JP4567547B2 - ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4567547B2 JP4567547B2 JP2005220490A JP2005220490A JP4567547B2 JP 4567547 B2 JP4567547 B2 JP 4567547B2 JP 2005220490 A JP2005220490 A JP 2005220490A JP 2005220490 A JP2005220490 A JP 2005220490A JP 4567547 B2 JP4567547 B2 JP 4567547B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas sensor
- sensor element
- protective layer
- spraying
- laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
Claims (8)
- 被測定ガス中の所定ガスの濃度に応じて電気的特性が変化するガスセンサ素子本体と、このガスセンサ素子本体を加熱するためのヒータとを積層させた軸線方向に延びる板状の積層体を有し、この積層体のうち少なくとも前記被測定ガスと接触することとなる先端面及び側周面を覆うように多孔質保護層が形成されたガスセンサ素子の製造方法であって、
焼成前の未焼成積層体を焼成して、前記積層体を作製する焼成工程と、
セラミック原料粉末を揮発性溶媒中に分散させたコート液を前記積層体にスプレーして未処理多孔質保護層を形成するスプレー工程と、
この未処理多孔質保護層が形成された前記積層体を、前記焼成工程の焼成温度よりも低温にて熱処理し、多孔質保護層を形成する熱処理工程とを含むことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。 - 前記揮発性溶媒に、エタノール及びメタノールの少なくともいずれか一方が含まれていることを特徴とする請求項1記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記スプレー工程では、前記積層体が軸線を中心として回転しつつ、前記積層体から所定間隔離れた位置から前記積層体の前記側周面に向かって一方向にスプレーを行うことを特徴とする請求項1又は2記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記スプレー工程は、前記積層体の先端面に向かってスプレーを行う第1スプレー工程と、第1スプレー工程の後、前記積層体の側周面に向かってスプレーを行う第2スプレー工程を有することを特徴とする請求項1又は2記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記スプレー工程では、前記積層体が軸線を中心として回転しつつ、前記積層体から所定間隔離れた位置から前記積層体の前記先端面及び前記側周面に向かって一方向にスプレーを行うことを特徴とする請求項1又は2記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記スプレー工程では、前回までのスプレー工程時に前記多孔質保護層の形成部位に付着しなかったセラミック粉末を、前記セラミック原料粉末と共に前記揮発性溶媒中に分散させることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記コート液は、前記セラミック原料粉末と前記揮発性溶媒のみからなることを特徴とする請求項1〜6いずれか1項記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 請求項1〜7いずれか1項記載のガスセンサ素子の製造方法を用いて製造したことを特徴とするガスセンサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220490A JP4567547B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220490A JP4567547B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010106480A Division JP2010164591A (ja) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007033374A JP2007033374A (ja) | 2007-02-08 |
JP4567547B2 true JP4567547B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=37792809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005220490A Expired - Fee Related JP4567547B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4567547B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4894829B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2012-03-14 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
JP5022170B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2012-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
US8656756B2 (en) | 2007-10-17 | 2014-02-25 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor |
JP5344675B2 (ja) | 2007-10-17 | 2013-11-20 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
JP5198832B2 (ja) | 2007-11-06 | 2013-05-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
JP4996527B2 (ja) * | 2008-04-14 | 2012-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP5218602B2 (ja) | 2011-05-27 | 2013-06-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びその製造方法、並びにガスセンサ |
JP6936025B2 (ja) | 2017-03-08 | 2021-09-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63300955A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的素子 |
JPH054858A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | Murata Mfg Co Ltd | セラミツク成形体の製造方法 |
JP2001099806A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素センサ素子の製造方法 |
JP2001281210A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガス検出素子およびガスセンサ |
JP2003322632A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ |
JP2004138451A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Denso Corp | ガスセンサ素子の製造方法 |
JP2006250537A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Kyocera Corp | ガスセンサー素子およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-07-29 JP JP2005220490A patent/JP4567547B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63300955A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的素子 |
JPH054858A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | Murata Mfg Co Ltd | セラミツク成形体の製造方法 |
JP2001099806A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素センサ素子の製造方法 |
JP2001281210A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガス検出素子およびガスセンサ |
JP2003322632A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-11-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ |
JP2004138451A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Denso Corp | ガスセンサ素子の製造方法 |
JP2006250537A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Kyocera Corp | ガスセンサー素子およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007033374A (ja) | 2007-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4567547B2 (ja) | ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JP6014000B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4014513B2 (ja) | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ | |
JP5173042B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
JP6059110B2 (ja) | センサ素子およびセンサ | |
JP5373835B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP6533426B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4570091B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4014623B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6169946B2 (ja) | ガスセンサ素子、ガスセンサおよびガスセンサ素子の製造方法 | |
JP2007206082A (ja) | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ | |
JP2006171013A (ja) | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及び積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ | |
JP4383897B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 | |
JP4050542B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JP4093784B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JP2007132954A (ja) | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及び積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ | |
JPH08122297A (ja) | 酸素濃度検出器 | |
JP2010164591A (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
US20210389270A1 (en) | Sensor element of gas sensor | |
JP3677920B2 (ja) | 酸素濃度検出器 | |
JP4791834B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2005351741A (ja) | 酸素濃度検出素子 | |
JP2013007642A (ja) | ガスセンサ | |
WO2022224764A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP4262764B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100506 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100713 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4567547 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |