JP6451534B2 - ガスセンサ素子 - Google Patents
ガスセンサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6451534B2 JP6451534B2 JP2015139917A JP2015139917A JP6451534B2 JP 6451534 B2 JP6451534 B2 JP 6451534B2 JP 2015139917 A JP2015139917 A JP 2015139917A JP 2015139917 A JP2015139917 A JP 2015139917A JP 6451534 B2 JP6451534 B2 JP 6451534B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- measured
- layer
- solid electrolyte
- trap layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 241
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 88
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 claims description 46
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 claims description 46
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 46
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 31
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 24
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 claims description 20
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 9
- 239000002574 poison Substances 0.000 claims description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 12
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/41—Oxygen pumping cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
- G01N27/4072—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure characterized by the diffusion barrier
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4077—Means for protecting the electrolyte or the electrodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/409—Oxygen concentration cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—Specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0047—Specially adapted to detect a particular component for organic compounds
-
- G01N33/4975—
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N2001/2244—Exhaled gas, e.g. alcohol detecting
Description
このようなガスセンサには、例えば、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、その固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、被測定ガス側電極を覆うと共に被測定ガスを透過させる多孔質拡散抵抗層とを有するガスセンサ素子が内蔵されている。ガスセンサ素子は、固体電解質体が活性となる高温(例えば、500℃以上)に加熱された状態で使用される。そのため、排ガスに含まれる凝縮水がガスセンサ素子内に浸入し、高温の固体電解質体に付着すると、固体電解質体に大きな熱衝撃が加わり、被水割れが生じるおそれがある。
内燃機関で燃焼される燃料の燃料性状が悪い場合、燃料には、Mn、Fe、Ca等の被毒物質が多く含有される。これらの被毒物質が排ガスと共に排出され、表面保護層に付着すると、表面保護層における表面粗さに影響を及ぼす。そのため、表面保護層における表面粗度Raを3.0μm以下に維持することができず、高温時に撥水性が発現しない。これにより、ガスセンサ素子における耐被水性能が低下し、ガスセンサ素子内に水分が浸入するおそれがある。
該素子本体部の外周面を覆うと共に、上記被測定ガスに含まれる被毒物質を捕らえて該被測定ガスを透過させる、多孔質材料からなる被毒トラップ層と、
該被毒トラップ層の外周面を覆うと共に、水分を透過させない性質を有する、気孔率が5%以下の表面保護層とを備えており、
該表面保護層には、上記被毒トラップ層を介して上記被測定ガス側電極へ上記被測定ガスを導入するための被測定ガス導入口が1つ又は複数形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある。
上記ガスセンサ素子にかかる実施例について、図1〜図3を参照して説明する。
図1に示すごとく、ガスセンサ素子1は、素子本体部10と、素子本体部10の外周面を覆う被毒トラップ層2と、被毒トラップ層2の外周面を覆う表面保護層3とを有している。
