JP5173042B2 - ガスセンサの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、ガスセンサ素子本体とヒータとからなる積層体として、図2、3に示されるようなガスセンサ素子本体が主として酸素濃度検出セルと酸素ポンプセルとからなるものを用意した。一方、未焼成多孔質保護層を形成するためのコート液として、スピネル粉末とチタニア粉末との混合物にエタノールを加えたものを用意した。そして、図6(a)に示されるように、支持部材によって積層体の後端側を支持した状態で、その先端側からスプレーを行い、その後、図6(b)に示されるように、この積層体を回転させながら側方からスプレーを行い、積層体の先端部および側方部に未焼成多孔質保護層が形成された未焼成ガスセンサ素子を製造した。
ガスセンサ素子として、多孔質保護層の最大厚みTMAXを50μm〜800μmの間で変化させ、(TMAX−TMIN)/TMAXを0.2〜0.5とした複数のガスセンサ素子を製造した。なお、ガスセンサ素子の基本的な構造は実施例1と同様とし、多孔質保護層の最大厚みTMAX等の調整はスプレー時間と、スプレー距離とを変化させて行った。
ガスセンサ素子として、(TMAX−TMIN)/TMAXをおよそ0.1〜0.8の範囲で変化させ、TMINを400μm又はTMAXを800μmに固定した複数のガスセンサ素子を製造した。なお、ガスセンサ素子の基本的な構造は実施例1と同様とし、多孔質保護層の(TMAX−TMIN)/TMAX等の調整は未焼成多孔質保護層を形成する際のスプレー範囲を変化させて行った。
ガスセンサ素子として、最大厚みTMAXを500μm、最小厚みTMINを300μmかつ(TMAX−TMIN)/TMAXを0.4で一定とし、表面粗さRaのみを2〜20μm範囲で変化させたものを製造した。なお、ガスセンサ素子の基本的な構造は実施例1と同様とし、表面粗さRaの調整は未焼成多孔質保護層を形成する際のスプレーにおける距離、すなわち積層体とスプレー装置との距離を変化させることで行った。
Claims (2)
- 軸線方向に延びる板状形状をなし、先端部が被測定ガス中に晒され、被測定ガス中の特定成分を検出するためのガスセンサ素子と、該ガスセンサ素子の先端部を自身の先端から突出するようにして前記ガスセンサ素子を自身の内部に保持した略筒状の主体金具とを有し、前記ガスセンサ素子が、内部に発熱体を有するヒータ、及び板状の固体電解質体に一対の電極が配置された少なくとも1つのセルを有するガスセンサ素子本体が積層された積層体と、前記ガスセンサ素子の先端部となる積層体の部位を少なくとも覆う多孔質保護層とを有するガスセンサの製造方法であって、
前記積層体を、前記軸線方向を中心に回転させながら、前記軸線方向に垂直な方向から前記多孔質保護層の成分を含むコート液を、前記軸線方向が長径となる楕円形状に噴霧する工程を含むことを特徴とするガスセンサの製造方法。 - 前記楕円形状の長径が前記積層体の前記軸線方向における前記多孔質保護層の形成領域の長さの1.2倍以上であり、短径が前記積層体の幅の1.2倍以上であることを特徴とする請求項1記載のガスセンサの製造方法。
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