JP7261640B2 - ガスセンサのセンサ素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るセンサ素子(ガスセンサ素子)10の概略的な外観斜視図である。また、図2は、センサ素子10の長手方向に沿った断面図を含むガスセンサ100の構成の概略図である。センサ素子10は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知しその濃度を測定するガスセンサ100の、主たる構成要素であるセラミックス構造体である。センサ素子10は、いわゆる限界電流型のガスセンサ素子である。
センサ素子10においては、上述のような構成を有する素子基体1の一方端部E1から所定範囲の最外周部に、先端保護層2が設けられてなる。
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子10を製造するプロセスの一例について説明する。図4は、センサ素子10を作製する際の処理の流れを示す図である。
上述の実施の形態においては、3つの内部空室を備えたセンサ素子を対象としているが、センサ素子が3室構造であることは必須ではない。すなわち、センサ素子が、内部空室を2つあるいは1つ備える態様であってもよい。
2 先端保護層
3(3a、3b) 下地層
10 センサ素子
100 ガスセンサ
101 セラミックス体
101e 先端面
102 第一の内部空室
103 第二の内部空室
104 第三の内部空室
105 ガス導入口
141 外部ポンプ電極
142 内部ポンプ電極
143 補助ポンプ電極
145 測定電極
147 基準電極
150 ヒータ
160 電極端子
170(170a、170b) 主面保護層
22 内側先端保護層(内側層)
23 外側先端保護層(外側層)
P1 主ポンプセル
P2 補助ポンプセル
P3 測定用ポンプセル
Claims (5)
- ガスセンサのセンサ素子であって、
測定対象ガス成分の検知部を備えたセラミックス構造体である素子基体と、
前記素子基体のうち、前記検知部が備わる側の端部から所定範囲の外周部に設けられた多孔質層である先端保護層と、
を備え、
前記先端保護層の表面近傍部分における気孔率が15%以上30%未満であり、表面粗さRaの値が3μm~35μmであり、かつ、前記表面近傍部分に前記表面粗さRaが3μmを超える箇所が少なくとも存在する、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1に記載のセンサ素子であって、
前記先端保護層においては、前記表面近傍部分が、内側に存在する気孔率が30%~90%であり前記表面近傍部分よりも低熱伝導率の部分を覆っている、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - ガスセンサのセンサ素子であって、
測定対象ガス成分の検知部を備えたセラミックス構造体である素子基体と、
前記素子基体のうち、前記検知部が備わる側の端部から所定範囲の外周部に設けられた多孔質層である先端保護層と、
を備え、
前記先端保護層が、最外周部に、気孔率が15%以上30%未満であり、表面粗さRaの値が3μm~35μmであり、かつ、前記表面粗さRaが3μmを超える箇所が少なくとも存在する、外側先端保護層を備える、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項3に記載のセンサ素子であって、
前記先端保護層が、前記外側先端保護層の内側に、気孔率が30%~90%であり前記外側先端保護層よりも低熱伝導率の内側先端保護層をさらに備える、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のセンサ素子であって、
少なくとも前記素子基体の2つの主面上に設けられた下地層、
をさらに備え、
前記先端保護層は、前記端部と、前記下地層が形成されてなる前記2つの主面を含む前記素子基体の4つの側面とを覆うように設けられてなる、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019066786A JP7261640B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
CN202010173599.4A CN111751423A (zh) | 2019-03-29 | 2020-03-13 | 气体传感器的传感器元件 |
DE102020001747.9A DE102020001747A1 (de) | 2019-03-29 | 2020-03-16 | Sensorelement für einen gassensor |
US16/827,759 US20200309733A1 (en) | 2019-03-29 | 2020-03-24 | Sensor element for gas sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019066786A JP7261640B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020165816A JP2020165816A (ja) | 2020-10-08 |
JP7261640B2 true JP7261640B2 (ja) | 2023-04-20 |
Family
ID=72607197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019066786A Active JP7261640B2 (ja) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | ガスセンサのセンサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200309733A1 (ja) |
JP (1) | JP7261640B2 (ja) |
CN (1) | CN111751423A (ja) |
DE (1) | DE102020001747A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022143611A (ja) * | 2021-03-18 | 2022-10-03 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
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JP2017187482A (ja) | 2016-03-30 | 2017-10-12 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP2018169324A (ja) | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ素子 |
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JP6359373B2 (ja) * | 2013-09-05 | 2018-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP6451534B2 (ja) * | 2014-11-19 | 2019-01-16 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
US11204336B2 (en) * | 2016-03-30 | 2021-12-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
JP6761369B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-09-23 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ素子 |
-
2019
- 2019-03-29 JP JP2019066786A patent/JP7261640B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-13 CN CN202010173599.4A patent/CN111751423A/zh active Pending
- 2020-03-16 DE DE102020001747.9A patent/DE102020001747A1/de active Pending
- 2020-03-24 US US16/827,759 patent/US20200309733A1/en not_active Abandoned
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JP2017187482A (ja) | 2016-03-30 | 2017-10-12 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP2018169324A (ja) | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102020001747A1 (de) | 2020-10-01 |
US20200309733A1 (en) | 2020-10-01 |
JP2020165816A (ja) | 2020-10-08 |
CN111751423A (zh) | 2020-10-09 |
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