JP3689651B2

JP3689651B2 - 電子線装置

Info

Publication number: JP3689651B2
Application number: JP2001218314A
Authority: JP
Inventors: 尚雄田島; 俊光川瀬
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2000-07-24
Filing date: 2001-07-18
Publication date: 2005-08-31
Anticipated expiration: 2021-07-18
Also published as: US6885156B2; US7282852B2; US20050046332A1; JP2003092075A; US20020021081A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子放出素子を用いた電子線装置に関するものである。特に、放出された電子を加速する加速電極を有する構成に関わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、テレビ、コンピュータの端末、広告媒体、標識などの用途に、電子放出素子を用いた画像表示装置、プラズマ放電を用いた画像表示装置、液晶を用いた画像表示装置、蛍光表示管を用いた画像表示装置などの薄型の画像表示装置としての表示パネルが用いられている。
【０００３】
更に近年注目されているのが、画面サイズ４０型以上の壁掛けテレビであり、それは薄型の画像表示パネルの特徴を生かすものである。前記画像表示パネルの中でも画面の見易さと低消費電力という商品性で注目されているのが電子放出素子を用いた表示装置である。
【０００４】
この電子放出素子を用いた表示装置の動作原理は従来のＣＲＴ（陰極線管）に近く、真空容器内部で電子を放出し高電圧を印加した蛍光体にその電子を衝突させて発光現象を起すものである。
【０００５】
この印加する高電圧の値はＣＲＴにおいては約１５［ｋＶ］〜２５［ｋＶ］、電子放出素子を用いた表示装置においては約１０［ｋＶ］〜１５［ｋＶ］に達するため、高電圧を印加する蛍光体周辺には電気的アース構成と絶縁構成を設ける技術が知られている。
【０００６】
本発明に係わる従来例として、ＣＲＴの電気的アース接地構造を図１７を参照して説明する。図１７は、従来例の画像表示装置の縦断面図であり、一般的なＣＲＴの断面図を示している。
【０００７】
図１７において、１７００は内部に画像表示のための蛍光体と導電膜を形成したフェースプレート、１７０１はＣＲＴの真空容器を構成するファンネル、１７０２は防爆用の金属性テンションバンド、１７０３はテンションバンド１７０２の外周に形成された取付け耳部で、この取付け耳部１７０３を介してＣＲＴはテレビなどの画像表示装置の筐体内に組み込まれる。
【０００８】
１７０４は前記ファンネルの外壁に形成されたカーボン等を含む低抵抗膜で、後述の高圧印加部１７０７の周辺を除くファンネル部全周に渡り塗布されている。１７０５は前記金属性テンションバンド（防爆バンド）１７０２や低抵抗膜１７０４を筐体のアースに接地するためのＧＮＤケーブル、１７０６はアースを表わすが具体的には前記ＧＮＤケーブルの端部を筐体内部の電気回路のアース電位パターンに端子で接続している（図示せず）。
【０００９】
１７０７はフェースプレートの導電膜に高電圧を印加するための高圧印加部で、絶縁性のキャップ内部に電気接続構造を有している。１７０８は一端を高圧印加部接続し、もう一端を高圧電源（図示せず）に接続した高圧ケーブルである。
【００１０】
１７０９は映像信号に応じて熱電子を発生し加速させる構造を有する電子銃部である。
【００１１】
以上のように、ＣＲＴにおいては電子銃とフェースプレート間のファンネル部分およびフェースプレート周囲のテンションバンドに広い面積のアース電位部を構成し、そのアース電位部をＧＮＤケーブルとして利用して電気回路のアース電位に接続している。
【００１２】
また、フェースプレートの画像形成用の導電膜への高圧印加は、先のファンネル部のアース電位部を一部を削除した部分から成されている。
【００１３】
このように従来のＣＲＴの電気的アース接地構造においては、高圧印加部を取り巻くファンネル部とフェースプレート周辺部から電気的に確実なＧＮＤケーブルによるアース接地が行われていた。
【００１４】
また他の背景技術として、以下に挙げるものがある。例えば特開平４−１６３８３３号公報には、線状熱陰極と、複雑な電極構造を真空パネルに内包した平板型電子線画像表示装置が開示されている。
【００１５】
一般的に、このような真空パネルを形成する方法としては、電子放出素子を複数ＭＴＸ状に配置して形成された電子源と電子源を駆動する駆動配線がＭＴＸに形成されたガラス製のリアプレートと画像形成部材が形成されたガラス製のフェースプレートと両者を枠を介して封着材により気密封着されたものや両者のパネル間隔が狭い場合には、封着材のみで気密封着されたものが知られている。封着材には、低融点ガラス材料が用いられこの材料を軟化させるために４００℃程度の高温度まで、昇温させるプロセスを経る。この際、フェース及びリアプレート、及び真空パネルを構成するために必要な大気圧支持スペーサや後述するアノード端子など各種構成部材も同時に高温度下にさらされる。
【００１６】
これらの工程を経て作製されたパネル内部を真空化プロセスにより、真空処理を行い真空パネルを形成する。そして、外部駆動回路とリアプレート側に形成した取り出し配線とを電気的に接続する工程の後、真空パネルを筐体内部に組み込み画像表示装置として完成させる。
【００１７】
このようにして形成された電子線を用いた画像表示装置においては、２枚のガラスの間（電子源が形成されたリアプレートと画像形成部材が形成されたフェースプレート）に電子を加速するための数百Ｖ〜数十ｋＶ程度の電圧を印加している状態で、外部信号処理回路からリアプレートの取り出し配線を通じて画像信号を与えて所望の位置の電子を放出させ、２枚のガラスの間での電位差により電子は加速されフェースプレートの画像形成部材を発光させて、画像として得るものである。上述した電圧は、画像形成部材として通常の蛍光体を用いる場合、好ましい色の発光を得るためには、できるだけ高くすることが好ましく、少なくとも数ｋＶ程度であることが望ましい。上述の画像形成部材に数ｋＶ程度の電圧を供給するために、放電や高電圧に対して配慮された電圧供給端子の接続構造が求められる。
【００１８】
このような画像表示装置には、画像形成部材に高圧を供給するアノード取り出し部を備える構造を有している。
【００１９】
例えば特開平１０−３２６５８１に記載されているアノード端子の構造では、画像表示装置の高圧発生電源より供給される高電圧を高圧ケーブルにて、リアプレート側のアノード取り出し部へ供給し、導入線を通して、フェースプレートに形成された画像形成部材から引き出された配線と接続してフェースプレートの画像形成部材に供給している。
【００２０】
また、他の背景技術として、特開２０００−２６０３５９号がある。ここでは電子放出素子を設けた電子源基板を貫通して高圧を供給する構成が開示される。
【００２１】
また、特開平５−２７３５９２号がある。これには液晶パネルのコントロール基板の接地端子をクリップに接触させ、さらにクリップを枠状部材に接触させて接地する構成が開示されている。
【００２２】
また、特開９−１６０５０５号にはＣＲＴのアース部材の構造が開示されている。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
本願は、電子放出素子及び加速電極を有する電子線装置の発明であって、異常放電を抑制できる構成を実現することを一つの課題とする発明を含んでいる。また、電子線装置の発明であって、所定の配線に例えばグランド電位などの所定の電位を簡略及び／または確実に印加できる構成を実現することを一つの課題とする発明を含んでいる。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本願に係る電子線装置の発明の一つは以下のように構成される。電子線装置であって、電子放出素子と、該電子放出素子に接続した駆動配線と、前記電子放出素子と前記駆動配線とを配置した電子源基板と、前記電子源基板に対向する位置に設けられ、前記電子放出素子が放出する電子を加速する加速電位が与えられる加速電極と、前記加速電極に前記加速電位を与えるための経路であって、前記電子源基板上の経由部を経由して導出された電位供給経路と、前記経由部を囲む第１配線と、該第１配線と前記経由部の間に位置し、前記電位供給経路と前記第１配線とに電気的に接続した抵抗膜と、を有することを特徴とする電子線装置。
【００２５】
この構成の利点の一つは、異常放電を抑制できる点である。
【００２６】
また、前記第１配線を前記駆動配線とは別に設ける構成にすると特に有効である。
【００２７】
また、前記第１配線は、前記経由部の周囲を隙間無く囲む構成が特に有効である。
【００２８】
また本願は電子線装置の発明として以下の構成のものを含んでいる。
【００２９】
電子線装置であって、電子放出素子と、該電子放出素子に接続した駆動配線と、
前記電子放出素子と前記駆動配線とを配置した電子源基板と、前記電子源基板に対向する位置に設けられ、前記電子放出素子が放出する電子を加速する加速電位が与えられる加速電極と、前記加速電極に前記加速電位を与えるための経路であって、前記電子源基板上の経由部を経由して導出された電位供給経路と、前記経由部と前記駆動配線との間の沿面上に位置する第１配線と、該第１配線と前記経由部の間の沿面上に位置し、前記電位供給経路と前記第１配線とに電気的に接続した抵抗膜と、を有することを特徴とする電子線装置。
【００３０】
この発明においても第１配線が前記経由部と前記駆動配線との間の沿面上で、前記経由部を隙間なく取り囲む構成を好適に採用できる。
【００３１】
以上の各発明においては、電位供給経路が電子源基板を貫通して設けられる構成を好適に採用できる。この場合、電子源基板側の経由部は、電位供給経路が電子源基板の内側から外側に導出される位置を指す。
【００３２】
基板そのものを直接電位供給経路が貫通しているときは該貫通位置が経由部である。また、電子源基板を構成する基板に孔を設け、電位供給経路と絶縁性部材を一体化した一体化構造を該孔に装着する構成を好適に採用できる。例えば電位供給経路のみでは取り扱いもしくは封止の実現が難しい場合に、電位供給経路単体よりも大きい絶縁性部材と一体化することによって取り扱いが容易になり、及び／または封止を容易に行うことが出来る。
【００３３】
電位供給経路が絶縁性部材を貫通する一体化構造を用いる場合には、電位供給経路が絶縁性部材を貫通する貫通位置が、電子源基板側の経由部である。
【００３４】
また電位供給経路は様々な形状にすることができる。例えば直線状の経路を好適に採用できる。
【００３５】
例えば直線状の導体を電位供給のために用いる構成を採用した場合には、該直線状の導体に沿って電位が供給される。またコイルバネや片持ちバネを電位供給経路の少なくとも一部として用い、加速電極もしくは加速電極の引き出し部をバネの弾性により押し付ける構成としたものを採用することもできる。
【００３６】
また、以上の各発明において、前記第１配線には所定の電位が与えられる構成を好適に採用できる。
【００３７】
特に、前記第１配線は前記駆動配線とは別に設けられるものであり、前記所定の電位は、該所定の電位と前記加速電位との電位差が該所定の電位と前記駆動配線に与えられる電位との電位差よりも大きい構成が好適である。駆動配線に与えられる電位とは、電子放出素子を駆動するために駆動配線に与えられる電位のうちの最も低いものを言う。
【００３８】
後述するように、電子源基板としては、電子放出素子をマトリクス状に配列し、駆動配線として複数の走査配線と複数の変調配線を用い、該走査配線と変調配線とで電子放出素子をマトリクス接続したものを好適に採用できる。
【００３９】
このような電子源をマトリクス駆動する場合、走査配線及び変調配線には駆動信号として走査信号及び変調信号が印加され、電位が変動する。このように駆動配線に印加される電位が駆動信号によって変動する構成においては、駆動配線における電位のうちの、加速電位との電位差が最も大きくなる電位と第１配線に与えられる電位との電位差を、加速電位と第１配線に与えられる電位差よりも小さくすればよい。
【００４０】
特には、第１配線に与える電位は、駆動配線に与えられる電位の近傍の電位にすればよい。また、第１配線にはグランド電位（アース接続により与えられる電位）を与える構成が特に好適である。
【００４１】
また以上の各発明において、前記第１配線はリング状配線とすると好適である。
【００４２】
また、以上の各発明において、前記第１配線は、該第１配線の各部分と該各部分のそれぞれが最も近接する前記経由部の各部分とが等距離になるように設けられると好適である。この構成によると特に好適に異常放電を抑制することができる。
【００４３】
また以上の各発明において抵抗膜は、経由部と第１配線の間に流れる電流の多くなりすぎないように抵抗値を設定されることが望ましい。また、異常放電を十分に抑制できるような抵抗値であることが望ましい。具体的には、前記抵抗膜はシート抵抗が１×１０⁹Ω／□以上であると好適である。また、シート抵抗が１×１０¹⁶Ω／□以下であると好適である。
【００４４】
また以上の各発明において、前記抵抗膜はゲルマニウムと遷移金属の合金窒化膜である構成を好適に採用できる。前記遷移金属は、クロム、チタン、タンタル、モリブデン、タングステンから選ばれる少なくとも一種類の金属であると好適である。
【００４５】
また、前記抵抗膜は、前記第１配線に与えられる電位と前記加速電位との電位差をＶａとするとき、比抵抗が１０^-5×Ｖａ²Ωｃｍ以上となる組成であると好適である。また、前記抵抗膜は、比抵抗が１０⁷Ωｃｍ以下となる組成であると好適である。また、前記抵抗膜は、厚さが１０ｎｍ以上であると好適である。また、前記抵抗膜は、厚さが１μｍ以下であると好適である。
【００４６】
また、前記抵抗膜は、抵抗温度係数が−１％／℃以上であると好適であり、抵抗温度係数が負の値を持つと好適である。
【００６８】
【発明の実施の形態】
以下では本願発明の実施の形態を詳細に説明する。なお以下の実施の形態において特に考慮した点は以下のとおりである。
【００６９】
平板型の薄型画像表示装置の場合、放電の発生する危険が大きくなる。放電が発生した場合には、瞬間的に極めて大きな電流が流れるが、この一部分が電子源の駆動配線に流れ込むと、電子源の電子放出素子に大きな電圧がかかる。この電圧が通常の動作において印加される電圧を越えると、電子放出特性が劣化してしまう場合があり、さらには素子が破壊される場合もある。このようになると、画像の一部が表示されなくなり、画像の品位が低下し、画像表示装置として使用することができなくなる。
【００７０】
一方、平面型の画像表示装置は、壁掛けが可能なことから軽量化が求められている。狭額縁（額縁＝画像領域より外側の領域）化は、視聴者に対する商品価値のみでなく、軽量化に対して大きく寄与するものである。しかしながら、高電圧を印加する平面型画像表示装置では、放電に危険があるため、従来は沿面距離を確保する上で極端に狭くできなかった。
【００７１】
以下にこの実施形態の詳細を述べる。図１は、本発明の画像表示装置の構成の一例を模式的に示す分解斜め模式図である。図２は図１のＡ矢視方向からみたアノード端子部の断面を示した部分断面図であり、図３Ａ〜Ｅは、リアプレート基板の作製工程を説明する図で電子源領域の一部分を用いた。図４はリアプレートのアノード端子部周辺部を示した平面図である。
【００７２】
１は電子源を形成するための電子源基板と真空容器の一部とを兼ねるリアプレート、２は電子源領域で、電界放出素子、表面伝導型電子放出素子などの電子放出素子を複数配置し、目的に応じて駆動できるように素子に接続された駆動配線を形成したものである。
【００７３】
駆動配線は電子源領域内に位置する部分と引き出し部３−１，３−２を有しており、駆動配線引き出し部３−１，３−２により画像表示装置の外部に取り出され、電子源の駆動回路に接続される。１１は画像形成部材が形成されたフェースプレート、１２は電子源領域２より放出された電子により発光する蛍光体及び加速電極であるメタルバックを含む画像形成部材、１００は画像形成部材１２のメタルバックに加速電位を供給するために引き出されたＡｇ（銀）ペースト等を焼成して形成した引き出し配線、４はリアプレート１とフェースプレート１１に挟持される外枠であり、電子源駆動配線引き出し部３は外枠４とリアプレート１の接合部で、例えば低融点ガラス（フリットガラス２０１）に埋設されて外部に引き出される。リアプレート１及びフェースプレート１１及び外枠４の材料として、青板ガラス、表面にＳｉＯ₂被膜を形成した青板ガラス、Ｎａの含有量を少なくしたガラス、石英ガラスなど、条件に応じて各種材料を用いる。
【００７４】
１０１は外部の高圧電源より供給された電位を導入するための電位供給経路である導入線、１０２は導入線１０１をあらかじめＡｇ−Ｃｕ、Ａｕ−Ｎｉなどのろう材料を使用し気密シール処理を施して柱状形状の中心に一体形成する絶縁部材である。
【００７５】
絶縁部材１０２の材料として、アルミナ等のセラミック、Ｎａ含有量の少ないガラスなど、リアプレート１材料の熱膨張係数に近い材料でかつ、高電圧に耐える絶縁性を有する材料で、かつ高温度になった場合の熱膨張差による絶縁部材１０２とリアプレート１との接合部での割れを防止できる材料を選択するとよい。
【００７６】
なお、このような構成をもつ高圧端子以外の構成でもよく、この構成に限定されるものではない。また、導入線１０１と引き出し配線１００との接続を確実にするために、導入線１０１と引き出し配線１００との間にＡｇペーストや機械的なばね構成などの接続部材を配置構成してもよい。
