JP6181517B2 - ガスセンサ素子、ガスセンサおよびガスセンサ素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明における「略直方体形状の素子本体部」とは、直方体形状の素子本体部はもちろんのこと、直方体形状の各辺に面取り部を設けた素子本体部も含む。また、面取り部を設けた素子本体部の場合、「素子本体部の先端における4つの頂点」は、面取り部と先端面との稜線を指す。
このように、保護層が先端側領域における4つの側面のそれぞれの少なくとも一部と接することで、先端側領域において保護層は素子本体部の側面との密着が低下することをより抑制でき、素子本体部からの保護層の剥離が生じがたくなる。
このような構成であれば、先端側領域において素子本体部と保護層との接触部分を十分に確保できるので、素子本体部からの保護層の剥離がより生じがたくなる。
つまり、このガスセンサ素子においては、1つの空間部が1つの頂点上のみに設けられるため、1つの空間部が複数の頂点にまたがることが無い。このため、素子本体部の先端側領域の外表面における空間部の占有領域が過大となるのを避けることができ、素子本体部と保護層との接触面積を十分に確保できる。
上記のガスセンサ素子においては、空間部は、複数備えられる、という構成を採ることができる。
なお、上記のガスセンサ素子においては、空間部は、素子本体部の先端における4つの頂点のうち対角に位置する2つの頂点のそれぞれに少なくとも設けられる、という構成を採ることができる。
このように、空間部の最大幅寸法が素子本体部の幅寸法の半分未満である構成であれば、素子本体部の先端側領域の外表面における空間部の占有領域が過大となるのを避けることができ、素子本体部の外表面における保護層との接触部分を十分に確保できる。
このように、上述のいずれかのガスセンサ素子を備えるガスセンサは、被水による熱衝撃で素子本体部の先端の頂点が破損することを抑制できるガスセンサ素子を備えている。また、このガスセンサ素子の保護層は、ディップ法で形成された従来の保護層よりも厚さ寸法を小さくできるとともに、従来の保護層よりも熱容量が小さくなる。
次に、本発明方法は、長手方向に延び、測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出する検知部を自身の先端側に有する略直方体形状の素子本体部と、少なくとも検知部を覆うように、素子本体部の先端面及び側面上に設けられる多孔質の保護層と、を備えるガスセンサ素子の製造方法である。
また、本発明のガスセンサによれば、従来よりも熱容量が小さい保護層を有するガスセンサ素子を備えた構成を実現できる。
なお、以下に示す実施形態では、ガスセンサの一種である酸素センサのうち全領域空燃比センサ(以下単に、空燃比センサともいう)を例に挙げる。具体的には、自動車や各種内燃機関における空燃比フィードバック制御に使用するために、測定対象となる排ガス中の特定ガス(酸素)を検出するガスセンサ素子(検出素子)が組み付けられるとともに、内燃機関の排気管に装着される空燃比センサを例に挙げて説明する。
[1−1.全体構成]
本実施形態のガスセンサ素子が使用される空燃比センサの全体の構成について、図1に基づいて説明する。図1は、空燃比センサの内部構成を表す断面図である。
[1−2.ガスセンサ素子の構成]
次に、本実施形態の要部であるガスセンサ素子7の構成について、図2〜図5に基づいて詳細に説明する。
図2に示す様に、ガスセンサ素子7は、長手方向(Y軸方向)に延びる長尺の板材である。なお、図2において、長手方向がガスセンサの軸線方向に沿う形態となる。また図2のZ軸方向は、長手方向に垂直な厚さ方向であり、X軸方向は、長手方向及び厚さ方向に垂直な幅方向である。
このようなガスセンサ素子7では、第1主面21の後端側(図3における右側)に3個の電極パッド25,27,29が形成され、第2主面23の後端側に2個の電極パッド31、33が形成されている。
図4に、ガスセンサ素子7の図2におけるA−A視端面を表す端面図を示す。図5に、ガスセンサ素子7の図4におけるB−B視端面を表す端面図を示す。
本実施形態の空燃比センサ1の製造方法について、図6〜図7に基づいて説明する。
図6は、ガスセンサ素子の成形体141の製造方法に関する説明図であり、図7は、ガスセンサ素子の製造途中段階を示す説明図である。
次に、この焼成積層体143の長手方向に伸びる4辺(第1辺H1,第2辺H2,第3辺H3,第4辺H4)に対して面取りを行い、第1長辺面取り部121,第2長辺面取り部122,第3長辺面取り部123,第4長辺面取り部124を形成する(図2、図4参照)。具体的には、焼成積層体143の長手方向に伸びる4辺(第1辺H1,第2辺H2,第3辺H3,第4辺H4)を回転砥石に当接して、周知のC面取りを行う。これにより、素子本体部70を得る。
なお、未焼成保護層117の形成を行う前段階では、素子本体部70は揮発性溶剤118や未焼成保護層117を有さない状態である。
即ち、この工程では、上記製造方法で作製されたガスセンサ素子7を金属ホルダ51に挿入し、さらにガスセンサ素子7をセラミックホルダ41、滑石リング43で固定し、組み立て体を作製する。その後、この組み立て体を主体金具5に固定し、ガスセンサ素子7の軸線方向後端部側を滑石リング45、セラミックスリーブ9に挿通させつつ、これらを主体金具5に挿入する。
一方、外筒57、セパレータ13、グロメット61などを組みつけ、上部組立体を作製する。そして、下部組立体と上部組立体とを接合し、空燃比センサ1を得る。
本発明のガスセンサ素子における耐被水性能を確認するための被水試験の試験結果について説明する。
[1−5.効果]
以上説明したように、本実施形態の空燃比センサ1におけるガスセンサ素子7は、保護層17と素子本体部70との間に空間部18を備えている。
ここで、特許請求の範囲と本実施形態とにおける文言の対応関係について説明する。
第1主面21,第2主面23,第1側面111、第2側面113がそれぞれ素子本体部の側面の一例に相当し、空燃比センサ1がガスセンサの一例に相当する。
[2.他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。
なお、空間部を多数設ける場合や空間部を大きく形成する場合、保護層が素子本体部から剥離し難くなるように、保護層と素子本体部との接触面積を十分に確保するとよい。例えば、素子本体部の先端側領域E1における先端面及び側面の表面積のうち半分以上が保護層と接触することで、素子本体部からの保護層の剥離が生じがたいガスセンサ素子を実現できる。
