JP4406497B2 - スタックドチップサイズパッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、スタックドチップサイズパッケージの製造方法に関するものであり、より詳しくは、少なくとも2個以上の半導体チップをスタックキングして半導体チップ程度の大きさで一つのパッケージで構成したスタックパッケージの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、メモリチップの容量増大化が急速に進んでいる。この点に関しては現在、128M DRAMが量産段階にあるが、近い将来、256M DRAMの量産がこれに代わって行われる動向にある。
【0003】
一般的に、メモリチップの容量増大、則ち高集積化の達成方法として、限定された半導体素子の空間内に多数のセルを製造する技術が開示されている。このような方法では、精密な微細線幅を要求する等、高難度の技術及び多くの開発時間を必要とする。したがって、最近、より容易に高集積化が達成できるスタッキング(Stacking)技術が開発され、これに対する研究が盛んに行われている。
【0004】
半導体業界におけるスタッキングとは、少なくとも二つ以上の半導体素子を垂直に積上げてメモリ容量を倍加させる技術である。こうしたスタッキングによれば、例えば2個の64M DRAM級素子を積層して128M DRAM級で、2個の128M DRAM級素子を積層して256M DRAM級で構成できる。
【0005】
前記の様なスタッキングによるパッケージの典型的な一例の構造は次の通りである。ボンディングパッドが上面に配置された半導体チップにリードフレームのインナーリードを接着剤で付着し、このインナーリードはボンディングパッドに金属ワイヤにより連結する。全体が封止剤でモールドされると、リードフレームのアウタリードが封止剤の両側に突出される。
【0006】
こうした一つのパッケージ上に同様な構造のパッケージが積層される。則ち、上部に積層されるパッケージのアウタリードが下部パッケージのリードフレーム中間に接合されて、電気的に連結する。
【0007】
しかしながら、前記の一般的なスタックパッケージは、パッケージの全体厚さが厚すぎるという短所がある。また、上部パッケージの信号伝達経路が、上部パッケージのアウタリードを通して下部パッケージのリードフレームを経なければならないため、電気的な信号経路が長すぎるという短所もある。特に、上部及び下部パッケージのリードをハンダ付けで接合するが、このハンダ付け不良のため接続不良がしばしば発生した。
【0008】
これを解消するために、従来は図1に示したスタックパッケージが提示された。同図に示すように、上部半導体チップ1a及び下部半導体チップ1bのボンディングパッド形成面が所定間隔をおいて配置される。上部リードフレーム2a及び下部リードフレーム2bが各半導体チップ1a、1bのボンディングパッド形成面に接着され、そのインナーリードが金属ワイヤ3によりボンディングパッドに電気的に連結する。一方、上部リードフレーム2a、下部リードフレーム2bの外側端部が下部リードフレーム2bの中間部分にボンディングされている。下部リードフレーム2bのアウターリードのみが露出するように、全体結果物が封止剤4でモールドされている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の従来のスタックパッケージでは、次の様な問題点が生じてしまう。まず、信号伝達経路は低減されたが、ある一つの半導体チップに不良が発生すると、2個の半導体チップとも不良処理しなければならないという問題点がある。
【0010】
また、各リードフレームが対向して配置されるため、リードフレーム間の公差により不良が発生する恐れがある。そして、リードフレーム間をレーザーで接合させるため、高価なレーザー装備が必要になる。特に各リードフレームが半永久的に接合されるため、以後の保守作業が殆ど不可能になる。さらに、チップの大きさが変更されると、それによるリードフレームを新たに製作しなければならない。
【0011】
さらなる問題点としては、各半導体チップが封止剤で完全密閉されるため、駆動中の熱発散が効果的に行われない。すなわち、放熱板の機能をもつヒートシンク(heat sink)を設ける部分がないため、熱発散がうまく行われない。
【0012】
従って、本発明は前記問題点を解消する為になされたもので、その目的とするところは、全体厚さを増加させることなく、信号干渉を排除すると共に、信号伝達経路を短くできるスタックドチップサイズパッケージの製造方法を提供することにある。
【0013】
本発明の他の目的は、高価のレーザー装備を用いず、簡単な工程で積層された半導体チップ間の電気的信号連結を具現することにある。
【0014】
本発明の更に他の目的は、各半導体チップの分離を容易にして、ある半導体チップの不良のためスタックパッケージ全体の廃棄処分するという事態を防止することにある。
【0015】
