JP4486078B2 - テストハンドラー - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 193
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 33
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 74
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 9
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
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- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
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Description
また、本発明の他の目的は、テストトレーの姿勢変換及び予熱/予冷に必要な時間を確保しながらも、テストハンドラーで行われる全体過程にかかる時間を短縮しえる技術を提供することを目的とする。
前記第2動力源は、前記ソークチャンバーの外部に配置して前記温度制御手段の予熱/予冷作用から隔離されることを特徴とする。
先ず、テスト対象であるディバイスの積載されたテストトレーがソークチャンバーの内部に配置された姿勢変換装置、より具体的には、ソークチャンバーの内部に配置された回転体に把持されて姿勢変換を行うため、姿勢変換中や姿勢変換して並進移送装置に安着するまで持続的に予熱/予冷が行われるため、ディバイスをテストするためにかかる全体時間を短縮し得るという効果がある。
本発明に係るテストハンドラーは、ロード装置、ソーク姿勢変換装置(垂直姿勢変換装置)、ソークチャンバー、テストチャンバー、回復チャンバー、回復姿勢変換装置(水平姿勢変換装置)及びアンロード装置などを包含して構成され、それらの構成中、本発明の特徴とそれほど関連のないロード装置、テストチャンバー、回復チャンバー及びアンロード装置に関しては既に詳しい技術的内容が周知され、かつ、従来技術の説明部分で簡略に述べたので、その詳細な説明は省略する。
以下、このように構成された前記姿勢変換装置100の作動に対し、図6〜図10を参照して説明する。
ユーザートレーから水平状態のテストトレーにディバイスをロードする。
ディバイスのロードが終了すると、水平状態のテストトレーを垂直状態に姿勢変換しながら予熱/予冷させる。
垂直状態に姿勢変換されたテストトレーを持続的に予熱/予冷させながら垂直状態を維持した状態でテストチャンバー側に近い方向に並進移動させる。
ディバイスをテストするための環境が造成されたテストチャンバーに移動してきたテストトレーに収納されたディバイスをテストする。
テストが終了すると、テストトレーを垂直状態を維持した状態でテストチャンバー側から遠い方向に並進移動させながら高温/冷却状態のディバイスを常温に回復させ、次いでテストトレーを垂直状態から水平状態に姿勢変換させる。
水平状態に姿勢変換されたテストトレーに積載されたディバイスを、テスト結果に基づいて等級別に区分しながらユーザートレーにアンロードさせる。
110 回転体
111 第1動力源
120 ストッパー
121 第2動力源
122 第2動力伝達軸
130 フランジー
Claims (2)
- ユーザートレーに積載されたディバイスをテストトレーにロードさせるロード装置と、
前記ロード装置によりディバイスのロードが終了した前記テストトレーを収納するために設けられるソークチャンバーと、
前記ソークチャンバーの内部に進入し終わった前記テストトレーを把持した後に姿勢変換させる姿勢変換装置と、
前記ソークチャンバーから供給される前記テストトレーに積載されたディバイスをテストするために設けられるテストチャンバーと、
前記テストトレーが前記テストチャンバーに供給される前に、前記テストトレーに積載されたディバイスを予熱/予冷するために設けられる温度制御手段と、
前記テストチャンバーにおいてテストが終了したディバイスをユーザートレーにアンロードさせるアンロード装置と、
を備え、
前記温度制御手段は、
前記テストトレーが前記ソークチャンバーに進入し終わった後から前記姿勢変換装置により姿勢変換されるまでの間、前記テストトレーのディバイスを持続的に予熱/予冷し続け、
前記姿勢変換装置は、
前記ソークチャンバーの内部に位置され、前記ソークチャンバーの内部に進入するテストトレーを把持し、前記テストトレーを姿勢変換するために設けられる回転体と、
前記回転体の姿勢変換作動に必要とされる動力を提供し、前記ソークチャンバーの外部に設けられて前記温度制御手段の予熱/予冷作用から隔離される、第1動力源と、
前記第1動力源からの動力を前記回転体に伝える第1伝動軸と、
前記テストトレーが姿勢変換される途中で前記回転体から離脱することを防ぐためのストッパーと、
前記ストッパーの作動に必要とされる動力を提供し、前記ソークチャンバーの外部に設けられて前記温度制御手段の予熱/予冷作用から隔離される、第2動力源と、
前記第2動力源からの動力を前記ストッパーに伝える第2伝動軸と、
を備えることを特徴とするテストハンドラー。 - 前記第1伝動軸および前記第2伝動軸が、同じ軸中心を有するように配設されることを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラー。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050124223A KR100714106B1 (ko) | 2005-12-15 | 2005-12-15 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 작동방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007163497A JP2007163497A (ja) | 2007-06-28 |
JP4486078B2 true JP4486078B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=38246512
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006336456A Active JP4486078B2 (ja) | 2005-12-15 | 2006-12-14 | テストハンドラー |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7538542B2 (ja) |
JP (1) | JP4486078B2 (ja) |
KR (1) | KR100714106B1 (ja) |
CN (1) | CN100481323C (ja) |
TW (1) | TWI328852B (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100714106B1 (ko) * | 2005-12-15 | 2007-05-02 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 작동방법 |
KR100790988B1 (ko) * | 2006-04-11 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 테스트 환경의 안정적 온도유지가 가능한 반도체 소자검사용 핸들러 |
KR100785740B1 (ko) | 2006-04-28 | 2007-12-18 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 로테이터 |
KR100792486B1 (ko) * | 2006-08-22 | 2008-01-10 | (주)테크윙 | 사이드도킹 방식 테스트핸들러의 테스트트레이 이송 방법 |
KR100920988B1 (ko) * | 2006-08-28 | 2009-10-09 | 한미반도체 주식회사 | 위치변경장치 및 반도체 패키지 가공시스템 |
KR100771475B1 (ko) * | 2006-10-04 | 2007-10-30 | (주)테크윙 | 사이드도킹방식 테스트핸들러 및 사이드도킹방식테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 |
KR100861006B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2008-09-30 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 |
KR101350999B1 (ko) | 2007-08-23 | 2014-01-14 | 세메스 주식회사 | 반도체 장치의 테스트 방법 및 이를 수행하기 위한 테스트핸들러 |
