JP3535793B2 - 画像形成装置 - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/861—Vessels or containers characterised by the form or the structure thereof
- H01J29/862—Vessels or containers characterised by the form or the structure thereof of flat panel cathode ray tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/36—Spacers, barriers, ribs, partitions or the like
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/862—Frames
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像形成装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、平面型画像形成装置として、
電子放出素子を用いた画像形成装置やプラズマディスプ
レイパネル（以下ＰＤＰと略す）などがある。また、電
子放出素子としては、熱電子源を用いたもの、冷陰極電
子源を用いたものの２種類が知られている。上記画像形
成装置は、例えば、特開昭６２−２００６３６号、、特
開昭６２−２５２０５０号、特開平０５−７４３８０
号、特開平０４−４３５３８号、特開平０８−２６４１
１２号，特開平０８−３２１２５４号、特開平１１−２
５８６０号、ＵＳＰ３８９６３２４などに開示されてい
る。
電子放出素子を用いた画像形成装置やプラズマディスプ
レイパネル（以下ＰＤＰと略す）などがある。また、電
子放出素子としては、熱電子源を用いたもの、冷陰極電
子源を用いたものの２種類が知られている。上記画像形
成装置は、例えば、特開昭６２−２００６３６号、、特
開昭６２−２５２０５０号、特開平０５−７４３８０
号、特開平０４−４３５３８号、特開平０８−２６４１
１２号，特開平０８−３２１２５４号、特開平１１−２
５８６０号、ＵＳＰ３８９６３２４などに開示されてい
る。
【０００３】冷陰極電子源には、電界放出型（ＦＥ
型）、金属／絶縁層／金属（ＭＩＭ型）、表面伝導型な
どが実用化されつつある。
型）、金属／絶縁層／金属（ＭＩＭ型）、表面伝導型な
どが実用化されつつある。
【０００４】電子放出素子を用いた画像形成装置では、
電子放出素子と画像形成部材とが、気密容器内に配置さ
れる。より具体的には、リアプレート上に設けられた複
数の電子放出素子から放出された電子が、リアプレート
に対向して配置されたフェースプレート上の蛍光体（画
像形成部材）に照射されることによって、画像が形成さ
れるものである。
電子放出素子と画像形成部材とが、気密容器内に配置さ
れる。より具体的には、リアプレート上に設けられた複
数の電子放出素子から放出された電子が、リアプレート
に対向して配置されたフェースプレート上の蛍光体（画
像形成部材）に照射されることによって、画像が形成さ
れるものである。
【０００５】上記画像形成装置を例えばディスプレイと
して用いる場合には、画像形成部材（蛍光体）に数ｋＶ
から数十ｋＶの高電圧を印加する必要がある。そのた
め、フェースプレートとリアプレート間の十分な電気的
絶縁性を確保するために、上記リアプレートとフェース
プレートは、その間隔を外枠などと呼ばれる支持部材に
より所定の間隔をおいて配置される。そして、上記支持
部材とリアプレートおよびフェースプレートとの接合部
（両プレートの外周部）を接合部材により接合（気密封
止）して気密容器を形成している。そして、内部は、電
子放出に必要な減圧状態を形成している。
して用いる場合には、画像形成部材（蛍光体）に数ｋＶ
から数十ｋＶの高電圧を印加する必要がある。そのた
め、フェースプレートとリアプレート間の十分な電気的
絶縁性を確保するために、上記リアプレートとフェース
プレートは、その間隔を外枠などと呼ばれる支持部材に
より所定の間隔をおいて配置される。そして、上記支持
部材とリアプレートおよびフェースプレートとの接合部
（両プレートの外周部）を接合部材により接合（気密封
止）して気密容器を形成している。そして、内部は、電
子放出に必要な減圧状態を形成している。
【０００６】ここで、図７に基づいて、従来の気密容器
の構成および製造方法の一例を簡略に説明する。
の構成および製造方法の一例を簡略に説明する。
【０００７】図７に示すように、気密容器７１０は、リ
アプレート７０２、フェースプレート７０１および支持
部材７０３から構成されており、支持部材７０３は、板
状（直方体）の構成部材７０３−１，７０３−２，７０
３−３，７０３−４の４つで形成されている。
アプレート７０２、フェースプレート７０１および支持
部材７０３から構成されており、支持部材７０３は、板
状（直方体）の構成部材７０３−１，７０３−２，７０
３−３，７０３−４の４つで形成されている。
【０００８】支持部材７０３は、上述した４つの構成部
材を枠状に組み合せて、低融点ガラスなどの接合剤によ
り予め固定しておくことで準備される。
材を枠状に組み合せて、低融点ガラスなどの接合剤によ
り予め固定しておくことで準備される。
【０００９】次に、背面板（リアプレート）７０２と前
面板（フェースプレート）７０１の接合部に、低融点ガ
ラスなどの接合層７０４を形成した後、支持部材７０３
を中央に挟み、背面板（リアプレート）７０２と前面板
（フェースプレー）７０１とをアライメントして貼り合
わせ、さらに荷重をかけながら接合層７０４が軟化する
温度まで加熱した後、冷却する。最後に、排気管（不図
示）により容器内を排気して、容器内において真空雰囲
気もしくはガス雰囲気を形成した後、排気管を封止する
方法、もしくは真空チャンバ内で上記雰囲気を形成して
封着する排気管レスの方法を用いて封止することによ
り、気密容器７１０が完成される。
面板（フェースプレート）７０１の接合部に、低融点ガ
ラスなどの接合層７０４を形成した後、支持部材７０３
を中央に挟み、背面板（リアプレート）７０２と前面板
（フェースプレー）７０１とをアライメントして貼り合
わせ、さらに荷重をかけながら接合層７０４が軟化する
温度まで加熱した後、冷却する。最後に、排気管（不図
示）により容器内を排気して、容器内において真空雰囲
気もしくはガス雰囲気を形成した後、排気管を封止する
方法、もしくは真空チャンバ内で上記雰囲気を形成して
封着する排気管レスの方法を用いて封止することによ
り、気密容器７１０が完成される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の画像形
成装置の製造方法では、構成部材の接合部における接着
性が不十分となり易いことから、封着後の容器における
スローリーク（極微少な真空漏れ）が発生したりする場
合があった。また、気密容器７１０内部は減圧状態であ
るため、図７のように支持部材の隅部が略直角である
と、角（隅）部において応力集中が生じ易く、接着剤の
剥がれが発生する場合がある。
成装置の製造方法では、構成部材の接合部における接着
性が不十分となり易いことから、封着後の容器における
スローリーク（極微少な真空漏れ）が発生したりする場
合があった。また、気密容器７１０内部は減圧状態であ
るため、図７のように支持部材の隅部が略直角である
と、角（隅）部において応力集中が生じ易く、接着剤の
剥がれが発生する場合がある。
【００１１】真空リークが生じると、気密容器内に配置
された電子放出素子から電子が放出されなくなり、画像
形成装置として機能しなくなる。
された電子放出素子から電子が放出されなくなり、画像
形成装置として機能しなくなる。
【００１２】上述した角部での応力集中は、図７のよう
に、複数の構成部材（７０３−１〜７０３−４）を組み
合わせた場合だけではなく、ガラス板を隅部が略直角に
なるような長方形（枠状）にくりぬいた場合においても
同様の問題である。これらの理由によって、従来の画像
形成装置の構造では、その製造の歩留まりを悪化させる
要因の一つになっていた。この現象は、画像形成装置が
大型化するほど顕著である。
に、複数の構成部材（７０３−１〜７０３−４）を組み
合わせた場合だけではなく、ガラス板を隅部が略直角に
なるような長方形（枠状）にくりぬいた場合においても
同様の問題である。これらの理由によって、従来の画像
形成装置の構造では、その製造の歩留まりを悪化させる
要因の一つになっていた。この現象は、画像形成装置が
大型化するほど顕著である。
【００１３】また、一体化された支持部材においても、
前記隅部に応力が集中して強度的にも弱い形状となって
いることから、取り扱いが難しく、製造装置が複雑化す
るなど、生産性の低下を引き起こしていた。
前記隅部に応力が集中して強度的にも弱い形状となって
いることから、取り扱いが難しく、製造装置が複雑化す
るなど、生産性の低下を引き起こしていた。