素子本体部10は、酸素イオン伝導性の固体電解質体11と、固体電解質体11の一方の面に設けられた被測定ガス側電極12と、固体電解質体11の他方の面に設けられた基準ガス側電極13と、被測定ガス側電極12へ導く被測定ガスGを透過させる多孔質拡散抵抗層14とを有している。
被毒トラップ層2は、被測定ガスGを透過させる多孔質材料からなり、被測定ガスGに含まれる被毒物質を捕らえるものである。
表面保護層3は、水分を透過させない性質(防水性)を有しており、表面保護層3には、素子本体部10の内部、具体的には被毒トラップ層2及び多孔質拡散抵抗層14を介して被測定ガス側電極12へ被測定ガスGを導入するための一対の被測定ガス導入口31が形成されている。
図3に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、ガスセンサ100に用いられ、ガスセンサ100は、被測定ガス(排ガス)G中の特定ガス濃度(酸素濃度)に依存して電極12,13間を流れる限界電流を基にエンジンに供給される混合気の空燃比(A/F)を検出するA/Fセンサを構成する。
固体電解質体11における、基準ガス側電極13が設けられた面には、電気的絶縁性を有し、緻密でガスを透過させないアルミナからなる基準ガス室形成層18が積層されている。基準ガス室形成層18には、基準ガス(大気)Aが導入される、溝状の基準ガス室181が形成されている。
多孔質拡散抵抗層14における、固体電解質体11が配置された面とは反対側の面には、電気的絶縁性を有し、緻密でガスを透過させないアルミナからなる遮蔽層17が積層されている。多孔質拡散抵抗層14は、固体電解質体11と遮蔽層17との間に配置されている。
ガス導入路15の本体側導入口151には、被測定ガスGに含まれる水素を除去するための触媒層153が設けられている。触媒層153は白金系触媒からなる。
被毒トラップ層2は、粒径及び気孔率が互いに異なる第1トラップ層21と第2トラップ層22との2層構造を有している。尚、被毒トラップ層2は、1層構造を有していてもよく、3層以上の構造を有していてもよい。
第2トラップ層22は、粒径が約2μm〜8μmのセラミック粒子からなり、気孔率が約20%〜70%であり、素子本体部10における外周面の全面を覆うように形成されている。第2トラップ層22は、素子本体部10の4つの角部において、部分的に厚みが大きくなるように形成されている。
第1トラップ層21においては、被毒物等の異物のうち、比較的大きいものや粘性のあるものを被測定ガスGから分離する。そして、第2トラップ層22においては、第1トラップ層21を通過した小さな異物を被測定ガスGから分離する。これにより、被毒トラップ層2における目詰まりを防止し、効率よく被測定ガスGを被測定ガス室16へ導入することができる。
表面保護層3には、一対の被測定ガス導入口31が形成されている。被測定ガス導入口31は、ガス導入路15の本体側導入口151に外側から対向する位置に形成されている。
ガスセンサ素子1は、素子本体部10の外周面152を覆う被毒トラップ層2と、該被毒トラップ層2の外周面152を覆う表面保護層3とを備えている。そのため、ガスセンサ素子1における耐被水性及び耐被毒性を向上し、急速昇温時における損傷を抑制することができる。
本例は、図4に示すごとく、実施例1のガスセンサ素子1における表面保護層3の一対の被測定ガス導入口31の形成位置を変更したものである。本例の表面保護層3の一対の被測定ガス導入口31は、ガス導入路15の本体側導入口151と離れた位置に形成されている。より具体的には、被測定ガス導入口31は、素子本体部10における本体側導入口151が形成されていない角部と対向する位置に形成されている。
本例においても、その他の構成及び図中の符号が示す内容は、実施例1と同様である。
被測定ガス導入口31は、ガスセンサ素子1の設計条件に応じて、素子本体部10における種々の位置に形成することができる。
また、本例においても、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
本例は、図5に示すごとく、実施例1のガスセンサ素子1における表面保護層3の一対の被測定ガス導入口31の形成状態を変更したものである。本例の表面保護層3の各被測定ガス導入口31は、φ0.01mm〜φ1.5mmの多数の貫通孔によって形成されている。また、表面保護層3の各被測定ガス導入口31の形成位置は、実施例1の場合と同様に、本体側導入口151と対向する位置である。なお、多数の貫通孔による被測定ガス導入口31の形成位置は、本体側導入口151と対向しない種々の位置とすることもできる。
本例においても、その他の構成及び図中の符号が示す内容は、実施例1と同様であり、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
本例は、図6、図7に示すごとく、板形状の固体電解質体11を用いる代わりに、コップ形状の固体電解質体11Aを用いるガスセンサ素子1Aについて示す。
コップ形状の固体電解質体11Aは、円筒形状の部分111の端部が半球形状の部分112によって閉塞されて形成されている。被測定ガス側電極12は、固体電解質体11Aの円筒形状の部分111の外周に設けられており、基準ガス側電極13は、固体電解質体11Aの円筒形状の部分111の内周に設けられている。
固体電解質体11Aの外側には、被測定ガス側電極12を覆って保護するための、緩衝材等からなる内部保護層23が設けられている。また、内部保護層23の外側には、第1トラップ層21及び第2トラップ層22からなる被毒トラップ層2が設けられている。さらに、被毒トラップ層2の外側には、表面保護層3が設けられており、表面保護層3における、被測定ガス側電極12と対向する位置には、被測定ガス導入口31が形成されている。
本例においても、その他の構成及び図中の符号が示す内容は、実施例1と同様であり、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
10 素子本体部
11 固体電解質体
12 被測定ガス側電極
13 基準ガス側電極
14 多孔質拡散抵抗層
152 外周面
2 被毒トラップ層
3 表面保護層
31 被測定ガス導入口
Claims (6)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質体(11)と、該固体電解質体(11)の一方の面に設けられた被測定ガス側電極(12)と、上記固体電解質体(11)の他方の面に設けられた基準ガス側電極(13)とを有する素子本体部(10)と、
