JP4379585B2 - 気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 title claims description 76
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 66
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 62
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 62
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 60
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 49
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 32
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 31
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 claims description 3
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 217
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 SiHCl 3 Chemical class 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/24—Deposition of silicon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45587—Mechanical means for changing the gas flow
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/14—Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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Description
まず、本発明の実施の形態を説明する前に、本発明が適用される一例(参考例)としての気相成長装置を図1〜図4に示す。そして、その後の図5以降において、本発明の実施形態を説明する。
図1〜図4は、シリコン単結晶基板の主表面にシリコン単結晶薄膜を気相成長させる気相成長装置1の一例を模式的に示すものである。図1はその側面断面図、図2は図1の部分拡大図、図3は図1の気相成長装置1の平面図、図4は、図1の気相成長装置1の要部を一部切り欠いて示す分解斜視図である。この気相成長装置1は、図1に示すように、水平方向における第一端部31側にガス導入口21が形成され、同じく第二端部32側にガス排出口36が形成された反応容器2を有する。薄膜形成のための原料ガスGは、ガス導入口21から反応容器2内に導入され、該反応容器2の内部空間5にて略水平に回転保持される基板Wの主表面に沿う方向に沿って流れた後、ガス排出口36から排気管7を経て排出されるように構成されている。排気管7は、減圧ポンプRP(図3)とともに気相成長装置1の排気系を構成している。
図1から図4に示す気相成長装置1における原料ガスの流通経路を、計算機シミュレーションにより導出した。また、これと比較するために、上部内張り部材が改良されていない、従来の気相成長装置での原料ガスの流通経路を導出した。さらに、図1から図4に示す気相成長装置1で、シリコン単結晶基板W上にシリコン単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長させる場合の、シリコン単結晶薄膜の成長速度分布についても、計算機シミュレーションにより見積もった。また、これと比較するために、従来の気相成長装置で、シリコン単結晶薄膜をシリコン単結晶基板W上に気相エピタキシャル成長させる場合の、シリコン単結晶薄膜の成長速度分布を併せて見積もった。設定条件等は、以下に記す通りである。
(寸法)
・堤部材の内径=300mm
・上部内張り部材のR3(図5参照)=200mm
・反応容器高さ(サセプタ12から反応容器2の上面内側までの距離)=20mm
・堤部材高さ(切欠き部23kの底面23cから堤部材23の上面23aまでの高さ)=16mm
・シリコン単結晶基板直径=200mm
(成長温度)
・シリコン単結晶基板…1400K
・反応容器上面…700K
(反応容器内圧力)
・10000Pa
(原料ガス)
・トリクロロシラン…1.5mol%
・水素…98.5mol%
(原料ガス流量)
・内側案内路…13.5リットル/分(標準状態)
・外側案内路…13.5リットル/分(標準状態)
2 反応容器
4 上部内張り部材
4a,4c 上部内張り部材の下面
40p 上部内張り部材の下面の内周縁
40q 上部内張り部材の外周縁
5 内部空間
7 排気管
12 サセプタ
12a サセプタの上面
21 ガス導入口
23 堤部材
23a 堤部材の上面
23b 堤部材の外周面
23p 堤部材の上面の内周縁
23q 堤部材の外周縁
31 第一端部
32 第二端部
36 ガス排出口
60 ガス導入隙間
RP 減圧ポンプ
W 基板
G 原料ガス
O 回転軸線
HSL 水平基準線
WL 幅方向
Claims (9)
- シリコン単結晶基板の主表面上にシリコン単結晶薄膜を気相成長させる気相成長装置であって、
水平方向における第一端部側にガス導入口が形成され、同じく第二端部側にガス排出口が形成された反応容器を有し、シリコン単結晶薄膜形成のための原料ガスが前記ガス導入口から前記反応容器内に導入され、該反応容器の内部空間にて水平に回転保持される前記シリコン単結晶基板の前記主表面に沿って前記原料ガスが流れた後、前記ガス排出口から排出されるように構成され、前記内部空間内にて回転駆動される円盤状のサセプタ上に前記シリコン単結晶基板が配置される一方、前記サセプタを取り囲むとともに、上面が該サセプタの上面と一致する位置関係にて堤部材が配置され、
さらに、前記ガス導入口は前記堤部材の外周面に対向する形にて開口し、該ガス導入口からの前記原料ガスが、前記堤部材の外周面に当たって上面側に乗り上げた後、前記サセプタ上の前記シリコン単結晶基板の主表面に沿って流れるように構成された気相成長装置において、
前記堤部材の上から被さるように上部内張り部材が配置され、前記堤部材と前記上部内張り部材とによって、前記反応容器内へのガス導入隙間が形成されており、
