JP4006440B2 - 気密容器の製造方法、画像表示装置の製造方法、テレビジョン装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、内部を気密に保持する気密容器の製造方法に関し、特に、平面型の画像表示装置の表示パネルに好適に適用される気密容器の製造方法に関する。また画像表示装置の製造方法に関する。またテレビジョン装置の製造方法に関する。

一般に、電子放出を利用した画像表示装置においては、真空雰囲気を維持する外囲器、電子放出素子を複数備えた電子源とその駆動回路、電子の衝突により発光する蛍光体などを有する画像形成部材、電子を画像形成部材に向けて加速するための加速電極とその電圧電源等が必要である。また、薄型画像表示装置などのように偏平な外囲器を用いる画像表示装置においては、耐大気圧構造体として支持柱（スペーサー）を用いる場合もある。

前記電子放出素子としては、従来から、熱陰極素子と冷陰極素子の２種類が知られている。このうち冷陰極素子では、例えば電界放出型電子放出素子（以下ＦＥ型と記す）や、金属／絶縁層／金属型電子放出素子（以下ＭＩＭ型と記す）や、表面伝導型電子放出素子などが知られている。

図１０に、従来の表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置の表示パネルの一例の概略構成図を示す。

図中、１０３はリアプレート、１０４は外枠、１１０はフェースプレートであり、リアプレート１０３、外枠１０４及びフェースプレート１１０により、表示パネルの内部を真空に維持するための外囲器（気密容器）を形成している。リアプレート１０３には電子源基板１０１が固定されており、該電子源基板１０１上には表面伝導型の電子放出素子１０６が、Ｎ×Ｍ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定される。）また、前記Ｎ×Ｍ個の電子放出素子１０６は、図１０に示す通り、Ｍ本のＸ方向配線１０２とＮ本のＹ方向配線１０５により配線されている。また、Ｘ方向配線１０２とＹ方向配線１０５の少なくとも交差する部分には、両配線間に絶縁層（不図示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。

フェースプレート１１０の下面には、蛍光体からなる蛍光膜１０８が形成されており、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体（不図示）が塗り分けられている。また、蛍光膜１０８をなす上記各色蛍光体の間には黒色体（不図示）が設けてあり、さらに蛍光膜１０８のリアプレート１０３側の面には、Ａｌ等からなるメタルバック１０７が形成されている。

Ｄｘ１〜Ｄｘｍ及びＤｙ１〜Ｄｙｎ、高圧端子Ｈｖは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子である。Ｄｘ１〜Ｄｘｍは電子源のＸ方向配線１０２と、Ｄｙ１〜Ｄｙｎは電子源のＹ方向配線１０５と、Ｈｖはメタルバック１０７と各々電気的に接続している。

また、上記外囲器１１１の内部は１．３×１０^-4Ｐａ程度の真空に保持されており、画像表示装置の表示面積が大きくなるに従い、外囲器１１１内部と外部の気圧差によるリアプレート１０３及びフェースプレート１１０の変形或いは破壊を防止する手段が必要となる。リアプレート１０３及びフェースプレート１１０を厚くすることによる方法は、画像表示装置の重量を増加させるのみならず、斜め方向から見たときに画像のゆがみや視差を生ずる。これに対し、図１０においては、比較的薄いガラス板からなり大気圧を支えるための構造支持体（スペーサー或いはリブと呼ばれる）１１２が設けられている。このようにして、電子源が形成された基板１０１と蛍光膜１０８が形成されたフェースプレート１１０間は通常サブミリ乃至数ミリに保たれ、前述したように外囲器１１１内部は高真空に保持されている。

上記表示パネルを用いた画像表示装置に、容器外端子Ｄｘ１乃至Ｄｘｍ、Ｄｙ１乃至Ｄｙｎを通じて電子放出素子１０６に電圧を印加すると、各電子放出素子１０６から電子が放出される。それと同時にメタルバック１０７に容器外端子Ｈｖを通じて数百［Ｖ］乃至数［ｋＶ］の高圧を印加して、上記放出された電子を加速し、フェースプレート１１０の内面に衝突させる。これにより、蛍光膜１０８をなす各色の蛍光体が励起されて発光し、画像が表示される。

以上述べた構成のもの以外にも、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイやＥＬディスプレイなど、枠材と対向する２つの部材であるフェースプレートとリアプレートとによって内部空間を規定し、該内部空間を所望の雰囲気に保つディスプレイが知られている。

このようなディスプレイを開示する先行技術として特許文献１、２がある。

米国特許第５８１３８９３号明細書 特開平１１−１３５０１８号公報

本願に係わる発明のうちの少なくとも一部が解決しようとする課題として、好適な気密容器を製造できる方法を実現することを挙げることができる。

以下で述べる実施形態で考慮した具体的な課題の例をここで説明する。

本願発明者は、外枠に使用する部材として、画面額縁（非表示領域）を小さくすることと、部材コストを低減するために、断面サイズ（例えば断面幅）の小さい部材を使用することを検討してきた。しかしながら、枠部材の断面サイズを小さくすると、機械的剛性が不足することがわかった。即ち、自身の形状を単体では維持できなくなる。その結果、パネルを組み立てる際、枠部材である外枠をフェースプレート及びリアプレートの所望位置に精度よく位置合わせして、組み立てることが難しくなる。外枠の位置精度が悪いと、内部空間を所望の雰囲気に維持できなくなる可能性が高まり、歩留まりの低下につながる。

本願にかかわる発明の一つは、２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部とを有する気密容器の製造方法であって、
上記枠部を形成するための枠材であって、閉じた形状を有する枠材に張力を印加することで上記枠材を多角形状に保持する工程と、
上記多角形状を保持した状態で上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程と、を有し、
上記張力は、上記多角形状の各辺の長さ方向に印加されることを特徴とする気密容器の製造方法である。

上記本発明の密封容器の製造方法においては、下記の構成を好ましい態様として含む。
上記張力は、上記枠材の多角形状の角部を規制する枠材位置規制部材によって印加される。
上記枠材位置規制部材が、少なくとも一方の基板上に固定された、位置決め部材である。
上記枠材位置規制部材が、上記枠材を一方の基板に固定する治具である。
上記接着する工程では、上記枠材と上記基板とを気密に接着する。
上記多角形状は方形形状である。

また以下の実施形態の説明で具体的に示すように本願に係わる気密容器は画像表示装置に特に好適に適用できるものであり、本願は画像表示装置の製造方法の発明を含んでいる。また画像表示装置を用いたテレビジョン装置の製造方法の発明も含んでいる。

本発明によれば枠材の形状設定の自由度を高めることができる。

本発明の実施形態として以下に示す気密容器の製造方法は、枠材を基板に接着固定する際に、枠材位置規制部材を用い、枠材の形状を保持しながら接着することに特徴を有する。

本発明の実施形態において、基板と枠材との接着工程は、枠材を一方の基板に接着した後に、該枠材と他方の基板を接着する工程、及び、両基板間に枠材を挟持して枠材と両基板を同時に接着する工程のいずれでも良い。

以下、先に説明した電子放出を利用した画像表示装置の表示パネルを例に挙げて、本発明を詳細に説明する。

本発明で用いられる２枚の基板とは、種々の材質、形状の部材が用いられるが、表示パネルを構成する場合には、通常絶縁性基板、特に、ガラス基板が好ましく用いられ、例えば、ソーダライムガラスのフラット基板が用いられる。また、枠材の素材としては、絶縁体や高抵抗体を用いることができるが、基板と同じ素材を用いることが好ましい。さらに、枠材を基板に固定するための接着材としては、真空気密維持とガラス基板との接着性の二つの機能を有する点から、低融点金属、具体的にはＩｎ等の金属或いはその合金が好ましく用いられる。このような接着材は、加熱により軟化させて用いる。加熱方法は、接着材が導電性であれば通電で加熱することもできるが、通電加熱を用いる場合でも、他の加熱手段を併用することが好ましい。具体的には、電磁波の放射による加熱、熱源からの熱伝導による加熱、またはその２つを併用した加熱方法が好ましい。