Claims (10)
- 長手方向に延び、測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出する検知部を自身の先端側に有する略直方体形状の素子本体部と、少なくとも前記検知部を覆うように、前記素子本体部の先端面及び側面上に設けられる多孔質の保護層と、を備えるガスセンサ素子であって、
当該ガスセンサ素子は、前記素子本体部の前記側面上における前記保護層の最大厚さを有する部位よりも先端側の先端側領域のみに、前記素子本体部と前記保護層とが離間するように形成された少なくとも1つの空間部を備えており、
前記空間部は、前記素子本体部の先端における4つの頂点のうち少なくとも1つの頂点を構成する前記素子本体部の3つの面のそれぞれに延びるように、当該1つの頂点上に設けられており、
前記保護層は、前記先端面の少なくとも一部に接すると共に、前記先端側領域における4つの前記側面の少なくとも一部に接すること、
を特徴とするガスセンサ素子。 - 前記保護層は、前記先端側領域における4つの前記側面のそれぞれの少なくとも一部と接すること、
を特徴とする請求項1に記載のガスセンサ素子。 - 前記素子本体部は、自身の前記先端側領域における前記先端面及び前記側面の表面積のうち半分以上が前記保護層と接触すること、
を特徴とする請求項1または請求項2に記載のガスセンサ素子。 - 1つの前記空間部は、1つの前記頂点上のみに設けられること、
を特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子。 - 前記空間部は、複数備えられること、
を特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子。 - 前記空間部は、前記素子本体部の前記先端における4つの前記頂点のうち対角に位置する2つの頂点のそれぞれに少なくとも設けられること、
を特徴とする請求項5に記載のガスセンサ素子。 - 前記空間部は、前記頂点から前記素子本体部の幅方向に向かう最大幅寸法が、前記素子本体部の幅寸法の半分未満であること、
を特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子。 - 前記空間部は、前記頂点から前記素子本体部の厚さ方向に向かう最大厚さ寸法が、前記素子本体部の厚さ寸法の半分未満であること、
を特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子。 - 測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出するガスセンサ素子を備えるガスセンサであって、
前記ガスセンサ素子として、請求項1から請求項8のうちいずれか1項に記載のガスセンサ素子を備えること、
を特徴とするガスセンサ。 - 長手方向に延び、測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出する検知部を自身の先端側に有する略直方体形状の素子本体部と、少なくとも前記検知部を覆うように、前記素子本体部の先端面及び側面上に設けられる多孔質の保護層と、を備えるガスセンサ素子の製造方法であって、
前記ガスセンサ素子は、前記素子本体部の前記側面上における前記保護層の最大厚さを有する部位よりも先端側の先端側領域のみに、前記素子本体部と前記保護層とが離間するように形成された少なくとも1つの空間部を備えており、
前記空間部は、前記素子本体部の先端における4つの頂点のうち少なくとも1つの頂点を構成する前記素子本体部の3つの面のそれぞれに延びるように、当該1つの頂点上に設けられており、
前記保護層は、前記先端面の少なくとも一部に接すると共に、前記先端側領域における4つの前記側面の少なくとも一部に接し、
前記素子本体部の外表面のうち前記空間部の形成領域に対して揮発性溶剤を配置する溶剤配置工程と、
前記揮発性溶剤が残存する前記素子本体部に対して、少なくとも前記検知部を覆うように焼成後に前記保護層となる未焼成保護層を形成する保護層形成工程と、
前記未焼成保護層が形成された前記素子本体部に熱処理を行い、前記保護層を形成する熱処理工程と、
を有し、
前記溶剤配置工程の開始時から前記熱処理工程の終了時までの間に、前記揮発性溶剤を揮発させて前記空間部を形成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
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KR101776734B1 (ko) * | 2016-04-18 | 2017-09-08 | 현대자동차 주식회사 | 입자상 물질 센서 유닛 |
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JP4014513B2 (ja) | 2002-02-28 | 2007-11-28 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及びその製造方法、並びに積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ |
US7241370B2 (en) * | 2002-08-20 | 2007-07-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Protective covers for gas sensor, gas sensor and gas sensor manufacturing method |
JP4758117B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2011-08-24 | 京セラ株式会社 | ガスセンサー素子およびその製造方法 |
JP4706491B2 (ja) * | 2006-01-30 | 2011-06-22 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
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