JP4542587B2 - 電子部品検査装置用配線基板 - Google Patents
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Description
このため、例えば、単位検査パターンにおいて、プローブが取り付けられる検査用パッドを小径化し得ても、かかる小径化した検査用パッドとは別に形成され、且つセラミック基板内部のビア導体と該検査用パッドとを、電気的に接続するカバーパッドも大きくすることができない。
即ち、本発明の電子部品検査装置用配線基板(請求項1)は、複数のセラミック層を積層してなり、表面および裏面を有する基板本体と、係る基板本体の表面に形成された表面端子電極と、を含む電子部品検査装置用配線基板であって、1つの被検査電子部品が有する複数の端子電極にそれぞれ対応するように配置された複数の上記表面端子電極で構成される単位検査パターンは、平面視で格子状配置から縦方向および横方向の少なくとも一方にずれて配置され、上記表面端子電極の一部は、少なくとも上記単位検査パターン内に形成される検査用パッド、上記基板本体の表面に露出するビア導体と接続されるカバーパッド、およびこれらの両パッド間を接続する接続配線を備える、ことを特徴とする。
上記ずれは、単位検査パターンのサイズよりも小である。
このため、個々の単位検査パターンにおいて、表面端子電極を構成し、且つプローブが取り付けられる検査用パッドが小径化したり、隣接する検査用パッドとの間が小ピッチ化しても、該検査用パッドに接続配線を介して接続し、且つ基板本体内のビア導体とも接続するカバーパッドを大きくして配置することができる。
また、前記表面端子電極は、例えば、Ti薄膜層、Ni薄膜層、およびCuメッキ層の積層体と、その全表面を覆うNiおよびAuメッキ層で形成される。
更に、前記単位検査パターンは、前記基板本体の表面において、1つの被検査電子部品(被検査デバイス)が有する複数の端子電極に対応するように配置される複数の前記表面端子電極を構成している後述する複数の検査用パッドによって、初めて構成されるものである。
また、上記検査用パッド、カバーパッド、および接続配線は、研磨された表面に形成されたTi薄膜層、Ni薄膜層、およびCuメッキ層の積層体と、該積層体の全表面にメッキされたNiメッキ層およびAuメッキ層とから構成される。
これによれば、1つの単位検査パターンの各辺に沿って、当該パターンの内側に検査用パッドを、上記パターンの外側で隣接する単位検査パターンとの間の表面に大きなカバーパッドを、それぞれ容易に形成できると共に、両パッド間で且つ単位検査パターンの境界に跨って接続配線を容易に形成することが可能となる。
これによれば、単位検査パターン内の検査用パッドが小径化されても、該検査用パッドに対し、これよりも大きなカバーパッドを介して、前記ビア導体が導通されるので、検査用パッドへの給電や、被検査電子部品の検査信号の送電を、精度良く確実に行なわしめることができる。
更に、本発明には、前記カバーパッドは、接続すべき前記ビア導体よりも大径である、電子部品検査装置用配線基板(請求項4)も含まれる。
これによれば、大径のカバーパッドにビア導体を容易に接続できるので、複数のセラミック層からなる基板本体が製造時の焼成収縮による影響を受けても、該カバーパッドとビア導体との導通、および該カバーパッドを介したビア導体と検査用パッドとの導通を確実に取ることができる。
これによれば、大径のカバーパッドにビア導体を確実且つ容易に接続できる。
尚、カバーパッドの直径がビア導体の直径の2.5倍未満になると、製造時の焼成収縮の影響を受け易くなるので、かかる範囲を除外した。一方、ビア導体の直径に対するカバーパッドの直径の上限は、特に規定されないが、隣接して配置されるカバーパッドとの間隔を確保するためには、大体4倍程度が目安となる。
図1は、本発明と参考形態とに共通する電子部品検査装置用配線基板(以下、単に配線基板と言う)Kの要部と検査対象のSiウェハWの一部とを示す断面図、図2は、参考形態の配線基板Kの表面2の一部を示す平面図、図3は、図2中の部分拡大図で、且つ本発明とも共通するものである。
配線基板Kは、図1,図2に示すように、複数のセラミック層s1〜s8を積層してなり、表面2および裏面3を有する基板本体1と、該基板本体1の表面2に形成された複数の表面端子電極fと、を含んでいる。
基板本体1は、図1に示すように、セラミック層s1〜s5からなる第1積層体C1と、その下側に積層され且つセラミック層s6〜s8からなる第2積層体C2とからなる。第1積層体C1のセラミック層s1〜s5間には、電源用の配線層5,接地用である一対の配線層6,7、およびこれら挟まれた信号用の配線層8が形成されている。かかる配線層5〜8、および表面端子電極fのカバーパッドcpの相互間は、配線層5〜8を通過させるための貫通孔hを含むセラミック層s1〜s5を貫通するビア導体vを介して導通可能とされている。
尚、前記セラミック層s1〜s8は、アルミナなどの高温焼成セラミック、または、ガラス−セラミックなどの低温焼成セラミックからなり、これらに応じて、配線層5〜8、ビア導体v,V、およびランド10の導体にも、WまたはMo、あるいは、AgまたはCuなどが用いられる。