本発明の実施に際して用いることができる２枚の基板は、その主面の外形に関しては制限はないが、通常、少なくとも一方は外形が方形（長方形或いは正方形）、或いは略方形の板状部材である。枠材は、この方形の基板の外形にほぼ沿った形状で設けられるか、または、この方形の形状を内側に縮小した形状にほぼ沿って設けられる。本発明によれば自身の形状を単体では維持できない枠材を用いて気密容器を製造することができる。自身の形状を単体では維持できない枠材とは、枠材の１箇所を保持するのみでは枠材の形状を必要な精度で維持できない枠材のこという。

方形の枠材の場合、方形形状を維持するためには、四隅の位置を規定することが望ましい。従って、本発明の好ましい一形態においては、枠材の位置規制部材は、枠材の角部の内側もしくは外側の側面で枠材を支持して位置規制することが好ましい。また四辺の少なくとも２箇所を支持する形態も好ましい。形状の維持の際に、枠材の各部位に引っ張り張力をかけることで所望の形状を維持する構成を好適に採用できる。枠材を方形形状などの多角形状に維持するためには枠材の辺に張力がかかるようにするのが好ましい。具体的には上述の通り方形形状の四隅の位置を規定することで方形形状の各辺に引っ張り張力がかかった状態で形状維持を行うことができる。辺の２箇所の位置を規定することで該２箇所の間に挟まれる部分に張力を印加する構成を好適に採用できる。好適には該２箇所は該辺の両端部である。１箇所の位置規定部は隣接する２辺で共有することができるので、方形を維持する場合であって、四辺のそれぞれに張力を印加して形状を維持する場合には、４箇所の位置規定部があればよい。なお、全辺に張力がかかっている必要は無く、例えば後述する実施形態４のように一部の辺は張力印加がなくても形状を維持できるように構成し、張力印加がなければ形状を維持できない辺のみに張力を印加する構成としてもよい。基板サイズが大きくなった場合には、四隅以外に支持する部位を増やすか、枠材の剛性を高めるために、均一な断面の枠材ではなく、部分的に断面積を増やして部分的に剛性を高めた枠材を用いても良い。この場合、はじめから断面積が部分的に異なる枠材を作製しても、断面積を増やす部分のみ、他の部材を接着してもよい。

枠材の位置規制部材としては、一方の基板上に固定した後に枠材を嵌め込んで支持する位置決め部材か、或いは、枠材に取り付けて基板に固定する治具が用いられる。治具は枠材の基板への接着固定工程後に取り外しても良い。その際には、治具の一部を切断して取り外し、一部が枠材に残っても良い。上記位置決め部材の素材としては、基板上に固定する場合には、基板の熱膨張と合わせる上で、基板と熱膨張係数が近い素材、好ましくは同じ素材を用いることが望ましい。従って、基板がガラスの場合、ガラス部材が好ましい。また、治具としては、治具の形状が複雑であることから、加工が容易で、且つ、基板との熱膨張係数が近い素材を用いることが望ましく、基板がガラスの場合、Ｎｅ−Ｎｉ合金が好ましく用いられる。

以下に、本発明の製造方法を実施形態により具体的に示すが、本発明がこれらの形態に限定されるものではない。

（実施形態１）
本発明の第１の実施形態を図１〜図４を用いて説明する。図中１はフェースプレート、２は画像表示領域、３はリアプレート、４は電子源領域、５，６は引き出し配線、７は位置決め部材、８は枠材、１１は接着層、１２ａ，１２ｂは低融点金属層、１３ａ〜１３ｃは下地層、１４は絶縁層である。尚、図４（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。但し、図４（ａ）においては絶縁層１４、下地層１３ａ，１３ｂ，１３ｃ、低融点金属層１２ａは省略した。

本実施形態において、フェースプレート１、リアプレート３、枠材８は、図１０の表示パネルにおけるフェースプレート１１０、リアプレート１０３、外枠１０４にそれぞれ相当する。