【００１４】本発明は、上述した従来の技術が有する問
題点を解決するものであり、支持部材の形状を工夫、改
良することにより、歩留まりが良く、信頼性の高い画像
形成装置を提供することを目的とするものである。
題点を解決するものであり、支持部材の形状を工夫、改
良することにより、歩留まりが良く、信頼性の高い画像
形成装置を提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の画像表示装置は、電子放出素子が複数配
置されたリアプレートと、前記リアプレートに対向して
配置され、画像形成部材を有するフェースプレートと、
前記リアプレートと前記フェースプレートとの間にあっ
て前記フェースプレートとリアプレートとの間隔を規定
する支持部材とからなり、その内部が減圧状態に保持さ
れてなる気密容器を有し、前記支持部材は外周および内
周が実質的に長方形の形状をもち、かつ４つの隅部を有
し、該４つの隅部の形状が、前記容器内側および外側に
おいて曲率を有し、前記気密容器の外側における前記隅
部の曲率半径：Ｒ２は１ｍｍ以上４０ｍｍ以下であっ
て、前記気密容器の内側における前記隅部の曲率半径：
Ｒ１は前記Ｒ２以下の値であり、かつ、前記支持部材
は、前記フェースプレートおよびリアプレートと、接着
材により接合されてなることを特徴とする。
ため、本発明の画像表示装置は、電子放出素子が複数配
置されたリアプレートと、前記リアプレートに対向して
配置され、画像形成部材を有するフェースプレートと、
前記リアプレートと前記フェースプレートとの間にあっ
て前記フェースプレートとリアプレートとの間隔を規定
する支持部材とからなり、その内部が減圧状態に保持さ
れてなる気密容器を有し、前記支持部材は外周および内
周が実質的に長方形の形状をもち、かつ４つの隅部を有
し、該４つの隅部の形状が、前記容器内側および外側に
おいて曲率を有し、前記気密容器の外側における前記隅
部の曲率半径：Ｒ２は１ｍｍ以上４０ｍｍ以下であっ
て、前記気密容器の内側における前記隅部の曲率半径：
Ｒ１は前記Ｒ２以下の値であり、かつ、前記支持部材
は、前記フェースプレートおよびリアプレートと、接着
材により接合されてなることを特徴とする。
【００１６】
【００１７】本発明の画像表示装置は、更なる好ましい
特徴として、「前記気密容器の外側における、前記隅部
の曲率半径：Ｒ２は１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であるこ
と」、「前記気密容器内部は、１０-6Ｐａ以上の真空度
に維持されてなること」、「前記フェースプレートとリ
アプレートの間隔が、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であ
ること」、「前記支持部材は、前記フェースプレートと
リアプレートとが対向する方向における長さをＨとし、
前記フェースプレートあるいはリアプレートの平面と実
質的に平行な方向における長さをＤとした時に、Ｈ＜Ｄ
を満たすこと」、「前記フェースプレートは、電極を有
し、該電極に１ｋＶ以上２０ｋＶ以下の電圧が印加され
ること」、「前記電子放出素子は、冷陰極電子放出素子
であること」、「前記電子放出素子は、表面伝導型電子
放出素子であること」、を含む。
特徴として、「前記気密容器の外側における、前記隅部
の曲率半径：Ｒ２は１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であるこ
と」、「前記気密容器内部は、１０-6Ｐａ以上の真空度
に維持されてなること」、「前記フェースプレートとリ
アプレートの間隔が、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であ
ること」、「前記支持部材は、前記フェースプレートと
リアプレートとが対向する方向における長さをＨとし、
前記フェースプレートあるいはリアプレートの平面と実
質的に平行な方向における長さをＤとした時に、Ｈ＜Ｄ
を満たすこと」、「前記フェースプレートは、電極を有
し、該電極に１ｋＶ以上２０ｋＶ以下の電圧が印加され
ること」、「前記電子放出素子は、冷陰極電子放出素子
であること」、「前記電子放出素子は、表面伝導型電子
放出素子であること」、を含む。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
画像形成装置の実施形態の一例について説明する。
画像形成装置の実施形態の一例について説明する。
【００１９】本発明は、とりわけ電界放出素子、表面伝
導型電子放出素子等の電子放出素子を複数配置し、蛍光
体等の画像形成部材を発光させて表示する平面型画像形
成装置に好ましく適用できる。そして、特に、上記電子
放出素子と画像形成部材との間隔（フェースプレートと
リアプレートとの間隔）が０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以
下、さらには１ｍｍ以上５ｍｍ以下の画像形成装置に特
に好ましく適用される。
導型電子放出素子等の電子放出素子を複数配置し、蛍光
体等の画像形成部材を発光させて表示する平面型画像形
成装置に好ましく適用できる。そして、特に、上記電子
放出素子と画像形成部材との間隔（フェースプレートと
リアプレートとの間隔）が０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以
下、さらには１ｍｍ以上５ｍｍ以下の画像形成装置に特
に好ましく適用される。
【００２０】図１に基づいて、本発明の画像形成装置の
主要な構成の一例を説明する。
主要な構成の一例を説明する。
【００２１】図１は、本発明の画像形成装置の斜視図で
あり、内部構造を示すためにパネルの一部を切り欠いて
示してある。
あり、内部構造を示すためにパネルの一部を切り欠いて
示してある。
【００２２】図１において、本発明の画像形成装置（気
密容器）１１０は、前面板である第一の基板１０１と、
背面板である第二の基板１０２と、第一および第二の基
板間に挟持された支持部材１０３と、これらの各部材の
接合部に配置した接着剤１０４とにより、構成される。
気密容器１１０の内部は減圧状態に保持されており、１
０-6Ｐａ以上、好ましくは、それよりも高い１０-7Ｐａ
以上の真空度に保持されている。
密容器）１１０は、前面板である第一の基板１０１と、
背面板である第二の基板１０２と、第一および第二の基
板間に挟持された支持部材１０３と、これらの各部材の
接合部に配置した接着剤１０４とにより、構成される。
気密容器１１０の内部は減圧状態に保持されており、１
０-6Ｐａ以上、好ましくは、それよりも高い１０-7Ｐａ
以上の真空度に保持されている。
【００２３】前面板１０１は、透明な部材で構成された
フェースプレートであり、ガラスであることが好まし
い。また、フェースプレートは実質的に４角形状であ
る。
フェースプレートであり、ガラスであることが好まし
い。また、フェースプレートは実質的に４角形状であ
る。
【００２４】上記画像形成装置では、電子と衝突して発
光する蛍光体および電子放出素子から放出された電子を
引き付けるアノード電極（メタルバック）などがフェー
スプレート上に配置されている。上記電極には高電圧が
印加される。リアプレート上の素子に印加される電圧を
基準（０Ｖ）とすると、蛍光体の発光輝度や後述する支
持部材の厚みなどから、上記電極に印加される電圧は、
１ｋＶ以上２０ｋＶ以下の電圧であり、５ｋＶ以上２０
ｋＶ以下がより好ましく、６ｋＶ以上１５ｋＶ以下が特
に好ましい。
光する蛍光体および電子放出素子から放出された電子を
引き付けるアノード電極（メタルバック）などがフェー
スプレート上に配置されている。上記電極には高電圧が
印加される。リアプレート上の素子に印加される電圧を
基準（０Ｖ）とすると、蛍光体の発光輝度や後述する支
持部材の厚みなどから、上記電極に印加される電圧は、
１ｋＶ以上２０ｋＶ以下の電圧であり、５ｋＶ以上２０
ｋＶ以下がより好ましく、６ｋＶ以上１５ｋＶ以下が特
に好ましい。
【００２５】また、ＰＤＰでは配線等がフェースプレー
ト上に設置されている。
ト上に設置されている。
【００２６】背面板１０２は、ガラス等で構成されたリ
アプレートであり、フェースプレートと同等の熱膨張係
数をもつ材料であることが好ましい。また、フェースプ
レートと同様、リアプレートは実質的に４角形状であ
る。尚、リアプレート上には複数の電子放出素子が配列
形成される。そのため、複数の素子を駆動する配線を気
密容器内部から取出し、外部の駆動回路と接続するため
に、リアプレートの面積は、フェースプレートの面積よ
りも大きいことが好ましい。
アプレートであり、フェースプレートと同等の熱膨張係
数をもつ材料であることが好ましい。また、フェースプ
レートと同様、リアプレートは実質的に４角形状であ
る。尚、リアプレート上には複数の電子放出素子が配列
形成される。そのため、複数の素子を駆動する配線を気
密容器内部から取出し、外部の駆動回路と接続するため
に、リアプレートの面積は、フェースプレートの面積よ
りも大きいことが好ましい。
【００２７】電子放出素子を用いた画像形成装置では、