尚、上記単位検査パターンaを示す図2,図3中の矩形(長方形)の破線は、平面視でほぼ矩形枠を呈する複数の表面端子電極fにおいて、これらを構成する複数の検査用パッドpの最外側に接する接線が囲む平面視で矩形の想像線である。
尚、図示しないが、表面端子電極fには、ビア導体vと直に接続する検査用パッドpのみからなる表面端子電極fも含まれる。また、検査用パッドp、接続配線4、およびカバーパッドcpを含む表面端子電極fは、平坦に研磨された表面2上に成膜されたTi薄膜層、Ni薄膜層、およびその上に積層されたCuメッキ層と、これらの全表面に被覆されたNiおよびAuメッ層とから構成される。
1つの単位検査パターンaにおいて対向する辺ごとに沿って形成された表面端子電極fごとの検査用パッドpは、図1に示すように、追って取り付けられるプローブPを介して、電子部品cnごとの端子電極mと導通可能とされている。
換言すると、参考形態の配線基板Kの表面2の縦横方向において、複数の単位検査パターンaは、縦方向および横方向に沿って、隣接する単位検査パターンaとの間に、1つの該パターンaの長さ(長辺)および幅(短辺)よりも大きな間隔を置いて、即ち、縦および横方向にずれるようにして配置されている。
尚、図2中で示すように、表面端子電極fの一部は、単位検査パターンaの内側に、検査用パッドp、接続配線4、およびカバーパッドcpの全てを有する形態としても良い。あるいは、一部の表面端子電極fは、ビア導体vと直に接続する検査用パッドpのみからなる形態としても良い。
図3,図4に示すように、個々の表面端子電極fにおいて、カバーパッドcpの直径d2は、検査用パッドpの直径d1よりも大径である。更に、カバーパッドcpの直径d2は、その底面に接続されるビア導体vの直径d3の2.5倍以上である。因みに、検査用パッドpの直径d1は、約90〜100μmで、隣接する検査用パッドp,p間のピッチは、約120〜150μmである。また、カバーパッドcpの直径d2は、約150〜210μmであり、ビア導体vの直径d3は、約70〜85μmである。
このため、複数の単位検査パターンaを表面2に有する基板本体1を、複数のグリーンシートを積層した後に焼成して、前記セラミックs1〜s8とする焼成工程で焼成収縮が生じても、平面視における基板本体1の中心部はもとより、その外周辺部に位置する単位検査パターンaにおいても、ビア導体vとカバーパッドcpとが確実に接続される。
一方、被検査電子部品cnごとの端子電極mから検出された検査信号は、上記と逆の経路を経て、基板本体1の裏面3側の裏面パッド9に送信され、更に、これから外部の測定装置(図示せず)に送信される。
図5に示すように、SiウェハWの表面には、縦横に隣接して多数の電子部品c1〜c53が格子状に形成されている。先ず、図6中で斜めのクロスハッチングで示すように、前記配線基板Kにおいて、前記配置パターンを有する複数の単位検査パターンaによって、奇数番号の電子部品c1,c3…c53を同時に検査する。次に、例えば、配線基板Kを横方向に単位検査パターンaのほぼ幅サイズ相当分移動させた、単位検査パターンaによって、図7中の縦横のクロスハッチングで示すように、偶数番号の電子部品c2,c4…c52を同時に検査する。
上記配線基板Kの移動を横方向または縦方向に沿って、繰り返すことによって、SiウェハWに形成された多数の電子部品c1〜cnを、精度および効率良く検査することが可能となる。
図8に示す配置形態を有する第2の配線基板Kによれば、前記SiウェハWにおける多数の電子部品cnに対し、配線基板1を縦方向に沿って、前記横1列の単位検査パターンa相当分をずらして移動することで、多くの電子部品cnを精度および効率良く検査することが可能となる。
図9に示す配置形態を有する第2の配線基板Kによれば、前記SiウェハWにおける多数の電子部品cnに対し、配線基板1を横方向に沿って、前記縦1列の単位検査パターンa相当分をずらして移動することで、多くの電子部品cnを精度および効率良く検査することが可能となる。
図10に示す配置形態を有する第2の配線基板Kによれば、前記SiウェハWにおける多数の電子部品cnに対し、配線基板Kを縦方向あるいは横方向に沿って、縦1列および横1列の単位検査パターンa相当分をそれぞれずらして検査した後、更に横方向あるいは縦方向に沿って、上記同様にずらして検査することで、多くの被検査電子部品cnを精度および効率良く検査することが可能となる。
以上のような配置形態を有する本発明の配線基板Kによっても、前記SiウェハWにおける多数の電子部品cnに対し、基板本体1を縦方向あるいは横方向に沿って、適宜ずらす操作と検査とを交互に行うことで、多くの被検査電子部品cnを精度および効率良く検査することが可能となる。
例えば、前記基板本体は、少なくとも2層以上のセラミック層を積層したものであれば良い。
また、前記単位検査パターンは、検査すべき1つの被検査電子部品が有する複数の端子電極に対応して、平面視で正方形やほぼ正方形を呈する形態としたり、あるいは六角形などの正多角形、変形多角形、円形、長円形、あるいは楕円形などとしても良い。
更に、前記検査用パッドやカバーパッドの形状は、平面視で前記円形の形態に限らず、各コーナにアールを付けた角形状や、正多角形などにしても良い。
1……………………………基板本体
2……………………………表面