該素子本体部(10)の外周面(152)を覆うと共に、被測定ガス(G)に含まれる被毒物質を捕らえて該被測定ガス(G)を透過させる、多孔質材料からなる被毒トラップ層(2)と、
該被毒トラップ層(2)の外周面を覆うと共に、水分を透過させない性質を有する、気孔率が5%以下の表面保護層(3)とを備えており、
該表面保護層(3)には、上記被毒トラップ層(2)を介して上記被測定ガス側電極(12)へ上記被測定ガス(G)を導入するための被測定ガス導入口(31)が1つ又は複数形成されていることを特徴とするガスセンサ素子(1)。 - 上記固体電解質体(11)は板形状に形成されており、
上記素子本体部(10)は、上記被測定ガス側電極(12)へ被測定ガス(G)を導入するためのガス導入路(15)と、該ガス導入路(15)に配置された多孔質拡散抵抗層(14)とをさらに有しており、
上記ガス導入路(15)は、上記素子本体部(10)の角部における外周面(152)上に開口する本体側導入口(151)を有しており、
上記被測定ガス導入口(31)は、上記本体側導入口(151)に外側から対向する位置において、上記表面保護層(3)を貫通して形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記被測定ガス導入口(31)の総断面積は、上記本体側導入口(151)の総断面積よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ素子(1)。
- 上記被毒トラップ層(2)は、上記素子本体部(10)の外周面(152)を覆う第2トラップ層(22)と、該第2トラップ層(22)の外周面を覆い、上記第2トラップ層(22)を構成するセラミック粒子の粒径よりも大きい粒径のセラミック粒子によって構成された第1トラップ層(21)とによる2層構造を有しており、
上記第2トラップ層(22)は、上記素子本体部(10)の外周面(152)の4つの角部において、部分的に厚みが大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記被測定ガス導入口(31)は、0.5mm〜2.0mmの幅(W2)の範囲内で形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスセンサ素子(1)。
- 酸素イオン伝導性のコップ形状の固体電解質体(11)と、該固体電解質体(11)の外周面に設けられた被測定ガス側電極(12)と、上記固体電解質体(11)の内周面に設けられた基準ガス側電極(13)とを有する素子本体部(10)と、
該素子本体部(10)の外周面(152)を覆うと共に、被測定ガス(G)に含まれる被毒物質を捕らえて該被測定ガス(G)を透過させる、多孔質材料からなる被毒トラップ層(2)と、
該被毒トラップ層(2)の外周面を覆うと共に、水分を透過させない性質を有する、気孔率が5%以下の表面保護層(3)とを備えており、
該表面保護層(3)における、上記被測定ガス側電極(12)に外側から対向する位置には、上記表面保護層(3)を貫通する貫通孔による被測定ガス導入口(31)が1つ又は複数形成されていることを特徴とするガスセンサ素子(1)。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE112015005222.4T DE112015005222T5 (de) | 2014-11-19 | 2015-11-02 | Gassensorelement |
US15/528,119 US10379077B2 (en) | 2014-11-19 | 2015-11-02 | Gas sensor element |
PCT/JP2015/080868 WO2016080176A1 (ja) | 2014-11-19 | 2015-11-02 | ガスセンサ素子 |
CN201580062926.6A CN107076696B (zh) | 2014-11-19 | 2015-11-02 | 气体传感器元件 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014234948 | 2014-11-19 | ||
JP2014234948 | 2014-11-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016105071A JP2016105071A (ja) | 2016-06-09 |
JP6451534B2 true JP6451534B2 (ja) | 2019-01-16 |
Family
ID=56102448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015139917A Active JP6451534B2 (ja) | 2014-11-19 | 2015-07-13 | ガスセンサ素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10379077B2 (ja) |
JP (1) | JP6451534B2 (ja) |
CN (1) | CN107076696B (ja) |
DE (1) | DE112015005222T5 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6693486B2 (ja) * | 2017-08-22 | 2020-05-13 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
US20190323986A1 (en) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | Delphi Technologies Ip Limited | Gas sensor |
JP7181811B2 (ja) * | 2019-02-26 | 2022-12-01 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
CN113439209A (zh) * | 2019-02-26 | 2021-09-24 | 日本碍子株式会社 | 传感器元件及气体传感器 |