フェースプレート１の画像表示領域２は、蛍光膜（不図示）、ブラックストライプ（或いはブラックマトリクス）、メタルバックから構成される。蛍光膜がモノクロームの場合には、蛍光体のみから構成することができ、カラーの場合には、蛍光体の配列により、ブラックストライプ或いはブラックマトリクスと呼ばれる黒色導電材と蛍光体とから構成することができる。ブラックストライプ或いはブラックマトリクスを用いる理由は、カラー表示の場合、必要となる三原色蛍光体の各蛍光体間の塗り分け部を黒くすることで混色等を目立たなくすること、蛍光膜における外光反射によるコントラストの低下を抑制することにある。ブラックストライプの材料としては、通常用いられている黒鉛を主成分とする材料の他、導電性があり、光の透過及び反射が少ない材料を用いることができる。

画像表示領域２に蛍光体を塗布して蛍光膜を形成する方法は、モノクローム、カラーに関係なく、沈殿法及び印刷法等が採用できる。蛍光膜の内面側には、通常メタルバックが設けられている。メタルバックを設ける目的は、蛍光体の発光のうち、内面側への光をフェースプレート１側へ鏡面反射させることにより輝度を向上させること、電子ビーム加速電圧を印加するための電極として作用させること、外囲器内で発生した負イオンの衝突によるダメージから蛍光体を保護すること等である。メタルバックは、蛍光膜作成後、蛍光膜の内面側表面の平滑化（通常、「フィルミング」と呼ばれる）を行い、その後Ａｌを真空蒸着等により堆積させることで作製できる。

電子源領域４は、特開平７−２３５２５５号公報に記載されているように、表示素子である表面伝導型電子放出素子（不図示）をリアプレート３上にマトリクス状に配列して構成され、さらに、引き出し配線５，６をＸ方向配線（不図示）とＹ方向配線（不図示）とに接続してリアプレート３の端部まで引き出す。引き出し配線５，６はＡｇペースト材料を既知の印刷法にてパターン形成し、焼成工程を経てリアプレート３上に形成することができる。次いで、ガラス成分を既知の印刷法にて枠状に形成し、焼成工程を経て固化し、絶縁層１４を形成する〔図２（ａ）〕。この形態では電子線を用いた表示装置を挙げて説明しているが、例えばプラズマディスプレイに本願発明を適用するのであれば、表示素子は放電を生じさせるための電極によって構成されることになる。

枠状に形成した絶縁層１４の上に、Ａｇペースト材料を既知の印刷法にてパターン形成し、焼成して下地層１３ａを形成する。引き出し配線５，６との絶縁を図るため、下地層１３ａは絶縁層１４よりも若干幅を小さく形成する。

次いで、セラミックス製の接着材１１により、セラミックス製の円筒形の位置決め部材７を枠材８を接着する位置の四隅にそれぞれ接着固定する〔図２（ｂ）〕。接着位置は、枠材８の内側の寸法と位置決め部材７の外形形状を考慮し、適正位置（枠材８の位置ずれの許容範囲内）になるように調整する。また、位置決め部材７の高さは枠材８よりも低くなるように形成する。

下地層１３ａの上に低融点金属を塗布ロボットと超音波はんだごてにより枠状に塗布し、低融点金属層１２ａを形成する。一方、ガラス基板を機械加工して枠材８を形成し、Ａｇペースト材料を既知の印刷法にてパターン形成し、焼成して下地層１３ｂを形成する。

尚、枠材は、板状のガラスから打ち抜きによって形成することもできるし、方形の枠形状の４辺をそれぞれ構成するガラス棒を溶接することによって形成することもできる。また枠材の素材はガラスに限るものではなく、例えば針金などの細線を素材として閉じたループを形成し、枠材とすることもできる。

４個の位置決め部材７の上部に、下地層１３ｂをリアプレート３側に向けた枠材８を、不図示の水平維持可能で且つ枠材８の四隅より外側に向かって引っ張り力を付与しうるロボットハンドにて位置決めし、慎重にリアプレート３上に着地させる。これにより、枠材８は位置決め部材７により各辺に張力が印加された状態で、方形形状が保持されることになる〔図２（ｃ）〕。

