JP4245644B1 - 静電気放電保護装置及びこれを備えた半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1導電型の半導体基板1と、第2導電型のウェル2と、半導体基板表面に形成される第2導電型でウェルより高不純物濃度のカソード及びアノードの一方となる第1不純物領域6と、半導体基板表面に形成される第1導電型で半導体基板より高不純物濃度の第1コンタクト不純物領域7と、ウェル表面上においてウェル表面に接して形成される第1導電型でカソード及びアノードの他方となる第2不純物領域4と、ウェル表面に形成される第2導電型でウェルより高不純物濃度の第2コンタクト不純物領域5と、半導体基板とウェルの境界領域の半導体基板表面とウェル表面の両方に跨って形成される第2導電型でウェルより高不純物濃度の境界不純物領域8を備える。
【選択図】 図1
Description
図1に、本発明装置の第1実施形態のサイリスタ構造の断面構造を模式的に示す。図1に示すように、本発明装置は、P型半導体基板1と、P型半導体基板1の表面に形成されるN型ウェル2と、P型半導体基板1の表面に形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型カソード不純物領域6(第1不純物領域に相当)と、P型半導体基板1の表面に形成されるP型半導体基板1より高不純物濃度のP型コンタクト不純物領域7(第1コンタクト不純物領域に相当)と、N型ウェル2の表面上において下面がN型ウェル2の表面に接して形成されるP型アノード不純物領域4(第2不純物領域に相当)と、N型ウェル2の表面に形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型コンタクト不純物領域5(第2コンタクト不純物領域に相当)と、P型半導体基板1とN型ウェル2の境界領域のP型半導体基板1とN型ウェル2の両表面に跨って形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型境界不純物領域8と、を備えて構成される。また、P型半導体基板1とN型ウェル2の表面に形成される各不純物領域5〜8の隣接する相互間を分離するために、素子分離絶縁体3が設けられている。
図3に、本発明装置の第2実施形態のサイリスタ構造の断面構造を模式的に示す。図3に示すように、本発明装置は、P型半導体基板1と、P型半導体基板1の表面に形成されるN型ウェル2と、P型半導体基板1の表面に形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型カソード不純物領域6と、P型半導体基板1の表面に形成されるP型半導体基板1より高不純物濃度のP型コンタクト不純物領域7と、N型ウェル2と後述するN型境界不純物領域8の表面上において下面がN型ウェル2とN型境界不純物領域8の両表面に接して形成されるP型アノード不純物領域4aと、N型ウェル2の表面に形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型コンタクト不純物領域5と、P型半導体基板1とN型ウェル2の境界領域のP型半導体基板1とN型ウェル2の両表面に跨って形成されるN型ウェル2より高不純物濃度のN型境界不純物領域8と、を備えて構成される。また、P型半導体基板1とN型ウェル2の表面に形成される各不純物領域5〜8の隣接する相互間を分離するために、素子分離絶縁体3が設けられている。
次に、第1実施形態または第2実施形態の本発明装置を備えた半導体集積回路(本発明回路)について、図5〜図7を参照して説明する。ここで、本発明回路30は、本発明装置31及び本発明装置31を除く本発明回路30の内部回路32が、共通のP型半導体基板(図示せず)上に形成されているものとする。
上記第1及び第2実施形態の本発明装置では、半導体基板1の導電型(第1導電型)がP型で、ウェル2の導電型(第2導電型)がN型の場合を想定して説明したが、半導体基板1がN型で、ウェル2がP型であっても構わない。この場合、各不純物領域の導電型は、P型がN型に、N型がP型に夫々入れ替わり、アノード不純物領域とカソード不純物領域の位置が入れ替わり、アノード端子とカソード端子の位置が入れ替わり、ウェル端子と半導体基板端子の導電型の記載が入れ替わる。
2: N型ウェル
3: 素子分離絶縁体
4、4a: P型アノード不純物領域(第2不純物領域)
5: N型コンタクト不純物領域(第2コンタクト不純物領域)
6: N型カソード不純物領域(第1不純物領域)
7: P型コンタクト不純物領域(第1コンタクト不純物領域)
8: N型境界不純物領域
9: 層間絶縁膜
10a〜10f: コンタクト金属
11〜16: 金属配線
20: 外部接続用の信号端子
21: 電源供給端子
22: 基準電圧端子
23: アノード端子
24: N型ウェル端子
25: カソード端子
26: P型半導体基板端子
27: 外部接続用の信号線
28: 電源供給線
29: 基準電圧線
30、60: 本発明に係る半導体集積回路
31、61: 本発明に係る静電気放電保護装置
32: 半導体集積回路の内部回路
33: 従来の静電気放電保護装置のP型高濃度不純物領域(アノード領域)
34: 従来の静電気放電保護装置
35: 従来の静電気放電保護装置のアノード端子
36: 従来の静電気放電保護装置のカソード端子
41: N型半導体基板
42: P型ウェル
44、44a: N型カソード不純物領域(第2不純物領域)
45: P型コンタクト不純物領域(第2コンタクト不純物領域)
46: P型アノード不純物領域(第1不純物領域)
47: N型コンタクト不純物領域(第1コンタクト不純物領域)
48: P型境界不純物領域
53: アノード端子
54: P型ウェル端子
55: カソード端子
56: N型半導体基板端子
Claims (11)
- 静電気放電によって半導体集積回路に生じる過電流または過電圧から前記半導体集積回路内の回路素子を保護するためのサイリスタ構造の静電気放電保護装置であって、
前記半導体集積回路が形成される第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板表面に形成される前記第1導電型と逆導電型の第2導電型のウェルと、
前記半導体基板表面に形成される前記第2導電型で前記ウェルより高不純物濃度の前記サイリスタ構造のカソード及びアノードの一方となる第1不純物領域と、
前記半導体基板表面に形成される前記第1導電型で前記半導体基板より高不純物濃度の第1コンタクト不純物領域と、
前記ウェル表面上において下面が前記ウェル表面に接して形成される第1導電型で前記サイリスタ構造のカソード及びアノードの他方となる第2不純物領域と、
前記ウェル表面に形成される前記第2導電型で前記ウェルより高不純物濃度の第2コンタクト不純物領域と、
前記半導体基板と前記ウェルの境界領域の前記半導体基板表面と前記ウェル表面の両方に跨って形成される前記第2導電型で前記ウェルより高不純物濃度の境界不純物領域と、
を備えていることを特徴とする静電気放電保護装置。 - 前記第2不純物領域が、多結晶シリコン、または、単結晶シリコンで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電気放電保護装置。
- 前記第2不純物領域が、前記ウェル表面と前記境界不純物領域の表面の両表面に跨って、当該両表面と接していることを特徴とする請求項1または2に記載の静電気放電保護装置。
- P型半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、
前記第1導電型がP型で、前記第2導電型がN型である請求項1〜3の何れか1項に記載の静電気放電保護装置を備えることを特徴とする半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域と前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の電源供給線と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域と前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域と前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の電源供給線と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域が、前記半導体集積回路の外部接続用の信号端子と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域と前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の外部接続用の信号端子と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域と前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路。 - N型半導体基板上に形成された半導体集積回路であって、
前記第1導電型がN型で、前記第2導電型がP型である請求項1〜3の何れか1項に記載の静電気放電保護装置を備えることを特徴とする半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域と前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の電源供給線と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域と前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域と前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の電源供給線と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域が、前記半導体集積回路の外部接続用の信号端子と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記静電気放電保護装置の前記第1不純物領域と前記第1コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の外部接続用の信号端子と電気的に接続し、
前記静電気放電保護装置の前記第2不純物領域と前記第2コンタクト不純物領域が、前記半導体集積回路の基準電圧線と電気的に接続していることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
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