KR101843737B1 - 테스트핸들러 및 테스트핸들러용 안내장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 테스트트레이가 이동하는 경로 상에서 테스트트레이가 이송되는 이송폭을 조절하기 위한 이송폭 조절기를 구성함으로써 장비의 안정성을 향상시킬 수 있다.

Description

테스트핸들러 및 테스트핸들러용 안내장치{TEST HANDLER AND GUIDE DEVICE FOR TEST HANDLER}
본 발명은 생산된 반도체소자를 출하하기에 앞서 이루어지는 반도체소자의 테스트에 지원되는 테스트핸들러에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다.
도1은 종래의 테스트트레이가 수직으로 세워진 상태에서 적재된 반도체소자를 테스터 측에 공급하는 사이드도킹식 방식을 취하는 테스트핸들러(100)를 평면에서 바라본 개념도로서 이를 참조하면, 테스트핸들러(100)는 테스트트레이(110), 로딩장치(120), 소크챔버(130, SOAK CHAMBER), 테스트챔버(140, TEST CHAMBER), 디소크챔버(150, DESOAK CHAMBER), 언로딩장치(160) 등을 포함하여 구성된다.
테스트트레이(110)는, 반도체소자가 안착될 수 있는 복수의 인서트를 가지며, 다수의 이송장치(미도시)에 의해 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.
로딩장치(120)는 고객트레이(미도시)에 적재되어 있는 미테스트된 반도체소자를 로딩위치(LP : LOADING POSITION)에 있는 테스트트레이(110)로 로딩(loading)시킨다.
소크챔버(130)는 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트하기에 앞서 테스트환경조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(140)는 소크챔버(130)에서 예열/예냉된 후 테스트위치(TP : TEST POSITION)로 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 반도체소자를 테스트하기 위해 마련된다.
디소크챔버(150)는 테스트챔버(140)로부터 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자를 궁극적으로 상온(常溫) 또는 일정 온도 상태로 복귀시키기 위해 마련된다.
언로딩장치(160)는 언로딩위치(UP : UNLOADING POSITION)에 있는 테스트트레이(110)로부터 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하여 빈 고객트레이로 언로딩(unloading)시킨다.
이상에서 설명한 바와 같이, 반도체소자는 테스트트레이(110)에 적재된 상태로 소크챔버(120), 테스트챔버(130) 및 디소크챔버(140)를 거쳐 언로딩위치(UP)와 로딩위치(LP)를 순차적으로 지나 다시 소크챔버(120)로 이어지는 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.
한편, 테스트핸들러(100)에는 폐쇄경로(C)를 따라 순환하는 테스트트레이(110)를 여러 장 구비하고 있고, 앞서 설명한 바와 같이 소크챔버(130)는 테스트하기 전에 미리 반도체소자를 테스트 조건에 따른 온도로 맞추어 놓으며, 디소크챔버(150)는 테스트가 이루어진 후 언로딩에 앞서서 미리 반도체소자를 상온 또는 일정 온도 상태로 복귀시켜 놓는데, 이는 테스터(TESTER)와 언로딩장치(UP)의 가동률을 높임으로써 궁극적으로 장비의 처리용량을 향상시키기 위해서이다. 여기서, 주지된 바와 같이 다수개의 테스트트레이(110)는 소크챔버(130) 또는 디소크챔버(150)에 함께 수용된 상태에서 병진 이송하게 되며, 이렇게 병진 이송하는 시간 동안 테스트트레이(110)에 적재된 반도체소자의 온도 조정이 이루어질 수 있게 된다.
위와 같은 테스트핸들러(100)에 대한 기술들 중, 본 발명은 디소크챔버(150)에서 반도체소자들을 상온 혹은 일정 온도로 복귀시킨 후에 이루어지는 언로딩작업과 로딩작업 사이에 테스트트레이(110)를 이송하는 작업과 관계한다.
