JP4597868B2 - 熱処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハやガラス基板等を熱処理するための熱処理装置に関する。

例えば縦型熱処理炉を用いて、複数のシリコンウエハ等の基板を熱処理する場合、炭化珪素製の支持具（ボート）が用いられている（特許文献１参照）。この支持具には、例えば３点で基板を支持する支持片が設けられている。

特開平７−４５６９１号公報

この場合、１０００°Ｃ程度以上の温度で熱処理すると、支持片付近で、基板にスリップ転位欠陥が発生し、これがスリップラインになるという問題があった。スリップラインが発生すると、基板の平坦度が劣化する。これらのため、ＬＳＩ製造工程における重要な工程の一つであるリソグラフィ工程で、マスク合わせずれ（焦点ずれ又は変形によるマスク合わせずれ）が生じ、所望パターンを有するＬＳＩの製造が困難であるという問題が発生していた。

このような問題を解決する手段として、支持片にまず支持プレートを載置し、この支持プレートの上に処理すべき基板を載置することが考えられる。
図２５及び図２６において、この種の支持具３０の一例を示す。

支持具３０は、例えば互いに９０度隔てて形成された３つの支持片６６を有し、この支持片６６に支持プレート５８が支持されている。支持片６６の組は垂直方向に所定距離を隔てて多数設けられ、これら支持片６６の組に支持プレート５８が支持されている。支持プレート５８は例えばシリコン（Ｓｉ）からなり、この支持プレート５８の径が基板７２よりも小さくなっている。支持プレート５８はシリコン製の基板７２と同じ材料からなるので、熱膨張率が同じであるため、基板７２にスリップを発生させないという利点がある。

このような支持具３０に対して基板７２を支持するには、図２６に示すように、基板７２を載せたツィーザ３２を支持プレート５８の上方まで移動させ、その後支持プレート５８の上面よりも低い位置まで下降させることにより基板７２を支持プレート５８上に載置する。

ところで、高温熱処理ではプロセス時間が非常に長いため、スループットを考慮すると、大量バッチ処理が望まれる。またバッチ処理当たりの処理枚数を増加させることが、スループットの向上に繋がる。処理枚数を増加させるには、プロセス処理領域（均熱長）を増加させるか、基板間ピッチを縮小するかのいずれかである。プロセス処理領域（均熱長）を増加させると、基板処理装置の大型化を招くので、この点で基板間ピッチを縮小することが有利である。

図２６に示すように、支持具３０の左右の支持片６６，６６が、ツィーザ３２の上下動により、干渉する位置にあることがわかる。基板挿入時の基板厚さ＋上下クリアランスをａ１、ツィーザダウン時のツィーザ厚さ＋上下クリアランスをｂ１、支持片６６，６６の厚さをｃ１とすると、基板間ピッチＰ１は、ａ１＋ｂ１＋ｃ１で表される。別の表現をすると、ａ１は支持プレート５８の上面と、上部に位置する支持片６６，６６の下面との距離、ｂ１は支持プレート５８の厚さである。
この場合、ツィーザ３２を下げる際に、ツィーザ３２と支持片６６とが干渉しない程度の距離を確保する必要があり、支持板５８の厚さ（ｂ１）を少なくとも６．５ｍｍ以上とする必要がある。支持片６６の厚さ（ｃ１）を例えば３ｍｍとし、基板７２を上下させる隙間（ａ１）を４ｍｍとすれば、合計（Ｐ１）１３．５ｍｍのピッチが必要となる。
基板間ピッチを縮小するために、支持片６６，６６の厚さ（ｃ１）を薄くすることも考えられるが、強度の観点から単純には薄肉化することはできない。

本発明の目的は、基板間ピッチを縮小し、１バッチ当たりの基板処理枚数を増大させ、もって高いスループットを有する熱処理装置を提供することにある。

請求項１に係る本発明は、基板を処理する反応炉と、前記反応炉内で複数枚の基板を複数段に支持する支持具と、基板を載置するツィーザを具備し前記支持具に対して基板を移載する基板移載機と、を有する基板処理装置であって、前記支持具は、複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片と、を有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成され、前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられていることを特徴とする基板処理装置である。

請求項２に係る本発明は、請求項１記載の基板処理装置において、前記支持片の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分から前記支持板を支持する側の端部にかけて凹部が設けられていることを特徴とする基板処理装置である。

請求項３に係る本発明は、請求項１又は２記載の基板処理装置において、前記支持片は、前記支持具の本体部から水平方向に延びるように形成され、前記支持片の前記本体部側の根元部分の方が、前記凹部が設けられる部分よりも厚くなるように構成されていることを特徴とする基板処理装置である。

請求項４に係る本発明は、請求項１又は２記載の基板処理装置において、前記支持片は、前記支持具の本体部から水平方向に延びるように形成され、前記支持片の前記本体部側の根元部分の方が、先端部分よりも厚くなるように構成されていることを特徴とする基板処理装置である。

請求項５に係る本発明は、請求項４記載の基板処理装置において、前記支持片は、前記支持片の根元部分の上面が前記支持板の上面よりも高くならないように構成されていることを特徴とする基板処理装置である。

請求項６に係る本発明は、請求項１又は２記載の基板処理装置において、前記支持板は、基板よりも直径が小さい円板形状であることを特徴とする基板処理装置である。
請求項７に係る本発明は、請求項６記載の基板処理装置において、前記ツィーザは基板を載置する部分が２股に分かれていることを特徴とする基板処理装置である。
請求項８に係る本発明は、請求項６記載の基板処理装置において、前記ツィーザは基板を載置する部分が２股に分かれており、前記ツィーザの２股に別れた部分の内側の幅は前記支持板の直径よりも大きいことを特徴とする基板処理装置である。

請求項９に係る本発明は、複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片とを有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成される支持具に対し、基板を基板移載機のツィーザに載置して移載し、複数枚の基板を複数段に支持する工程と、前記支持具により支持した複数枚の基板を反応炉内に搬入する工程と、前記反応炉内で前記支持具により支持した複数枚の基板を熱処理する工程と、前記支持具により支持した熱処理後の複数枚の基板を前記反応炉より搬出する工程と、を有し、前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられ、基板移載時に前記ツィーザは前記凹部内に挿入されることを特徴とする基板の製造方法である。

請求項１０に係る本発明は、複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片とを有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成される支持具に対し、基板を基板移載機のツィーザに載置して移載し、複数枚の基板を複数段に支持する工程と、前記支持具により支持した複数枚の基板を反応炉内に搬入する工程と、前記反応炉内で前記支持具により支持した複数枚の基板を熱処理する工程と、前記支持具により支持した熱処理後の複数枚の基板を前記反応炉より搬出する工程と、を有し、前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられ、基板移載時に前記ツィーザは前記凹部内に挿入されることを特徴とする半導体装置の製造方法である。