枠材８上に、上記下地層１３ａ，１３ｂ及び低融点金属層１２ａと同様の工程により、下地層１３ｃ、次いで低融点金属層１２ｂを形成する（図４）。

フェースプレート１とリアプレート３とを、不図示の基板加熱と位置合わせ（Ｘ，Ｙ）及び間隔制御が可能な真空チャンバーの中に入れる。真空チャンバー内で、フェースプレート１とリアプレート３を、それぞれに形成したアライメントマーク（不図示）を用いて位置合わせする（図３）。この際、フェースプレート１とリアプレート３の間隔は相互に接しない位置にある。この状態で、基板加熱装置でフェースプレート１とリアプレート３の温度が低融点金属層１２ａ，１２ｂの融点になるまで昇温させる。次に、間隔制御装置でフェースプレート１とリアプレート３を近接させて、低融点金属層１２ｂとフェースプレート、及び、低融点金属層１２ａとこれを上下で挟む下地層１３ａ，１３ｂとが結合する。当該工程は、枠材８の各辺で低融点金属がはみ出ないように慎重に行う。その後、基板温度を下げることで、フェースプレート１とリアプレート３とは枠材８と接着されて気密容器となる。この際、枠材８は位置決め部材７により位置規制がなされているため、大きな位置ずれを生じることがなく、初期の位置をほぼ維持して、気密性の高い容器が形成される。よって、真空雰囲気で電子放出により画像を形成する画像表示装置において、信頼性の高い表示パネルを提供することができる。

その後、真空チャンバーから大気中へ容器を取り出すことで、フェースプレート１とリアプレート３と枠材８とで囲まれた容器内の内側は真空状態を維持し、真空気密容器として完成する。

尚、引き出し配線５，６、接着層１１、絶縁層１４の材料及び形成方法、位置決め部材７の素材は、上記したものに限定されるものではない。

以上により製造した画像表示装置を用いてテレビジョン装置を作る場合は、この画像表示装置にチューナを接続する。この構成を図１１に示す。表示パネル１１０１は以上により構成した気密容器を有する表示パネルである。チューナを有する受信回路１１０２で所望のチャンネルのテレビジョン放送信号が選択される。受信回路１１０２からの信号はコントロール回路１１０３に入力され、ここで列駆動信号、行駆動信号が生成されて列駆動回路１１０４および行駆動回路１１０５にそれぞれ出力される。列駆動信号は変調信号である。行駆動信号は表示パネルの表示ラインを順次に選択するための走査信号である。列駆動信号に基づく駆動パルスを列駆動回路１１０４が表示パネル１１０１に出力する。また行駆動信号に基づく駆動パルスを行駆動回路１１０５が表示パネル１１０１に出力する。上記表示装置を用いてこのテレビジョン装置を製造する場合、表示パネル１１０１に列駆動回路１１０４をフレキシブルケーブルを用いて接続する。また行駆動回路１１０５もフレキシブルケーブルを用いて接続する。続いてコントロール回路１１０３を列駆動回路１１０４と行駆動回路１１０５に接続し、更に続いて受信回路１１０２と制御回路とを接続する。これによってテレビジョン装置を製造することができる。

（実施形態２）
図５に本発明第２の実施形態における、枠材８とリアプレート３との位置合わせの様子を示す。図中、５１は位置決め部材であり、図３と同じ部材には同じ符号を付した。

位置決め部材５１は、セラミックス製の円筒形の部材を２個連結したものであるが、分離して用いても良い。当該位置決め部材５１は四隅において、それぞれ枠材８の角部を形成する２辺に沿って位置し、位置規制を行う。

本実施形態は、大画面が求められる表示パネルにおいて、大型の枠材８の位置規制をより確実に行う上で、実施形態１より有効な手段である。

（実施形態３）
図６に本発明第３の実施形態における、枠材８とリアプレート３との位置合わせの様子を示す。図中、６１は位置決めピン、６２は固定部材であり、図３と同じ部材には同じ符号を付した。

本実施形態は、位置決め部材として位置決めピン６１と固定部材６２を用い、枠材８の位置規制を、枠材８の外側で行う以外は実施形態１と同様である。具体的には、枠材８の四隅の外側に取り付けた固定部材６２に開けた穴を、リアプレート３の角部にそれぞれ取り付けた位置決めピン６１に不図示のロボットハンドにて嵌合する。位置決めピン６１及び固定部材６２は、好ましくはセラミックスで形成される。