JP7261640B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-04-20 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサのセンサ素子 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3671452B2 (ja) * | 1995-03-02 | 2005-07-13 | 株式会社デンソー | 酸素濃度検出器 |
US6210641B1 (en) * | 1997-07-09 | 2001-04-03 | Denso Corporation | Air-fuel ratio control system and gas sensor for engines |
JP3873398B2 (ja) * | 1997-09-09 | 2007-01-24 | 株式会社デンソー | 酸素センサ素子及びその製造方法 |
CN100520391C (zh) * | 2004-07-22 | 2009-07-29 | 日本特殊陶业株式会社 | 气体传感器及其制造方法 |
CN101008630A (zh) * | 2006-01-23 | 2007-08-01 | 株式会社电装 | 用于气体传感器的气体检测元件及制造该元件的方法 |
JP5287807B2 (ja) | 2009-10-28 | 2013-09-11 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP5387555B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2014-01-15 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
-
2015
- 2015-07-13 JP JP2015139917A patent/JP6451534B2/ja active Active
- 2015-11-02 US US15/528,119 patent/US10379077B2/en active Active
- 2015-11-02 CN CN201580062926.6A patent/CN107076696B/zh active Active
- 2015-11-02 DE DE112015005222.4T patent/DE112015005222T5/de active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112015005222T5 (de) | 2017-08-24 |
CN107076696A (zh) | 2017-08-18 |
JP2016105071A (ja) | 2016-06-09 |
US10379077B2 (en) | 2019-08-13 |
CN107076696B (zh) | 2019-07-12 |
US20170343505A1 (en) | 2017-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6451534B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
US8277625B2 (en) | Gas sensing device and gas sensor | |
US9829462B2 (en) | Gas sensor element and gas sensor | |
US8372256B2 (en) | Gas sensor element and gas sensor equipped with the same | |
JP5287807B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP5024243B2 (ja) | ガス濃度検出素子及びその製造方法 | |
US9753020B2 (en) | Gas sensor element, gas sensor, and method of manufacturing gas sensor element | |
JP4894829B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2011053158A (ja) | 積層型ガスセンサ素子、積層型ガスセンサ素子を備えたガスセンサ、及び、積層型ガスセンサ素子の製造方法 | |
WO2016080176A1 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP2010107409A (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP6686408B2 (ja) | ガスセンサ | |
CN111051870B (zh) | 气体传感器元件及气体传感器 | |
US10996193B2 (en) | Gas sensor element and gas sensor | |
JP6693486B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JPS6293653A (ja) | 加熱センサ | |
JP6493133B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2011064585A (ja) | ガスセンサ | |
JP2008151557A (ja) | ガスセンサ素子及びこれを用いたガスセンサ | |
US10746690B2 (en) | Solid electrolyte gas sensor element and gas sensor | |
CN114026413A (zh) | 气体传感器及其制造方法 | |
US10801988B2 (en) | Gas sensor | |
JP2020165816A (ja) | ガスセンサのセンサ素子 | |
JP7024696B2 (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181126 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6451534 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |