성되고 관측 영역의 경계에 접하지 않은 개구 중 최대의 개구직경을 "스칸듐(Scandium)」를 이용해 산출하여 최대 발포 직경으로 했다. 최소 발포 직경에 대한 최대 발포 직경의 비를 발포 직경비로서 구했다. 최소 발포 직경, 최대 발포 직경이 각각 상기 서술한 평균 구경(A), 최대 구경(B)에 대응하기 때문에, 발포 직경비는 상기 서술한 비 B/A를 나타내고 있다. 공극률, 개구율의 최대치, 발포 직경비의 측정 결과를 아래 표 1에 나타낸다.

표 1에 나타내는 바와 같이, 비교예 1의 우레탄 시트에서는, 상층부(Ph)의 공극률이 41.4% , 하층부(Pr)의 공극률이 68.6% 였다. 또, 도 5에서 명확한 바와 같이, 표면으로부터의 두께가 커질수록, 즉, 이면(Sr)에 가까워질수록 개구율이 커지지만, 그 개구율은 최대 75% 정도이다. 이것에 대해서, 실시예 1~실시예 5의 각 우레탄 시트(2)에서는, 상층부(Ph)의 공극률이 38.3% ~50.2% 의 범위, 하층부(Pr)의 공극률이 77.2~88.3% 의 범위였다. 또, 실시예 1의 우레탄 시트(2)에서는, 도 5에서 명확한 바와 같이, 하층부(Pr)의 두께 영역 내의 100㎛이상의 두께에 걸치는 단면에서 연속하여 80% 를 초과하는 개구율을 나타내고 있다. 이것으로부터, 각 실시예의 우레탄 시트(2)에서는, 상층부(Ph)의 공극률은 비교예 1과 동등한 정도이면서도, 하층부(Pr)의 공극률이 큰 것이 판명되었다. 또한 발포 직경비의 측정 결과로부터, 비교예 1에서는 하층부(Pr)에서의 최대 발포 직경이 유지면(Sh) 근방의 평균 개구직경에 대해서 18.7배였던 것에 대해, 각 실시예에서는 34.0~38.2배의 크기를 나타내는 것이 명확해졌다

(평가 2)

각 실시예 및 비교예의 유지 패드를 이용하여, 이하의 연마 조건으로 액정 디스플레이용 유리 기판(470㎜ ×370㎜ ×0.7㎜ )의 연마 가공을 실시하고, 일본공업규격(JIS B 0601：'82))에 준하는 방법으로, 여파 중심 기복으로부터 평탄도(a)를 구했다. 평탄도(a)의 측정에서는, 표면 조도 형상 측정기(주식회사 토쿄정밀 제조, SURFCOM480 A)를 사용하여, 이하의 측정 조건으로 측정했다. 기판 표면의 요철에 기인해 얻어지는 측정 곡선으로부터 서로 인접하는 볼록부(산(山)부)와 볼록부 사이의 폭(W) 및, 볼록부와 오목부(골부)의 높이(S)를 산출하고, 폭(W)을 가로축, 높이(S)를 세로축으로 한 분포도를 작성하였다. 분포도로부터, 일차식 S=aW의 근사 직선을 구하고, 경사도(a)를 연마 가공 후의 최종 평탄도(a)로 했다. 평탄성이 높아질수록 폭(W)이 커지고, 높이(S)가 작아지기 때문에, 경사도(a)가 작을수록 평탄성이 뛰어나는 것을 나타내는 것이 된다. 평탄도(a)의 측정 결과를 표 1에 함께 나타냈다

(연마 조건)

사용연마기：오스카 연마기(스피드팜(ＳｐｅｅｄＦａｍ)사 제조, SP－1200)

연마 속도(회전수)：61rpm

가공 압력：76gf/cm²

슬러리：세륨슬러리

연마 시간：30min

(여파 중심 기복 측정 조건)

평가 길이：90㎜

측정 속도：3.0㎜ /s

컷 오프값：0.8~8.0㎜

필터 종류：2RC

측정 범위：±40.0㎛

경사 보정：스프라인

표 1에 나타낸 바와 같이 비교예 1의 유지 패드(20)를 사용한 연마 가공에서는 가공 후의 유리 기판의 평탄도(a)가 0.0007를 나타냈다. 이에 대해, 실시예 1~실시예 5의 각 유지 패드(10)를 사용한 연마 가공에서는 평탄도(a)가 0.0003~0.0005를 나타냈으며, 모두 비교예 1에 비해 우수한 결과를 나타냈다. 따라서, 습식 응고법에 의해 형성된 발포(3)가, 상부층(Ph)에서의 공극률이 35~55% 의 범위에서 형성되고, 하층부(Pr)에서의 공극률이 70~95% 의 범위에서 형성된 우레탄 시트(2)를 구비한 유지 패드(10)를 사용함으로써, 유지면(Sh)의 평탄성 정밀도를 높임과 함께, 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있는 것이 분명해졌다.

산업상 이용가능성

본 발명은 유지면의 평탄성 정밀도를 높이고 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있는 유지 패드를 제공하는 것이기 때문에, 유지 패드의 제조, 판매에 기여하므로, 산업상의 이용 가능성을 가진다.

Claims

습식 응고법에 의해 수직형 발포가 형성되고, 피연마물을 유지하기 위한 유지면을 가지는 수지 시트를 구비한 유지 패드에 있어서,
상기 수지 시트는, 100% 모듈러스가 20MPa 미만의 폴리우레탄 수지로 형성되어 있으며, 상기 유지면의 배면으로부터 두께 전체의 10% 만큼의 내부측까지의 범위에 상기 발포의 저부가 형성되고 있으며, 한편, 상기 배면으로부터 상기 두께 전체의 10% 만큼의 내부측에서 상기 배면과 평행하는 단면과 상기 배면으로부터 상기 두께 전체의 40% 만큼의 내부측에서 상기 배면과 평행하는 단면 사이에 끼워진 하층부의 공극률이 75.6% 이상 88.3% 이하이고, 상기 유지면으로부터 상기 두께 전체의 10% 만큼의 내부측에서 상기 유지면과 평행하는 단면에 상기 발포로 형성된 구멍의 평균 구경을 A로 하고, 상기 하층부에서의 상기 유지면과 평행하는 단면 중 단위 면적당 상기 발포로 형성된 구멍의 총면적의 비율이 최대를 나타내는 단면에서 상기 발포로 형성된 구멍의 최대 구경을 B로 했을 때, 비 B/A가 20~50의 범위인 것을 특징으로 하는 유지 패드.
제 1 항에 있어서,
상기 수지 시트는, 상기 유지면으로부터 두께 전체의 10% 만큼의 내부측에서 상기 유지면과 평행하는 단면과 상기 유지면으로부터 두께 전체의 40% 만큼의 내부측에서 상기 유지면과 평행하는 단면 사이에 끼워진 상층부의 공극률이 38.3% 이상 50.2% 이하인 것을 특징으로 하는 유지 패드.
제 1 항에 있어서,
추가로 상기 수지 시트의 상기 배면 측에 연마기에 장착하기 위한 점착재가 도포된 것을 특징으로 하는 유지 패드.
제 3 항에 있어서,
상기 수지 시트와 상기 점착재 사이에 추가로 상기 수지 시트를 지지하기 위한 지지재가 접합된 것을 특징으로 하는 유지 패드.
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