일반적으로 저온에서 테스트가 진행된 반도체소자를 외기와 개방된 언로딩위치(UP)로 바로 보내게 되면, 상온의 공기와 접촉하여 반도체소자의 표면에 물기가 맺힘으로써 반도체소자에 손상이 초래될 수 있으며, 언로딩장치(160)의 패드가 반도체소자를 파지할 때 반도체소자의 표면에 패드 자국이 남게 되어 상품 품질을 떨어뜨릴 수 있다.
또한, 고온에서 테스트가 진행된 경우에도, 고온의 반도체소자를 언로딩위치(UP)로 바로 보내게 되면 반도체소자에 남아 있는 고온의 열로 인하여 언로딩장치(160)의 패드가 녹거나 눌러 붙을 수 있는 우려가 있다.
따라서 앞서 설명한 바와 같이 디소크챔버(150)를 구성하여 테스트가 완료된 반도체소자를 상온 혹은 일정온도로 복귀시킬 필요가 있는 것이다.
그리고 근래에는 테스터(TESTER)의 성능 향상 및 테스트를 중요 팩터별로 나누어 진행하는 등의 이유로 테스트 시간이 짧아졌다. 이에 따라 테스트트레이(110)가 디소크챔버(150) 내에서 머무르는 시간을 짧게 가져가려고 하고 있다. 이를 위해 예를 들면 대한민국 특허출원 10-2012-0027344호에서와 같이 디소크챔버 내에 있는 반도체소자의 온도를 상온 또는 일정 온도(언로딩 작업이 가능한 수준의 온도)로 빨리 복귀시킬 수 있는 기술들이 제안되어지고 있다.
그런데, 디소크챔버(150) 내에서 빠른 속도로 반도체소자의 온도를 상온이나 일정 온도로 복귀시키더라도 반도체소자가 적재된 알루미늄 재질의 테스트트레이(110)는 반도체소자의 온도변화를 미처 따라가지 못하기 마련이다. 따라서 테스트트레이(110)의 표면은 반도체소자의 표면 온도와 유사할지라도 그 내부는 여전히 저온 또는 고온 상태를 유지하고 있게 됨으로써, 테스트트레이(110)가 열팽창계수에 따른 팽창상태(고온 테스트시) 혹은 수축상태(저온 테스트시)로 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)로 이송되어진다. 즉, 디소크챔버(150)에서 대기로 노출된 테스트트레이(110)가 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)를 거쳐 다시 소크챔버(130)로 이동하는 시간 간격이 매우 짧기 때문에 비록 언로딩 및 로딩을 위하여 테스트트레이(110)가 상온에 머무른다고 해도 테스트트레이(110)의 내부는 여전히 저온 또는 고온 상태를 계속 유지하는 것이다.
한편, 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)로 이어지는 경로(C1)상에서 테스트트레이(110)의 이송은 대한민국 등록 특허 10-0892254호(이하 '참조기술'이라 함)에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이의 일 측 테두리에 형성된 파지공에 이송장치의 파지핀이 삽입된 상태에서 이송방향으로 힘을 가함으로써 이루어지게 된다.
그런데, 참조기술에서와 같이 이송력이 테스트트레이(110)의 일 측 테두리에 치우쳐서 테스트트레이(110)에 작용하는 경우, 테스트트레이(110)의 이송시 테스트트레이(110)의 양 단을 안내하는 안내레일 간의 간격이 넓으면 테스트트레이(110)에 회전 토크가 작용하여 도2에서와 같이 테스트트레이(110)가 안내레일(GR1, GR2)에 끼이는 문제가 발생할 개연성이 있다. 그리고 이러한 문제는 이송장치가 테스트트레이(110)의 중단에 이송력을 가하는 경우에도 안내레일(GR1, GR2) 간의 간격이 너무 넓거나, 테스트트레이(110)가 일 측 안내레일(GR1 / GR2) 쪽으로 치우쳐 있거나, 평면에서 보았을 때 테스트트레이(110)가 안내레일(GR1, GR2)과 수평 상태로 놓여있지 않은 경우에도 발생할 수 있다.