電子放出素子がリアプレート上に配置されている。リア
プレート１０２およびフェースプレート１０１は、支持
部材１０３の外周で囲まれる面積よりも大きい面積の主
面を有する。
電子放出素子がリアプレート上に配置されている。リア
プレート１０２およびフェースプレート１０１は、支持
部材１０３の外周で囲まれる面積よりも大きい面積の主
面を有する。
【００２８】また、ＰＤＰでは、プラズマ領域を限定す
るための隔壁などがリアプレート上に設置されており、
さらに反射型のＰＤＰでは蛍光体が設置されている。
るための隔壁などがリアプレート上に設置されており、
さらに反射型のＰＤＰでは蛍光体が設置されている。
【００２９】支持部材１０３は、前面板１０１および背
面板１０２と実質的に同等な熱膨張率をもつ材料で形成
されることが好ましい。
面板１０２と実質的に同等な熱膨張率をもつ材料で形成
されることが好ましい。
【００３０】また、本発明の支持部材１０３は、特に、
その幅Ｄが高さ（厚み）Ｈよりも大きいことが好まし
い。このようにすることで、特に、フェースプレート１
０１とリアプレート１０２との間隔（支持部材１０３の
厚みＨ）が０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下（特には１ｍｍ
以上５ｍｍ以下）という非常に薄い画像形成装置におけ
る、支持部材の強度、気密容器の気密性を維持すること
ができる。
その幅Ｄが高さ（厚み）Ｈよりも大きいことが好まし
い。このようにすることで、特に、フェースプレート１
０１とリアプレート１０２との間隔（支持部材１０３の
厚みＨ）が０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下（特には１ｍｍ
以上５ｍｍ以下）という非常に薄い画像形成装置におけ
る、支持部材の強度、気密容器の気密性を維持すること
ができる。
【００３１】図８（ａ）は、図１に示した本発明の支持
部材１０３をフェースプレート１０１側からみた模式平
面図である。図８（ａ）は、支持部材１０３をフェース
プレートあるいはリアプレートの主面と実質的に平行な
平面で切断した際の断面図ともいうことができる。但
し、図８では、支持部材の内周側および外周側の双方の
隅部（コーナー）に曲率を持たせた場合を示している。
部材１０３をフェースプレート１０１側からみた模式平
面図である。図８（ａ）は、支持部材１０３をフェース
プレートあるいはリアプレートの主面と実質的に平行な
平面で切断した際の断面図ともいうことができる。但
し、図８では、支持部材の内周側および外周側の双方の
隅部（コーナー）に曲率を持たせた場合を示している。
【００３２】支持部材１０３の外周および内周は、図
１，図８に示す様に、実質的に長方形の形状をもつ。長
方形の長辺と短辺との比は、表示画像のアスペクト比に
もよるが、４：３もしくは１６：９である。
１，図８に示す様に、実質的に長方形の形状をもつ。長
方形の長辺と短辺との比は、表示画像のアスペクト比に
もよるが、４：３もしくは１６：９である。
【００３３】さらに、本発明では、実質的に長方形の外
周および内周を有する支持部材１０３において、容器外
側（外周）に位置する、４つ全ての隅部または角部（コ
ーナー）の形状を円弧（曲率を有する）形状とし、さら
に、容器内側（内周）に位置する、４つ全ての隅部また
は角部（コーナー）の形状を円弧形状（曲率を有する）
とすることが強度を保つ上でもっとも好ましい（図８、
図９（ａ）参照）。
周および内周を有する支持部材１０３において、容器外
側（外周）に位置する、４つ全ての隅部または角部（コ
ーナー）の形状を円弧（曲率を有する）形状とし、さら
に、容器内側（内周）に位置する、４つ全ての隅部また
は角部（コーナー）の形状を円弧形状（曲率を有する）
とすることが強度を保つ上でもっとも好ましい（図８、
図９（ａ）参照）。
【００３４】即ち、容器外側の隅部の形状を曲率を有す
る形態とし、容器内側に位置する隅部の形状を直角とす
ると、隅部で支持部材の幅Ｄが狭くなってしまうためで
ある（図９（ｂ）参照）。
る形態とし、容器内側に位置する隅部の形状を直角とす
ると、隅部で支持部材の幅Ｄが狭くなってしまうためで
ある（図９（ｂ）参照）。
【００３５】容器内側の隅部を曲率を有する形態とする
のは、上記したような気密容器の強度的な観点の他に、
電子放出素子から放出される電子ビームの軌道の安定
性、画像形成装置の安定性などの観点からも要求される
ためである。
のは、上記したような気密容器の強度的な観点の他に、
電子放出素子から放出される電子ビームの軌道の安定
性、画像形成装置の安定性などの観点からも要求される
ためである。
【００３６】つまり、図９（ｂ）を用いて説明したよう
に、容器内側に位置する隅部の形状を直角とすると、気
密容器の強度が下がるので、逆に容器内側に位置する隅
部を画像形成領域側に近づけてしまうと、画像形成領域
内の電子放出素子に近づいてしまう。
に、容器内側に位置する隅部の形状を直角とすると、気
密容器の強度が下がるので、逆に容器内側に位置する隅
部を画像形成領域側に近づけてしまうと、画像形成領域
内の電子放出素子に近づいてしまう。
【００３７】このため、支持部材の材料にもよるが、支
持部材は一般に絶縁性の材料を用いるので、電子放出素
子から放出された電子、あるいは、アノード電極に照射
された電子が散乱されることにより生じる散乱電子が、
前記支持部材隅部の表面に照射され、その部分が顕著な
帯電を起こすことがある。
持部材は一般に絶縁性の材料を用いるので、電子放出素
子から放出された電子、あるいは、アノード電極に照射
された電子が散乱されることにより生じる散乱電子が、
前記支持部材隅部の表面に照射され、その部分が顕著な
帯電を起こすことがある。
【００３８】このような帯電を起こすと、アノード電極
には数ｋＶから数十ｋＶの高電圧が印加されるので、ア
ノード電極とリアプレート上の素子（画像形成領域）と
の間で放電が起こる可能性がある。
には数ｋＶから数十ｋＶの高電圧が印加されるので、ア
ノード電極とリアプレート上の素子（画像形成領域）と
の間で放電が起こる可能性がある。
【００３９】そのため、画像形成領域と支持部材との距
離Ｌは、実質的に等距離であることが、画像形成装置に
おける放電を抑制する観点からも、また、画像形成装置
全体に対する画像形成領域の比率を十分に多くするため
にも好ましい。
離Ｌは、実質的に等距離であることが、画像形成装置に
おける放電を抑制する観点からも、また、画像形成装置
全体に対する画像形成領域の比率を十分に多くするため
にも好ましい。
【００４０】そのため、本発明においては、容器外側
（外周）に位置する、４つ全ての隅部または角部（コー
ナー）の形状を円弧（曲率を有する）形状とし、さら
に、容器内側（内周）に位置する、４つ全ての隅部また
は角部（コーナー）の形状を円弧形状（曲率を有する）
とするのである（図８、図９（ａ）など）。
（外周）に位置する、４つ全ての隅部または角部（コー
ナー）の形状を円弧（曲率を有する）形状とし、さら
に、容器内側（内周）に位置する、４つ全ての隅部また
は角部（コーナー）の形状を円弧形状（曲率を有する）
とするのである（図８、図９（ａ）など）。
【００４１】ここで、本発明における「画像形成領域」
とは、電子放出素子が配置された領域、すなわち最も端
に位置する素子を結んだ線の内側の領域、および、その
領域が対向するフェースプレート上の領域を基本的には
意味する。しかしながら、実際には、ビームの広がりが
あるため、最も端に位置する素子から放出されるビーム
の広がりを考慮した領域までを含む。換言すると、「画
像形成領域」とは、最も端に位置する素子から放出され
るビームが、アノード（フェースプレート）上に形成す
るスポットを結んだ内側の領域、および、その領域が対
向するリアプレート上の領域を意味する。
とは、電子放出素子が配置された領域、すなわち最も端
に位置する素子を結んだ線の内側の領域、および、その
領域が対向するフェースプレート上の領域を基本的には
意味する。しかしながら、実際には、ビームの広がりが
あるため、最も端に位置する素子から放出されるビーム
の広がりを考慮した領域までを含む。換言すると、「画
像形成領域」とは、最も端に位置する素子から放出され
るビームが、アノード（フェースプレート）上に形成す
るスポットを結んだ内側の領域、および、その領域が対
向するリアプレート上の領域を意味する。
【００４２】また、特に好ましくは、角部（コーナー）
の支持部材の幅Ｄを、４つの辺に相当する部分（長方形
の４辺に位置する略直線になっている部分）の幅Ｄより
も大きくとることが、気密容器の強度上好ましい。換言
すると、前記隅部の幅が、最も大きいことが、気密容器
の強度上好ましい。
の支持部材の幅Ｄを、４つの辺に相当する部分（長方形
の４辺に位置する略直線になっている部分）の幅Ｄより
も大きくとることが、気密容器の強度上好ましい。換言
すると、前記隅部の幅が、最も大きいことが、気密容器
の強度上好ましい。
【００４３】また、特に強度を高めるためには、容器外
側（外周）に位置する、４つの隅部または角部（コーナ
ー）の曲率半径Ｒ２（図８参照）は１ｍｍから４０ｍｍ
であり、さらには、１０ｍｍから２０ｍｍが好ましい。
また、容器内側（内周）に位置する、４つの隅部または
角部（コーナー）の曲率半径Ｒ１（図８参照）は、上記
Ｒ２以下の値であり、好ましくはＲ２よりも小さい値で
ある。
側（外周）に位置する、４つの隅部または角部（コーナ
ー）の曲率半径Ｒ２（図８参照）は１ｍｍから４０ｍｍ
であり、さらには、１０ｍｍから２０ｍｍが好ましい。
また、容器内側（内周）に位置する、４つの隅部または
角部（コーナー）の曲率半径Ｒ１（図８参照）は、上記
Ｒ２以下の値であり、好ましくはＲ２よりも小さい値で
ある。
【００４４】また、図８（ｃ）に示す様に、容器内側
（内周）の曲率中心Ａと、外側（外周）の曲率中心Ｂ
は、互いに異なっていても良い。
（内周）の曲率中心Ａと、外側（外周）の曲率中心Ｂ
は、互いに異なっていても良い。
【００４５】本発明の支持部材１０３は、くり貫き加
工、研削加工、加熱プレス加工、棒材からの折り曲げ加
工等で形成することができるが、特にこれらに限定され
るものではない。
工、研削加工、加熱プレス加工、棒材からの折り曲げ加
工等で形成することができるが、特にこれらに限定され
るものではない。
【００４６】支持部材の厚み（全面板と背面板との間隔
方向の長さ）Ｈは、画像形成装置の性能（輝度、表示画
像の安定性）の観点に加え、精度や、重量、ハンドリン
グなどの観点から、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であ
り、１ｍｍ以上５ｍｍ以下であることがより好ましい。
方向の長さ）Ｈは、画像形成装置の性能（輝度、表示画
像の安定性）の観点に加え、精度や、重量、ハンドリン
グなどの観点から、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であ
り、１ｍｍ以上５ｍｍ以下であることがより好ましい。
【００４７】接着剤１０４は、無機系、有機系接着剤
等、特に限定されるものではないが、真空気密性を保持
しうること、放出ガスが極力少ないこと、後工程におけ
る熱処理（ベーク処理など）に耐えうる耐熱性をもちう
ること、接合後の機械的強度が十分であること等の条件
を満たすことが必要である。また、特に前面板、背面板
および支持部材がガラス材である場合には、低融点ガラ
スが多く用いられる。
等、特に限定されるものではないが、真空気密性を保持
しうること、放出ガスが極力少ないこと、後工程におけ
る熱処理（ベーク処理など）に耐えうる耐熱性をもちう
ること、接合後の機械的強度が十分であること等の条件
を満たすことが必要である。また、特に前面板、背面板
および支持部材がガラス材である場合には、低融点ガラ
スが多く用いられる。
【００４８】なお、画像形成装置は、排気管（不図示）
により容器を排気し、容器内において真空雰囲気もしく
はガス雰囲気を形成した後、排気管を封止する方法もし
くは真空チャンバ内で容器雰囲気を形成して封着する排
気管レスの方法により、封止して気密容器が完成され
る。
により容器を排気し、容器内において真空雰囲気もしく
はガス雰囲気を形成した後、排気管を封止する方法もし
くは真空チャンバ内で容器雰囲気を形成して封着する排
気管レスの方法により、封止して気密容器が完成され
る。
【００４９】次に、図２に基づいて、本発明の画像形成
装置の製造方法を説明する。 （１）前面板２０１、支持部材２０３の封着部に接着剤
層２０４を形成する。 （２）前面板２０１と背面板２０２を支持部材２０３を
介して位置合わせしながら貼り合わせて加熱し、接着材
を流動させて所望の時間、加圧保持する。 （３）冷却し、加圧を除去する。
装置の製造方法を説明する。 （１）前面板２０１、支持部材２０３の封着部に接着剤
層２０４を形成する。 （２）前面板２０１と背面板２０２を支持部材２０３を
介して位置合わせしながら貼り合わせて加熱し、接着材
を流動させて所望の時間、加圧保持する。 （３）冷却し、加圧を除去する。
【００５０】このようにして、画像形成装置の容器が製
造される。
造される。
【００５１】
【実施例】以下に、具体的な実施例を挙げて、本発明の
画像形成装置をさらに詳細に説明する。
画像形成装置をさらに詳細に説明する。
【００５２】
＜実施例１（参考例）＞
本発明の実施例１を、図２に基づいて説明する。
【００５３】本実施例では、冷陰極電子放出素子である
表面伝導型電子放出素子を電子放出素子として複数個、
背面板２０２に形成し、前面板２０１には蛍光体を配設
し、有効表示エリアを対角３インチとした縦、横比３：
４のカラー画像形成装置を作製した。
表面伝導型電子放出素子を電子放出素子として複数個、
背面板２０２に形成し、前面板２０１には蛍光体を配設
し、有効表示エリアを対角３インチとした縦、横比３：
４のカラー画像形成装置を作製した。
【００５４】図５は、本実施例に用いた画像形成装置の
斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切
り欠いて示してある。
斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切
り欠いて示してある。
【００５５】図５中、５０２はリアプレート、５０３は
支持部材、５０１はフェースプレートであり、フェース
プレート５０１、リアプレート５０２、支持部材５０３
により表示パネルの内部を真空に維持するための気密容
器を形成している。なお、図５において、１０４は接着
剤、５０４は電子放出素子群、５０５は画像表示部をそ
れぞれ示す。
支持部材、５０１はフェースプレートであり、フェース
プレート５０１、リアプレート５０２、支持部材５０３
により表示パネルの内部を真空に維持するための気密容
器を形成している。なお、図５において、１０４は接着
剤、５０４は電子放出素子群、５０５は画像表示部をそ
れぞれ示す。
【００５６】リアプレート５０２上には、表面伝導型電
子放出素子がｎ×ｍ個形成されている（ｎ、ｍは２以上
の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜
選択される。例えば、高品位テレビジョンの表示を目的
とした画像形成装置においては、ｎ＝３０００、ｍ＝１
０００以上の数を設定することが好ましい。本実施例に
おいては、ｎ＝１００、ｍ＝１００とした）。
子放出素子がｎ×ｍ個形成されている（ｎ、ｍは２以上
の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜
選択される。例えば、高品位テレビジョンの表示を目的
とした画像形成装置においては、ｎ＝３０００、ｍ＝１
０００以上の数を設定することが好ましい。本実施例に
おいては、ｎ＝１００、ｍ＝１００とした）。
【００５７】上述したｎ×ｍ個の表面伝導型電子放出素
子は、ｍ本の行方向配線（上配線と述べる場合もある）
と、ｎ本の列方向配線（下配線と述べる場合もある）に
より、単純マトリックス配線されている。
子は、ｍ本の行方向配線（上配線と述べる場合もある）
と、ｎ本の列方向配線（下配線と述べる場合もある）に
より、単純マトリックス配線されている。
【００５８】図３は、本発明の画像形成装置に適用可能
な表面伝導型電子放出素子の構成を示す模式図であり、
図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は断面図である。
な表面伝導型電子放出素子の構成を示す模式図であり、
図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は断面図である。
【００５９】図３において、３０１は基板、３０２と３
０３は素子電極、３０４は導電性膜、３０５は電子放出
部である。
０３は素子電極、３０４は導電性膜、３０５は電子放出
部である。
【００６０】素子電極３０２，３０３を通じて、導電性
膜３０４にフォーミング処理を施すことにより、導電性
膜３０４を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめて、
電気的に高抵抗な状態にした電子放出部３０５を形成す
る。さらに、放出電流を著しく改善する活性化工程にお
いて、表面伝導型電子放出素子の導電性膜３０４に電圧
を印加し、素子に電流を流すことにより、上述した電子
放出部３０５より電子を放出せしめるものである（な
お、この技術は、従来技術で述べた特開平７−２３５２
５５号公報と同様のものである）。
膜３０４にフォーミング処理を施すことにより、導電性
膜３０４を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめて、
電気的に高抵抗な状態にした電子放出部３０５を形成す
る。さらに、放出電流を著しく改善する活性化工程にお
いて、表面伝導型電子放出素子の導電性膜３０４に電圧
を印加し、素子に電流を流すことにより、上述した電子
放出部３０５より電子を放出せしめるものである（な
お、この技術は、従来技術で述べた特開平７−２３５２
５５号公報と同様のものである）。
【００６１】また、フェースプレート５０１の下面に
は、蛍光膜とメタルバックからなる画像表示部５０５が