【００７７】
導入線１０１と絶縁部材１０２とで一体化構造である気密導入端子１０３を構成する。
【００７８】
１０４はリアプレート１に形成された孔であり、気密導入端子１０３を貫入する孔である。気密導入端子１０３とリアプレート１に形成した貫通孔１０４との間は、フリットガラス２０１などの気密化が可能な接着部材にて固定する。
【００７９】
なお、貫通孔１０４の形成場所として、リアプレートの駆動用配線引き出し部３−１，３−２の形成されていない４隅でかつ、外枠４の内側に配置構成される。
【００８０】
さらに、数ｋＶの高電圧が導入線１０１を通して印加された時の放電抑制構造として、第１配線である独立配線１０５を駆動配線引き出し部３−１，３−２が設けられていない位置に導入線１０１が絶縁部材１０２を貫通する位置（経由部）を同心円状に取り囲むようにリング状に形成する。
【００８１】
リング状に形成することで、リング周辺部に電極エッジなどが形成されていても、異常放電を生じにくい構成とすることができる。なお、取り囲む形状については、多角形形状が考えられるが電界集中の観点からリング状が好ましい。また完全に取り囲むのが望ましいが、一部すきまが空いていてもよい。また独立配線１０５は囲む形状にしなくてもよく、経由部と駆動配線の間で、それらの間隔が最も短い部分に少なくとも設けられているとよい。
【００８２】
ただし、狭額縁になると、外枠４の加工のばりやフリット封着材料のはみ出し形状、駆動配線の形状などの影響を考慮することが望ましく取り囲む構成、特には完全に取り囲む構成が望ましい。次に、独立配線１０５と気密導入端子１０３の導入線１０１との間を高抵抗膜（＝耐圧構造１０６）で電気的に導通させてつなげた電位規定構造を配置する。
【００８３】
その他の耐圧構造として、凹凸構造の形成による沿面距離の増大などの形態をとれる。
【００８４】
この耐圧構造１０６により所望の高電圧に対して十分な耐圧を確保できるため放電によって電子源領域へ放電電流が流れ、素子が劣化するなどのダメージが起こらない構成とすることができる。同時に、高圧導入部形成領域を最小限に小さくしても放電を抑制できることから、真空内部の画像形成部材１２から外枠４より内側までの距離を小さくすることが可能となる。高抵抗膜の材料としては、窒化物、酸化物、炭化物などの膜材料があげられる。
【００８５】
つづいて、５は真空化するための排気孔、６は排気孔５に対応する位置に配置するガラス管で、不図示の外部真空形成装置に接続され、電子放出素子を形成する真空処理が終了後封止するためのものである。なお、この他真空装置内で画像表示装置を組立てる方法をとれば、上述のガラス管６並びに、排気孔５は不要となる。
【００８６】
また、本発明に用いる電子源を構成する電子放出素子の種類は、電子放出特性や素子のサイズ等の性質が目的とする画像表示装置に適したものであれば、特に限定されるものではない。熱電子放出素子、あるいは電界放出素子、半導体電子放出素子、ＭＩＭ型電子放出素子、表面伝導型電子放出素子などの冷陰極素子等が使用できる。
【００８７】
後述する実施例において示される表面伝導型電子放出素子は本発明に好ましく用いられるものであるが、上述の本出願人による出願、特開平７−２３５２５５号公報に記載されたものと同様のものである。
【００８８】
以下、実施例に基づき、本発明の特徴をさらに詳細に説明する。
【００８９】
（第１の実施形態）
図面により具体的に説明する。図１は、本発明の画像表示装置の構成の一例を模式的に示す分解斜め模式図である。
【００９０】
図２は図１のＡ矢視方向からみた図であり、特にアノード端子部の断面を示した断面図であり、図３Ａ〜Ｅは、リアプレート基板の作成工程を説明する図で電子源領域の一部分を用いた。図４はリアプレートのアノード端子部周辺部を示した平面図である。
【００９１】
図５は、真空パネルのフェースプレートを取り除いた状態でのアノード端子部周辺部を示した平面図である。図６は、平面型画像表示装置の略内部構造を示す図である。
【００９２】
図１において、１は電子源を搭載した青板ガラス材料で形成したリアプレート、２は電子源領域で、特開平７−２３５２５５号公報に記載される表面伝導型電子放出素子をマトリクス状に配列している。電子源領域では駆動配線である走査配線と変調配線により電子放出素子がマトリクス接線されている。電子源領域の駆動配線は印刷により形成した駆動配線引き出し部によりＸ，Ｙの４方向に真空容器の外部に引き出される。フレキシブル配線により駆動配線引き出し部３と電子源の駆動回路が接続される。
【００９３】
１１は画像形成部材１２を搭載した加速電極基板であり、フェースプレートとして真空容器の一部を構成する。
【００９４】
青板ガラス材料で形成されている。１００は画像形成部材１２の１隅から引き出したＡｇ材料からなる印刷により形成した引き出し配線で、その形成場所は、リアプレート１に形成した貫通孔より導入される高圧端子の導入線と当接可能な位置に形成した。
【００９５】
引き出し配線１００は画像形成部材１２のメタルバックに重なるように印刷形成することで、電気的導通を確保した。また、画像形成部材１２はストライプ状の蛍光体、ブラックストライプ、加速電極であるメタルバックから構成される。蛍光体、ブラックストライプは、印刷により形成し、その後これらの上にメタルバックとしてＡｌ膜を真空蒸着法により形成した。４はリアプレート１とフェースプレート１１に挟持される青板ガラス材料よりなる外枠であり、駆動配線引き出し部３−１，３−２は外枠４とリアプレート１の接合部で接合材（日本電気硝子製のＬＳ３０８１のフリットガラス）２０１に埋設して外部に引き出した。１０１は４２６合金材料よりなる導入線、１０２は導入線１０１をあらかじめＡｇ−Ｃｕにてろう付けし、真空気密シール処理を施して柱状形状の中心に一体形成したアルミナセラミック製の絶縁部材、１０４は導入線１０１を気密に一体化する絶縁部材１０２を導入する貫通孔である。貫通孔１０４の配置場所については、後述する。
【００９６】
つづいて、図１、図３Ａ−Ｅ、図４を参照して、リアプレート１の作成手順をさらに詳細に説明する。
【００９７】
（工程−ａ）
洗浄した青板ガラスの表面に、０．５μｍのＳｉＯ₂層をスパッタリングにより形成し、リアプレート１とした。つづいて超音波加工機により図１、図４に示す、高圧導入端子の導入のための直径２ｍｍの円形の貫通孔１０４を形成した。
【００９８】
形成場所は、図１，４のように電子源領域２及び駆動配線引き出し部３−１，３−２が形成されていない隅でかつ、後述の独立配線から、６ｍｍ離した位置を孔の中心とし配置した。
【００９９】
該リアプレート上にスパッタ成膜法とフォトリソグラフィー法を用いて表面伝導型電子放出素子の素子電極２１と２２を形成する。材質は５ｎｍのＴｉ、１００ｎｍのＮｉを積層したものである。素子電極間隔は２μｍとした。（図３Ａ）
【０１００】
（工程−ｂ）
つづいて、Ａｇペーストを所定の形状に印刷し、焼成することにより変調配線であるＹ方向配線２３を形成した。該配線は電子源形成領域の外部まで延長され、該延長部が図１における電子源駆動配線引き出し部３−２となる。
【０１０１】
該配線の幅は１００μｍ、厚さは約１０μｍである。（図３Ｂ）また、Ｙ方向配線形成時に、図４のように独立配線１０５、独立配線引き出し部Ａ１０７、独立配線引き出し部Ｂ１０８も同時に形成した。該独立配線１０５の幅は、０．６ｍｍ、厚さは１０μｍである。独立配線１０５の直径をφ６．３ｍｍ（配線の中央）とした。
【０１０２】
独立配線引き出し部Ａ１０７は、電子源駆動用配線３−１，３−２の一番外側に配置し、後述のフレキシブル配線で外部へ取り出すため、駆動用配線と同ピッチの位置に図４，５に示すように外枠４から外側（大気側）で取り出すことができるように配置し、独立配線引き出し部Ｂ１０８は、図５に示すように外枠４の外側（大気側）に位置するように配置構成した。上記駆動配線、独立配線引き出し部は後述の封着工程にて外枠を形成する際に使用するフリットにて埋設され真空気密を維持できる構造となる。
【０１０３】
（工程−ｃ）
次に、ＰｂＯを主成分とし、ガラスバインダーを混合したペーストを用い、同じく印刷法により絶縁層２４を形成する。これは上記Ｙ方向配線２３と後述のＸ方向配線を絶縁するもので、厚さ約２０μｍとなるように形成した。なお、素子電極２２の部分には切り欠き２４Ｃを設けて、Ｘ方向配線と素子電極の接続をとるようにしてある。（図３Ｃ）
【０１０４】
（工程−ｄ）
つづいて走査配線であるＸ方向配線２５を上記絶縁層２４上に形成する（図３Ｄ）。方法はＹ方向配線の場合と同じで、配線の幅は３００μｍ、厚さは約１０μｍである。該配線は電子源形成領域の外部まで延長され、該延長部が図１における電子源駆動配線引き出し部３−１となる。
【０１０５】
つづいて、有機Ｐｄ溶液を塗布して、大気中３００℃、１２分間の焼成を行って、ＰｄＯの微粒子膜２６を形成する。（図３Ｅ）
【０１０６】
以上の工程にて作成されたリアプレート１は、図１及び４のように４隅に配線が形成されない領域を有する。その１隅の駆動配線引き出し部３−１，３−２及び外枠で囲まれる領域に気密導入端子１０３の導入線１０１を同心円状に取り囲むように独立配線１０５を印刷プロセスにてＡｇペースト材料を焼成して形成配置する。
【０１０７】
気密導入端子１０３の導入線１０１と独立配線１０５の間に高抵抗膜（ＷとＧｅの合金窒化膜）を真空蒸着法にて独立配線１０５と気密導入端子１０３の導入線１０５との間が高抵抗膜を介して電気的につながるように形成する。なお貫通孔１０４と対向する位置にフェースプレート１１の引き出し配線１００が位置するように構成している。
【０１０８】
上述のＷとＧｅ合金窒化膜はスパッタリング装置を用いてアルゴンと窒素混合雰囲気中でＷとＧｅのターゲットを同時スパッタする事により成膜した。図４の独立配線１０５の位置に成膜するため、独立配線１０５の形状にエッチング加工にて作製したメタルマスクを使用し、所望位置に成膜した。それぞれのターゲットにかける電力を変化することにより組成の調節を行い、最適の抵抗値を得た。
【０１０９】
詳述すると、スパッタチャンバの背圧は、２×１０のマイナス５乗Ｐａで、スパッタ時には、窒素分圧が３０％になるように、アルゴンと窒素の混合ガスを流した。
【０１１０】
スパッタガス全圧は０．４５Ｐａであった。Ｗターゲットに１５Ｗ、Ｇｅターゲットに１５０Ｗの高周波電力を投入し、スパッタ時間を調整することにより、ＷとＧｅの合金窒化膜を作製した。作製したＷとＧｅの合金窒化膜は（膜厚が４３ｎｍ、比抵抗が２５０Ωｃｍ、シート抵抗が５．８×１０⁹Ω／□）（膜厚が２００ｎｍ、比抵抗が２．４×１０⁵Ωｃｍ、シート抵抗が１．２×１０¹²Ω／□）（膜厚８０ｎｍで比抵抗４．５×１０⁸Ωｃｍ、シート抵抗が５．６×１０¹⁵Ω／□）の３種である。なお、本実施例では導入線１０１と独立配線１１５の間にのみ成膜したが独立配線１０５の外側周辺部にも成膜してかまわない。
【０１１１】
次に、上記リアプレート１、フェースプレート１１、外枠４部材などを用いてパネル化すなわち真空容器形成を行う。組立てに際しては、フェースプレート１１の画像形成部材１２の蛍光体とリアプレート１の電子放出素子とが相互に対応するように注意深く位置合わせする。
【０１１２】
また、気密導入端子１０３及び、ガラス管６を設置し、かつ上述の位置合わせがなされた状態で、加熱炉へ投入し４２０度の温度を付与し、フェースプレート１１とリアプレート１と外枠４の当接位置に配置したフリットガラス２０１を溶解させる。
【０１１３】
その後、冷却させて組立てが終了する。この状態で、フェースプレート１１、リアプレート１、外枠４、ガラス管６、気密導入端子１０３を有する気密維持可能なパネルとして形成できた。この後、ガラス管６を介して真空排気装置に接続し、パネル内を排気し、フォーミング処理、活性化処理を各微粒子膜２６に対して行う。
【０１１４】
つづいて、パネル内の排気継続し、ベーキング処理を行い、真空パネル内に残留した有機物質分子を除去する。最後に、ガラス管６を加熱溶着して封止する。以上の工程にて、真空パネルは完成する。
【０１１５】
次に、駆動配線引き出し部３−１，３−２を駆動回路基板と又、独立配線１０５から引き出した独立配線引き出し部Ａ１０７を外部のグランド端子とそれぞれ接続するために、ＦＰＣ（フレキシブルプリンティッドサーキットの略）４０１を図５の位置に電気的に接続し、かつ固定を行う。この時、ＦＰＣ実装装置を用いる。
【０１１６】
より安定な外部グランド端子との接続を行うために独立配線引き出し部Ｂ１０８においてもグランド端子と接続されたクリップをリアプレート１０２に挟み込む。
【０１１７】
この後、真空パネルの筐体への組み込みと電気ボードとＦＰＣとの接続作業などを行い、平面型画像表示装置が完成する。
【０１１８】
図６Ａは筐体に真空容器を組み込んだ平面型画像表示装置の構成を示す図である。
【０１１９】
図６Ｂは図６Ａを矢印Ａ方向から見た側断面図を示す。図６Ｃは図６Ａを矢印Ｂ方向から見た縦断面図を示す。
【０１２０】
６０１は筐体を構成するカバーである。６０２が真空容器であり、６０３は駆動回路を有する駆動回路基板である。フレキシブルプリンテッドサーキット４０１により駆動配線引き出し部と駆動回路とが接続される。６０５は導入線１０１に接続される高圧導入経路である。６００は加速電位を発生する高圧電源である。
【０１２１】
本実施形態において、外部映像を入力し、電子放出素子を駆動して画像表示を行ったところ、異常放電は生じず、安定に画像表示を行うことができた。
【０１２２】
狭額縁の電子線装置及び画像表示装置を実現でき、また、軽量な電子線装置及び画像表示装置を実現できた。
【０１２３】
（参考例）図７を用いて、参考例を説明する。図７は、図１のＡ矢視方向からみた図であり、特にアノード端子部の断面を示した断面図である。
【０１２４】
参考例では、独立配線１０５と気密導入端子１０３との間の耐圧構造の別の実施形態を説明する。なお、前述した各実施形態と同様な各部には同一符号を付して、その説明とそれらの構成、製造方法などを省略する。
【０１２５】
気密導入端子１０３の導入線１０１と、それを取り囲むように同心円状に形成した独立配線１０５との間のリアプレート１のガラス面を機械加工し耐圧構造７０１を加工形成する。
【０１２６】
構造は、気密導入端子１０３の中心に対して同心に２重の掘り込み加工を行う。
【０１２７】
深さは、ガラス厚み２．８ｍｍに対して０．５ｍｍ加工し、加工の曲率半径を０．５ｍｍＲとした。ピッチは、１．５ｍｍピッチとした。本構成では、実質的に沿面距離を増大させることが可能となった。耐圧構造７０１を有する真空パネルを図６のように、平面型画像表示装置として組み込み駆動表示を行ったところ、放電の発生もなく安定に駆動できた。
【０１２８】
以上説明したように、この構成によれば、リアプレート１側にあらかじめ耐圧構造を形成することで、真空パネル形成プロセスを最小限に抑えることができる長所と、合わせて軽量化平面型画像表示装置として提供することができる。
【０１２９】
（第２の実施の形態）本実施形態で用いる電子線装置の真空容器は、リアプレートとフェースプレートとの距離がわずか数［ｍｍ］の真空容器であるため、フェースプレートの画像形成用の加速電極へ加速電位を供給するための構造を設けるスペースを十分に取るのが困難である。該スペースを狭くすると異常放電の可能性が高くなってしまう。
【０１３０】
このような問題は、上述の実施形態や以下の実施形態でも示すように、加速電位供給経路における異常放電を抑制できる構成、具体的には、電子源基板における加速電位供給経路の経由部の周りを所定電位を与えた第１配線で囲むこと、更には前記経由部と第１配線の間に双方と電気的に接続する抵抗膜を設けることで抑制できる。
【０１３１】
ただし、電子線装置もしくは画像表示装置として用いる場合には、第１配線などに所定の電位、特にはグランド電位を与えるための構成を十分に検討することが望ましい。
【０１３２】
以下の実施形態では、特にグランド電位を供給する構造を説明する。この実施形態では、薄型平面型の画像表示パネルに電子放出素子を用いたディスプレイを採用し、高圧電源から真空容器内部のフェースプレートの加速電極までの加速電位を印加する経路において、真空容器を構成するリアプレートに加速電位を印加する気密導入端子を設け、該導入線の周囲に高抵抗膜による耐圧構造と、その周囲にリング状の独立配線を構成した。
【０１３３】
そして、前記独立配線のアース電位を確実にするため、ドライバー回路のアース電位に接地するＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔフレキシブルプリンテッドサーキット）のアース配線と独立配線の一部を接続し、更に電源部のアースに接地した前フレームと独立配線引き出し部とを導電性接触部材である接触子を介して接触させた。
【０１３４】
すなわち真空容器の構成要素の少なくとも一部を覆うカバーを兼ねるフレームを介して第１配線を接地する構造としている。前記接触子はばね性を有し前フレームに例えばねじ固定され、独立配線引き出し部を常に押し付ける。更に真空容器は、前フレームと中フレームとで弾性体を介して挟み支持して位置を固定し、前記接触子と独立配線引き出し部との接触位置を合わせた。
【０１３５】
なお本実施形態で用いる電子源基板、電子放出素子、加速電極基板、加速電極、駆動配線、加速電位供給経路など、真空容器及び電子放出にかかわる構造は第１の実施形態、参考例と同様である。
【０１３６】
その動作原理も第１の実施形態、参考例と同様で、真空空隙を形成した対向する基板間において、背面側のリアプレート（ＲＰ）上に各画素位置に電子放出素子を設けている。
【０１３７】
電子放出素子は、表面伝導型放出素子を用いている。ここでの表面伝導型放出素子は、電子放出のための一対の素子電極（高電位側電極と低電位側電極）を数十［μｍ］の間隔で対向する形に形成し、導電性膜を対向電極のそれぞれにつながるように配置し、該導電性膜に電子放出部を形成したものである。
