JP4203486B2 - ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法および製造方法ならびにハードディスク用アルミニウム基板の仕上げ研磨に用いる研磨パッドをドレッシングするための研磨パッド用ドレッサ - Google Patents
ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法および製造方法ならびにハードディスク用アルミニウム基板の仕上げ研磨に用いる研磨パッドをドレッシングするための研磨パッド用ドレッサ Download PDFInfo
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好ましくは、超砥粒はニッケルめっきにより台金の表面に固着されている。
好ましくは、研磨パッド用ドレッサは自転と公転とを繰返しながら研磨パッドをドレッシングする。
この発明に従ったハードディスク用アルミニウム基板の製造方法は、上記のハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法を用いる。
この発明に従ったハードディスク用アルミニウム基板の仕上げ研磨に用いる研磨パッドをドレッシングするための研磨パッド用ドレッサでは、平均粒径が5μm以上20μm以下の超砥粒が結合材によって台金の表面に一層固着されている。
外径100mm、厚み3.0mmのステンレス鋼製の円盤状台金を準備した。台金の表面に平均粒径20μmのダイヤモンド砥粒をニッケルめっきにより片面に固着した。図1に示すように、ダイヤモンド砥粒を固着した台金101の領域は直径95mmから直径75mmの範囲であり、台金101の表面には8個の砥粒層102の間で放射線方向に延びる領域にダイヤモンド砥粒を固着しない部分を設けた。このようにして研磨パッド用ドレッサを作製した。
ドレッシング圧力:12KPa
上定盤の回転数:20r.p.m
下定盤の回転数:24r.p.m
サンギアの回転数:4r.p.m
なお、研磨パッドは、円環状の形状を有し、外径寸法が1300mm、内径寸法が700mmのものを用いた。
平均粒径が15μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が10μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が25μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
平均粒径が76μmのダイヤモンド砥粒を用いた以外は実施例1と同様にして研磨パッド用ドレッサを作製した。この研磨パッド用ドレッサを用いて実施例1と同一の条件でポリッシング加工機で研磨パッドのドレッシングを行なった。
Claims (5)
- ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法であって、仕上げ研磨工程であるポリッシング工程において平均粒径が5μm以上20μm以下の超砥粒が結合材によって台金の表面に一層固着されている研磨パッド用ドレッサを用いてポリッシング用研磨パッドをドレッシングすることを特徴とする、ハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法。
- 前記超砥粒はニッケルめっきにより前記台金の表面に固着されていることを特徴とする、請求項1に記載のハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法。
- 前記研磨パッド用ドレッサは自転と公転とを繰返しながら研磨パッドをドレッシングすることを特徴とする、請求項1に記載のハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法。
- 請求項1に記載のハードディスク用アルミニウム基板の研磨方法を用いたことを特徴とする、ハードディスク用アルミニウム基板の製造方法。
- 請求項1に記載のハードディスク用アルミニウム基板の仕上げ研磨に用いる研磨パッドをドレッシングするための研磨パッド用ドレッサであって、平均粒径が5μm以上20μm以下の超砥粒が結合材によって台金の表面に一層固着されていることを特徴とする、ハードディスク用アルミニウム基板の仕上げ研磨に用いる研磨パッドをドレッシングするための研磨パッド用ドレッサ。
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