形成されている。本実施例はカラー表示装置であるた
め、蛍光膜の部分にはＣＲＴの分野で用いられる赤、
緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられている。各色
の蛍光体は、たとえば図４（ａ）に示すように、ストラ
イプ状に塗り分けられ、蛍光体のストライプの間には黒
色の導電体が設けてある。黒色の導電体を設ける目的
は、電子ビームの照射位置に多少のずれがあっても表示
色にずれが生じないようにすることや、外光の反射を防
止して表示コントラストの低下を防ぐこと、電子ビーム
による蛍光膜のチャージアップを防止することなどであ
る。黒色の導電体には、黒鉛を主成分として用いたが、
上記の目的に適するものであれば、これ以外の材料を用
いてもよい。
は、蛍光膜とメタルバックからなる画像表示部５０５が
形成されている。本実施例はカラー表示装置であるた
め、蛍光膜の部分にはＣＲＴの分野で用いられる赤、
緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられている。各色
の蛍光体は、たとえば図４（ａ）に示すように、ストラ
イプ状に塗り分けられ、蛍光体のストライプの間には黒
色の導電体が設けてある。黒色の導電体を設ける目的
は、電子ビームの照射位置に多少のずれがあっても表示
色にずれが生じないようにすることや、外光の反射を防
止して表示コントラストの低下を防ぐこと、電子ビーム
による蛍光膜のチャージアップを防止することなどであ
る。黒色の導電体には、黒鉛を主成分として用いたが、
上記の目的に適するものであれば、これ以外の材料を用
いてもよい。
【００６２】また、３原色の蛍光体の塗り分け方は、図
４（ａ）に示したストライプ状の配列に限られるもので
はなく、たとえば図４（ｂ）に示すようなデルタ状配列
や、それ以外の配列であってもよい。
４（ａ）に示したストライプ状の配列に限られるもので
はなく、たとえば図４（ｂ）に示すようなデルタ状配列
や、それ以外の配列であってもよい。
【００６３】なお、モノクロームの表示パネルを作成す
る場合には、単色の蛍光体材料を蛍光膜に用いればよ
く、また黒色導電材料は必ずしも用いなくともよい。
る場合には、単色の蛍光体材料を蛍光膜に用いればよ
く、また黒色導電材料は必ずしも用いなくともよい。
【００６４】また、蛍光膜のリアプレート５０２側の面
には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバックを設けてあ
る。メタルバックを設けた目的は、蛍光膜が発する光の
一部を鏡面反射して光利用率を向上させることや、負イ
オンの衝突から蛍光膜を保護することや、電子ビーム加
速電圧を印加するための電極として作用させることや、
蛍光膜を励起した電子の導電路として作用させることな
どである。なお、蛍光膜に低電圧用の蛍光体材料を用い
た場合には、メタルバックは用いない。
には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバックを設けてあ
る。メタルバックを設けた目的は、蛍光膜が発する光の
一部を鏡面反射して光利用率を向上させることや、負イ
オンの衝突から蛍光膜を保護することや、電子ビーム加
速電圧を印加するための電極として作用させることや、
蛍光膜を励起した電子の導電路として作用させることな
どである。なお、蛍光膜に低電圧用の蛍光体材料を用い
た場合には、メタルバックは用いない。
【００６５】また、本実施例では用いなかったが、加速
電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェ
ースプレート基板と蛍光膜との間に、たとえばＩＴＯを
材料とする透明電極を設けてもよい。
電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェ
ースプレート基板と蛍光膜との間に、たとえばＩＴＯを
材料とする透明電極を設けてもよい。
【００６６】以上、本発明を適用した平面型画像形成装
置の実施例１の基本構成を説明した。
置の実施例１の基本構成を説明した。
【００６７】次に、本発明の平面型画像形成装置の実施
例１の製造方法について順に説明する。
例１の製造方法について順に説明する。
【００６８】工程−１（リアプレートの作製）
青板ガラス上に、シリコン酸化膜をスパッタ法で形成し
た後、その上に素子電極を形成した。次に、下配線、上
配線、層間絶縁層、上配線を順次スクリーン印刷法で形
成した。
た後、その上に素子電極を形成した。次に、下配線、上
配線、層間絶縁層、上配線を順次スクリーン印刷法で形
成した。
【００６９】なお、下配線と上配線は、素子電極に接続
するように形成してある。次に、導電性膜をスパッタ法
で形成した後、パターニングして所望の形態とし電子放
出素子群（画像形成領域）５０４を形成した。
するように形成してある。次に、導電性膜をスパッタ法
で形成した後、パターニングして所望の形態とし電子放
出素子群（画像形成領域）５０４を形成した。
【００７０】工程−２（フェースプレートの作製）
青板ガラス基板に、蛍光体および黒色導電体を、印刷法
により形成した。さらに、蛍光膜の内面側表面の平滑化
処理（フィルミング処理）を行い、その後Ａｌを真空蒸
着等を用いて堆積させ、メタルバックを形成した。
により形成した。さらに、蛍光膜の内面側表面の平滑化
処理（フィルミング処理）を行い、その後Ａｌを真空蒸
着等を用いて堆積させ、メタルバックを形成した。
【００７１】さらに、フェースプレート５０１の周縁の
支持部材接合部に、ディスペンサによって低融点ガラス
ペーストを塗布し、乾燥後、３８０℃で１０分間、前処
理（仮焼成）することにより低融点ガラス層を形成し
た。なお、低融点ガラスは、日本電気硝子社製ＬＳ−３
０８１をペーストとし用いた。
支持部材接合部に、ディスペンサによって低融点ガラス
ペーストを塗布し、乾燥後、３８０℃で１０分間、前処
理（仮焼成）することにより低融点ガラス層を形成し
た。なお、低融点ガラスは、日本電気硝子社製ＬＳ−３
０８１をペーストとし用いた。
【００７２】工程−３（支持枠の作製）
青板ガラス板材から研削加工により、厚さ３．６ｍｍ、
幅７ｍｍ、隅部の内側曲率半径２±０．５ｍｍの支持部
材５０３を作製した。
幅７ｍｍ、隅部の内側曲率半径２±０．５ｍｍの支持部
材５０３を作製した。
【００７３】さらに、リアプレート５０２との封着面
に、ディスペンサによって低融点ガラスペーストを塗布
し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理（仮焼成）する
ことにより低融点ガラス層を形成した。
に、ディスペンサによって低融点ガラスペーストを塗布
し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理（仮焼成）する
ことにより低融点ガラス層を形成した。
【００７４】低融点ガラスは、フェースプレート５０１
と同様に、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペースト
として用いた。
と同様に、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペースト
として用いた。
【００７５】工程−４（封着）
フェースプレート５０１とリアプレート５０２の間に支
持部材５０３を介して重ね合わせ、位置合わせしながら
容器全体を均一加熱し、接着剤を流動させて、４１０℃
において１０分間加圧保持することによりパネルの封着
を行なった。
持部材５０３を介して重ね合わせ、位置合わせしながら
容器全体を均一加熱し、接着剤を流動させて、４１０℃
において１０分間加圧保持することによりパネルの封着
を行なった。
【００７６】工程−５
封着後冷却し、加圧を除去した。
【００７７】工程−６
以上のようにして完成した容器内の雰囲気を、排気管
（図示せず）を通じ真空ポンプにより排気し、十分な真
空度に達した後、容器外端子（不図示）を通じて電子放
出素子に電圧を印加し、フォーミング工程、活性化工程
を行い、電子放出部を作製した。
（図示せず）を通じ真空ポンプにより排気し、十分な真
空度に達した後、容器外端子（不図示）を通じて電子放
出素子に電圧を印加し、フォーミング工程、活性化工程
を行い、電子放出部を作製した。
【００７８】さらに、一連の工程終了後、２５０℃で、
１０時間ベーキングを行った。
１０時間ベーキングを行った。
【００７９】工程−７
次に、室温で、１０-7Ｐａの程度の真空度まで排気し、
不図示の排気管をガスバーナで熱することにより溶着し
て外囲器の封止を行った。最後に、封止後の真空度を維
持するために、高周波加熱法でゲッタ処理を行った。
不図示の排気管をガスバーナで熱することにより溶着し
て外囲器の封止を行った。最後に、封止後の真空度を維
持するために、高周波加熱法でゲッタ処理を行った。
【００８０】以上のように完成した本発明の画像形成装
置において、各電子放出素子には、容器外端子（不図
示）を通じ、走査信号および変調信号を不図示の信号発
生手段よりそれぞれ印加することにより、電子放出させ