3……………………………裏面
4……………………………接続配線
s1〜s8…………………セラミック層
a……………………………単位検査パターン
f……………………………表面端子電極
p……………………………検査用パッド
cp…………………………カバーパッド
v……………………………ビア導体
cn…………………………被検査電子部品
m……………………………端子電極
g……………………………重心
d2,d3…………………直径
Claims (5)
- 複数のセラミック層を積層してなり、表面および裏面を有する基板本体と、
上記基板本体の表面に形成された表面端子電極と、を含む電子部品検査装置用配線基板であって、
1つの被検査電子部品が有する複数の端子電極にそれぞれ対応するように配置された複数の上記表面端子電極で構成される単位検査パターンは、平面視で格子状配置から縦方向および横方向の少なくとも一方にずれて配置され、
上記表面端子電極の一部は、少なくとも上記単位検査パターン内に形成される検査用パッド、上記基板本体の表面に露出するビア導体と接続されるカバーパッド、およびこれらの両パッド間を接続する接続配線を備える、
ことを特徴とする電子部品検査装置用配線基板。 - 前記単位検査パターンは、平面視で矩形を呈し、該単位検査パターンの各辺に沿って複数の検査用パッドが形成され、これらに囲まれた内側または該単位検査パターンの外側に各検査用パッドと専用の接続配線を介して個別に接続されたカバーパッドが形成され、
上記カバーパッドには、前記基板本体において、少なくとも表面を形成する最上層のセラミック層を貫通するビア導体が接続されている、
請求項1に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記カバーパッドは、前記検査用パッドよりも大きい、
請求項1または2に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記カバーパッドは、接続すべき前記ビア導体よりも大径である、
請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。 - 前記カバーパッドの直径は、前記ビア導体の直径の2.5倍以上である、
請求項1乃至4の何れか一項に記載の電子部品検査装置用配線基板。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8907694B2 (en) * | 2009-12-17 | 2014-12-09 | Xcerra Corporation | Wiring board for testing loaded printed circuit board |
JP5670806B2 (ja) * | 2011-04-01 | 2015-02-18 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック基板及びその製造方法 |
JP5690678B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2015-03-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 電子部品検査装置用配線基板およびその製造方法 |
KR101431915B1 (ko) * | 2012-12-21 | 2014-08-26 | 삼성전기주식회사 | 예비 공간 변환기 및 이를 이용하여 제조된 공간 변환기, 그리고 상기 공간 변환기를 구비하는 반도체 소자 검사 장치 |
US9648740B2 (en) * | 2013-09-30 | 2017-05-09 | Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc | Ceramic substrate including thin film multilayer surface conductor |
JP6234797B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2017-11-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板ビア配置決定装置、方法及びプログラム |
US10244629B1 (en) * | 2017-11-03 | 2019-03-26 | Innovium, Inc. | Printed circuit board including multi-diameter vias |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01123157A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Hitachi Ltd | 半導体lsi検査装置用プローブヘッド及びその製造方法 |
JPH11251383A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-09-17 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | テスト・ヘッド |