KR100909948B1 (ko) * | 2007-09-20 | 2009-07-30 | 에버테크노 주식회사 | 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러의 챔버장치 |
KR100964488B1 (ko) | 2007-12-07 | 2010-06-21 | (주)테크윙 | 모듈램 테스트핸들러 |
KR100941673B1 (ko) * | 2008-01-22 | 2010-02-12 | (주)테크윙 | 사이드도킹식 테스트핸들러 |
KR100958276B1 (ko) | 2008-02-05 | 2010-05-19 | 에버테크노 주식회사 | 테스트 핸들러의 트레이 회전장치 |
KR20110099556A (ko) * | 2010-03-02 | 2011-09-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 테스트장치 |
KR101843737B1 (ko) | 2012-05-04 | 2018-05-14 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러용 안내장치 |
KR101936348B1 (ko) | 2012-09-17 | 2019-01-08 | 삼성전자주식회사 | 급속 온도 변환이 가능한 테스트 핸들러 및 그를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법 |
TWI616963B (zh) * | 2013-02-25 | 2018-03-01 | 泰克元有限公司 | 用於測試處理機的振動裝置 |
KR102043633B1 (ko) * | 2014-01-21 | 2019-11-13 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러 |
KR102058443B1 (ko) * | 2014-03-03 | 2020-02-07 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러에서의 테스트트레이 순환 방법 |
KR102120713B1 (ko) * | 2014-03-18 | 2020-06-11 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러 |
KR101587083B1 (ko) * | 2015-04-15 | 2016-01-20 | 주식회사 에바다 | 차량 장착용 디스플레이 시스템 |
US9937489B2 (en) * | 2015-06-18 | 2018-04-10 | Johnson Matthey Public Limited Company | Exhaust system without a DOC having an ASC acting as a DOC in a system with an SCR catalyst before the ASC |
KR102654602B1 (ko) | 2016-12-28 | 2024-04-03 | 세메스 주식회사 | 노즐 조립체 및 이를 포함하는 테스트 핸들러 |
KR102461321B1 (ko) * | 2017-08-18 | 2022-11-02 | (주)테크윙 | 전자부품 테스트용 핸들러 |
KR102622091B1 (ko) | 2018-10-31 | 2024-01-08 | 세메스 주식회사 | 노즐 조립체를 포함하는 테스트 핸들러 |
CN110104415B (zh) * | 2019-05-09 | 2024-01-30 | 深圳仕上电子科技股份有限公司 | 翻转台车 |
CN112750737A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-05-04 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 基片浸泡机构及基片浸泡装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4926118A (en) * | 1988-02-22 | 1990-05-15 | Sym-Tek Systems, Inc. | Test station |
JPH0357240A (ja) | 1989-07-26 | 1991-03-12 | Hitachi Ltd | 被測定デバイス用ハンドラ |
JP3563108B2 (ja) * | 1994-05-27 | 2004-09-08 | 株式会社アドバンテスト | Icテストハンドラのデバイス搬送機構 |
JP3376784B2 (ja) | 1995-12-01 | 2003-02-10 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
KR100194326B1 (ko) | 1996-05-27 | 1999-06-15 | 정문술 | 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 |
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JP3689215B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2005-08-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスのテスト用搬送装置 |
SG72735A1 (en) * | 1997-05-06 | 2000-05-23 | Advanced Systems Automation | Test handler |
JPH11287843A (ja) | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
KR20020004427A (ko) | 2000-07-05 | 2002-01-16 | 구자홍 | 청소기의 흡입노즐 |
US6844717B2 (en) * | 2001-10-12 | 2005-01-18 | Techwing Co., Ltd. | Test handler |
US7196508B2 (en) * | 2005-03-22 | 2007-03-27 | Mirae Corporation | Handler for testing semiconductor devices |
KR100714106B1 (ko) * | 2005-12-15 | 2007-05-02 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 작동방법 |
-
2005
- 2005-12-15 KR KR1020050124223A patent/KR100714106B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-12-14 JP JP2006336456A patent/JP4486078B2/ja active Active
- 2006-12-14 TW TW095146936A patent/TWI328852B/zh active
- 2006-12-15 CN CNB2006101694744A patent/CN100481323C/zh active Active
- 2006-12-15 US US11/639,418 patent/US7538542B2/en active Active
-
2009
- 2009-04-20 US US12/385,790 patent/US7898271B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100001753A1 (en) | 2010-01-07 |
KR100714106B1 (ko) | 2007-05-02 |
TWI328852B (en) | 2010-08-11 |
US20070182437A1 (en) | 2007-08-09 |
CN100481323C (zh) | 2009-04-22 |
US7898271B2 (en) | 2011-03-01 |
TW200735246A (en) | 2007-09-16 |
JP2007163497A (ja) | 2007-06-28 |
US7538542B2 (en) | 2009-05-26 |
CN101013656A (zh) | 2007-08-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140402 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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