前記反応容器の前記第一端部から前記サセプタの回転軸線と直交して前記第二端部に至る前記原料ガスの流れ方向に沿った仮想的な中心線を水平基準線とし、前記サセプタの回転軸線と、前記水平基準線との双方に直交する方向を幅方向と定義したとき、
前記水平基準線から前記幅方向に遠ざかるにつれて、前記ガス導入隙間の前記水平基準線と平行な方向に形成される長さが、連続的または段階的に短くなるか、もしくはいずれの位置においても一定となるように構成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 前記ガス導入隙間を形成する前記堤部材の上面と、同じく前記上部内張り部材の下面との上下方向での重なり度合いが、前記水平基準線から前記幅方向に遠ざかるにつれて小さくなるか、もしくはいずれの位置においても一定となるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記上部内張り部材の下面の内周縁が、前記堤部材の上面の内周縁よりも前記原料ガスの流れ方向上流側に位置するように構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の気相成長装置。
- 前記ガス導入隙間の出口側で、前記堤部材の上面の内周縁が描く円弧の中心が、前記サセプタの回転軸線に一致する一方、前記上部内張り部材の下面の内周縁が描く円弧の中心は、前記サセプタの回転軸線よりも前記原料ガスの流れ方向下流側に設定され、
前記堤部材の上面の内周縁が描く円弧の半径よりも、前記上部内張り部材の下面の内周縁が描く円弧の半径の方が大となるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の気相成長装置。 - シリコン単結晶基板の主表面上にシリコン単結晶薄膜を気相成長させる気相成長装置であって、
水平方向における第一端部側にガス導入口が形成され、同じく第二端部側にガス排出口が形成された反応容器を有し、シリコン単結晶薄膜形成のための原料ガスが前記ガス導入口から前記反応容器内に導入され、該反応容器の内部空間にて水平に回転保持される前記シリコン単結晶基板の前記主表面に沿って前記原料ガスが流れた後、前記ガス排出口から排出されるように構成され、前記内部空間内にて回転駆動される円盤状のサセプタ上に前記シリコン単結晶基板が配置される一方、前記サセプタを取り囲むとともに、上面が該サセプタの上面と一致する位置関係にて堤部材が配置され、
さらに、前記ガス導入口は前記堤部材の外周面に対向する形にて開口し、該ガス導入口からの前記原料ガスが、前記堤部材の外周面に当たって上面側に乗り上げた後、前記サセプタ上の前記シリコン単結晶基板の主表面に沿って流れるように構成された気相成長装置において、
前記堤部材の上から被さるように上部内張り部材が配置され、前記堤部材と前記上部内張り部材とによって、前記反応容器内へのガス導入隙間が形成されており、
前記上部内張り部材の下面の内周縁が、前記堤部材の上面の内周縁よりも前記原料ガスの流れ方向上流側に位置し、
前記ガス導入隙間の出口側で、前記堤部材の上面の内周縁が描く円弧の中心が、前記サセプタの回転軸線に一致する一方、前記上部内張り部材の下面の内周縁が描く円弧の中心は、前記サセプタの回転軸線よりも前記原料ガスの流れ方向下流側に設定され、
前記堤部材の上面の内周縁が描く円弧の半径よりも、前記上部内張り部材の下面の内周縁が描く円弧の半径の方が大となるように構成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 前記反応容器内を大気圧よりも減圧された状態に保持する排気系を備えていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の気相成長装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の気相成長装置の前記反応容器内に前記シリコン単結晶基板を配置し、該反応容器内に前記原料ガスを流通させて前記シリコン単結晶基板上に前記シリコン単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長させることによりエピタキシャルウェーハを得ることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記原料ガスとして、モノクロロシランガス、ジクロロシランガスおよびトリクロロシランガスのグループから選択される1種のものを使用し、前記反応容器内を大気圧よりも減圧された状態に保ちつつ、前記シリコン単結晶基板上に前記シリコン単結晶薄膜を気相エピタキシャル成長させることを特徴とする請求項7記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記水平基準線と平行な方向における、前記ガス導入隙間の形成される長さに応じて、前記水平基準線寄りを流れる前記原料ガスの流量を調節する内側バルブと、前記水平基準線から離れたところを流れる前記原料ガスの流量を調節する外側バルブとの開閉度合いを設定することを特徴とする請求項7または8記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003419201A JP4379585B2 (ja) | 2003-12-17 | 2003-12-17 | 気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
PCT/JP2004/017193 WO2005059981A1 (ja) | 2003-12-17 | 2004-11-18 | 気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
US10/582,802 US8926753B2 (en) | 2003-12-17 | 2004-11-18 | Vapor phase growth apparatus and method of fabricating epitaxial wafer |
KR1020067014176A KR101119599B1 (ko) | 2003-12-17 | 2004-11-18 | 기상성장장치 및 에피택셜 웨이퍼의 제조방법 |
EP04820495.2A EP1703550B1 (en) | 2003-12-17 | 2004-11-18 | Vapor growth device and production method for epitaxial wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003419201A JP4379585B2 (ja) | 2003-12-17 | 2003-12-17 | 気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005183510A JP2005183510A (ja) | 2005-07-07 |