請求項１１に係る本発明は、複数枚の基板を複数段に支持し、基板移載機により基板が移載される支持具であって、複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片と、を有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成され、前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に基板を載置して移載する前記基板移載機のツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられていることを特徴とする支持具である。

本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置に用いた反応炉を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は横断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具を示し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は支持片と支持板とを示す斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第１の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第２の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第３の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第４の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第５の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＨ−Ｈ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る支持具の第６の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＪ−Ｊ線断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る支持具を示す斜視図である。 本発明の第２の実施形態に係る支持具を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＫ−Ｋ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＬ−Ｌ線断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る支持具の第１の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＭ−Ｍ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＮ−Ｎ線断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る支持具の第２の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＯ−Ｏ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＰ−Ｐ線断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る支持具の第３の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＱ−Ｑ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＲ−Ｒ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具を示す斜視図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＳ−Ｓ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具を示し、（ａ）はツィーザ挿入時の縦断面図、（ｂ）はツィーザダウン時の縦断面図である。 本発明の第３の実施形態において基板を支持具に支持させる手順を示し、（ａ）〜（ｄ）は各工程における支持具とツィーザとの関係を示す縦断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具の第１の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＳ−Ｓ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具の第２の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＴ−Ｔ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具の第３の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＵ−Ｕ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具の第４の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る支持具の第５の変形例を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＷ−Ｗ線断面図である。 従来の基板処理装置における支持具を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は正面図である。 従来の基板処理装置における支持具を示し、（ａ）はツィーザ挿入時の縦断面図、（ｂ）はツィーザダウン時の縦断面図である。 従来の基板処理装置における支持具を示し、（ａ）はツィーザ挿入時の横断面図、（ｂ）はツィーザダウン時の縦断面図である。

次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の実施形態に係る熱処理装置１０が示されている。この熱処理装置１０は、例えば縦型であり、主要部が配置された筺体１２を有する。この筺体１２には、ポッドステージ１４が接続されており、このポッドステージ１４にポッド１６が搬送される。ポッド１６は、例えば２５枚の基板が収納され、図示しない蓋が閉じられた状態でポッドステージ１４にセットされる。

筺体１２内において、ポッドステージ１４に対向する位置には、ポッド搬送装置１８が配置されている。また、このポッド搬送装置１８の近傍には、ポッド棚２０、ポッドオープナ２２及び基板枚数検知器２４が配置されている。ポッド搬送装置１８は、ポッドステージ１４とポッド棚２０とポッドオープナ２２との間でポッド１６を搬送する。ポッドオープナ２２は、ポッド１６の蓋を開けるものであり、この蓋が開けられたポッド１６内の基板枚数が基板枚数検知器２４により検知される。

さらに、筺体１２内には、基板移載機２６、ノッチアライナ２８及び支持具３０（ボート）が配置されている。基板移載機２６は、例えば５枚の基板を取り出すことができるツィーザ３２を有し、このツィーザ３２を動かすことにより、ポッドオープナ２２の位置に置かれたポッド、ノッチアライナ２８及び支持具３０間で基板を搬送する。ノッチアライナ２８は、基板に形成されたノッチまたはオリフラを検出して基板のノッチまたはオリフラを一定の位置に揃えるものである。

図２において、反応炉４０が示されている。この反応炉４０は、反応管４２を有し、この反応管４２内に支持具３０が挿入される。反応管４２の下方は、支持具３０を挿入するために開放され、この開放部分はシールキャップ４４により密閉されるようにしてある。また、反応管４２の周囲は、均熱管４６により覆われ、さらに均熱管４６の周囲にヒータ４８が配置されている。熱電対５０は、反応管４２と均熱管４６との間に配置され、反応炉４０内の温度をモニタできるようにしてある。そして、反応管４２には、処理ガスを導入する導入管５２と、処理ガスを排気する排気管５４とが接続されている。

次に上述したように構成された熱処理装置１０の作用について説明する。
まず、ポッドステージ１４に複数枚の基板を収容したポッド１６がセットされると、ポッド搬送装置１８によりポッド１６をポッドステージ１４からポッド棚２０へ搬送し、このポッド棚２０にストックする。次に、ポッド搬送装置１８により、このポッド棚２０にストックされたポッド１６をポッドオープナ２２に搬送してセットし、このポッドオープナ２２によりポッド１６の蓋を開き、基板枚数検知器２４によりポッド１６に収容されている基板の枚数を検知する。

次に、基板移載機２６により、ポッドオープナ２２の位置にあるポッド１６から基板を取り出し、ノッチアライナ２８に移載する。このノッチアライナ２８においては、基板を回転させながら、ノッチを検出し、検出した情報に基づいて複数枚の基板のノッチを同じ位置に整列させる。次に、基板移載機２６により、ノッチアライナ２８から基板を取り出し、支持具３０に移載する。

このようにして、１バッチ分の基板を支持具３０に移載すると、例えば７００°Ｃ程度の温度に設定された反応炉４０内に複数枚の基板を装填した支持具３０を装入し、シールキャップ４４により反応管４２内を密閉する。次に、炉内温度を熱処理温度まで昇温させて、導入管５２から処理ガスを導入する。処理ガスには、窒素、アルゴン、水素、酸素等が含まれる。基板を熱処理する際、基板は例えば１０００°Ｃ程度以上の温度に加熱される。なお、この間、熱電対５０により反応管４２内の温度をモニタしながら、予め設定された昇温、熱処理プログラムに従って基板の熱処理を実施する。

基板の熱処理が終了すると、例えば炉内温度を７００°Ｃ程度の温度に降温した後、支持具３０を反応炉４０からアンロードし、支持具３０に支持された全ての基板が冷えるまで、支持具３０を所定位置で待機させる。なお、炉内温度降温の際も、熱電対５０により反応管４２内の温度をモニタしながら、予め設定された降温プログラムに従って降温を実施する。次に、待機させた支持具３０の基板が所定温度まで冷却されると、基板移載機２６により、支持具３０から基板を取り出し、ポッドオープナ２２にセットされている空のポッド１６に搬送して収容する。次に、ポッド搬送装置１８により、基板が収容されたポッド１６をポッド棚２０に搬送し、さらにポッドステージ１４に搬送して完了する。

次に上記支持具３０について詳述する。
図３及び図４において、第１の実施形態が示され、支持具３０は、本体部５６と支持板５８とから構成されている。本体部５６は、炭化珪素又はシリコン（Ｓｉ）を含浸させた炭化珪素（ＳｉＣ）からなり、円板状の上板６０（図１に示す）、同じく円板状の下板６２（図１に示す）、及び上板６０と下板６２とを接続する複数本、例えば２本の支柱６４，６４と、該支柱６４，６４とを接続する支持片６６とを有する。支持片６６は、２本の支柱６４，６４をつなぐように支柱６４，６４と一体的に構成されており、支持片６６および支柱６４，６４はスケルトン（骨組み）構造となっている。支持片６６は、上方から見て例えばＵ字状に形成されて水平方向に延び、後述するツィーザ３２の挿入側（基板移載機２６側）に向かって突出する突出部６８を有する。該支持片６６は、支柱６４に対して垂直方向に一定間隔隔てて多数形成され、該多数の支持片６６にそれぞれ支持板５８が支持されている。この支持板５８の上面には基板７２の下面が接触するように基板７２が支持される。なお、支持片６６および支柱６４は、柱状部材を、支持片６６および支柱６４となる部分を残して切削加工することにより一体ものとして形成される。

