JP5216238B2 - 保持パッドおよび保持パッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、保持パッド1は、100%モジュラス(2倍長に引っ張る時の張力)が20MPa以下のポリウレタン樹脂で形成された軟質ポリウレタンフィルムとしてのフィルム2を有している。フィルム2は、被研磨物を定盤に保持させるときに被研磨物に当接する保持面Pを有している。フィルム2の保持面Pと反対の面(図1の下面)側には、フィルム2の厚さ(図1の縦方向の長さ)が一様となるようにスライス処理が施されている(詳細後述)。フィルム2は、厚さの平均値に対する標準偏差の割合を百分率で示した厚さ変動率が5%以下となるように形成されている。このため、フィルム2の保持面Pが略平坦となる。
保持パッド1は、図2に示す各工程を経て製造される。まず、湿式成膜工程では、ポリウレタン樹脂を有機溶媒に溶解させたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させ、洗浄後乾燥させて帯状(長尺状)のフィルム2を得る。
次に、本実施形態の保持パッド1の作用等について説明する。
実施例1では、ポリウレタン樹脂として、100%モジュラスが10MPaのポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂のDMF溶液(濃度30%)100部に対して、粘度調整用のDMFの45部、顔料のカーボンブラックを30%含むDMF分散液の40部、疎水性活性剤の2部を混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。このポリウレタン樹脂溶液を成膜基材のPET製シートに塗布する際に塗布厚を1mmに設定した。スライス処理では、成膜樹脂2aの長手方向にかける張力を、ポリウレタン樹脂の破断伸度の10%に設定した。スライス処理したフィルム2を、両面テープ6と貼り合せて保持パッド1を作製した。両面テープ6と貼り合せる際は、フィルム2に破断伸度の3%の張力をかけた。
比較例1では、湿式成膜後の成膜樹脂2aのスキン層4と反対の面側をバフ処理した以外は、実施例1と同様にして保持パッドを作製した。
2 フィルム(軟質ポリウレタンフィルム)
4 スキン層(表面層)
6 両面テープ
6a 基材
Claims (6)
- 湿式成膜で表面層が形成された軟質ポリウレタンフィルムと、基材とを有する保持パッドにおいて、前記フィルムは、互いに交差する2方向のうちの一方向であってスライス処理用の刃先と平行な方向の長さが固定され他方向に張力がかけられた状態で、厚さが一様となるように前記表面層と反対の面側がスライス処理されており、該スライス処理された面が前記基材と貼り合わされていることを特徴とする保持パッド。
- 前記フィルムは、厚さ変動率が5%以下であることを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 長尺状の前記フィルムの長手方向と交差する幅方向の長さを固定しながら前記表面層と反対の面側がスライス処理されたことを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 保持パッドの製造方法であって、
表面層を有する軟質ポリウレタンフィルムを湿式成膜する成膜工程と、
前記フィルムの長手方向と交差する幅方向であってスライス処理用の刃先と平行な方向の長さを固定する準備ステップと、前記フィルムの長手方向に張力をかけながら前記幅方向の長さを固定されたフィルムをスライスするスライスステップとを有し、前記フィルムの厚さが一様となるように前記表面層と反対の面側をスライス処理するスライス処理工程と、
前記フィルムのスライス処理された面と基材とを貼り合わせる貼合工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 前記準備ステップで、前記フィルムを非伸縮性のシート材と貼り合わせることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
- 前記スライスステップで、前記フィルムの長手方向にかけられる張力が前記フィルムの破断伸度の5%〜50%の範囲であることを特徴とする請求項5に記載の製造方法。
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