【０１３８】
一方対向するフェースプレート（ＦＰ）の真空空隙側にはコントラストを向上するためのブラックストライプ膜、三原色ＲＧＢ各色相の蛍光体膜、更にその上に加速電極となる導電性のメタルバック膜が形成されている。
【０１３９】
この電子放出素子の動作は、電気実装回路（駆動回路）で選択したＸ方向配線とＹ方向配線間に十数［Ｖ］の電圧を掛けて電子放出素子から電子を放出させ、フェースプレートの真空空隙側のメタルバック膜に外部電圧電源から供給された十数［ｋＶ］の＋電位（加速電位）により前記放出電子が加速されて蛍光体膜に衝突して発光を起す。
【０１４０】
リアプレートと電気実装回路とを接続しているフレキシブルケーブルは、電気実装回路側はコネクターで電気的機械的に接続され、一方のリアプレート側は、異方性導電膜によりこのリアプレート上に印刷されたＸ方向配線とＹ方向配線の電極部（配線引き出し部の端部）に電気的機械的に接続されている。
【０１４１】
フェースプレートのメタルバック膜と高圧電源回路とを接続する高圧ケーブルは、高圧電源回路側は高圧用のコネクターで電気的機械的に接続し、一方のフェースプレート側は、リアプレートに設けた貫通穴に配置した導電線と絶縁体を一体化した気密導入端子を介してメタルバックに電気的機械的に接続している。
【０１４２】
以下に図面を参照して、この実施形態を詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【０１４３】
また、以下の図面において、既述の図面に記載された部材と同様の部材には同じ番号を付す。
【０１４４】
以下に、本発明に係る画像表示装置の第２の実施形態について、図５及び図８から図１０を参照して説明する。図８は、本発明に係る画像表示装置の第２の実施形態を表わす画像表示部の外観図、図９は、図８に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図、図１０は、図８に示される画像表示装置の部品の拡大図である。
【０１４５】
１は本発明の電子放出素子を用いた画像表示パネルの真空容器を構成するリアプレート（以下ＲＰとも称する）でガラス基板上に駆動配線パターンや絶縁膜が形成されている。
【０１４６】
１１は同じく真空容器を形成するフェースプレート（以下ＦＰとも称する）で真空容器内側のガラス基板上に三原色の蛍光体、加速電極としてのメタルバック膜などが形成されている。
【０１４７】
４は同じく真空容器を形成する本発明の構成要素たる支持枠としての外枠であり、前記ＲＰ１およびＦＰ１１とはこの外枠４を介して低融点ガラスで接着されている。９は真空容器の真空部を示している。
【０１４８】
１０３は４２６合金部材よりなる高圧導入線１０１とその高圧導入線を真空気密シール処理を施してアルミナセラミック製の絶縁部材１０２の中心に一体形成したところの気密導入端子、１０６は導入線１０１と独立配線１０５との間に、ＷとＧｅの合金窒化膜を真空蒸着法にて形成し、導入線１０１と独立配線１０５との間を電気的につながるようにしたところの抵抗膜である耐圧構造、１０８はＡｇペーストを所定の形状に印刷し、焼成することにより形成した、本発明の構成要素たる第１配線１０５の引き出し部である。
【０１４９】
また、独立配線１０５には、Ｙ方向ＦＰＣ４０１およびＸ方向ＦＰＣ４０１のアース配線に接続可能な直線状の引き出し部も設けた。
【０１５０】
４０１−Ｘは駆動回路からの画像表示用の電気駆動信号（走査信号）を電子源領域２に伝達するためのＸ方向ＦＰＣで、駆動回路側はコネクター接続で、画像表示部側は先のＸ駆動用配線引き出し部３−１に異方性導電性テープを介して接続されている。４０１−Ｙは変調信号を電子源領域２に伝達するためのＹ方向ＦＰＣで、駆動回路側はコネクター接続で、画像表示部側は先のＹ駆動用配線引き出し部３−２に異方性導電性テープを介して接続されている。
【０１５１】
９６は先の画像表示部の表示範囲外を囲み、内部への異物の侵入を防ぐ目的と、前記真空容器を前面側から支持するための、カバーを兼ねる前フレームであり、アルミニウムやマグネシウムなどの軽金属を押出し加工して成形後、所定の長さに切断し、ねじ止めによって略長方形の額縁としている。また、電源部のアースと電気的に接続されている。
【０１５２】
９７は導電性接触部材であり、ステンレスやメッキ処理リン青銅などの薄板を曲げ加工した導電性とバネ性を有する接触子である。先の前フレーム９５の内部壁面に固定され、もう一端は先の独立配線の引き出し部１０８と電気的に接触している。
【０１５３】
９８は接触子９７を前フレーム９６の内部壁面に固定するためのねじ、８１はＦＰ１１の真空容器外面に粘着剤を利用して貼り付けられた画像表示範囲を覆う前面フィルムであり、表面には低反射処理が施されている９２の真空容器の背面側に位置し、該真空容器を筐体内に支持固定するための剛性を有する中フレームであり、該真空容器の４辺に沿って額縁状に配置されている。
【０１５４】
導電性と剛性を有するアルミニウムやマグネシウムなどの軽金属を押出し加工して成形後、所定の長さに切断しねじ止めによって略長方形の額縁状中フレームを形成する。
【０１５５】
９３はウレタン発泡樹脂やシリコン発泡樹脂などの弾性材料からなり、真空容器のＲＰ１を中フレーム９２によって挟み支持するための背面弾性体である。周辺部が凸形状を成しており、ＲＰ１の外周部と接し、中フレーム９２のリブの間に位置決めされている。
【０１５６】
９０は画像表示用の電気駆動信号（線順次選択駆動を行い、変調はパルス幅変調とする）を発生するドライバー回路でありガラスエポキシ基板上にＩＣやコンデンサー、コネクターなどの電気素子を実装している。９１はウレタン発泡樹脂やシリコン発泡樹脂などの弾性材料からなり、真空容器のＦＰ１１を外フレーム９６によって挟み支持するための前面弾性体で、ＦＰ１１の４辺全周を覆う額縁形状を成している。
【０１５７】
次に上記構成における詳細な説明を行う。本発明の画像表示パネルはガラス材料により真空容器を構成したものである。
【０１５８】
ＲＰ１側に形成した電子源領域２から電子を放出し、ＦＰ１１の内側の画像形成部１２（メタルバック層）に十数［ｋＶ］の高電位を印加して、電子を加速して画像形成部６の蛍光体に衝突させて蛍光体を発光させ画像を表示させる。電子放出素子の駆動はグランド電位近傍で行うので、加速電圧は実質的に十数［ｋＶ］となる。
【０１５９】
真空容器を構成するＲＰ１とＦＰ１１のガラスは板厚約２．８［ｍｍ］、ＲＰ１とＦＰ１１の真空部距離は約２［ｍｍ］であり、同じ画面サイズのＣＲＴと比較して厚さで数十分の一、重量で数分の一という薄型軽量の画像表示部である。
【０１６０】
また、テレビやパソコンの動画像を表示するために、ドライバー回路９０で発生した電気駆動信号（変調信号）をＹ方向ＦＰＣ４０１−Ｙ、Ｙ駆動配線引き出し部３−２を経由して電子源領域２の表面伝導型電子放出素子に伝達する。
【０１６１】
一方Ｘ方向のドライバー回路で発生した電気駆動信号（走査信号）をＸ方向ＦＰＣ４０１−Ｘ、Ｘ駆動配線引き出し部３−１を経由して電子源領域２の表面伝導型電子放出素子に伝達する。これにより、ひとつひとつの画素を構成する先の表面伝導型電子放出素子から電子の放出と未放出が制御される。
【０１６２】
以上の構成により本実施形態の画像表示部においては、１［個］ないし３［個］の電子銃から放出した電子を加速し、偏向する空隙を必要とするＣＲＴの真空容器に対して薄型化を可能としている。
【０１６３】
また、表面伝導型電子放出素子から放出された電子を蛍光体に衝突させるための加速電位は、高圧電源６００から高圧ケーブル６０５（図６参照）、ＲＰ１の導入線１０１、ＦＰ１１の高圧引き出し配線１００を経由して画像形成部１２のメタルバック層に印加されている。
【０１６４】
以上の電位供給経路に十数［ｋＶ］の電位が印加されるため、それぞれの部材やその部材の周辺には耐圧構造が必要となる。この耐圧構造についても第１の実施形態、参考例と同様の構成とする。
【０１６５】
本実施形態においては、アース電位を確実にするために、前記独立配線１０５とＹ方向ＦＰＣ４０１−ＹおよびＸ方向ＦＰＣ４０１−Ｘとを接続してドライバー回路４０やＸ方向ドライバー回路のアースパターンと接続すると共に、リング状の独立配線１０５から引き出される独立配線引き出し部１０８を、本発明の構成要素たる導電性接触部材としての弾性を有する金属であるばね性を有する接触子９７と接触させ更に導電性の前フレーム９６を経由して電源部のアースと電気的に接続した。
【０１６６】
接触子９７は固定穴９７ｃを利用して前フレーム９６に明けられた雌ねじにねじ９８により確実に固定される。
【０１６７】
また、真空容器が前フレーム９６に組み込まれた状態では、接触子９７のバネ部９７ｂにより常に接触部９７ａがＲＰ１表面の独立配線引き出し部１０８を押し付ける力が働くため、環境温度の変化や経年変化が有っても電気的接続が保たれるし、真空容器を前フレーム９６に組み込む際に、あらかじめ前フレーム９６に接触子９７をねじ９８により固定しておけば、半田付けなどの配線作業もせずに、組み立て後には電気的接続構造が完成しているので組立作業性も良い。