대개의 경우 테스트트레이(110)의 이송을 안내하기 위한 안내레일(GR1, GR2) 간의 폭은 상온시의 테스트트레이(110)의 폭보다 약간 넓은 정도로 설계한다,
그런데 저온 테스트 후 미처 상온으로 복귀하지 못함으로써 수축된 상태에 있는 테스트트레이(110)가 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)로 이송될 때 수축된 테스트트레이(110)의 폭에 비하여 상대적으로 안내레일(GR1, GR2) 간의 폭이 넓어짐으로써 전술한 문제가 발생할 수 있다.
상기한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은 테스트 온도 조건에 따라 최적화된 테스트트레이의 이송폭을 확보할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 테스트핸들러용 이송폭 조절기는, 이송되는 테스트트레이의 측면을 안내하기 위해 상기한 테스트트레이가 이송되는 방향으로 긴 가이더; - 여기서 측면이라 함은 반도체소자를 적재시키는 방향과 테스트트레이가 이송되는 방향에 모두 수직한 선상에서 테스트트레이의 끝단에 있는 면을 말함- 및 상기 가이더를 동작시켜 상기한 테스트트레이의 이송폭이 테스트 온도 조건에 따라 조절될 수 있도록 하는 동작원; 을 포함한다.
상기 가이더는 상기한 테스트트레이가 이송되는 방향으로 긴 봉 형태이고, 상기 동작원은 상기 가이더를 상기 테스트트레이의 이송 방향과 평행하면서 상기 가이더를 지나가는 회전축을 회전중심으로 하여 회전시키며, 상기 가이더는 상기한 회전축이 편심되게 위치되어지는 편심부를 가진다.
상기 편심부는, 상기 테스트트레이의 이송 방향에 대하여 수직한 선상에서 잘라진 단면이 원형이며, 상기한 회전축이 상기한 단면의 중심을 지나는 회전부분; 및 상기 회전부분에 결합됨으로써, 상기 테스트트레이의 이송 방향에 대하여 수직한 선상에서 잘라진 상기 가이더의 단면상에서 상기한 회전축을 편심되게 위치시키는 편심부분; 을 포함한다.
상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 일정한 순환경로를 따라 이송되는 테스트트레이; 로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용한 후 테스트 환경 조건에 따라 반도체소자들을 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버; 상기 소크챔버로부터 온 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 상기 테스트챔버를 거쳐 오는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 일정 온도로 복귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 상기 디소크챔버로부터 언로딩위치로 온 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 언로딩시키는 언로딩장치; 상기 테스트트레이가 상기한 로딩위치, 소크챔버, 테스트챔버, 디소크챔버 및 언로딩위치를 거쳐 다시 로딩위치로 이어지는 상기한 순환경로 중 언로딩위치에서 로딩위치로 이송되는 경로 상에서 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 이송장치; 및 상기 이송장치에 의해 이송되는 상기 테스트트레이를 안내하기 위한 안내장치; 를 포함하고, 상기 안내장치는 상기 이송장치에 의해 이송되는 상기 테스트트레이의 이송 경로 상의 이송폭을 테스트 온도 조건에 따라 조절하기 위한 이송폭 조절기를 가진다. 여기서 적용되는 이송폭 조절기는 상기한 이송폭 조절기이다.
상기 이송폭 조절기는, 상기 이송장치에 의해 이송되는 상기 테스트트레이의 이송 경로 상에서, 상기 테스트트레이의 양 측면 중 상기 이송장치에 의해 파지되는 측의 반대편에 있는 측면과 해당 측면을 안내하는 안내부재 사이의 허용 간격을 조절한다.
위와 같은 본 발명에 따르면 테스트 온도 조건에 따라 언로딩위치에서 로딩위치로 이어지는 이송경로 상에서 테스트트레이의 이송폭이 조절되기 때문에 장비의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도1은 종래의 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도2는 종래에 언로딩위치에서 로딩위치로 이어지는 이송 경로상에서 발생할 수 있는 문제를 설명하기 위한 참조도이다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도4는 도3의 테스트핸들러의 주요 부위에 대한 개략적인 사시도이다.