本発明の更に他の目的は、ヒートシンクの付着を可能とし、熱発散特性を向上させることにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成する為に、本発明によるスタックドチップサイズパッケージは、複数の半導体チップが構成されたウェーハ表面に絶縁層を塗布し、前記絶縁層をエッチングして各半導体チップのボンディングパッドを露出させる段階、前記絶縁層上に金属層を蒸着後、前記金属層をパターニングして、一端が前記露出した各ボンディングパッドに連結し、他端が各半導体チップの端部へ延びる金属トレースを形成する段階、スクライブラインに沿って前記ウェーハを切断して個々の半導体チップに分離すると共に、前記金属トレースの他端を前記絶縁層の各々の側部を通して露出させる段階、前記個々に切断した各半導体チップのボンディングパッド形成面を接合して、前記金属トレースの各々を電気的に連結する段階、前記露出した金属トレースの他端に金属ワイヤの一端をボンディングする段階、及び前記金属ワイヤの他端と各半導体チップの反対面が露出するように、前記接合された上部及び下部半導体チップの両側部を封止剤にてモールドする段階を含むことを特徴とする。
【0017】
前記の本発明の構成によれば、リードフレームの代りに金属トレースを用いるため信号干渉が最小化し、リードフレーム使用が排除されるためリードフレーム接合のための高価のレーザー装備が不要になる。また、封止剤の積層された半導体チップの側部のみをモールドするため、この部分の封止剤さえ除去すれば積層された半導体チップを容易に分離でき、かつ半導体チップの表面が封止剤から露出するため、ヒートシンクの付着が可能になる。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図2乃至図22は本発明の実施の形態1によるチップサイズパッケージを製造工程の順に示す図である。まず、図2に示すように、複数の半導体チップの構成されたウェーハ10を回転テーブル上に置き、図3のように回転テーブルを回転させながら絶縁層20をウェーハ10上にスピンコーティングすれば、図4のようにウェーハ10表面に絶縁層20が一定厚さに塗布される。
【0019】
その後、図5のように絶縁層20をエッチングしてボンディングパッド11の露出するビアホール21を形成する。続いて、絶縁層20上に金属層を蒸着後、この金属層をパターニングして金属トレース30(図6参照)を形成するが、このときのパターニングした金属トレース30の構造を図6に平面図で示す。図6では前記の各ボンディングパッド11に金属トレース30が電気的に連結した構造を示しているが、但し絶縁層20の中央の金属層は除去されないで残っている形状を示している。中央に残した金属層31はパワーまたは接地用として、前記の各ボンディングパッド11中のパワーまたは接地用パッドに残した金属層31が連結する。一方、図7は電気信号用ボンディングパッド11に連結した金属トレース30を示すもので、図6のVII−VII線に沿う断面図である。図8はパワーまたは接地用ボンディングパッド11に連結した金属層31を示すもので、図6のVIII−VIII線に沿う断面図である。
【0020】
一方、金属トレース30は単層構造でなくアルミニウム/ニッケル/金の積層された3層構造であることが望ましい。アルミニウムはボンディングパッド11の材質であるアルミニウムと直接接触する役割を、ニッケルはアルミニウムと金との反応を防止する拡散防止層の役割を、金は次工程時に速く拡散されてよく接合されるようにする役割をそれぞれ果たしている。一方、アルミニウムは5,000Å、ニッケルは2,000Å、金は5,000Å程度の厚さで蒸着し、特に金属トレース30の全体厚さは10,000〜20,000Å程度で制御することが望ましい。また、金属トレース30は前述した材質と3層構造の代りに、アルミニウム/パラジウム/金、アルミニウム/白金/金、アルミニウム/銅/ニッケル/クロム/金、アルミニウム/銅/ニッケル/コバルト/金、アルミニウム/ニッケル/金/錫、アルミニウム/ニッケル/クロム/金/錫、及びアルミニウム/コバルト/金/錫からなる群から選択された他の構造に代替可能である。
【0021】
続いて、スクライブラインに沿ってウェーハ10を切断して図9に示す個々の半導体チップ40、41に分離する。次に、2個の半導体チップ40、41を接着する工程を行うが、この接着方法には次の様な2種類がある。
【0022】
第一は、図11のように、プラズマで各半導体チップ40、41の金属トレース30表面を洗浄して、その表面すなわち金材質の表面を活性化させる。また、絶縁層20をソフト硬化させる。この状態から、図9のように上部半導体チップ40を返して下部半導体チップ41表面に置く。次に、熱圧着を行うと、図12のように活性化した各金属トレース30表面が接合し始めることになり、図13のように二つの金属トレース30が完全に接合する。同様に、図10のように絶縁層20も互いに接合する。次に、前記の処理結果として得られた物の全体をハード硬化して接合境界面を堅くする。熱圧着温度は略300℃程度が望ましい。
【0023】
第二は、絶縁層20をソフト硬化できない場合に適用される。図14のように各絶縁層20間に接着剤50を塗布後、熱圧着して、接着剤50内の気泡を除去すると共に各金属トレース30も接合する。次に、前記の処理結果として得られた物の全体を硬化させると、図15のように接着剤50を介して上部半導体チップ40及び下部半導体チップ41が接合される。
【0024】
