JP2011053158A - 積層型ガスセンサ素子、積層型ガスセンサ素子を備えたガスセンサ、及び、積層型ガスセンサ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層型ガスセンサ素子は、固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、抵抗発熱体を内部に有するヒータ素子と、を積層する構成を有している。積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されている。多孔質保護層の表面には、50μm×50μmの領域内に、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔が、10個以上存在すると共に、100μm×100μmの領域内に、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔が、1個以上20個未満存在する。
【選択図】図7
Description
固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、
発熱抵抗体を内部に有するヒータ素子と、
を積層することによって構成された被測定対象気体中の特定ガスを検出する積層型ガスセンサ素子であって、
前記積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも前記測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されており、
前記多孔質保護層の表面には、
50μm×50μmの領域内に、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔が、10個以上存在すると共に、
100μm×100μmの領域内に、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔が、1個以上20個未満存在することを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。
適用例1に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記多孔質保護層の表面における空孔率は、15%以上65%以下であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。
適用例1または2に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記多孔質保護層の厚さは、50μm以上500μm以下であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。
適用例1ないし3のいずれか一項に記載の積層型ガスセンサ素子を備えることを特徴とする、ガスセンサ。
固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、
発熱抵抗体を内部に有するヒータ素子と、
を積層することによって構成された被測定対象気体中の特定ガスを検出する積層型ガスセンサ素子の製造方法であって、
前記積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端部には、多孔質保護層が形成されており、
前記多孔質保護層を形成する工程は、
(a)前記多孔質保護層の原料となる粉末に、蒸気圧の異なる2種類以上の揮発性溶剤を混合してコート液を得る工程と、
(b)前記コート液を、前記積層型ガスセンサ素子の先端部を覆うように付着させる工程と、
(c)前記コート液を付着させた積層型ガスセンサ素子を焼成して、前記積層型ガスセンサ素子の先端部に前記多孔質保護層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。
適用例5記載の積層型ガスセンサ素子の製造方法において、
前記工程(a)において用いられるそれぞれの揮発性溶剤の蒸気圧の差は、0.5kPa以上であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。
適用例6記載の積層型ガスセンサ素子の製造方法において、
前記工程(a)において用いられる揮発性溶剤は、エタノール系の溶剤とガソリン系の溶剤とを含むことを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。
A.ガスセンサの構成:
B.ガスセンサ素子の構成:
C.ガスセンサ素子の先端部における多孔質保護層:
D.多孔質保護層の製造方法:
E.被水試験:
F.変形例:
図1は、本発明の一実施形態としてのガスセンサ100の外観図である。図2は、ガスセンサ100の断面図である。図1および図2において、図中下方が軸線AX方向の先端側を、図中上方が軸線AX方向の基端側を示す。このガスセンサ100は、内燃機関の排気管に装着され、排気ガス中の酸素の濃度をリニアに検出する全領域空燃比センサである。車両に搭載された電子制御ユニット(図示せず)は、このガスセンサ100によって検出された酸素濃度に基づいて、内燃機関に供給される混合気の空燃比のフィードバック制御を行う。
図3は、多孔質保護層124が形成された状態におけるガスセンサ素子120を示す説明図である。図4は、多孔質保護層124が形成される前のガスセンサ素子120を示す説明図である。ガスセンサ素子120は、軸線方向(図3及び図4中では左右方向)に延びる板状の検出素子130と、同じく軸線方向に延びる板状のヒータ素子160とが積層されて焼成一体化されることによって構成されている。なお、図3及び図4においては、図中左側が図1及び図2における先端側、図中右側が基端側に対応する。以下で説明する図5においても同様である。
図6は、多孔質保護層124の表面を走査型電子顕微鏡で観察した様子を示す説明図である。多孔質保護層124の表面には、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔と、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔とが形成されている。
図9は、多孔質保護層124の製造工程を示すフローチャートである。ステップS10では、多孔質保護層124の原料となるスピネル粉末とチタニア粉末とを調合し、さらに、蒸気圧の異なる2種類以上の揮発性溶剤を加えてコート液を得る。本実施例では、揮発性溶剤として、エーテル系の溶剤(蒸気圧1.20kPa)とガソリン系の溶剤(蒸気圧0.42kPa)との混合液を用いている。ステップS20では、得られたコート液をガスセンサ素子120の先端部にスプレーして乾燥させ、未焼成の多孔質保護層124を形成する。
多孔質保護層124の表面状態(大孔及び小孔の数)と、耐被水性能との関係を調べるために、多孔質保護層124の表面状態の異なる3種類の積層型ガスセンサ素子のサンプルを用いて、耐被水試験を行なった。以下では3種類のサンプルについて説明し、耐被水試験の手順については後述する。