支持板５８は、例えばシリコン製で円板状に形成されている。支持片６６全体の幅は支持板５８の直径と同等若しくはそれ以下となっている。この支持板５８は、厚さが薄い周辺部（外周部）７４と、厚さが厚い中央部７６とを有し、この周辺部７４の下部（裏面）に凹部としての係合溝７８（嵌合部）が形成されている。すなわち、支持板５８裏面の中央部７６には凸部が、支持板５８の周辺部７４には凹部が形成されている。

支持片６６は、突出部６８が上方から見て半円形状に形成されており、該支持片６６の突出部６８に支持板５８の係合溝７８が嵌合して、支持板５８が支持片６６に支持されている。すなわち、支持板５８および支持片６６には、お互い（支持板５８および支持片６６）が嵌合する嵌合部（支持板５８の係合溝７８および支持片６６の突出部６８）が設けられており、支持板５８と支持片６６が厚さ方向の一部（支持板５８の中央部７６と支持片６６）において重なるようになっている。なお、支持片６６は、支持板５８の基板挿入側の外周部における１／２以上の部分を支持している。

このように、支持板５８と支持片６６が厚さ方向の少なくとも一部において重なるような構成すなわち支持板５８の中央部７６と支持片６６の幅（高さ）とが厚さ方向において重なる構成とすることにより、支持片６６で支持板５８を支持した状態における支持板５８と支持片６６との合計の厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

また、上述したように、支持板５８および支持片６６には、お互いが嵌合する嵌合部が設けられることにより、支持板６６の位置決めを可能とし、支持板６６のずれ及び支持板６６の落下を防止できる。また例えば、支持板５８に対して基板挿入方向と反対方向に向かう力が作用した場合であっても支持板５８が支柱６４と反対側へ移動する（ずれる）のを防止できる。

また、上述したように、支持具３０は複数の支柱６４と、支持片６６とを有し、支持片６６は複数の支柱６４をつなぐように支柱６４と一体的に構成され、支持片６６および支柱６４は、Ｓｉ含浸ＳｉＣ製である構成とすることにより、Ｓｉ含浸ＳｉＣ製の本体部５６のうち支柱６４と支持片６６を、強度を保ちつつ一体ものとして製作することができる。

また、上述したように、スケルトン（骨組み）構造の支持片６６で、支持板５８の基板挿入側の外周部を支持するような構成とすることにより、基板載置時における支持板５８の浮きを防止することができる。
即ち、図２７（ａ），（ｂ）に示すように、例えば支持板５８を３箇所で支持している場合、基板７２を支持板５８に載置する際に、支持板５８が支持片６６に対して浮くおそれがある。例えば支持板５８の基板挿入側の上部（図２７（ｂ）の破線部Ａ）に先に基板７２が当接した場合（基板７２が傾いていた場合）、支持板５８は、矢印Ｂ方向に回転し、支持片６６に対して浮いてしまう。このように支持板５８が浮いた際や、浮いた支持板５８が元の位置に戻る際に、支持片６６と支持板５８とが擦れ、パーティクル（異物）が発生したり、支持片６６に対して支持板５８がずれたりすることがある。
一方、本実施形態においては、スケルトン（骨組み）構造の支持片６６で支持板５８の少なくとも基板挿入側の外周部を支持しているため、基板７２を支持板５８に載置する際に、支持板５８の基板挿入側（突出部６８の先端部側）の上部に先に基板７２が当接した場合であっても、支持板５８が支持片６６に対し浮くことがない。従って、支持片６６に対する支持板５８のずれ及び支持片６６と支持板５８との擦れによるパーティクル（異物）の発生を防ぐことができる。

なお、支持板５８の形状は、この実施形態のように円板状である必要はなく、上方から見て楕円や多角形をした板状部材として構成することもでき、この支持板５８の形状に応じて支持片６６の形状を変えることができる。また、支持板５８は、支持片６６に固定することもできる。

上記支持板５８の径は、基板７２の径より小さく、即ち、支持板５８の上面は、基板７２の下面である平坦面の面積より小さな面積を有し、基板７２は、該基板７２の周縁を残して支持板５８に支持されている。基板７２は例えば直径が３００ｍｍであり、したがって、支持板５８の直径は３００ｍｍ未満であり、１００ｍｍ〜２５０ｍｍ程度（基板外径の１／３〜５／６程度）が好ましい。また、支持板５８の厚さは、基板７２の厚さよりも厚くしてある。

支持板５８の上面には、接着防止層を形成することができる。この接着防止層は、例えばシリコン表面を処理することにより、又はＣＶＤ等によりシリコン表面上に堆積（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）することにより形成したシリコン窒化膜（ＳｉＮ）、炭化珪素皮膜（ＳｉＣ）、酸化珪素膜（ＳｉＯ２）、ガラス状炭素、微結晶ダイヤモンド等、耐熱性及び耐磨耗性に優れた材料からなり、基板７２の処理後に支持板５８と基板７２との接着を防止するようにしてある。接着防止層を炭化珪素製の膜とした場合、膜の厚さは、０．１μｍ〜５０μｍとすることが好ましい。炭化珪素製の膜を厚くすると、シリコンと炭化珪素との熱膨張率の差により、シリコン製の支持板５８が炭化珪素製の膜に引っ張られて支持板全体の変形量が大きくなり、この大きな変形によって基板７２にスリップが発生するおそれがある。これに対して炭化珪素製の膜を上記のような厚さとすると、シリコン製の支持板５８が炭化珪素製の膜に引っ張られる量が少なくなり、支持板全体の変形量も少なくなる。即ち、炭化珪素製の膜を薄くすると支持板５８と膜との熱膨張率の差による応力が低減し、支持板全体の変形量が少なくなり、支持板全体の熱膨張率も本来のシリコンの熱膨張率（基板がシリコンの場合は略同等の熱膨張率）に近づき、スリップの発生を防止できるものである。