도5는 도3의 테스트핸들러에 적용된 이송폭 조절장치의 가이더에 대한 부분 사시도이다.
도6은 도5에 표현된 가이더와 다른 형태를 가진 가이더에 대한 단면도이다.
도7은 도3의 테스트핸들러에 적용된 이송폭 조절장치의 동작에 대하여 설명하는데 참조하기 위한 참조도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 배경기술에서 언급된 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러(300)에 대한 개념적인 평면도이다.
본 실시예에 따른 테스트핸들러(300)는, 테스트트레이(310), 로딩장치(320), 소크챔버(330), 테스트챔버(340), 디소크챔버(350), 언로딩장치(360), 이송장치(370), 안내장치(380) 및 제어장치(390) 등을 포함하여 구성된다.
위의 구성들 중 테스트트레이(310), 로딩장치(320), 소크챔버(330), 테스트챔버(340), 디소크챔버(350), 언로딩장치(360)는 배경기술에서 설명된 바와 동일하므로 그 설명을 생략한다.
이송장치(370)는, 배경기술에서 설명된 참조기술에서 부호 200으로 설명된 테스트트레이 이송장치와 동일한 구성을 가지므로 그 설명을 생략한다.
안내장치(380)는, 도4의 개략적인 사시도에서 참조되는 바와 같이, 한 쌍의 안내레일(381F, 381R)과 이송폭 조절기(382)로 구성된다.
한 쌍의 안내레일(381F, 381R)은 이송되는 테스트트레이(310) 양 단의 하부 및 일 측 측면을 지지 및 안내한다.
이송폭 조절기(382)는 가이더(382a)와 동작원(382b)으로 구성된다.
가이더(382a)는, 이송되는 테스트트레이(310) 일단의 측면을 안내하기 위해 테스트트레이(310)가 이송되는 방향(b)으로 긴 봉 형태이며, 테스트트레이(310)가 이송되는 방향(b)과 평행하면서 가이더(382a)를 지나가는 회전축(Z)을 회전중심으로 하여 회전 가능하게 설치된다. 여기서 측면은 반도체소자를 적재시키는 방향(a)과도 수직하고, 테스트트레이(310)가 이송되는 방향(b)과도 수직한 선(C)상에서 테스트트레이(310)의 끝단에 있는 면을 말한다. 이러한 가이더(382a)는 이송폭 조절을 위한 편심부(E)를 가진다.
편심부(E)는 도5의 일부 사시도에서 자세히 참조되는 바와 같이 회전부분(Er) 및 편심부분(Ee)으로 나뉘어 구성될 수 있다.
회전부분(Er)은, 테스트트레이(310)의 이송방향(b)에 대하여 수직한 선(c, 도4 참조)상에서 잘라진 단면이 원형이며, 회전축(Z)이 단면의 중심(O)을 지나가도록 위치한다.
편심부분(Ee)은, 단면이 대략 초승달 형태로서 볼트(B)에 의해 회전부분(Er)에 결합되며, 테스트트레이(310)의 이송 방향(b)에 대하여 수직한 선(c)상에서 잘라진 가이더(382a)의 단면상에서 회전축(Z)을 편심되게 위치시킨다.
참고로 실시하기에 따라서는 도6의 단면도에서 참조되는 바와 같이 편심부가 일체로 형성되어질 수 있으나, 가공성, 원자재 절감 및 생산 단가 등을 고려할 때, 본 실시예에서처럼 회전부분(Er)과 편심부분(Er)으로 나뉘어 가동된 후 볼트(B)에 의해 결합되는 형태를 취하는 것이 바람직하다. 또한, 회전부분(Er)은 금속성 재질로 구성하고 편심부분(Er)은 합성수지 재질로 구성하여 테스트트레이(310)가 플라스틱 재질의 편심부분(Er)에 접촉하면서 이송될 수 있도록 하여 테스트트레이(110)의 마모나 소음을 줄일 수 있도록 하는 것이 더 바람직하다.