る。そして、高圧端子（不図示）を通じ、メタルバッ
ク、あるいは透明電極（不図示）に１０ｋＶの高圧を印
加し、電子ビームを加速して蛍光膜に衝突させ、励起・
発光させることにより画像を表示した。
置において、各電子放出素子には、容器外端子（不図
示）を通じ、走査信号および変調信号を不図示の信号発
生手段よりそれぞれ印加することにより、電子放出させ
る。そして、高圧端子（不図示）を通じ、メタルバッ
ク、あるいは透明電極（不図示）に１０ｋＶの高圧を印
加し、電子ビームを加速して蛍光膜に衝突させ、励起・
発光させることにより画像を表示した。
【００８１】この結果、支持部材の隅部におけるスロー
リークの発生や、封着後の容器の破損（剥がれ）を低減
することができ、歩留まりがよく、信頼性の高い画像形
成装置が得られた。
リークの発生や、封着後の容器の破損（剥がれ）を低減
することができ、歩留まりがよく、信頼性の高い画像形
成装置が得られた。
【００８２】また、支持部材単体での強度が向上するこ
とにより、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化によ
り生産性を向上させることができた。
とにより、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化によ
り生産性を向上させることができた。
【００８３】＜実施例２＞本発明の画像形成装置の実施
例２は、軽量化を図るために、耐大気圧部材としてスペ
ーサを設置し、周縁支持部材の隅部を内外両側において
円弧形状とした画像形成装置である。
例２は、軽量化を図るために、耐大気圧部材としてスペ
ーサを設置し、周縁支持部材の隅部を内外両側において
円弧形状とした画像形成装置である。
【００８４】この実施例２は、実施例１と同様に、冷陰
極電子放出素子である表面伝導型電子放出素子を電子放
出素子として複数個、背面板に形成し、前面板には蛍光
体を配設し、有効表示エリアを対角１０インチとする
縦、横比３：４のカラー画像形成装置を作製した。
極電子放出素子である表面伝導型電子放出素子を電子放
出素子として複数個、背面板に形成し、前面板には蛍光
体を配設し、有効表示エリアを対角１０インチとする
縦、横比３：４のカラー画像形成装置を作製した。
【００８５】まず、図６に基づいて、本実施例の画像形
成装置を説明し、次に、その製造方法を説明する。
成装置を説明し、次に、その製造方法を説明する。
【００８６】図６は、実施例２に用いた画像形成装置の
斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切
り欠いて示してある。
斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切
り欠いて示してある。
【００８７】図６中、６０２はリアプレート、６０４は
耐大気圧部材であるスペーサ、６０３は支持部材、６０
１はフェースプレートであり、フェースプレート６０
１、リアプレート６０２、支持部材６０３、スペーサ６
０４により、表示パネルの内部を真空に維持するための
気密容器を形成している。
耐大気圧部材であるスペーサ、６０３は支持部材、６０
１はフェースプレートであり、フェースプレート６０
１、リアプレート６０２、支持部材６０３、スペーサ６
０４により、表示パネルの内部を真空に維持するための
気密容器を形成している。
【００８８】リアプレート６０２上には、表面伝導型電
子放出素子が７２０×２４０個形成されており、これら
は、２４０本の行方向配線６０６（上配線と述べる場合
もある）と、７２０本の列方向配線６０７（下配線と述
べる場合もある）により、単純マトリックス配線されて
いる。
子放出素子が７２０×２４０個形成されており、これら
は、２４０本の行方向配線６０６（上配線と述べる場合
もある）と、７２０本の列方向配線６０７（下配線と述
べる場合もある）により、単純マトリックス配線されて
いる。
【００８９】また、フェースプレート６０１の下面に
は、赤、緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられた蛍
光膜６０８が形成されており、また蛍光膜６０８のリア
プレート６０２側にはメタルバック６０９を設けてあ
る。
は、赤、緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられた蛍
光膜６０８が形成されており、また蛍光膜６０８のリア
プレート６０２側にはメタルバック６０９を設けてあ
る。
【００９０】また、リアプレート上のＤｘ１〜Ｄｘｍ、
Ｄｙ１〜ＤｙｎおよびＨｖは、当該表示パネルと不図示
の電気回路とを電気的に接続するために、容器外部に引
き出した引き出し配線である。Ｄｘ１〜Ｄｘｍは、マル
チ電子ビーム源の行方向配線６０６と、Ｄｙ１〜Ｄｙｎ
は、マルチ電子ビーム源の列方向配線６０７と、Ｈｖ
は、フェースプレート６０１のメタルバック６０９と電
気的に接続している。
Ｄｙ１〜ＤｙｎおよびＨｖは、当該表示パネルと不図示
の電気回路とを電気的に接続するために、容器外部に引
き出した引き出し配線である。Ｄｘ１〜Ｄｘｍは、マル
チ電子ビーム源の行方向配線６０６と、Ｄｙ１〜Ｄｙｎ
は、マルチ電子ビーム源の列方向配線６０７と、Ｈｖ
は、フェースプレート６０１のメタルバック６０９と電
気的に接続している。
【００９１】なお、図６中、６０５は電子放出素子部、
６１０は低融点ガラス層をそれぞれ示す。
６１０は低融点ガラス層をそれぞれ示す。
【００９２】以上、本発明を適用した平面型画像形成装
置の実施例２の基本構成を説明した。
置の実施例２の基本構成を説明した。
【００９３】次に、本発明の平面型画像形成装置の実施
例２の製造方法について順に説明する。
例２の製造方法について順に説明する。
【００９４】工程−１（リアプレートの作製）
青板ガラス上に、シリコン酸化膜をスパッタ法で形成し
た後、その上に素子電極を形成した。次に下配線、上配
線、層間絶縁層、上配線を、順次スクリーン印刷法で形
成した。なお、下配線と上配線は、素子電極に接続する
ように形成してある。
た後、その上に素子電極を形成した。次に下配線、上配
線、層間絶縁層、上配線を、順次スクリーン印刷法で形
成した。なお、下配線と上配線は、素子電極に接続する
ように形成してある。
【００９５】次に、有機金属化合物の水溶液の液滴をイ
ンクジェット法で付与した後、基板を３５０℃で焼成
し、有機金属化合物を熱分解して金属酸化物の導電性膜
を作製した。なおこの場合は、インクジェット法で付与
した導電性膜のパターニング工程は必要ない。
ンクジェット法で付与した後、基板を３５０℃で焼成
し、有機金属化合物を熱分解して金属酸化物の導電性膜
を作製した。なおこの場合は、インクジェット法で付与
した導電性膜のパターニング工程は必要ない。
【００９６】さらに、スペーサ６０４を固定するための
フリットガラス層を、上配線上の規定された箇所にディ
スペンサによって塗布し、乾燥後３８０℃で１０分間前
処理（仮焼成）することで形成した。
フリットガラス層を、上配線上の規定された箇所にディ
スペンサによって塗布し、乾燥後３８０℃で１０分間前
処理（仮焼成）することで形成した。
【００９７】なお、フリットガラスは、導電性のフリッ
トガラスを用いた。
トガラスを用いた。
【００９８】工程−２（フェースプレート６０１の作
製） 青板ガラス基板に、蛍光体、黒色導電体を印刷法により
形成した。さらに、蛍光膜の内面側表面の平滑化処理を
行い、その後、Ａｌを真空蒸着等を用いて堆積させてメ
タルバック６０９を形成した。
製） 青板ガラス基板に、蛍光体、黒色導電体を印刷法により
形成した。さらに、蛍光膜の内面側表面の平滑化処理を
行い、その後、Ａｌを真空蒸着等を用いて堆積させてメ
タルバック６０９を形成した。
【００９９】さらに、フェースプレート６０１の周縁の
支持部材接合部に、ディスペンサによって低融点ガラス
ペーストを塗布し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理
（仮焼成）することにより低融点ガラス層を形成した。
なお、低融点ガラスは、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８
１をペーストとし用いた。
支持部材接合部に、ディスペンサによって低融点ガラス
ペーストを塗布し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理
（仮焼成）することにより低融点ガラス層を形成した。
なお、低融点ガラスは、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８
１をペーストとし用いた。
【０１００】工程−３（支持枠の作製）
青板ガラス板材から、くり貫き加工により、厚さ１．６
ｍｍ、幅１３ｍｍ、隅部の内側曲率半径１０±１．０ｍ
ｍ、隅部の外側曲率半径１８±１．０ｍｍの支持部材５
０３を作製した。なお、隅部の円弧形状は、内側、外側
ともに同一中心を持つものとしている。
ｍｍ、幅１３ｍｍ、隅部の内側曲率半径１０±１．０ｍ