上記実施形態においては、支持板５８の厚さを前述のような基板７２の厚さよりも厚い所定の厚さとしたので、支持板５８の剛性を大きくすることができ、基板搬入時、昇温、降温時、熱処理時、基板搬出時等における温度変化に対する支持板５８の変形を抑制することができる。これにより支持板５８の変形に起因する基板７２へのスリップ発生を防止することができる。また、支持板５８の材質を基板７２と同じ材質であるシリコン製、即ち、シリコン製の基板７２と同じ熱膨張率や硬度を持つ材質としたので、温度変化に対する基板７２と支持板５８との熱膨張、熱収縮の差をなくすことができ、また、基板７２と支持板５８との接触点で応力が発生してもその応力を開放し易くなるので、基板７２に傷が発生しにくくなる。これにより基板７２と支持板５８との熱膨張率の差や硬度の差に起因する基板７２へのスリップ発生を防止することができる。
なお、上記実施形態及び実施例の説明では、支持板の直径（面積）が基板よりも小さい場合について説明したが、基板直径よりも支持板直径を大きくすることもできる。この場合は、支持板５８の剛性を確保するため、支持板５８の厚さをさらに厚くする必要がある。

前述した基板移載機２６のツィーザ３２は、略Ｕ字状に形成され、開口部７０を有する。開口部７０の内側の幅は支持片６６の外側の幅よりも大きくなっており、ツィーザ３２は、支持片６６の厚さの一部を含む範囲内において支持具３０に挿入できるようになっている。即ち、図３（ｂ）に示すように、ツィーザ３２を支持具３０に挿入して基板７２を支持具に載置する状態においては、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面が、ツィーザ３２の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。したがって、ツィーザ３２を支持片６６の厚さを含む範囲で挿入し、基板７２の支持具３０への載置と支持具３０からの取り出しができるので、その分だけ基板間のピッチを小さくすることができる。

図５において、第１の実施形態における第１の変形例が示される。

この第１の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。即ち、支持板５８の直径は、支持片６６の幅よりも大きくなっており、支持板５８の下部（裏面）には凹部としての係合溝７８（嵌合部）が設けられている。この係合溝７８は、支持具３０の支持片６６の形状に対応するようＵ字状に形成されており、該支持片６６に係合溝７８が嵌合して、支持板５８が支持片６６に支持されている。

この支持片６６と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持板５８が、支持片６６に対し水平方向へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。例えば、この支持板５８に対して基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８が、支持具３０の支柱６４の方向（支持片６６の根元側）へ移動する（ずれる）のを防ぐことが可能となる。

図６において、第１の実施形態における第２の変形例が示される。

この第２の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持片６６および支持板５８の形状を異にしている。

支持片６６上面の基板挿入側付近には、凹部としての溝部８０（嵌合部）が形成され、この支持片６６の幅は支持板５８の直径と同等若しくはそれ以下となっている。また、支持板５８は、下部（裏面）に凹凸等のない単なる円板形状に形成されている。この支持片６６の溝部８０は、支持板５８の形状に対応するように上方から見て円状に形成されており、該支持片６６の溝部８０には支持板５８下部（裏面）の外周部が接触し、支持板５８の外周部が支持片６６に支持されている。

このように、支持片６６の溝部８０に支持板５８が支持されることにより、支持板５８が、支持片６６に対し、支持具３０の支柱６４の方向（支持片６６の根元側）へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。即ち、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の外周面（端面）が支持片６６の溝部８０の側壁に当接し、支持板５８が支持片６６に対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

図７において、第１の実施形態における第３の変形例が示される。

この第３の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持片６６の形状を異にしている。支持片６６上面の基板挿入側付近には、凹部としての溝部８０（嵌合部）が形成され、この支持片６６の幅は支持板５８の直径と同等若しくはそれ以下となっている。この支持片６６の溝部８０は、支持板５８の形状に対応するように、上方から見て円状に形成されており、該支持片６６の溝部８０には支持板５８裏面の外周部に設けられた係合溝７８（嵌合部）が嵌合し、支持板５８外周部が支持片６６に支持されている。

この支持片６６の溝部８０と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持片６６に対する支持板５８の移動（ずれ）をいずれの方向（水平方向）においても防ぐことが可能となる。

図８において、第１の実施形態における第４の変形例が示される。

この第４の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８の基板載置面には、基板７２と接触することなく外部に連通する非接触部８２が設けられている。この第１の実施形態における第４の変形例においては、非接触部８２は例えば１つの貫通孔８４から構成されている。この貫通孔８４は、支持板５８の中央部に設けられており、基板７２と同心円状であって基板７２の同心円を断面とする円筒として形成されている。この貫通孔８４の一端は支持板５８の基板載置面に開口し、他端は支持板５８の下面に開口して外部と連通するようになっている。支持板５８の貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面は、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、支持板５８の貫通孔８４を塞がないようになっている。

後述するように、貫通孔８４は、一つに限られることなく複数設けることができ、例えば中央の貫通孔８４の周囲に複数設けることができる。また、貫通孔８４は、基板載置面の中央には設けることなく、それ以外の部分に複数設けるようにしてもよい。

このように、支持片６６は、この支持片６６に貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を貫通孔８４を通じてスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

図９において、第１の実施形態における第５の変形例が示される。

この第５の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８の直径は、支持片６６の幅よりも大きくなっており、支持板５８の下部（裏面）には凹部としての係合溝７８（嵌合部）が設けられている。この係合溝７８は、支持具３０の支持片６６の形状に対応するようＵ字状に形成されており、該支持片６６に係合溝７８が嵌合して、支持板５８が支持片６６に支持されている。また、上述した第１の実施形態における第４の変形例と同様に、支持板５８の中央部には、例えば１つの貫通孔８４が設けられている。支持板５８の貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面は、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、支持板５８の貫通孔８４を塞がないようになっている。

このように、支持片６６は、この支持片６６に貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を貫通孔８４を通じてスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

また、この支持片６６と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持片６６に対する支持板５８の移動（ずれ）をいずれの方向（水平方向）においても防ぐことが可能となる。

図１０において第１の実施形態における第６の変形例が示される。

この第６の変形例は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８は、例えば４つの貫通孔８４を有する。これらの貫通孔８４は、この貫通孔８４の中心が支持板５８の同心円上に位置するように形成されている。支持板５８の４つの貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面は、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、支持板５８の４つ全ての貫通孔８４を塞がないようになっている。

このように、支持片６６は、この支持片６６に複数の貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を複数の貫通孔８４を通じてよりスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

次に、図１１及び図１２において、第２の実施形態が示されている。

この第２の実施形態は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持片６６および支持板５８の形状を異にしている。即ち、支持片６６は、上方から見てＭ字状に形成されて水平方向に延び、後述するツィーザ３２の挿入側（基板移載機２６側）に向かって三角形状に突出する突出部６８を有する。この突出部６８の先端は、２本の支柱６４，６４を結ぶ直線よりもツィーザ側に突出している。該支持片６６は、支柱６４に対して垂直方向に一定間隔隔てて多数形成され、該多数の支持片６６にそれぞれ支持板５８が支持されている。支持板５８は円板状で、この支持板５８の中心は、２本の支柱６４，６４を結ぶ直線上にある。この支持板５８の中心と基板７２の中心とが一致するように、支持板５８に基板７２が支持される。

