JP4369765B2 - 静電チャック - Google Patents
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物体を保持する保持力である静電気力である吸着力Fは、絶縁膜52の厚みrが小さい程大きく、また、電圧Vが大きければ大きい程大きくなる。電圧Vを大きくすればするほど吸着力Fが増大するが、あまり大きくすると絶縁膜52の絶縁が破壊されてしまう。また、絶縁膜52にピンホールなどの空所があると絶縁が破壊される。それで、物体を保持する絶縁膜52の表面は、滑らかであること、ピンホールがないことが求められる。
3:絶縁層
4a、4b:吸着用電極
5、52:絶縁膜
5a、22a、52a:ウェハ載置面
2:導電性基体
7:保護膜
23:複合材料
24:アルミニウム合金基体
W:ウェハ
Claims (11)
- 導電性基体の一方の主面に絶縁層と、その上面に吸着用電極と、該吸着用電極を覆うように絶縁膜を備え、その上面をウェハを載せる載置面として、前記絶縁層と前記絶縁膜との総厚みが20〜2000μmであり、前記絶縁層が非晶質セラミックからなることを特徴とする静電チャック。
- 前記絶縁膜は酸化物からなる均一な非晶質セラミックから成り、その厚みが10〜100μmであることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 導電性基体の一方の主面に絶縁層と、その上面に吸着用電極と、該吸着用電極を覆うように絶縁膜を備え、その上面をウェハを載せる載置面として、前記絶縁層と前記絶縁膜との総厚みが20〜2000μmであり、前記絶縁膜は酸化物からなる均一な非晶質セラミックから成り、その厚みが10〜100μmであることを特徴とする静電チャック。
- 前記絶縁膜が前記絶縁層を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の静電チャック。
- 上記絶縁膜は、希ガス類元素を1〜10原子%含み、ビッカース硬度が500〜1000HV0.1であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の静電チャック。
- 上記絶縁膜が酸化アルミニウム、希土類の酸化物、あるいは窒化物の何れか一つを主成分とすることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の静電チャック。
- 前記導電性基体がアルミニウムまたはアルミニウム合金の何れか一つの金属成分と、炭化珪素または窒化アルミニウムの何れか一つのセラミック成分からなり、該セラミック成分の含有量が50〜90質量%であることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の静電チャック。
- 前記絶縁膜を形成した面以外の前記導電性基体の表面に、アルミナ膜からなる保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の静電チャック。
- 前記絶縁膜の表面に点在する凸部を備えることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の静電チャック。
- 前記凸部の体積固有抵抗が前記絶縁膜の体積固有抵抗より小さいことを特徴とする請求項9に記載の静電チャック。
- 前記凸部の高さが0.5〜5μmであることを特徴とする請求項9または10に記載の静電チャック。
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