ｍ、隅部の外側曲率半径１８±１．０ｍｍの支持部材５
０３を作製した。なお、隅部の円弧形状は、内側、外側
ともに同一中心を持つものとしている。
【０１０１】さらに、リアプレート６０２との封着面
に、ディスペンサによって低融点ガラスペーストを塗布
し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理（仮焼成）する
ことにより、低融点ガラス層６１０を形成した。
に、ディスペンサによって低融点ガラスペーストを塗布
し、乾燥後、３８０℃で１０分間前処理（仮焼成）する
ことにより、低融点ガラス層６１０を形成した。
【０１０２】低融点ガラスは、フェースプレート６０１
と同様に、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペースト
として用いた。
と同様に、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペースト
として用いた。
【０１０３】工程−４（スペーサの取り付け）
リアプレート６０２の配線上に設けた低融点ガラス層６
１０上にスペーサ６０４を位置合わせして、加圧加熱す
ることによりスペーサ６０４を接合した。接合温度は、
４５０℃である。なお、スペーサ６０４は、厚み２００
μｍ、高さ１．８ｍｍとしたガラス製の平板状スペーサ
であり、その表面には２次電子放出効率が小さく、高抵
抗な膜（本実施例ではＣｒＯｘを用いた）を形成したも
のを用いた。
１０上にスペーサ６０４を位置合わせして、加圧加熱す
ることによりスペーサ６０４を接合した。接合温度は、
４５０℃である。なお、スペーサ６０４は、厚み２００
μｍ、高さ１．８ｍｍとしたガラス製の平板状スペーサ
であり、その表面には２次電子放出効率が小さく、高抵
抗な膜（本実施例ではＣｒＯｘを用いた）を形成したも
のを用いた。
【０１０４】工程−５（封着）
フェースプレート６０１と、工程−４においてスペーサ
６０４が立てられたリアプレート６０２を、支持部材６
０３を間に介して重ね合わせ、位置合わせしながら容器
全体を均一加熱し、接着材を流動させて、４１０℃にお
いて１０分間加圧保持することにより、パネルの封着を
行なった。
６０４が立てられたリアプレート６０２を、支持部材６
０３を間に介して重ね合わせ、位置合わせしながら容器
全体を均一加熱し、接着材を流動させて、４１０℃にお
いて１０分間加圧保持することにより、パネルの封着を
行なった。
【０１０５】工程−６
封着後冷却し、加圧を除去した。
【０１０６】工程−７
以上のようにして完成した容器内の雰囲気を、排気管
（図示せず）を通じ真空ポンプにより排気し、十分な真
空度に達した後、容器外端子Ｄｘ１〜Ｄｘｍと、Ｄｙ１
〜Ｄｙｎを通じて電子放出素子に電圧を印加し、導電性
膜をフォーミング、活性化することにより電子放出素子
部６０５を作製した。さらに、一連の工程終了後、２５
０℃で１０時間ベーキングを行った。
（図示せず）を通じ真空ポンプにより排気し、十分な真
空度に達した後、容器外端子Ｄｘ１〜Ｄｘｍと、Ｄｙ１
〜Ｄｙｎを通じて電子放出素子に電圧を印加し、導電性
膜をフォーミング、活性化することにより電子放出素子
部６０５を作製した。さらに、一連の工程終了後、２５
０℃で１０時間ベーキングを行った。
【０１０７】工程−８
次に、室温で、１０-7Ｐａの程度の真空度まで排気し、
不図示の排気管をガスバーナで熱することにより溶着し
て、外囲器の封止を行った。最後に、封止後の真空度を
維持するために、高周波加熱法でゲッタ処理を行った。
不図示の排気管をガスバーナで熱することにより溶着し
て、外囲器の封止を行った。最後に、封止後の真空度を
維持するために、高周波加熱法でゲッタ処理を行った。
【０１０８】以上のように完成した本発明の画像形成装
置において、各電子放出素子には、容器外端子Ｄｘ１〜
Ｄｘｍ、Ｄｙ１〜Ｄｙｎを通じて、走査信号および変調
信号を不図示の信号発生手段よりそれぞれ印加すること
により電子放出させる。そして、高圧端子Ｈｖを通じ
て、メタルバック、あるいは透明電極（不図示）に数ｋ
Ｖ以上の高圧を印加し、電子ビームを加速して蛍光膜に
衝突させ、励起・発光させることにより画像を表示し
た。
置において、各電子放出素子には、容器外端子Ｄｘ１〜
Ｄｘｍ、Ｄｙ１〜Ｄｙｎを通じて、走査信号および変調
信号を不図示の信号発生手段よりそれぞれ印加すること
により電子放出させる。そして、高圧端子Ｈｖを通じ
て、メタルバック、あるいは透明電極（不図示）に数ｋ
Ｖ以上の高圧を印加し、電子ビームを加速して蛍光膜に
衝突させ、励起・発光させることにより画像を表示し
た。
【０１０９】この結果、支持部材の隅部におけるスロー
リークの発生や、封着後の容器の破損（剥がれ）を低減
することができ、歩留まりがよく、信頼性の高い画像形
成装置が得られた。
リークの発生や、封着後の容器の破損（剥がれ）を低減
することができ、歩留まりがよく、信頼性の高い画像形
成装置が得られた。
【０１１０】また、支持部材単体での強度が向上するこ
とにより、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化によ
り生産性を向上させることができた。
とにより、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化によ
り生産性を向上させることができた。
【０１１１】なお、本実施例では、リアプレート側にス
ペーサを固定したが、フェースプレート側にスペーサを
取り付けてもよい。
ペーサを固定したが、フェースプレート側にスペーサを
取り付けてもよい。
【０１１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の画像形成
装置は、支持部材の４つの隅部の形状が、容器内側およ
び外側において曲率を有する（円弧形状としている）。
装置は、支持部材の４つの隅部の形状が、容器内側およ
び外側において曲率を有する（円弧形状としている）。
【０１１３】したがって、支持部材を一体型で成形する
ことが容易となり、分割支持部材構成で見られていた隅
部におけるスローリークの発生や、封着後の容器の破損
（剥がれ）を低減することができ、歩留まりがよく、信
頼性の高い画像形成装置を得ることができる。
ことが容易となり、分割支持部材構成で見られていた隅
部におけるスローリークの発生や、封着後の容器の破損
（剥がれ）を低減することができ、歩留まりがよく、信
頼性の高い画像形成装置を得ることができる。
【０１１４】また、支持部材自体の強度が向上すること
により、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化により
生産性を向上させることができる。
により、取り扱いも安易になり、装置等の簡略化により
生産性を向上させることができる。
【０１１５】
【図１】本発明の平面型画像形成装置の主要な構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】本発明の平面型画像形成装置の製造方法を示す
概略図である。
概略図である。
【図３】実施例１で用いた冷陰極の表面伝導型電子放出
素子の模式図である。
素子の模式図である。
【図４】実施例１で用いた蛍光膜の例を示す模式図であ
る。
る。
【図５】実施例１の平面型画像形成装置の斜視図であ
る。
る。
【図６】実施例２の平面型画像形成装置の斜視図であ
る。
る。
【図７】従来の平面型画像形成装置の概略構成を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図８】本発明の画像形成装置の支持部材の一例の平面
模式図である。
模式図である。
【図９】本発明の画像形成装置の支持部材の一例の平面
模式図である。
模式図である。
１０１，２０１，７０１ 前面板
１０２，２０２，７０２ 背面板
１０３，２０３，５０３，７０３ 支持部材
１０４，７０４ 接着剤
１０５ 隅部（角部）
２０４ 接着剤層
３０１ 基板
３０２，３０３ 素子電極
３０４ 導電性膜
３０５ 電子放出部
５０１，６０１ フェースプレート
５０２，６０２ リアプレート
５０４ 電子放出素子群
５０５ 画像表示部
６０３ 支持部材
６０４ スペーサ
６０５ 電子放出素子部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 29/86
H01J 31/12
H01J 31/15
Claims (8)
- 【請求項１】 電子放出素子が複数配置されたリアプレ
ートと、前記リアプレートに対向して配置され、画像形
成部材を有するフェースプレートと、前記リアプレート
と前記フェースプレートとの間にあって前記フェースプ
レートとリアプレートとの間隔を規定する支持部材とか
らなり、その内部が減圧状態に保持されてなる気密容
器、を有する画像形成装置において、 前記支持部材は外周および内周が実質的に長方形の形状
をもち、かつ４つの隅部を有し、該４つの隅部の形状
が、前記容器内側および外側において曲率を有し、前記
気密容器の外側における前記隅部の曲率半径：Ｒ２は１
ｍｍ以上４０ｍｍ以下であって、前記気密容器の内側に