【０１６８】
尚、接触子９７の形状でなくとも導電性とばね性（弾性）とフレーム（前フレーム９６）への電気的接触部（固定部）を有する構造であればこれに限るものではない。
【０１６９】
また、本発明の真空容器の支持構造は、該真空容器の周辺部４辺を後面弾性体９３と前面弾性体９１を介して中フレーム９２と前フレーム９６により挟むものである。
【０１７０】
薄型画像表示装置の支持構造として、画像表示部の後面ガラス（本発明のＲＰ１に相当）を両面テープで筐体のフレームに接着する方法も採用し得るが、本実施形態の構造によれば、前フレーム９６と中フレーム９２をねじで互いに固定する構成とすることができ、分解する場合には、接続固定するねじを外すことで真空容器を取り外せるので作業性が良い。
【０１７１】
また、中フレーム９２と前フレーム９６は押出し加工した板厚２［ｍｍ］弱のアルミニウムやマグネシウムなどの軽金属を所定の長さに切断し、ねじ止めによって略長方形の額縁状に形成したため、剛性を有し、外部からの機械的負荷に対して真空容器を保護すると共に、前フレーム９６に対する真空容器の位置が変動しにくいため、前記接触子９７と独立配線引き出し部１０８の位置ずれや接触子９７の押し付け力も安定して、真空容器内の気密導入端子１０３周辺のアース電位必要領域における確実なアース接地が可能となる。
【０１７２】
また、本発明においては前フレーム９６のような導電性を有する金属素材で成形したもので筐体を構成してアースに接地したが、樹脂素材のように導電性を持たない基材でフレームを形成した場合であっても、必要表面（例えば内部表面）に導電性膜処理をすることによって、導電性基体フレーム（金属フレーム）と同等に使用することができる。
【０１７３】
以上説明したように、本実施形態では、高圧電源から真空容器内部の加速電極までの高電位を印加する経路において、真空容器内の導入線１０１の周囲に、導入線と電気的に導通させた高抵抗膜である耐圧構造１０６と、更にその周囲に、高抵抗膜と電気的に導通させたリング状のアース電位の独立配線１０５を構成して、異常放電を抑制できる構成とした。これによって電子放出素子が劣化したり破壊されたりすることが抑制できる。
【０１７４】
また、前記独立配線のアース電位の規定を確実にするため、Ｘ，Ｙ方向ドライバー回路のアースパターンに接地するＸ，Ｙ方向ＦＰＣ４０１−Ｘ、４０１−Ｙのアース配線と独立配線の一部を接続し、更に電源部のアースに接地した前フレームに固定された接触子９７と独立配線１０５の引き出し部１０８とを接触させる構造とした。
【０１７５】
特に、前フレーム９６にねじ固定された前記接触子はばね性を有しているため前記独立配線１０５からの独立配線引き出し部１０８を常に押し付ける。そのため真空容器を前フレームに組み込むことにより半田付けなどの配線作業もせずに電気的に接続されるし、組み込み後の環境温度の変化や経年変化が有っても電気的接続が保たれる。
【０１７６】
また、更に画像表示部は、前面側の前フレーム９６と背面側の中フレーム９２とで弾性を有する本発明の構成要素たる緩衝材としての前面弾性体９１と背面弾性体９３を介して挟み支持されているため、外部からの機械的負荷から画像表示部が保護されると共に、前フレーム９６と画像表示部との位置が固定されるため、前記接触子９７と独立配線１０５から引き出し部１０８との接触位置も安定する。
【０１７７】
（第３の実施形態）本実施形態では、前記独立配線のアース電位を確実にするため、ドライバー回路のアース電位に接地するＦＰＣのアース配線と独立配線を接続し、更に電源部のアースに接地したアースケーブルを半田付けした接触板で独立配線の引き出し部を挟み込んだ構成を示す。アースケーブルと接触板は画像表示装置の製造工程の途中で装着して画像表示部の駆動検査などにも利用し、製品組立最後に電源部のアースに接地し直す。
【０１７８】
以下、本発明に係る画像表示装置の第３の実施形態について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は、本発明に係る画像表示装置の第３の実施形態を表わす画像表示部の外観図、図１２は、図１１に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図である。
【０１７９】
図１１及び図１２において、１１００は本発明の電子放出素子を用いた画像表示パネルの真空容器を構成するＲＰ１を前後から挟み込み、かつＲＰ１上の独立配線引き出し部１０８と電気的に接触を図る構造を成すところの接触板であり、ステンレスやメッキ処理（防錆処理）リン青銅などの薄板（板厚０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ）を曲げ加工した導電性とバネ性を有する材質からなる。
【０１８０】
１１００ａは図１２の要部縦断面図において左右対称形状を成す接触板の先端部、１１００ｂは同じく接触板の接触部、１１００ｃは同じく接触板のバネ部、１１００ｄは接触板の端子部である。
【０１８１】
１１０１はアースケーブルであり、一端を前記接触板１１００に半田付けにより電気的機械的に接続し、もう一端に貫通穴を有する端子１１０２を接続し、該端子１１０２の貫通穴にねじ１１０３を挿入している。
【０１８２】
ねじ１１０３は前フレーム９６に設けた雌ねじ部を利用して前記端子１１０２を固定する構造であるため、電源部のアースと電気的に接続している前フレーム９６を介してアースケーブル１１０１、接触板１１００および独立配線引き出し部１０８はすべてアース電位となる。
【０１８３】
以上の構成における特徴を述べる。ＲＰ１を挟み込む、本発明の構成要素たる導電性接触部材としての弾性を有する金属である接触板１１００は、ＲＰ１に差し込まれる前の状態においても、その先端部１１００ａがＲＰ１の板厚よりも幅が広く開放された形状を成し、該接触板１１００をＲＰ１の外周方向たとえば図１２の下方向から差し込む際の案内機能を果している。
【０１８４】
また、接触部１１００ｂは、ＲＰ１に差し込まれる前の状態においては、ＲＰ１の板厚よりも幅が狭く（ＲＰ１の板厚が２．８［ｍｍ］に対して１．５［ｍｍ］〜２［ｍｍ］）、ＲＰ１に挿入された後に該ＲＰ１の板厚により押し広げられる。
【０１８５】
すなわち、接触板１１００は、互いに向かい合う端部を有し、端部の先端間の開口幅がＲＰ１の板厚よりも広く、端部の中間部間がＲＰ１の板厚よりも狭い構造となっている。
【０１８６】
バネ部１１００ｃはＲＰ１の板厚により押し広げられた接触部１１００ｂを常にＲＰ１を挟む方向に圧力を掛けるための形状を成し、端子部１１００ｄはアースケーブル１１０１の半田付けのための平面部を有するが、接続の信頼性を向上するためにアースケーブル１１０１の芯線を通す穴や巻き付けるための凹部を設けても良い。
【０１８７】
本実施形態においては、真空容器を構成するＲＰ１に設けられる独立配線引き出し部１０８のアース接地に、ＲＰ１を挟む接触板１１００とアースケーブル１１０１を利用した。本画像表示装置を製造する工程においては、真空容器を前フレームに組む前に、画像表示検査等で電気的に駆動させる場合がある。その際にもＲＰ１の独立配線引き出し部１０８にアース電位を供給するのが好適である。
【０１８８】
アースケーブル１１０１の一端の端子１１０２を製造工程における駆動用の回路のアース端子に接続すれば前記目的を達成できる。すなわち、ＲＰ１を挟む接触板１１００とアースケーブル１１０１は本画像表示装置を製造する途中工程から装着し、製造工程におけるアース電位供給のために利用できる。その後、最終組立時に前フレーム９６に接続し直して製品としても利用可能である。
【０１８９】
また、本構造によれば、真空容器の支持方法として、ＲＰ１を両面テープで筐体の後面フレームに接着する方法をも好適に採用でき、また第２の実施形態のように真空容器を前後から挟む構造にしても良いなど、様々な真空容器の支持構造に対応可能である。
【０１９０】
以上説明したように、本実施形態においては、異常放電を抑制できる。また、Ｘ，Ｙ方向ドライバー回路のアースパターンに接地するＸ，Ｙ方向ＦＰＣのアース配線と独立配線１０５を接続し、また、電源部にアース接地した前フレームに端子部をねじ固定したアースケーブルのもう一端を半田付けした接触板１１００で独立配線引き出し部１０８を挟み込んで接触させる構造としたため、独立配線のアース電位の規定を確実に行うことができる。
【０１９１】
また、前記の独立配線引き出し部１０８を挟み込んで電気的接続をする接触板１１００とアースケーブルは、画像表示装置の製造工程の途中で装着して、画像表示部の駆動検査などにも利用できるし、製品組立後も新たな結線作業無しに独立配線引き出し部をアース接地可能である。
【０１９２】
もちろん環境温度の変化や経年変化が有っても電気的接続が保たれる。また、前記アース接地構造を採用すると、真空容器を前後のフレームで挟み支持したり、ＲＰを筐体フレームに接着支持したり、様々な支持方法に対応可能であるため、設計の自由度が増す。