JP4379585B2 true JP4379585B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=34697169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003419201A Expired - Lifetime JP4379585B2 (ja) | 2003-12-17 | 2003-12-17 | 気相成長装置およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8926753B2 (ja) |
EP (1) | EP1703550B1 (ja) |
JP (1) | JP4379585B2 (ja) |
KR (1) | KR101119599B1 (ja) |
WO (1) | WO2005059981A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007258516A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 気相成長装置 |
US9328417B2 (en) * | 2008-11-01 | 2016-05-03 | Ultratech, Inc. | System and method for thin film deposition |
WO2012128783A1 (en) * | 2011-03-22 | 2012-09-27 | Applied Materials, Inc. | Liner assembly for chemical vapor deposition chamber |
US20140116336A1 (en) * | 2012-10-26 | 2014-05-01 | Applied Materials, Inc. | Substrate process chamber exhaust |
US10344380B2 (en) | 2013-02-11 | 2019-07-09 | Globalwafers Co., Ltd. | Liner assemblies for substrate processing systems |
JP5602903B2 (ja) | 2013-03-14 | 2014-10-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
JP6368773B2 (ja) * | 2013-04-30 | 2018-08-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 空間的に分散されたガス流路を有する流量制御ライナー |
US10047457B2 (en) * | 2013-09-16 | 2018-08-14 | Applied Materials, Inc. | EPI pre-heat ring |
JP6198584B2 (ja) * | 2013-11-21 | 2017-09-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
JP6309252B2 (ja) * | 2013-11-21 | 2018-04-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
KR101539298B1 (ko) * | 2013-11-25 | 2015-07-29 | 주식회사 엘지실트론 | 에피택셜 웨이퍼 성장 장치 |
US11414759B2 (en) * | 2013-11-29 | 2022-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Mechanisms for supplying process gas into wafer process apparatus |
WO2016154052A1 (en) * | 2015-03-25 | 2016-09-29 | Applied Materials, Inc. | Chamber components for epitaxial growth apparatus |
WO2016191448A1 (en) * | 2015-05-27 | 2016-12-01 | Applied Materials, Inc. | Heat shield ring for high growth rate epi chamber |
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-
2003
- 2003-12-17 JP JP2003419201A patent/JP4379585B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-11-18 KR KR1020067014176A patent/KR101119599B1/ko active IP Right Grant
- 2004-11-18 US US10/582,802 patent/US8926753B2/en active Active
- 2004-11-18 EP EP04820495.2A patent/EP1703550B1/en active Active
- 2004-11-18 WO PCT/JP2004/017193 patent/WO2005059981A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070026356A (ko) | 2007-03-08 |
US8926753B2 (en) | 2015-01-06 |
US20070107653A1 (en) | 2007-05-17 |
KR101119599B1 (ko) | 2012-02-22 |
JP2005183510A (ja) | 2005-07-07 |
EP1703550A4 (en) | 2009-09-02 |
EP1703550A1 (en) | 2006-09-20 |
WO2005059981A1 (ja) | 2005-06-30 |
EP1703550B1 (en) | 2019-05-22 |
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Legal Events
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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