ここで、支持板５８を支持片６６に支持した際、支持片６６の支持板５８を支持する箇所が支持板５８の重量により変形するといった問題が起きる。しかしながら、支持板５８と基板７２の重心が２本の支柱６４，６４を結ぶ直線上にあり、支持片６６が左右対称の形状をしているため、基板７２を支持板５８に載置した際、応力は２本の支柱６４，６４に均等にかかり、支持片６６が変形しても支持板５８が傾くことは殆どなく鉛直に変形する。よって、基板７２のずれ等を防止して安定した処理が可能となる。

また、支持板５８の下部（裏面）には凹部としての係合溝７８（嵌合部）が設けられている。この係合溝７８は、支持具３０の支持片６６の形状に対応するようＭ字状に形成されており、該支持片６６に係合溝７８が嵌合して、支持板５８が支持片６６に支持されている。この支持片６６と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持片６６に対する支持板５８の移動（ずれ）をいずれの方向（水平方向）においても防ぐことが可能となる。

また、上述した支持板５８裏面の係合溝７８の厚さ方向の深さは、支持片６６の厚さ方向の高さと同一となっている。すなわち、支持板５８と支持片６６が厚さ方向の一部において重なるようになっている。

このように、支持板５８と支持片６６が厚さ方向の少なくとも一部において重なるような構成とすることにより、支持片６６で支持板５８を支持した状態における支持板５８と支持片６６との合計の厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

この第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、ツィーザ３２を支持片６６の厚さの範囲内で挿入することができる。ツィーザ３２の先端は、支持片６６の形状に対応して斜めに切り欠いた切欠き部９０が形成されており、ツィーザ３２が支持片６６に干渉することなく、ツィーザ３２の先端が基板７２の中心線を超えたところまで届くようにして基板７２を支持することができる。

上述したように、図２５及び図２６に示す比較例においては、ツィーザ３２と支持片６６との干渉を避けるために、支持板５８の厚さを少なくとも６．５ｍｍ以上とする必要がある。一方、本発明に係る第２の実施形態においては、基板７２を支持板５８上に載置する際、ツィーザ３２の下方に支持片６６がないため、ツィーザ３２を下げ過ぎても支持片６６と干渉することはない。よって比較例では考慮する必要があった干渉防止のための距離を何ら考慮する必要がなく、その分ピッチを狭くすることができる。
即ち、比較例においては、支持板５８の厚さは、干渉防止のため少なくとも６．５ｍｍ必要であるが、上記実施形態においては、１ｍｍ〜４ｍｍ程度にまで薄くすることができる。更には１ｍｍ以下とすることもできる。これにより支持板５８の重量が減るので、これを支える支持片６６の厚さも薄くすることができる。支持片６６の厚さは、比較例においては３ｍｍ程度必要であるが、上記実施形態においては約１．５ｍｍ〜２ｍｍ程度まで薄くすることができる。なお、基板７２を移載する隙間は比較例と同様に４ｍｍ程度確保する必要がある。

以上のことから、基板間ピッチは比較例では１３．５ｍｍ必要であったが、上記実施形態においては６．５ｍｍ程度まで狭くすることができる。しかしながら、ツィーザ３２のピッチの限界を考慮すると、基板間ピッチは、７．５ｍｍ程度とすることが好ましい。この場合、支持片６６と支持板５８の厚さには、ある程度自由度を持たせることができることとなる。基板間ピッチを７．５ｍｍとする場合、例えば支持片６６の厚さを１．５ｍｍ、支持板５８の厚さを３．５ｍｍ、基板７２を移載する隙間を４ｍｍとすればよい。

なお、支持片６６の形状はＭ字状に限られるものではない。

図１３において、第２の実施形態における第１の変形例が示される。

この第１の変形例は、前述した第２の実施形態と比較すると、支持片６６及び支持板５８の形状を異にしている。

支持片６６上面の突出部６８付近には、凹部としての溝部８０（嵌合部）が設けられている。この支持片６６の溝部８０は、支持板５８の形状に対応するように、上から見て支持板５８の直径とほぼ同一直径の円形状に形成されており、該支持片６６の溝部８０には支持板５８の下部（裏面）が接触し、支持板５８が支持片６６に支持されている。一方、支持板５８は、下部（裏面）に凹凸のない単なる円板形状に形成されている。

このように、支持片６６の溝部８０と支持板５８とが嵌合することにより、支持板５８が支持片６６に対し、基板挿入方向に向かって移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。即ち、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の外周面（端面）が支持片６６の溝部８０の側壁に当接し、支持板５８が支持片５８に対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

図１４において、第２の実施形態における第２の変形例が示される。

この第２の変形例は、前述した第２の実施形態と比較すると、支持片６６及び支持板５８の形状を異にしている。

支持片６６は、ツィーザ３２の挿入側（基板移載機２６側）に向かって略Ｕ字状に突出する突出部６８を有する。一方、支持板５８は、この支持板５８の中央部に例えば１つの貫通孔８４が設けられており、基板７２と同心円状であって基板７２の同心円を断面とする円筒として形成されている。この貫通孔８４の一端は支持板５８の基板載置面に開口し、他端は支持板５８の下面に開口して外部と連通するようになっている。支持板５８の貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面は、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、支持板５８の貫通孔８４を塞がないよう形成されている。

貫通孔８４は、一つに限られることなく複数設けることができ、例えば中央の貫通孔８４の周囲に複数設けることができる。また、貫通孔８４は、基板載置面の中央には設けることなく、それ以外の部分に複数設けるようにしてもよい。

このように、支持片６６は、この支持片６６に貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板７２と支持板５８との間の空気を貫通孔８４を通じてスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

図１５において第２の実施形態における第３の変形例が示される。

この第３の変形例は、前述した第２の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８は、例えば３つの貫通孔８４を有する。これらの貫通孔８４は、この貫通孔８４の中心が支持板５８の同心円上に位置するように形成されている。支持板５８の３つの貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面は、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、３つの貫通孔８４を避けるように蛇行して設けられ、支持板５８の３つ全ての貫通孔８４を塞がないようになっている。

このように、支持片６６は、この支持片６６に貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を複数の貫通孔８４を通じてよりスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

また、支持板５８の下部（裏面）には係合溝７８（嵌合部）が設けられている。この係合溝７８は、支持具３０の支持片６６の形状に対応するようＭ字状に形成されており、該支持片６６に係合溝７８が嵌合して、支持板５８が支持片６６に支持されている。この支持片６６と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、この支持片６６に対し支持板５８が水平方向へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

