JP5324998B2 - 保持パッド - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態の保持パッド10は、ポリウレタン樹脂製の樹脂シートとしてのウレタン発泡体2を備えている。ウレタン発泡体2は、湿式凝固法により一組成の樹脂で一体形成されており、被研磨物を保持するための保持面Pを有し発泡4(第1の発泡)が形成された保持部2aと、発泡5(第2の発泡)が形成されたクッション部2bと、発泡4および発泡5が非形成の中間部2cとを有している。
図2に示すように、保持パッド10は、湿式凝固法により1枚のシート状のウレタン発泡体2を一体形成し、ウレタン発泡体2と両面テープ7とを貼り合わせることで製造される。すなわち、ポリウレタン樹脂溶液を準備する準備工程、成膜基材にポリウレタン樹脂溶液を塗布する塗布工程、成膜基材に塗布したポリウレタン樹脂溶液を凝固液中に浸漬する浸漬工程、凝固液中で成膜基材を剥離しポリウレタン樹脂を凝固再生させる剥離工程、シート状のポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、得られたウレタン発泡体2と両面テープ7とを貼り合わせるラミネート工程を経て保持パッド10が製造される。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の保持パッド10の作用等について説明する。
実施例1では、ウレタン発泡体2の作製にポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。ポリウレタン樹脂溶液を塗布する際に塗布装置のクリアランスを1.6mmに設定した。成膜基材のPET製フィルムは、予め、0.02%のCMC溶液を塗布し乾燥させておいた。このPET製フィルムにポリウレタン樹脂溶液を塗布した後、温度20℃の水(凝固液)に浸漬した。水中で3分間溶媒を置換させた後、PET製フィルムと半凝固状態のポリウレタン樹脂とを剥がし、半凝固状態のポリウレタン樹脂を更に7分間水中に浸漬して完全に凝固させた。洗浄、乾燥後、得られた厚さ1.46mmのウレタン発泡体2とPET製の基材を有する両面テープ7とを貼り合わせ保持パッド10を製造した。
比較例1では、湿式凝固法によるウレタン発泡体の作製時に、凝固液中で成膜基材を剥離しないこと以外は実施例1と同様にして厚さ1.46mmのウレタン発泡体を作製し保持パッドを製造した。すなわち、比較例1の保持パッドは、従来の保持パッドである。
各実施例および比較例の保持パッドについて、バフ番手#180のサンドペーパを使用して保持面側にバフ処理厚み100μm毎のバフ処理を9回施した。各回後の保持面を走査型電子顕微鏡で観察し、開口している穴のサイズ(開口径)を計測し平均値を求めた。
2 ウレタン発泡体(樹脂シート)
2a 保持部
2b クッション部
2c 中間部
4 発泡
5 発泡
10 保持パッド
Claims (6)
- 湿式凝固法により一組成の樹脂で形成された樹脂シートを備えた保持パッドにおいて、前記樹脂シートは、
被研磨物を保持するための保持面を有し、厚み方向に縦長状の多数の第1の発泡が連続発泡状に形成された保持部と、
前記保持部に形成された第1の発泡より大きい第2の発泡が連続発泡状に形成されたクッション部と、
前記第1および第2の発泡が非形成で前記保持部およびクッション部間に形成された中間部と、
を備えたことを特徴とする保持パッド。 - 前記中間部は、前記樹脂シートの厚み方向中央部に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記保持部に形成された第1の発泡および前記クッション部に形成された第2の発泡は、少なくとも一部が網目状に連通していることを特徴とする請求項2に記載の保持パッド。
- 前記保持部に形成された第1の発泡は、前記クッション部に形成された第2の発泡の平均容積より小さい平均容積を有することを特徴とする請求項3に記載の保持パッド。
- 前記第2の発泡は、容積が略均一に形成されたことを特徴とする請求項4に記載の保持パッド。
- 前記樹脂シートは、ポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項4に記載の保持パッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009093528A JP5324998B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 保持パッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009093528A JP5324998B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 保持パッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010240790A JP2010240790A (ja) | 2010-10-28 |
JP5324998B2 true JP5324998B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=43094432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009093528A Active JP5324998B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 保持パッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5324998B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011235385A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Teijin Cordley Ltd | 吸着パッド |
JP4996767B1 (ja) * | 2010-11-12 | 2012-08-08 | 株式会社Filwel | 片面研磨用保持材の製造方法 |
JP5711525B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-04-30 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 |
KR101497037B1 (ko) * | 2011-01-12 | 2015-03-02 | 주식회사 엘지화학 | 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지의 제조 방법, 폴리우레탄 수지를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6164735A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Kuraray Co Ltd | 多孔質シ−ト物の製造法 |
JP2005011972A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Nitta Haas Inc | 被研磨加工物の保持材およびこの保持材の製造方法 |
JP4555559B2 (ja) * | 2003-11-25 | 2010-10-06 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨布及び研磨布の製造方法 |
TWI293266B (en) * | 2004-05-05 | 2008-02-11 | Iv Technologies Co Ltd | A single-layer polishing pad and a method of producing the same |
JP4034320B2 (ja) * | 2005-05-24 | 2008-01-16 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 保持パッド |
JP4943766B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2012-05-30 | ニッタ・ハース株式会社 | 被加工物保持材およびその製造方法 |
-
2009
- 2009-04-08 JP JP2009093528A patent/JP5324998B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010240790A (ja) | 2010-10-28 |
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