【０１９３】
（第４の実施形態）ここでは、独立配線のアース電位を確実にするため、ドライバー回路のアース電位に接地するＦＰＣのアース配線と独立配線を接続し、更に電源部のアースに接地した前フレーム、接触針、前面フィルムの導電層、及び導電性の接触テープを介して独立配線引き出し部をアース接続させた。前記接触針は前面弾性体によって支持して前フレームに嵌め込み、常に真空容器前面部を覆う前面フィルムの導電層を押し付ける構造とした。
【０１９４】
前記接触テープは道具も使わず手作業で電気的接続ができる。以上のアース接地構造ではその一部として、不要電磁波の漏洩を低減する構造である前面フィルムの導電性層を用いている。
【０１９５】
真空容器は、前フレームと中フレームとで弾性体を介して挟み、挟むことによって支持を行い、かつ位置を固定している。
【０１９６】
本発明に係る画像表示装置の第４の実施形態について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３R>３は、本発明に係る画像表示装置の第４の実施形態を表わす画像表示部の外観図、図１４は、図１３に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図である。
【０１９７】
図１３及び図１４に示されるように、１３０は、本発明の構成要素たる導電性接触部材である。
【０１９８】
厚さ約０．０５［ｍｍ］の銅箔にカーボン含有の導電性を有する粘着剤を塗布したところの接触テープであり、一端の粘着面がＲＰ１上の独立配線引き出し部１０８の表面に固着し、もう一端の粘着面がＦＰ１１上に貼られた後述の導電性を有する前面フィルム１４２と固着している。
【０１９９】
１３１は画像表示部の表示範囲外を囲み、内部への異物の侵入を防ぎ、前記真空容器を前面側から支持するための前フレームであり、アルミニウムやマグネシウムなどの軽金属を押出し加工して成形後、所定の長さに切断し、ねじ止めによって略長方形の額縁を構成している。また、電源部のアースと電気的に接続されている。
【０２００】
１３４はウレタン発泡樹脂やシリコン発泡樹脂などの弾性材料からなり、接続部材としての接触針１３５を中央部分で支持するために、接触針１３５と一体的に成形される前面弾性体である。
【０２０１】
また、中フレーム９２を設けており、前フレーム１３１とともに真空容器を挟んで支持する構成としている。中フレームに関しては図９と同じ構成であり、図１４では省略している。
【０２０２】
また、該前面弾性体１３４は真空容器のＦＰ１１を外フレーム１３１によって挟み支持する際の緩衝を目的の一つとし、ＦＰ１１の４辺全周を覆う額縁形状を成している。
【０２０３】
１３５は前述の通り前面弾性体１３４に支持されて列状に配置された接触針であり、金メッキ処理をした真鍮やステンレスなどの金属ワイヤーを素材としている。
【０２０４】
該接触針１３５の一端は前フレーム１３１に接触し、もう一端はＦＰ１１の表面に貼られた導電性を有する前面フィルム１４２と接触している。１４２は前述の通りＦＰ１１の表面に貼られた導電性を有する前面フィルムであり、ＰＥＴ樹脂を基材としてＦＰ１１側にアクリル系粘着剤をコーティング塗布し、表面部前面側にはＩＴＯ層をスパッタ法で積層している。
【０２０５】
以上の構成における詳細を説明する。真空容器を構成するＲＰ１上の独立配線引き出し部１０８にアース電位を供給するための接地構成は、独立配線引き出し部１０８に接着された接触テープ１３０、該接触テープ１３０に接着された前面フィルム１４２のＩＴＯ層、該ＩＴＯ層に接触する接触針１３５、該接触針１３５が接触する前フレーム１３１から構成される。前フレーム１３１が電源部のアース端子に接地されており、前記接地構造を介して独立配線引き出し部にアース電位が供給される。
【０２０６】
尚、接触テープ１３０はハサミやカッターで簡単に切断し手作業で任意の位置に接着可能である。
【０２０７】
また、接触針１３５は前フレーム１３１の内壁部と前面フィルム１４２のＩＴＯ層表面との距離よりも、約１５％長くして電気的接触を確実にしている。そのため接触針１３５は撓んだ状態で組み込まれるが、接触針１３５の列の両側から前面弾性体１３４が挟み支持しているため、倒れたり塑性変形を起こすことも無い。
【０２０８】
また、本実施形態においては真空容器前面を導電性を有する前面フィルム１４２で覆い、更に真空容器前面周辺を覆う導電性を有する前フレーム１３１との間でアース電位で接続した。
【０２０９】
そのため、仮に本画像表示装置内部の電気回路などから不要電磁波を発生しても、前記前フレーム１３１と前面フィルム１４２のアース電位の略密閉構造により電磁波レベルの減衰が可能となる。
【０２１０】
もちろんこの場合は、画像表示装置の背面部にもアース接地した背面カバーを設けて、前フレーム１３１と電気的に接続するなどにより、背面側の電磁波レベルの減衰を図るのが望ましい。
【０２１１】
以上説明したように、本実施形態では、異常放電を抑制する構成と実現するとともに、Ｘ，Ｙ方向ドライバー回路のアースパターンに接地するＸ，Ｙ方向ＦＰＣのアース配線と独立配線１０５を接続し、更に電源部のアースに接地した前フレーム１３１に電気的接続する接触針、該接触針に接触する前面フィルムの導電層、該導電層に接触する導電性の接触テープ１３０を用い、該接触テープ１３０に独立配線引き出し部１０８を接触させる構造として、独立配線の電位の規定を確実にした。
【０２１２】
また、前記接触針１３５は前面弾性体に支持されて前フレーム１３１に嵌め込む構造としている。
【０２１３】
接触針１３５は前フレームに支持されているため、真空容器を前フレームに組み込むことにより半田付けなどの配線作業もせずに前面フィルム１４２の導電層と前フレームおよび接触針とを電気的に接続することができる。また、前記接触テープ１３０は道具も使わず手作業で簡単に前面フィルム１４２の導電層と独立配線引き出し部１０８を接続できる。
【０２１４】
また、前記接触針１３５は前面弾性体に支持され、かつ真空容器組み込み後は常に前面フィルム１４２の導電層を押し付けるため、環境温度の変化や経年変化が有っても電気的接続が保たれる。
【０２１５】
また、更に画像表示部は、表面側の前フレーム１３１と背面側の中フレーム９２とで弾性を有する前面弾性体１３４と背面弾性体９３を介して挟み支持されているため、外部からの機械的負荷から画像表示部が保護される。
【０２１６】
また、独立配線にアース電位を供給する構造の一部として、真空容器前面部を前面フィルム１４２と前フレーム１３１を用いており、前面フィルム１４２と前フレーム１３１もアース接地するため、画像表示部や電気回路からの不要電磁波の漏洩を低減できる。
【０２１７】
独立破線へのアース電位の供給に伴い不要電磁波漏洩低減構造へのアース電位の供給ができる構成となっており、異常放電抑制とともに、低コストでの不要電磁波の漏洩対策か施せる。
【０２１８】
（第５の実施形態）ここでは、薄型平面型の画像表示パネルに電子放出素子を用いたディスプレイを採用し、高圧電源から真空容器内部のフェースプレートの加速電極までの高電位を印加する経路において、ＲＰ側の真空容器内の導入線の周囲に高抵抗膜による耐圧構造とリング状のアース電位の独立配線（第１配線）を構成したのはこれまでの実施例と同じである。
【０２１９】
本実施形態は、ＦＰの真空容器内の画像形成部（加速電極）の周囲に、加速電極とは離間して独立配線（第２配線）を形成した。
【０２２０】
ここでは、略長方形の加速電極の形状に合わせて、略長方形の加速電極に対して一定の間隔を開けて、加速電極を完全に取り囲むアース電位の独立配線を構成した。
【０２２１】
ここで、両独立配線（第１配線、第２配線）のアース電位の規定を確実にするため、ドライバー回路のアース電位に接地するＦＰＣのアース配線とＲＰ独立配線を接続し、更にＲＰ独立配線の一部を真空容器外に引き出した部分、及び、ＦＰ独立配線の一部を真空容器外に引き出した部分の両方に接触して電位供給し、かつ電源部のアースに接地したフレームと電気的に接続するために前フレームの内壁に接触する導電性接触部材を配置した。接触部材はねじ等の固定手段無しにＦＰとＲＰの隙間に挿入固定する構成とした。
【０２２２】
以下に、本発明に係る画像表示装置の第５の実施形態について図１５及び図１６を参照して説明する。
【０２２３】
図１５は、本発明に係る画像表示装置の第５の実施形態を表わす画像表示部の角部外観図、図１６は、図１５に示される画像表示装置の画像表示部の角部断面図である。
【０２２４】
５０は本実施形態の画像表示パネルの真空容器を構成するＦＰ１１のＲＰ１側表面に、Ａｇペーストを所定の形状に印刷し、焼成することにより形成したＦＰ独立配線（第２配線）であり、５０ａは該ＦＰ独立配線５０の真空部９において、画像形成部１２（加速電極）を取り囲むように略長方形を成す配線形状を構成するＦＰ独立配線真空部であり、高電位が印加される前記画像形成部１２や高圧引き出し配線１００に対して約５ｍｍの沿面距離をあけて配置されている。