次に、図１６乃至図１９において、第３の実施形態が示される。

この第３の実施形態は、前述した第１の実施形態と比較すると、支持片６６および支持板５８の形状を異にしている。

図１６乃至図１９において、支持具３０は、本体部５６と支持板５８とから構成されている。本体部５６は、炭化珪素（ＳｉＣ）又はシリコンを含浸させた炭化珪素からなり、円板状の上板６０（図１に示す）、同じく円板状の下板６２（図１に示す）、及び上板６０と下板６２とを接続する例えば２本の組からなる３組の支柱６４，６４と、該３組の支柱６４，６４から延びる支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃとを有する。３組の支柱６４，６４は、互いに９０度ずつ隔てて配置され、ツィーザ３２が挿入される側に１８０度隔てて２組、ツィーザ３２の反挿入側（ツィーザが挿入される側と反対側）に１組設けられている。支持片６６ａ〜６６ｃは、例えば略Ｕ字状に形成されて３組の支柱６４，６４からそれぞれ水平方向に延びている。この支持片６６ａ〜６６ｃは、支柱６４，６４に対して垂直方向に一定間隔隔てて多数形成され、該多数の支持片６６ａ〜６６ｃにそれぞれ支持板５８が支持されている。この支持板５８の上面には基板７２の下面が接触するように基板７２が支持される。

第１の実施形態と同様に、支持片６６ａ〜６６ｃは２本の組からなる３組のそれぞれの支柱６４，６４をつなぐように３組のそれぞれの支柱６４，６４と一体的に構成されている。本実施形態の支持具３０は、第１の実施形態の支柱６４と支持片６６をスリム化（小型化）したものを互いに９０度ずつ隔てて３つ設けて構成されている。なお、支持片６６ａ〜６６ｃおよび３組の支柱６４，６４は、例えば３本の柱状部材を、支持片６６ａ〜６６ｃおよび３組の支柱６４となる部分を残して切削加工することによりそれぞれが一体ものとして形成される。

支持板５８は、例えばシリコン（Ｓｉ）製で円板状に形成されている。第３の実施形態における支持板５８は、支持板５８裏面に係合溝７８が形成されていない点で、第１の実施形態の支持板５８とは異なる。

基板移載機２６のツィーザ３２は、２股に分かれて略Ｕ字状に形成されている。該ツィーザ３２の内側の幅は支持板５８の直径よりも大きくなっており、ツィーザ３２は、支持板５８の厚さの一部を含む範囲内において支持具３０に挿入できるようになっている。

このツィーザ３２が挿入される側に配置された両側の支持片６６ａ，６６ｂの上面には、基板移載時にツィーザ３２と対向することとなる部分に凹部８８が設けられている。この凹部８８は、ツィーザ３２に対応して、支持片６６ａ，６６ｂの根元部分（支柱６４，６４側）の肉厚はそのまま残し、先端部分を薄肉にして形成したもので、支持板５８の載置位置及びツィーザ３２の挿入位置を含めて薄肉となっている。すなわち、支持片６６ａ，６６ｂの基板移載時にツィーザと対向することとなる部分から支持板５８を支持する側の端部にかけて凹部８８が設けられている。

このように、支持片６６ａ，６６ｂ上面の、少なくとも基板移載時にツィーザ３２と対向することとなる部分に凹部８８が設けられる構成とすることにより、基板移載時においてツィーザ３２下方に支持片６６ａ，６６ｂが位置する場合であっても、支持片６６ａ〜６６ｃで支持板５８を支持した状態における支持板５８と支持片６６ａ，６６ｂとの合計厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

つまり、支持片６６ａ，６６ｂの少なくとも一部を含む範囲内でツィーザが挿入できるようにしたので、少なくとも支持片６６ａ，６６ｂの厚さの一部に相当する分だけ基板間のピッチを狭くすることができる。

即ち、図１８に示すように、基板挿入時の基板厚さ＋上下クリアランスをａ２、ツィーザダウン時のツィーザ厚さ＋上下クリアランスをｂ２、支持片部６６ａ，６６ｂの凹部８８を形成した先端部分（薄肉部）の厚さをｃ２とすると、基板間ピッチＰ２は、ａ２＋ｂ２＋ｃ２で表される。
したがって、図２６に示した従来例と比較すると、凹部８８を形成した分だけ、ｃ２＜ｃ１となり、基板間ピッチもＰ２＜Ｐ１とすることができる。

換言すると、支持片６６ａ，６６ｂ上面にツィーザ３２に対応する凹部８８を設けたので、この支持片の凹部８８の分だけツィーザを逃がすことができ、そのため基板間ピッチを縮小することができる。

また、支持片６６ａ，６６ｂの根元部分（支柱６４側）の肉厚は、従来と変わらないので、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの強度は従来とそれ程変わらない程度に維持することができる。なお、支持片６６ａ，６６ｂの根元部分の厚さは、支持片６６ａ，６６ｂの上面が支持板５８の上面よりも高くならないように設定されており、基板７２と支持片６６ａ，６６ｂの根元部分との接触を避けるようにしている。

一方、ツィーザ３２の反挿入側に配置された支持片６６ｃは、ツィーザ３２とは干渉しない位置にあるので、ツィーザ３２との干渉を避けるための凹部を形成する必要はない。ただし、支持片６６ｃの上面先端には、支持片６６ａ，６６ｂの凹部８８上面との高さを揃えるために、段部８６が形成されている。

次に基板７２を支持具３０に対して移載する方法について説明する。
支持具３０には予め支持板５８が載置されている。まず、図１９（ａ）に示すように、ツィーザ３２上に基板７２を載置する。次に、図１９（ｂ）に示すように、基板７２を載置したツィーザ３２を支持板５８及び支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃ上部と、それらの上方に隣接して設けられた支持板５８及び支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃ下部とに囲まれた空間に挿入する。このとき、ツィーザ３２は、支持板５８の両側の支持片６６ａ，６６ｂに形成された凹部８８の上部位置に挿入される。次に、図１９（ｃ）に示すように、ツィーザ３２を下方に所定距離移動させることにより、基板７２を支持板５８上に載置する。このとき、両側の支持片６６ａ，６６ｂ上面には凹部８８が形成されているので、この凹部８８によりツィーザ３２と支持片６６ａ，６６ｂとの干渉が避けられる。すなわち、ツィーザ３２と支持片６６ａ，６６ｂとの干渉を避けつつ、ツィーザ３２を支持片６６ａ，６６ｂの根元部分の上面よりも下方へ移動させることが可能となる。そして、図１９（ｄ）に示すように、ツィーザ３２を引き抜くことで基板７２の支持具３０に対する移載が完了する。

図２０において、第３の実施形態における第１の変形例が示される。

この第１の変形例は、前述した第３の実施形態と比較すると、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの形状を異にしている。

支持具３０は、複数の支柱６４を有し、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは２本の組からなる３組のそれぞれの支柱６４，６４をつなぐように３組のそれぞれの支柱６４，６４と一体的に構成され、支持片６６ａ〜６６ｃおよび支柱６４は、Ｓｉ含浸ＳｉＣ製である。

支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃ上面には、凹部としての溝部８０（嵌合部）が設けられている。この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０は、この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃ上面の支持板５８裏面と接触する部分に設けられ、上方から見て支持板５８の直径とほぼ同一直径の円形状に形成されている。この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０には支持板５８の下部（裏面）が接触し、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに支持されている。すなわち、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃには、お互い（支持板５８及び支持片６６ａ〜６６ｃ）が嵌合する溝部８０（嵌合部）が設けられ、支持板５８と支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃが厚さ方向の一部において重なるように構成される。