おける前記隅部の曲率半径：Ｒ１は前記Ｒ２以下の値で
あり、かつ、前記支持部材は、前記フェースプレートお
よびリアプレートと、接着材により接合されてなること
を特徴とする画像形成装置。 - 【請求項２】 前記気密容器の外側における、前記隅部
の曲率半径：Ｒ２は１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。 - 【請求項３】 前記気密容器内部は、１０-6Ｐａ以上の
真空度に維持されてなることを特徴とする請求項１また
は２に記載の画像形成装置。 - 【請求項４】 前記フェースプレートとリアプレートの
間隔が、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることを特徴
とする請求項１乃至３いずれかに記載の画像形成装置。 - 【請求項５】 前記支持部材は、前記フェースプレート
とリアプレートとが対向する方向における長さをＨと
し、前記フェースプレートあるいはリアプレートの平面
と実質的に平行な方向における長さをＤとした時に、Ｈ
＜Ｄを満たすことを特徴とする請求項４に記載の画像形
成装置。 - 【請求項６】 前記フェースプレートは、電極を有し、
該電極に１ｋＶ以上２０ｋＶ以下の電圧が印加されるこ
とを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の画像形
成装置。 - 【請求項７】 前記電子放出素子は、冷陰極電子放出素
子であることを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記
載の画像形成装置。 - 【請求項８】 前記電子放出素子は、表面伝導型電子放
出素子であることを特徴とする請求項１乃至７いずれか
に記載の画像形成装置。詳細な説明
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000034488A JP3535793B2 (ja) | 1999-03-02 | 2000-02-14 | 画像形成装置 |
| US09/511,068 US6583552B1 (en) | 1999-03-02 | 2000-02-23 | Image-forming apparatus |
| US10/366,471 US6951496B2 (en) | 1999-03-02 | 2003-02-14 | Method of manufacturing an image-forming apparatus comprising a supporting frame with corners having a predetermined radius of curvature |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-54216 | 1999-03-02 | ||
| JP5421699 | 1999-03-02 | ||
| JP2000034488A JP3535793B2 (ja) | 1999-03-02 | 2000-02-14 | 画像形成装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000315468A JP2000315468A (ja) | 2000-11-14 |
| JP3535793B2 true JP3535793B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000034488A Expired - Fee Related JP3535793B2 (ja) | 1999-03-02 | 2000-02-14 | 画像形成装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3535793B2 (ja) |
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| GB0209513D0 (en) * | 2002-04-25 | 2002-06-05 | Cambridge Display Tech Ltd | Display devices |
| US7285900B2 (en) * | 2003-10-22 | 2007-10-23 | Teco Nanotech Co., Ltd. | Field emission display having self-adhesive frame |
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| JP2005353313A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Toshiba Corp | 画像表示装置 |
| JP2008034317A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
| JP2009092860A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Panasonic Corp | カメラモジュールおよびカメラモジュールの製造方法 |
| TWI395168B (zh) * | 2009-03-18 | 2013-05-01 | Prime View Int Co Ltd | 可撓性顯示面板 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS62252050A (ja) | 1986-04-25 | 1987-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置用真空容器 |
| JPH0821349B2 (ja) | 1990-06-08 | 1996-03-04 | 松下電器産業株式会社 | 平板型表示装置用真空容器 |
| JPH0574380A (ja) | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置 |
| CA2299957C (en) | 1993-12-27 | 2003-04-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron-emitting device and method of manufacturing the same as well as electron source and image-forming apparatus |
| JP3416266B2 (ja) | 1993-12-28 | 2003-06-16 | キヤノン株式会社 | 電子放出素子とその製造方法、及び該電子放出素子を用いた電子源及び画像形成装置 |
| JP2836015B2 (ja) | 1995-03-22 | 1998-12-14 | キヤノン株式会社 | 電子放出素子、電子源、画像形成装置の製造方法 |
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| US5834891A (en) * | 1996-06-18 | 1998-11-10 | Ppg Industries, Inc. | Spacers, spacer units, image display panels and methods for making and using the same |
| KR100358797B1 (ko) | 1997-07-02 | 2003-01-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 배기관이없는형광표시관의제조방법 |
| US6254449B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-07-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of image forming apparatus, manufacturing apparatus of image forming apparatus, image forming apparatus, manufacturing method of panel apparatus, and manufacturing apparatus of panel apparatus |
-
2000
- 2000-02-14 JP JP2000034488A patent/JP3535793B2/ja not_active Expired - Fee Related
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-
2003
- 2003-02-14 US US10/366,471 patent/US6951496B2/en not_active Expired - Fee Related
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