그리고 본 발명에서는 가이더(382a)를 회전시키도록 하였으나, 경우에 따라서는 가이더를 이송폭 방향으로 전후진시킴으로써 테스트트레이의 이송폭을 조절할 수 있을 것이다. 따라서 이송폭을 조절하는 방식은 장비의 구조 등에 따라 다양하게 설치될 수 있을 것이다.
동작원(382b)은, 가이더(382a)를 동작시켜 테스트트레이(310)의 이송폭이 조절될 수 있도록 하며, 도4에서 참조되는 바와 같이 실린더(382b-1)와 결합부재(382b-2)로 구성된다.
실린더(382b-1)는 공압에 의해 피스톤로드(PR)가 진퇴됨으로써 가이더(382a)를 회전시키기 위한 동력을 제공하게 된다.
결합부재(382b-2)는, 대략 'ㄱ'자 형상이며, 일 측은 실린더(382b-1)의 피스톤로드(PR)에 회전 가능한 상태로 결합되고 타 측은 가이더(382a)의 일 측 끝단에 결합된다. 여기서 가이더(382a)가 회전할 수 있도록 가이더를 잡아주는 베어링과 베어링 하우징 등의 설치위치 및 설치개수는 장비의 구조에 따라 바뀔 수 있는 사항이기 때문에 도시하지 않았다.
따라서 도7의 (a) 및 (b)의 동작 상태도에서 참조되는 바와 같이 피스톤로드(PR)의 진퇴에 연동하여 가이더(382a)가 회전하게 된다. 여기서 도7의 (a)에는 가이더(382a)의 편심부분(Ee)이 하측 을 향하고 있어서 테스트트레이(310)의 이송폭이 넓어진 상태가 도시되어 있고, 도7의 (b)에는 가이더(382a)의 편심부분(Ee)이 테스트트레이(310) 측을 향하고 있어서 테스트트레이(310)의 이송폭이 좁아진 상태가 도시되어 있다.
제어장치(390)는 반도체소자가 테스트되는 온도 조건에 따라 이송폭이 자동 조절되도록 이송폭 조절기(382)를 제어한다. 즉, 제어장치(390)는 고온이나 상온 테스트의 경우에는 동작원(382b)을 구동시켜 가이더(382a)의 편심부분(Ee)이 하측을 향하도록 하여 테스트트레이(310)의 이송폭이 넓어지도록 제어하고, 저온 테스트의 경우에는 동작원(382b)을 역으로 구동시켜 가이더(382a)의 편심부분(Ee)이 테스트트레이(310) 측을 향하도록 하여 테스트트레이(310)의 이송폭이 좁아지도록 제어하게 된다. 여기서 저온 테스트시 테스트트레이(310)의 이송폭은, 테스트트레이(310)가 디속챔버(350)에서 언로딩위치 및 로딩위치로 이송될 경우, 이송폭 방향(이송 방향 및 적재 방향과 수직한 방향)으로 수축되는 정도만큼만 좁아지도록 설계하면 된다. 이렇게 함으로써 고온 테스트시나 저온 테스트시에 관계없이 테스트트레이(310)의 양 측면은 가이더(382a) 또는 안내레일(381R)과 일정한 간격만큼의 이격 상태를 유지할 수 있게 되는 것이다.
또한, 본 발명에서는 테스트트레이(310)의 일 측을 지지하는 안내레일(381R)은 고정된 상태에서 반대편에 위치한 가이더(382a)를 이용하여 이송폭을 조절하였으나, 이는 이송장치(370)가 테스트트레이의 일 측을 지지하는 안내레일(381R)방향에 위치하기 때문에 이송장치(370)가 있는 쪽을 기준으로 삼기 위함이다.
물론, 본 발명과 달리 이송장치가 테스트트레이의 중단 지점에 이송력을 가하도록 한 경우에도 종래기술에 언급된 문제점들이 발생할 수 있기 때문에 본 발명을 적용하는 것이 바람직하다.