このように、支持板５８と支持片６６ａ〜６６ｃが厚さ方向において少なくとも一部重なる構成すなわち溝部８０の深さと支持片６６ａ〜６６ｃの幅（高さ）が厚さ方向において重なる構成とすることにより、支持片６６ａ〜６６ｃで支持板５８を支持した状態における支持板５８と支持片６６ａ〜６６ｃとの合計厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

また、上述したように、支持片６６ａ〜６６ｃには、お互い（支持板５８及び支持片６６ａ〜６６ｃ）が嵌合する溝部８０（嵌合部）が設けられることにより、支持片６６ａ〜６６ｃに対する支持板５８の位置決めを可能とし、支持板５８のずれおよび支持板５８の落下を防止できる。すなわち、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０とほぼ同一径の支持板５８とが嵌合することにより、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し、支持板５８がそれぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの根元側へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。例えば、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の外周面（端面）が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０の側壁に当接することにより、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

また、上述したように、支持具３０は、複数の支柱６４を有し、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは２本の組からなる３組のそれぞれの支柱６４，６４をつなぐように３組のそれぞれの支柱６４，６４と一体的に構成され、支持片６６ａ〜６６ｃおよび支柱６４は、Ｓｉ含浸ＳｉＣ製とすることにより、Ｓｉ含浸ＳｉＣ製の本体部５６、すなわち、複数の支柱６４と支持片６６ａ〜６６ｃを、強度を保ちつつ一体ものとして製作できる。

図２１において、第３の実施形態における第２の変形例が示される。

この第２の変形例は、前述した第３の実施形態と比較すると、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの形状を異にしている。

支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃ上面の先端部には、溝部８０（嵌合部）が設けられている。この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０は、支持板５８の形状に対応するように、上方から見て支持板５８の直径とほぼ同一直径の円形状に形成されており、該支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０には支持板５８の下部（裏面）が接触し、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに支持されている。

このように、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０とほぼ同一径の支持板５８とが嵌合することにより、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し、支持板５８がそれぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの根元側へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。例えば、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の外周面が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの溝部８０の側壁に当接し、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

また、ツィーザ３２が挿入される側に配置された両側の支持片６６ａ，６６ｂの上面の少なくともツィーザ３２と対向することとなる部分には、凹部８８が形成されている。この凹部８８は、支持片６６ａ，６６ｂの根元部分（支柱６４側）の肉厚はそのまま残し、少なくともツィーザと対向することとなる部分を薄肉にして形成したもので、ツィーザ３２の挿入位置よりも外側から支持板５８の載置位置の手前にかけて薄肉となっている。なお、支持板５８の載置位置すなわち溝部８０は、凹部８８よりもさらに薄肉となっている。すなわち、支持片６６ａ，６６ｂは、根元部分の肉厚はそのまま残しつつ、凹部８８に対応する部分で薄肉となり、溝部８０に対応する部分で更に薄肉となり、２段階で薄肉となっている。

この第２の変形例においては、支持部５８と支持片６６ａ，６６ｂとが厚さ方向の少なくとも一部において、すなわち、厚さ方向で支持片６６ａ，６６ｂの溝部８０および凹部８８の深さの合計分だけ重なっており、その分だけ支持板５８と支持片６６ａ，６６ｂとの厚さの合計を小さくでき、基板間ピッチを縮小することができる。

図２２において、第３の実施形態における第３の変形例が示される。

この第３の変形例は、前述した第３の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８は、厚さが薄い周辺部（外周部）７４と、厚さが厚い中央部７６とを有し、この周辺部７４の下部（裏面）に係合溝７８（嵌合部）が形成されている。支持板５８は、この支持板５８の係合溝７８がそれぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの先端部に嵌合し、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに支持されている。

この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの先端部と支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持片６６は、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し、支持板５８がそれぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの根元側へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。例えば、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の係合溝７８の部分の外周面が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの先端部に当接しているので、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

また、ツィーザ３２が挿入される側に配置された両側の支持片６６ａ，６６ｂの上面には、凹部８８が形成されている。この凹部８８は、ツィーザ３２に対応して、支持片６６ａ，６６ｂの根元部分の肉厚はそのまま残し、先端部分を薄肉にして形成したもので、支持片５８の載置位置及びツィーザ３２の挿入位置を含めて薄肉となっている。このように支持片６６ａ，６６ｂのツィーザ３２に対応する部分を薄くできるので基板間ピッチを縮小することができる。

図２３において、第３の実施形態における第４の変形例が示される。

この第４の変形例は、前述した第３の実施形態と比較すると、支持板５８及び支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの形状を異にしている。

支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは、第３の実施形態と比較すると、これらの支持片６６ａの先端部と支持片６６ｂの先端部と支持片６６ｃの先端部との間の距離が短くなっている。即ち、それぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは、支持具３０の水平面における中心方向に向かって長く形成されている。

一方、支持板５８は、例えば３つの貫通孔８４を有している。これらの貫通孔８４は、例えばこの貫通孔８４の中心が支持板５８の同心円上に位置するように形成されている。このとき、支持板５８の３つの貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面が、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは、支持板５８の３つ全ての貫通孔８４を塞がないようになっている。

このように、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃは、この支持片６６に複数の貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を複数の貫通孔８４を通じてよりスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

また、ツィーザ３２が挿入される側に配置された両側の支持片６６ａ，６６ｂの上面には、凹部８８が形成されている。この凹部８８は、ツィーザ３２に対応して、支持片部６６ａ，６６ｂの根元部分の肉厚はそのまま残し、先端部分を薄肉にして形成したもので、支持片６６ａ，６６ｂの載置位置及びツィーザ３２の挿入位置を含めて薄肉となっている。このように支持片６６ａ，６６ｂのツィーザ３２に対応する部分を薄くできるので基板間ピッチを縮小することができる。

図２４において、第３の実施形態における第５の変形例が示される。

この第４の変形例は、前述した第３の実施形態と比較すると、支持板５８の形状を異にしている。

支持板５８は、厚さが薄い周辺部（外周部）７４と、厚さが厚い中央部７６とを有し、この周辺部７４の下部（裏面）に係合溝７８（嵌合部）が形成されている。支持板５８は、この支持板５８の係合溝７８がそれぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの先端部に嵌合して、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに支持されている。

この支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃと支持板５８の係合溝７８との嵌合により、支持板５８が、支持板５８が、支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し、それぞれの支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの根元側へ移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。例えば、この支持板５８に基板挿入方向に向かう力が作用した場合であっても、支持板５８の係合溝７８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃの先端部に当接しているので、支持板５８が支持片６６ａ，６６ｂ，６６ｃに対し移動する（ずれる）ことを防ぐことができる。