本実施形態によれば、位置決め部材が枠材８の外側に構成されるため、固定部材６２を枠材８に取り付けるために用いられる接着材、及び、位置決めピン６１をリアプレート３に取り付けるために用いられる接着材が真空容器内への脱ガス影響を与えないため、容器を製造する時のみ脱ガスを注意すればよく、長期にわたる脱ガス安定性を有する必要性がなく、接着材の選定幅が広がり、汎用性のある接着材を用いることが可能となる。

（実施形態４＜参考例＞）
図７に本発明第４の実施形態における、枠材８とリアプレート３との位置合わせの様子を示す。図中の符号は図６と同様である。

本実施形態は、枠材８をはしご型とし、相対する一対の辺８ｂが、他方の辺８ａよりも剛性が高くなるようにして、位置決めピン６１を位置決め部材として枠材８の外側で枠材８の位置規制を行う以外は実施形態１と同様である。

本実施形態では、枠材８の辺８ｂの両端を位置決めピン６１が支持し、辺８ａを長さ方向に引っ張るように張力がかかるが、辺８ｂは剛性を高くしているため、十分にその張力に耐えることができる。また、実施形態３に比較して部品点数が減るため、製造コストを低減することができる。すなわち、枠材の形状を張力を印加して方形などの多角形状に維持する場合、実施形態１などのように全辺に張力がかかっている状態にする必要は無く、張力が印加されないと形状が維持できない辺に張力が印加されていればよい。

（実施形態５）
図８に本発明の第５の実施形態における、枠材位置規制部材による枠材８の支持状態を示す。図中、８１は治具であり、図４，図７と同じ部材には同じ符号を付した。

本実施形態では、枠材位置規制部材として治具８１を用い、枠材８を高剛性の８ｂと低剛性の８ａによりはしご型に構成した以外は、実施形態１と同様である。

本実施形態では、パネルを組み立てる際の熱膨張を考慮し、リアプレート１の素材に合わせた治具８１を用い、高剛性の辺８ｂに該治具８１をかけてリアプレート１に固定する。パネル組立後は治具８１を取り外すことができる。

本実施形態によれば、実施形態４のような位置決めピン６１が不要であるため、製造コストをより低減することができる。

（実施形態６）
図９に本発明の実施形態における、枠材位置規制部材による枠材８の支持状態を示す。図中、８２は治具の接着部、８３は治具であり、図４と同じ部材には同じ符号を付した。

本実施形態では、枠材位置規制部材として治具８３を用い、低融点金属とはんだごてにより接着部８２を形成して、枠材８に治具８３を直接接着固定して用いた以外は、実施形態１と同様である。治具８３はリアプレート３の角部に引っかかる構造である。

本実施形態によれば、枠材９のハンドリングの際に、治具８３をつまんで搬送することが可能であるため、搬送装置の設計自由度を高めることが可能となる。また、パネル組立後は、治具８３をそのまま残して不図示のパネル駆動筐体グラウンドと接着部８２とを接続し、電位を規定する部材としても使用することができる。或いは、所望位置で切断しても良い。

上記実施形態１〜６において、枠材位置規制部材の個数、サイズ、面内の位置は、本発明の範囲内で自由に選択することができ、また、枠材を先に接着する基板をフェースプレート１としても構わない。

（実施例１）
実施形態１の工程により、画像表示装置の表示パネルを製造した。

本実施例では、ソーダライムガラス基板上に蛍光膜とメタルバックを形成したフェースプレート１と、特開平７−２３５２５５号公報に記載された表面伝導型電子放出素子をソーダライムガラス基板上にマトリクス状に配置してなるリアプレート３とを用い、枠材８としては、フェースプレート１、リアプレート３と同様のガラス部材を用いた。また、低融点金属１２ａ，１２ｂにはＩｎ材料を、下地層１３ａ〜１３ｃとしてはＡｇペースト（配線材料）を、位置規制部材７には真空雰囲気を汚さないセラミックスを主成分とする、直径３ｍｍ、厚み１ｍｍの円筒形の部材を用いた。

