JP7284088B2 - ガスセンサのセンサ素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るセンサ素子(ガスセンサ素子)10の概略的な外観斜視図である。また、図2は、センサ素子10の長手方向に沿った垂直断面図(厚み方向断面図)を含むガスセンサ100の構成の概略図である。センサ素子10は、被測定ガス中の所定ガス成分を検知しその濃度を測定するガスセンサ100の、主たる構成要素であるセラミックス構造体である。センサ素子10は、いわゆる限界電流型のガスセンサ素子である。センサ素子10は、いわゆる限界電流型のガスセンサ素子である。
センサ素子10においては、上述のような構成を有する素子基体1の一方端部E1から所定範囲の最外周部に、先端保護層2が設けられてなる。
r={(t/2)2+(T1c-T1p)2}/2(T1c-T1p) ・・・(1)
となる。
図2~図6においては、先端保護層2が単一層であるセンサ素子10を示していたが、先端保護層2は、2以上の層(単位層)が積層された積層構造を有していてもよい。
r=[(t/2)2+{(T1c+T2c)-(T1p+T2p)}2] /2{(T1c+T2c)-(T1p+T2p)} ・・・(2)
となる。
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子10を製造するプロセスの一例について説明する。図8は、先端保護層2が図7に示す態様にて内側先端保護層2aと外側先端保護層2bとを備える場合を例として、センサ素子10を作製する際の処理の流れを示す図である。
上述の実施の形態においては、3つの内部空室を備えたセンサ素子を対象としているが、センサ素子が3室構造であることは必須ではない。すなわち、センサ素子が、内部空室を2つあるいは1つ備える態様であってもよい。
1h ヒータ面
1p ポンプ面
2 先端保護層
2a 内側先端保護層
2b 外側先端保護層
2e (先端保護層の)先端部
2h (先端保護層の)ヒータ面部
2p (先端保護層の)ポンプ面部
2s (先端保護層の)外周面
10 センサ素子
100 ガスセンサ
101 セラミックス体
101e 先端面
102 第一の内部空室
103 第二の内部空室
104 第三の内部空室
105 ガス導入口
106 基準ガス導入口
110 第一の拡散律速部
115 緩衝空間
120 第二の拡散律速部
130 第三の拡散律速部
140 第四の拡散律速部
141 外部ポンプ電極
142 内部ポンプ電極
143 補助ポンプ電極
145 測定電極
147 基準電極
150 ヒータ
151 絶縁層
160 電極端子
170(170a、170b) 主面保護層
P1 主ポンプセル
P2 補助ポンプセル
P3 測定用ポンプセル
r 断面曲率半径
Claims (5)
- ガスセンサのセンサ素子であって、
測定対象ガス成分の検知部と、前記センサ素子を加熱するためのヒータとを内部に備えたセラミックス構造体である素子基体と、
前記素子基体のうち、少なくとも先端面を含む所定範囲の外周部に設けられた、1または複数の単位層からなる多孔質層である先端保護層と、
を備え、
前記先端保護層の前記先端面側における、前記センサ素子の長手方向に沿った垂直断面の曲率半径が、前記素子基体の厚みの1/2よりも大きくかつ3mm以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1に記載のセンサ素子であって、
前記素子基体の厚みが1mm以上1.5mm以下であり、
前記曲率半径が0.5mm以上2mm以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1または請求項2に記載のセンサ素子であって、
前記先端保護層のうち外周面をなす部分の気孔率が、15%以上30%以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項3に記載のセンサ素子であって、
前記先端保護層が内側先端保護層と外側先端保護層との2層からなり、
前記内側先端保護層の気孔率が30%以上80%以下であり、
前記外側先端保護層の気孔率が15%以上30%以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のセンサ素子であって、
前記先端保護層の前記先端面側における最大厚みが400μm以上800μm以下である、
ことを特徴とする、ガスセンサのセンサ素子。
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