また、支持板５８の中央部には貫通孔８４が設けられており、この貫通孔８４は、基板７２と同心円状であって基板７２の同心円を断面とする円筒として形成されている。この貫通孔８４の一端は支持板５８の基板載置面に開口し、他端は支持板５８の下面に開口して外部と連通するようになっている。このとき、支持板５８の貫通孔８４の平面方向に投影して得る投影面が、支持片６６の平面方向に投影して得る投影面と重ならないようになっている。即ち、支持片６６は、支持板５８の貫通孔８４を塞がないようになっている。

このように、支持片６６は、この支持片６６に貫通孔８４を有する支持板５８を支持した場合であっても、支持板５８の貫通孔８４を塞ぐことがないので、基板載置時において基板と支持板との間の空気を貫通孔８４を通じてスムーズに逃がすことができ、基板の滑りを防止することができる。

また、ツィーザ３２が挿入される側に配置された両側の支持片６６ａ，６６ｂの上面には、凹部８８が形成されている。この凹部８８は、ツィーザ３２に対応して、支持片部６６ａ，６６ｂの根元部分の肉厚はそのまま残し、先端部分を薄肉にして形成したもので、支持片５８の載置位置及びツィーザ３２の挿入位置を含めて薄肉となっている。このように支持片６６ａ，６６ｂのツィーザ３２に対応する部分を薄くできるので基板間ピッチを縮小することができる。

本発明の熱処理装置は、基板の製造工程にも適用することができる。

ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエハの一種であるＳＩＭＯＸ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ Ｉｍｐａｎｔｅｄ Ｏｘｙｇｅｎ）ウエハの製造工程の一工程に本発明の熱処理装置を適用する例について説明する。

まずイオン注入装置等により単結晶シリコンウエハ内へ酸素イオンをイオン注入する。その後、酸素イオンが注入されたウエハを上記実施形態の熱処理装置を用いて、例えばＡｒ、Ｏ２雰囲気のもと、１３００°Ｃ〜１４００°Ｃ、例えば１３５０°Ｃ以上の高温でアニールする。これらの処理により、ウエハ内部にＳｉＯ２層が形成された（ＳｉＯ２層が埋め込まれた）ＳＩＭＯＸウエハが作製される。

また、ＳＩＭＯＸウエハの他，水素アニールウエハの製造工程の一工程に本発明の熱処理装置を適用することも可能である。この場合、ウエハを本発明の熱処理装置を用いて、水素雰囲気中で１２００°Ｃ程度以上の高温でアニールすることとなる。これによりＩＣ（集積回路）が作られるウエハ表面層の結晶欠陥を低減することができ、結晶の完全性を高めることができる。

また、この他、エピタキシャルウエハの製造工程の一工程に本発明の熱処理装置を適用することも可能である。

以上のような基板の製造工程の一工程として行う高温アニール処理を行う場合であっても、本発明の熱処理装置を用いることにより、支持片で支持板を支持した状態における支持板と支持片との合計厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

本発明の熱処理装置は、半導体装置の製造工程にも適用することも可能である。
特に、比較的高い温度で行う熱処理工程、例えば、ウェット酸化、ドライ酸化、水素燃焼酸化（パイロジェニック酸化）、ＨＣｌ酸化等の熱酸化工程や、硼素（Ｂ）、リン（Ｐ）、砒素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）等の不純物（ドーパント）を半導体薄膜に拡散する熱拡散工程等に適用するのが好ましい。
このような半導体デバイスの製造工程の一工程としての熱処理工程を行う場合においても、本発明の熱処理装置を用いることにより、支持片で支持板を支持した状態における支持板と支持片との合計厚さを薄くでき、基板間ピッチを縮小することができる。

本発明は、高温下で熱処理される基板の熱処理装置に利用することができるものである。

Claims (11)

1. 基板を処理する反応炉と、
   前記反応炉内で複数枚の基板を複数段に支持する支持具と、
   基板を載置するツィーザを具備し前記支持具に対して基板を移載する基板移載機と、
   を有する基板処理装置であって、
   前記支持具は、
   複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、
   この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片と、
   を有し、
   前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成され、
   前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
2. 請求項１記載の基板処理装置において、前記支持片の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分から前記支持板を支持する側の端部にかけて凹部が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
3. 請求項１又は２記載の基板処理装置において、
   前記支持片は、前記支持具の本体部から水平方向に延びるように形成され、
   前記支持片の前記本体部側の根元部分の方が、前記凹部が設けられる部分よりも厚くなるように構成されていることを特徴とする基板処理装置。
4. 請求項１又は２記載の基板処理装置において、
   前記支持片は、前記支持具の本体部から水平方向に延びるように形成され、
   前記支持片の前記本体部側の根元部分の方が、先端部分よりも厚くなるように構成されていることを特徴とする基板処理装置。
5. 請求項４記載の基板処理装置において、
   前記支持片は、前記支持片の根元部分の上面が前記支持板の上面よりも高くならないように構成されていることを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項１又は２記載の基板処理装置において、前記支持板は、基板よりも直径が小さい円板形状であることを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項６記載の基板処理装置において、
   前記ツィーザは基板を載置する部分が２股に分かれていることを特徴とする基板処理装置。
8. 請求項６記載の基板処理装置において、
   前記ツィーザは基板を載置する部分が２股に分かれており、前記ツィーザの２股に別れた部分の内側の幅は前記支持板の直径よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。
9. 複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片とを有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成される支持具に対し、基板を基板移載機のツィーザに載置して移載し、複数枚の基板を複数段に支持する工程と、
   前記支持具により支持した複数枚の基板を反応炉内に搬入する工程と、
   前記反応炉内で前記支持具により支持した複数枚の基板を熱処理する工程と、
   前記支持具により支持した熱処理後の複数枚の基板を前記反応炉より搬出する工程と、
   を有し、
   前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられ、基板移載時に前記ツィーザは前記凹部内に挿入されることを特徴とする基板の製造方法。
10. 複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片とを有し、前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成される支持具に対し、基板を基板移載機のツィーザに載置して移載し、複数枚の基板を複数段に支持する工程と、
    前記支持具により支持した複数枚の基板を反応炉内に搬入する工程と、
    前記反応炉内で前記支持具により支持した複数枚の基板を熱処理する工程と、
    前記支持具により支持した熱処理後の複数枚の基板を前記反応炉より搬出する工程と、を有し、
    前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に前記ツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられ、基板移載時に前記ツィーザは前記凹部内に挿入されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
11. 複数枚の基板を複数段に支持し、基板移載機により基板が移載される支持具であって、
    複数枚の基板のそれぞれと接触する複数の支持板と、
    この複数の支持板を複数段に支持する複数の支持片と、
    を有し、
    前記支持板と前記支持片とが厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成され、
    前記支持片上面の、少なくとも基板移載時に基板を載置して移載する前記基板移載機のツィーザと対向することとなる部分に凹部が設けられていることを特徴とする支持具。

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