(1)各サンプルの積層型ガスセンサ素子120のガス検出部121に熱伝対を付けて、ガス検出部121の温度が800〜900℃となるようにヒータを加熱する。
(2)ポンプセル137の初期電圧値を測定する。
(3)マイクロシリンジを用いて所定の滴下量の水を多孔質保護層124に20回連続で滴下する。
(4)再びポンプセル137の電圧値を測定し、初期電圧値から1%以上のずれが生じていたら、多孔質保護層124に割れが発生していると判定する。
(5)初期電圧値から1%以上のずれが生じていない場合には、1回当りの水の滴下量を増加して、初期電圧値から1%以上のずれが生じるまで、上記(3)、(4)を繰り返す。
なお、この発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
上記実施形態では、スプレーを用いてガスセンサ素子120にコート液を塗布していたが、この代わりに、ガスセンサ素子120をコート液に浸漬させることによって、ガスセンサ素子120にコート液を付着させることとしてもよい。
上記実施形態では、多孔質保護層124の原料として、スピネル粉末とチタニア粉末を用いていたが、これらの他にも、アルミナ粉末やムライト粉末等を主体とするセラミック粉末を用いることができる。
上記実施形態では、蒸気圧の異なる2種類以上の揮発性溶剤として、エーテル系の溶剤(蒸気圧1.20kPa)とガソリン系の溶剤(蒸気圧0.42kPa)とを用いていたが、この代わりに、蒸気圧の差が0.5kPa以上である2種類以上の揮発性溶剤を用いることとしてもよい。
101…プロテクタ
101c…導入孔
103…金属外筒
110…主体金具
110k…基端部
111…棚部
113…セラミックホルダ
114…第1粉末充填層
115…第2粉末充填層
116…金属カップ
117…加締リング
120…積層型ガスセンサ素子
120a…第1板面
120b…第2板面
121…ガス検出部
124…多孔質保護層
125…センサ用電極パッド(Vs電極パッド)
126…センサ用電極パッド(COM電極パッド)
127…センサ用電極パッド(Ip電極パッド)
128…ヒータ用電極パッド
129…ヒータ用電極パッド
130…検出素子
131…保護層
131a…第1面
132…多孔質体
133…スルーホール導体
134…スルーホール導体
135…スルーホール導体
136…ポンプセル
137…第1固体電解質層
137a…第1面
137b…第2面
138…第1電極部
139…第1リード部
140…第2電極部
141…第2リード部
142…スルーホール導体
143…スルーホール導体
145…スペーサ
145c…ガス検出室
146…拡散律速層
147…スルーホール導体
148…スルーホール導体
149…起電力セル
150…第2固体電解質層
150a…第1面
150b…第2面
151…第3電極部
152…第3リード部
153…第4電極部
154…第4リード部
155…スルーホール導体
160…ヒータ素子
161…第1絶縁層
162…第2絶縁層
162b…第2面
163…発熱抵抗体
164…ヒータリード部
165…ヒータリード部
166…スルーホール導体
167…スルーホール導体
170…セラミックスリーブ
170c…軸孔
181…セパレータ
181c…開口
182…センサ用接続端子
183…センサ用接続端子
184…センサ用接続端子
185…ヒータ用接続端子
186…ヒータ用接続端子
190…付勢金具
191…グロメット
193…センサ用リード線
194…センサ用リード線
195…センサ用リード線
196…ヒータ用リード線
197…ヒータ用リード線
Claims (7)
- 固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、
発熱抵抗体を内部に有するヒータ素子と、
を積層することによって構成された測定対象気体中の特定ガスを検出する積層型ガスセンサ素子であって、
前記積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも前記測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されており、
前記多孔質保護層の表面には、
50μm×50μmの領域内に、直径が1μm以上5μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である小孔が、10個以上存在すると共に、
100μm×100μmの領域内に、直径が8μm以上20μm以下で、且つアスペクト比が0.5以上2.0以下である大孔が、1個以上20個未満存在することを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記多孔質保護層の表面における空孔率は、15%以上65%以下であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1または2に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記多孔質保護層の厚さは、50μm以上500μm以下であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の積層型ガスセンサ素子を備えることを特徴とする、ガスセンサ。
- 固体電解質体上に一対の電極を備える検出素子と、
発熱抵抗体を内部に有するヒータ素子と、
を積層することによって構成された測定対象気体中の特定ガスを検出する積層型ガスセンサ素子の製造方法であって、
前記積層型ガスセンサ素子のうち、少なくとも測定対象気体に晒されることになる先端部には多孔質保護層が形成されており、
前記多孔質保護層を形成する工程は、
(a)前記多孔質保護層の原料となる粉末に、蒸気圧の異なる2種類以上の揮発性溶剤を混合してコート液を得る工程と、
(b)前記コート液を、前記積層型ガスセンサ素子の先端部を覆うように付着させる工程と、
(c)前記コート液を付着させた積層型ガスセンサ素子を焼成して、前記積層型ガスセンサ素子の先端部に前記多孔質保護層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。 - 請求項5記載の積層型ガスセンサ素子の製造方法において、
前記工程(a)において用いられるそれぞれの揮発性溶剤の蒸気圧の差は、0.5kPa以上であることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。 - 請求項6記載の積層型ガスセンサ素子の製造方法において、
前記工程(a)において用いられる揮発性溶剤は、エタノール系の溶剤とガソリン系の溶剤とを含むことを特徴とする、積層型ガスセンサ素子の製造方法。
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