JP2001110858A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法、ならびにバーンイン装置 |
JP2003297887A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-17 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法および半導体検査装置 |
JP2004356597A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Sharp Corp | 半導体チップの検査方法及びそれに用いるプローブカード |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4495377A (en) * | 1982-12-30 | 1985-01-22 | International Business Machines Corporation | Substrate wiring patterns for connecting to integrated-circuit chips |
US5070297A (en) * | 1990-06-04 | 1991-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Full wafer integrated circuit testing device |
US6133744A (en) * | 1995-04-28 | 2000-10-17 | Nec Corporation | Apparatus for testing semiconductor wafer |
US5784262A (en) * | 1995-11-06 | 1998-07-21 | Symbios, Inc. | Arrangement of pads and through-holes for semiconductor packages |
CN1161838C (zh) * | 1997-10-17 | 2004-08-11 | 伊比登株式会社 | 封装基板 |
JP2002110751A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の検査装置および製造方法 |
JPWO2007017956A1 (ja) * | 2005-08-09 | 2009-02-19 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
JP4844080B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2011-12-21 | 日本電気株式会社 | 印刷配線板及びその電源雑音抑制方法 |
-
2008
- 2008-02-04 JP JP2008023722A patent/JP4542587B2/ja active Active
-
2009
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01123157A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Hitachi Ltd | 半導体lsi検査装置用プローブヘッド及びその製造方法 |
JPH11251383A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-09-17 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | テスト・ヘッド |
JP2001110858A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法、ならびにバーンイン装置 |
JP2003297887A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-17 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法および半導体検査装置 |
JP2004356597A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Sharp Corp | 半導体チップの検査方法及びそれに用いるプローブカード |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200935059A (en) | 2009-08-16 |
US20090200067A1 (en) | 2009-08-13 |
JP2009188009A (ja) | 2009-08-20 |
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KR20090085542A (ko) | 2009-08-07 |
TWI432732B (zh) | 2014-04-01 |
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