【０２２５】
５０ｂは前記ＦＰ独立配線真空部５０ａの角部から枠４とＦＰ１１の接合部を通過して真空部９外に引き出されたＦＰ独立配線引き出し部であり、前記枠４とＦＰ１１の接合部では例えば低融点ガラスに埋設されて外部に引き出されており、真空部９の真空気密を維持できるようになっている。
【０２２６】
５１は金属製薄板を図示のようにプレス加工により形成した、本発明の構成要素たる導電性接触部材である弾性を有する金属としての接触材であり、該接触材５１の先端部にある接触部５１ａにおいて前記ＦＰ独立配線引き出し部５０ｂに電気的機械的に接触している。５１ｂは接触材５１のバネ部であり、前記接触部５１ａをＦＰ独立配線引き出し部５０ｂに押し付けるための弾性を有する形状を成している。
【０２２７】
５１ｃは接触部５１ａとは反対側の端部である接触部であり、前フレーム９６の内壁に電気的機械的に接触している。
【０２２８】
５１ｄは接触材５１のバネ部であり、前記接触部５１ｃを前フレーム９６に押し付けるための弾性を有する形状を成している。５１ｅはＲＰ１の２辺にまたがり断面コの字型を成してＲＰ１を挟むところの位置決め部である。
【０２２９】
５１ｆは接触材５１の中央部付近に複数配置されたエンボス部であり、図１５に見える円形は球状の一部を成す凹部で、裏側には該凹部に応じた凸部が形成されて独立配線引き出し部１０８と電気的機械的に接触している。
【０２３０】
該エンボス部５１ｆはバネ部５１ｂとバネ部５１ｄの弾性によって、常に独立配線引き出し部１０８に押し付け力が働く構造となっている。
【０２３１】
以上の構成における特徴を述べる。前フレーム９６は導電性を有し電源部のアースと電気的に接続している。したがって前フレーム９６に接触する接触材５１はアース電位となる。更に接触材５１と接触するＲＰ１の独立配線引き出し部１０８およびＦＰ１１のＦＰ独立配線５０もアース電位となる。
【０２３２】
その結果、ＲＰ１の真空部９においては先実施形態で説明した通り、アース電位の独立配線１０５、耐圧構造１０６の構成により、異常放電を抑制でき、電子源領域２に大電流が流れて表面伝導型電子放出素子が劣化したり破壊することを防止することができる。
【０２３３】
更に本実施形態においてはＦＰ１１の真空部９においてアース電位の独立配線５０ａが高電圧が印加される画像形成部１２や高圧引き出し配線１００を囲む構造としたため、異常放電を抑制でき、異常放電によりＦＰ１１から電子源領域２に大電流が流れて表面伝導型電子放出素子が劣化したり破壊することが防止することができる。
【０２３４】
また、本実施形態の接触材５１の組立は、まず画像表示パネルを構成する真空容器の角部のＲＰ１とＦＰ１１の隙間に接触部ａを差し込み、次に２個所の位置決め部５１ｅがＲＰ１の２辺の端面に突き当てることで装着が完了する。その後、図１６に示す位置に前フレーム９６に対して画像表示パネルを組み込むと、接触材５１の接触部５１ｃが前フレーム９６の内壁に接触する。
【０２３５】
更に該真空容器を先の実施形態に説明したように、背面側のフレームで弾性体を介して挟み支持するか接着手段により筐体フレームに支持して固定する。
【０２３６】
以上説明したように、本実施形態では加速電位の供給経路の電子源基板側の経由部における異常放電を抑制できるのみでなく、加速電極に端を発する異常放電による影響をも好適に抑制することができる。
【０２３７】
また、ＲＰ１においてはＸ，Ｙ方向ドライバー回路のアースパターンに接地するＸ，Ｙ方向ＦＰＣ４０１−Ｘ，４０１−Ｙのアース配線と独立配線１０５を接続し、更に独立配線１０５からの引き出し部を真空容器外に露出させ、ＦＰ１１においても独立配線５０ａからのＦＰ独立配線引き出し部５０ｂを真空容器外に露出させ、電源部のアースに接地した前フレーム９６に接触する接触材５１と両独立配線からの引き出し部を接触させる構造とした。
【０２３８】
これにより前記ＦＰ１１とＲＰ１の独立配線のアース電位の規定を確実にすることができる。
【０２３９】
また、真空容器に固定された前記接触材５１はばね性と突き当て部を有しているため、前記ＦＰ１１とＲＰ１のＦＰ独立配線引き出し部５０ｂおよび独立配線引き出し部１０８および前フレーム９６の内壁を常に押し付けつつ外れることも無い。
【０２４０】
半田付けなどの配線作業もせずに電気的に接続されるし、ねじ等の固定手段無しに組み立てられ、環境温度の変化や経年変化が有っても電気的接続が保たれる。
【０２４１】
また、前記アース接地構造は、真空容器を前後のフレームで挟み支持したり、ＲＰ１を筐体フレームに接着支持したり、様々な支持方法に対応可能であるため、設計の自由度が増す。
【０２４２】
ここで、上記第２、第３及び第５の実施形態において用いられた接触子、接触板若しくは接触材の材料としては、ステンレスやメッキ処理（防錆処理）リン青銅などが好ましいが、例えばその他にも、リン青銅、鋼、メッキ処理（防錆処理）鋼であっても良い。
【０２４３】
また、各実施形態の前フレーム９６，１３１は押し出し加工により形成されるものを好適に採用でき、また、前フレーム９６，１３１の材質としては、例えば銅、ニッケル若しくはカーボン等を含有する導電層を有する樹脂製のカバーであっても良い。
【０２４４】
【発明の効果】
本願にかかわる発明によると、異常放電を抑制できる。また、本願に係る発明の一つによると異常放電を抑制する構造への所定電位、特にはアース電位の供給を確実に及びまたは容易及びまたは生産性良く行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る画像表示装置の構成の一例を模式的に示す分解斜め模式図である。
【図２】図１のＡ矢視方向から見た図であり、アノード端子部の断面を示した断面図である。
【図３】リアプレート基板の作成工程を説明する図である。
【図４】リアプレートのアノード端子周辺部を示した平面図である。
【図５】真空パネルのフェースプレートを取り除いた状態でのアノード端子周辺部を示した平面図である。
【図６】平面型画像表示装置の略内部構造を示す図である。
【図７】参考例を説明する図であり、図１の矢視方向から見た、アノード端子部の断面を示した断面図である。
【図８】本発明に係る画像表示装置の第２の実施形態を表わす画像表示部の外観図である。
【図９】図８に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図である。
【図１０】図８に示される画像表示装置の部品の拡大図である。
【図１１】本発明に係る画像表示装置の第３の実施形態を表わす画像表示部の外観図である。
【図１２】図１１に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図である。
【図１３】本発明に係る画像表示装置の第４の実施形態を表わす画像表示部の外観図である。
【図１４】図１３に示される画像表示装置の画像表示部の要部縦断面図である。
【図１５】本発明に係る画像表示装置の第５の実施形態を表わす画像表示部の外観図である。
【図１６】図１５に示される画像表示装置の画像表示部の角部断面図である。
【図１７】従来例の画像表示装置の縦断面図である。

Claims

電子線装置であって、
電子放出素子と、
該電子放出素子に接続した駆動配線と、
前記電子放出素子と前記駆動配線とを配置した電子源基板と、
前記電子源基板に対向する位置に設けられ、前記電子放出素子が放出する電子を加速する加速電位が与えられる加速電極と、
前記加速電極に前記加速電位を与えるための経路であって、前記電子源基板上の経由部を経由して導出された電位供給経路と、
前記経由部を囲む第１配線と、
該第１配線と前記経由部の間に位置し、前記電位供給経路と前記第１配線とに電気的に接続した抵抗膜と、
を有することを特徴とする電子線装置。
電子線装置であって、
電子放出素子と、
該電子放出素子に接続した駆動配線と、
前記電子放出素子と前記駆動配線とを配置した電子源基板と、
前記電子源基板に対向する位置に設けられ、前記電子放出素子が放出する電子を加速する加速電位が与えられる加速電極と、
前記加速電極に前記加速電位を与えるための経路であって、前記電子源基板上の経由部を経由して導出された電位供給経路と、
前記経由部と前記駆動配線との間の沿面上に位置する第１配線と、
該第１配線と前記経由部の間の沿面上に位置し、前記電位供給経路と前記第１配線とに電気的に接続した抵抗膜と、
を有することを特徴とする電子線装置。
前記第１配線には所定の電位が与えられる請求項１又は２に記載の電子線装置。
前記第１配線はリング状配線である請求項１乃至３いずれかに記載の電子線装置。
前記第１配線はアース接続される請求項１乃至４いずれかに記載の電子線装置。
前記抵抗膜はシート抵抗が１×１０⁹Ω／□以上である請求項１乃至５いずれかに記載の電子線装置。
前記抵抗膜はシート抵抗が１×１０¹⁶Ω／□以下である請求項１乃至６いずれかに記載の電子線装置。