第一の方法を用いたことを前提として、図16のように上下に積層された各半導体チップ40、41の両側面を研磨具60で研磨して金属トレース30を絶縁層20から露出させる。次に、図17のように露出した金属トレース30部分を微少エッチングして、金属トレース30の露出部分に埋め込んだ異質物を除去する。或いは図18のように、研磨具60の代りにノズル70を通して各半導体チップ40、41の両側面に研磨剤を噴射して研磨する事も出来る。
【0025】
続いて、図19のように、外部接続端子として働く金属ワイヤ80の一端を、露出した金属トレース30にボンディングする。次に、図20のように全体結果物を立てた後、半導体チップ40、41の両側面に治具90を貼り合わせた状態で、その間に封止剤100を塗布すると、図21のようになる。最後に、図22のように治具90を分離すると、封止剤100が上下に積層されて接合された半導体チップ40、41の両側部のみモールドした状態になり、上部半導体チップ40の表面と下部半導体チップ41の下面が露出した状態になり、金属ワイヤ80の他端は封止剤100で露出されて基板に実装することができる。
【0026】
図23は本発明の実施の形態1において、上部面に凹凸構造を持つヒートシンク130が上部半導体チップ40の表面に付着されるスタックドチップサイズパッケージを示す断面図である。
【0027】
【発明の効果】
以上から説明したように、本発明によれば、積層された上部及び下部半導体チップの各ボンディングパッドが、金属トレースを介して直接外部接続端子に連結するため、電気信号伝達経路が短くなる。かつ、金属トレースを用いるため、相互間の信号干渉が最小化する。
【0028】
また、リードフレーム使用が排除されるので、高価のレーザー装備を使用することなく、簡単な熱圧着方法にて半導体チップの積層が可能になる。
【0029】
また、封止剤は積層された半導体チップの側部のみをモールドするため、ある半導体チップに不良が発生すれば、側部にある封止剤のみを除去して、不良半導体チップのみを廃棄できるという利点もある。
【0030】
さらに、各半導体チップの反対面は共に露出状態であるから、熱発散能力が向上し、特に露出面にヒートシンクの付着が可能になる。
【0031】
しかも、各半導体チップの側部が封止剤でモールドされるため、外部からの水分侵入が防止される。
【0032】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではない。本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】従来のスタックパッケージを示す断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、ウェーハーを回転テーブル上に置いた状態を示す状態図である。
【図3】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、絶縁層をウェーハー上にスピンコーティングする状況を示した状態図である。
【図4】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、絶縁層をウェーハー上にスピンコーティングした状況を示した状態図である。
【図5】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、金属トレースを形成する状況を示した状態図である。
【図6】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、金属トレースの平面図である。
【図7】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、図6のVII−VII断面図である。
【図8】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、図6のVIII−VIII断面図である。
【図9】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、上部半導体チップと下部半導体チップを熱圧着する状況を表す状態図である。
【図10】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、上部半導体チップと下部半導体チップの熱圧着後の状況を表す状態図である。
【図11】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、上部半導体チップと下部半導体チップの金材質表面を活性化し、絶縁層をソフト硬化させる状況を表す状態図である。
【図12】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、活性化した金属表面が接合する状況を表す状態図である。
【図13】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、二つの金属トレースが完全に接合した状況を表す状態図である。
【図14】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、各絶縁層間に接着剤を塗布後、熱圧着して、接着剤内の気泡を除去すると共に各金属トレースを接合する状況を表す状態図である。