그리고 본 실시예에서는 양 측 중 한 측만 가이더(382a)에 의해 조절하는 방식으로 이송폭을 조절하도록 하고 있지만, 실시하기에 따라서는 양 측 모두를 조절할 수 있도록 구현할 수도 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
300 : 테스트핸들러
310 : 테스트트레이 320 : 로딩장치
330 : 소크챔버
340 : 테스트챔버
350 : 디소크챔버
360 : 언로딩장치
370 : 이송장치
380 : 안내장치
381F, 381R : 안내레일
382 : 이송폭 조절기
382a : 가이더
E : 편심부
Er : 회전부분 Ee : 편심부분
382b : 동작원
390 : 제어장치

Claims (6)

  1. 이송되는 테스트트레이를 지지 및 안내하기 위한 한 쌍의 안내레일; 및
    상기 한 쌍의 안내레일에 의해 안내되면서 이송되는 상기한 테스트트레이의 측면을 안내하면서 상기한 테스트트레이의 이송폭을 테스트 온도 조건에 따라 조절하는 이송폭 조절기; - 여기서 측면이라 함은 반도체소자를 적재시키는 방향과 테스트트레이가 이송되는 방향에 모두 수직한 선상에서 테스트트레이의 끝단에 있는 면을 말함 -;를 포함하고,
    상기 이송폭 조절기는,
    상기한 테스트트레이의 측면을 안내하기 위해 상기한 테스트트레이가 이송되는 방향으로 긴 가이더;
    상기 가이더를 동작시켜 상기한 테스트트레이의 이송폭이 테스트 온도 조건에 따라 조절될 수 있도록 하는 동작원; 을 포함하며,
    상기 가이더는 상기한 테스트트레이가 이송되는 방향으로 긴 봉 형태이고,
    상기 동작원은 상기 가이더를 상기 테스트트레이의 이송 방향과 평행하면서 상기 가이더를 지나가는 회전축을 회전중심으로 하여 회전시키며,
    상기 가이더는 상기한 회전축이 편심되게 위치되어지는 편심부를 가지는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 안내장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 편심부는,
    상기 테스트트레이의 이송 방향에 대하여 수직한 선상에서 잘라진 단면이 원형이며, 상기한 회전축이 상기한 단면의 중심을 지나는 회전부분; 및
    상기 회전부분에 결합됨으로써, 상기 테스트트레이의 이송 방향에 대하여 수직한 선상에서 잘라진 상기 가이더의 단면상에서 상기한 회전축을 편심되게 위치시키는 편심부분; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 안내장치.
  4. 일정한 순환경로를 따라 이송되는 테스트트레이;
    로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용한 후 테스트 환경 조건에 따라 반도체소자들을 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버;
    상기 소크챔버로부터 온 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버;
    상기 테스트챔버를 거쳐 오는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 일정 온도로 복귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버;
    상기 디소크챔버로부터 언로딩위치로 온 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 언로딩시키는 언로딩장치;
    상기 테스트트레이가 상기한 로딩위치, 소크챔버, 테스트챔버, 디소크챔버 및 언로딩위치를 거쳐 다시 로딩위치로 이어지는 상기한 순환경로 중 언로딩위치에서 로딩위치로 이송되는 경로 상에서 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 이송장치; 및
    상기 이송장치에 의해 이송되는 상기 테스트트레이를 안내하기 위한 안내장치; 를 포함하고,
    상기 안내장치는,
    이송되는 상기 테스트트레이를 지지 및 안내하기 위한 한 쌍의 안내레일; 및
    상기 한 쌍의 안내레일에 의해 지지 및 안내되면서 상기 이송장치에 의해 이송되는 상기 테스트트레이의 이송 경로 상의 이송폭을 테스트 온도 조건에 따라 조절하기 위한 이송폭 조절기; 를 포함하며,
    상기 안내장치는 제1항 또는 제3항 중 어느 한 항에 따른 테스트핸들러용 안내장치인 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  5. 삭제
  6. 삭제
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