本例で得られた表示パネルを、駆動電気系に接続して表示させたところ、パネル内の真空状態が良好に保たれ、安定な駆動と画像表示ができることが確認された。

（実施例２）
実施形態２の位置規制部材５１として、直径８ｍｍ、厚み１ｍｍの２個のセラミックス製の円筒形の部材を低熱膨張金属棒により連結したものを用いた以外は、実施例１と同様にして画像表示装置の表示パネルを製造した。

本例で得られた表示パネルを、駆動電気系に接続して表示させたところ、パネル内の真空状態が良好に保たれ、安定な駆動と画像表示ができることが確認された。

本発明の実施形態１の表示パネルの構成を示す模式図である。 本発明の実施形態１の表示パネルの製造工程を示す模式図である。 本発明の実施形態１におけるフェースプレートの接着工程を示す模式図である。 本発明の実施形態１における、枠材をリアプレートに接着した状態を示す模式図である。 本発明の実施形態２における、枠材とリアプレートとの位置合わせの様子を示す模式図である。 本発明の実施形態３における、枠材とリアプレートとの位置合わせの様子を示す模式図である。 本発明の実施形態４における、枠材とリアプレートとの位置合わせの様子を示す模式図である。 本発明の第５の実施形態における、枠材位置規制部材による枠材の支持状態を示す模式図である。 本発明の第６の実施形態における、枠材位置規制部材による枠材の支持状態を示す模式図である。 従来の表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置の表示パネルの一例の概略構成図である。 テレビジョン装置の構成を示す図である。

符号の説明

１ フェースプレート
２ 画像表示領域
３ リアプレート
４ 電子源領域
５ Ｘ方向配線
６ Ｙ方向配線
７ 枠材位置規制部材
８ 枠材
８ａ，８ｂ 枠材の辺
５１ 位置決め部材
６１ 位置決めピン
６２ 固定部材
８１，８３ 治具
８２ 接着部
１１ 接着層
１２ 低融点金属層
１３ 下地層
１４ 絶縁層
１０１ 電子源基板
１０２ Ｘ方向配線
１０３ リアプレート
１０４ 外枠
１０５ Ｙ方向配線
１０６ 電子放出素子
１０７ メタルバック
１０８ 蛍光膜
１０９ ガラス基体
１１０ フェースプレート
１１１ 外囲器
１１０１ 表示パネル
１１０２ 受信回路
１１０３ コントロール回路
１１０４ 列駆動回路
１１０５ 行駆動回路

Claims (8)

1. ２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部とを有する気密容器の製造方法であって、
   上記枠部を形成するための枠材であって、閉じた形状を有する枠材に張力を印加することで上記枠材を多角形状に保持する工程と、
   上記多角形状を保持した状態で上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程と、を有し、
   上記張力は、上記多角形状の各辺の長さ方向に印加されることを特徴とする気密容器の製造方法。
2. 上記張力は、上記枠材の多角形状の角部を規制する枠材位置規制部材によって印加される請求項１に記載の気密容器の製造方法。
3. 上記枠材位置規制部材が、少なくとも一方の基板上に固定された、位置決め部材である請求項２に記載の気密容器の製造方法。
4. 上記枠材位置規制部材が、上記枠材を一方の基板に固定する治具である請求項２に記載の気密容器の製造方法。
5. 上記接着する工程では、上記枠材と上記基板とを気密に接着する請求項１乃至４のいずれかに記載の気密容器の製造方法。
6. 上記多角形状は方形形状であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の気密容器の製造方法。
7. ２枚の基板と、該両基板に固定され、両基板間に所定の空間を形成する枠部と、前記空間内に配置される表示素子と、を有する画像表示装置の製造方法であって、
   上記枠部を形成するための枠材であって、閉じた形状を有する枠材に張力を印加することで上記枠材を多角形状に保持する工程と、
   上記多角形状を保持した状態で上記枠材を少なくとも一方の基板に接着する工程と、を有し、
   上記張力は、上記多角形状の各辺の長さ方向に印加されることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
8. テレビジョン装置の製造方法であって、
   請求項７に記載の方法によって製造した画像表示装置に、テレビジョン放送信号を受信するチューナーを接続する工程を有するテレビジョン装置の製造方法。

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