【図15】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、接着剤を介して上部半導体チップ及び下部半導体チップが接合される状況を表わす状態図である。
【図16】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、上下に積層された各半導体チップの両側面を研磨具で研磨して金属トレースを絶縁層から露出させる状況を表す状態図である。
【図17】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、露出した金属トレース部分を微少エッチングして、金属トレースの露出部分に埋め込んだ異質物を除去する状況を表す状態図である。
【図18】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、研磨具の代りにノズルを通して各半導体チップの両側面に研磨剤を噴射して研磨する状況を表す状態図である。
【図19】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、外部接続端子として働く金属ワイヤの一端を、露出した金属トレースにボンディングする状況を表す状態図である。
【図20】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、全体結果物を表す状態図である。
【図21】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、全体結果物を立てた後、半導体チップの両側面に治具を貼り合わせた状態で、その間に封止剤を塗布する状況を表す状態図である。
【図22】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを製造する工程における、金属ワイヤの他端を基板に実装する状況を表す状態図である。
【図23】本発明の実施の形態1によるスタックドチップサイズパッケージを示す断面図である。
【符号の説明】
【0034】
10 ウェーハ
11 ボンディングパッド
20 絶縁層
30 金属トレース
40 上部半導体チップ
41 下部半導体チップ
60 研磨具
70 ノズル
80 金属ワイヤ
100 封止剤
130 ヒートシンク
Claims (7)
- 複数の半導体チップが構成されたウェーハ表面に絶縁層を塗布し、前記絶縁層をエッチングして各半導体チップのボンディングパッドを露出させる段階、
前記絶縁層上に金属層を蒸着後、前記金属層をパターニングして、一端が前記露出した各ボンディングパッドに連結し、他端が各半導体チップの端部へ延びる金属トレースを形成する段階、
スクライブラインに沿って前記ウェーハを切断して個々の半導体チップに分離すると共に、前記金属トレースの他端を前記絶縁層の各々の側部を通して露出させる段階、
前記個々に切断した各半導体チップのボンディングパッド形成面を接合して、前記金属トレースの各々を電気的に連結する段階、
前記露出した金属トレースの他端に金属ワイヤの一端をボンディングする段階、
及び、
前記金属ワイヤの他端と各半導体チップの反対面が露出するように、前記接合された上部及び下部半導体チップの両側部を封止剤にてモールドする段階を含むことを特徴とするスタックドチップサイズパッケージの製造方法。 - 前記各半導体チップの接合段階は、
前記絶縁層の各々をソフト硬化する段階、
前記絶縁層と前記金属トレースの各々を熱圧着する段階、及び
前記絶縁層の各々をハード硬化する段階からなることを特徴とする請求項1に記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。 - 前記金属トレースの熱圧着前に、前記金属トレースをプラズマで洗浄して活性化させる段階をさらに行うことを特徴とする請求項2に記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。
- 前記各半導体チップの接合段階は、
前記半導体チップの各絶縁層を接着剤により接着する段階、及び
前記各絶縁層と接着剤を硬化して接合する段階からなることを特徴とする請求項1に記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。 - 前記半導体チップの分離後、各半導体チップの側面を研磨する段階をさらに行うことを特徴とする請求項1に記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。
- 前記研磨段階後、前記絶縁層を通して露出する前記金属トレースの他端に付着された異質物の除去のために微少エッチングを行うことを特徴とする請求項5記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。
- 前記封止剤のモールド段階後、前記上部半導体チップの表面にヒートシンクを付着する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のスタックドチップサイズパッケージの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
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