JP3993388B2 - 真空アーク蒸発源 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空アーク蒸発源に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
真空アーク蒸着法は、真空室内で蒸発物質を陰極とするアーク放電により陰極材料を蒸発、イオン化させ基板上に皮膜を堆積させる方法である。この蒸着法は、切削工具、機械部品、電子部品、プリント回路などの各分野での耐摩耗性被膜の形成に使用されている。この方法では基板への入射粒子のエネルギーが高いため密度が高く強度耐久性に優れた膜を高速に成膜することができる。
しかし陰極から数μm以上の径を持つ溶融粒子が発生し易く、これが基板表面へ付着することで被膜の面粗度悪化や組成の不均一につながってしまう。
【0003】
したがって、より高質の皮膜を形成するために、陰極からの溶融粒子の発生あるいは基板への付着を低減することが求められている。
溶融粒子の発生の原因の一つとして、陰極の蒸発面におけるアークスポット(陰極点)の位置が偏在することによる蒸発面の局所的加熱が挙げられる。このような溶融粒子の発生を抑制するには、磁場によりアークスポットを移動させ、局所加熱を防ぐ必要がある。
アークスポット移動による溶融粒子の発生抑制技術としては、特開平11−269634号公報に記載のものが公知である。この技術では、蒸発源を同軸状に囲むリング状永久磁石を設け、蒸発面を通過する磁力線の蒸発面に平行な成分とアーク電流との相互作用によって、蒸発面上のアークスポットを高速で周回転させ、局所加熱を防止し、溶融粒子の発生を抑制している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、溶融粒子の発生を効果的に抑制しようとすれば、アークスポットの移動速度をより大きくして、局所加熱を防ぐ必要がある。アークスポットの移動速度は磁束密度の蒸発面に平行な成分の大きさに比例するため、局所加熱を防ぐには、磁場を強力にして蒸発面における平行な成分の大きさを強くすることが求められる。
しかし、平行成分を大きくするために、単に磁石を大きくすること等で対応すると、装置が大きく複雑になるという問題がある。特に、前記従来技術では、磁石によって発生する磁場は蒸発面に垂直な成分の方が大きいため、単に磁場を強力にしても磁力線の平行成分の効率的な増加、すなわちアークスポット周回運動の速度の効率的な増加は期待できない。
【0005】
かかる問題に鑑み、本発明の課題は、磁力線を蒸発面に対してより平行にしてアークスポットの周回速度を効率的に増加させることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、次の技術的手段を採用した。すなわち、本発明の特徴は、蒸発物質の蒸発面に平行な成分を有する磁力線を発生する磁場発生源を備えた真空アーク蒸発源において、前記磁場発生源は、前記蒸発面の略中央位置に配置された中央磁極部と前記蒸発物質の外周を囲むように配置された外周磁極部とを備え、前記蒸発面において前記中央磁極部と前記外周磁極部との間で放射状に延びる磁力線を発生するように前記中央磁極部と前記外周磁極部とは異種磁極とされ、前記中央磁極部及び/又は外周磁極部は、使用前の蒸発物質の蒸発面より正面側に突出するように配備されている点にある。
【0007】
アークスポットを周回運動させるには、磁力線が単に蒸発面と平行なだけでなく、磁力線が蒸発面において放射状に延びている必要がある。放射状の磁力線を形成し、かつその平行成分を大きくするために、本発明では、外周磁極部に加えて中央磁極部を設けている。中央磁極と外周磁極部は異種磁極であるので、これらの間には放射状の磁力線が発生し、しかもこの磁力線は、従来技術と比べて蒸発面に対してより平行に近くなる。
この平行成分の大きい磁力線によって、アークスポットは蒸発面を高速で周回移動し、局所加熱が防止され、溶融粒子の発生が抑制される。
【0008】
なお、本発明における磁石には、電磁石も採用できるが、永久磁石であれば構成を簡易にすることができる。
また、前記中央磁極部と外周磁極部は磁石だけで構成することもできるが、前記中央磁極部及び/又は外周磁極部は、蒸発物質正面側に位置する第1磁性体の背面側に磁石を設けて構成するのが好ましい。
かかる構成であれば、正面側に磁性体が存在するので、この磁性体に磁力線が集中し、蒸発面付近の磁束密度を高くすることでき、より強力な磁場となる。
【0009】
また中央磁極部や外周磁極部の蒸発物質正面側は真空アーク蒸着装置の運転時には高温になるので、高温となる蒸発物質正面側に第1磁性体を設け、この磁性体の背面側に磁石を設けることで、磁石の磁力劣化を防止できる。
そして、蒸発面は、磁力線がより平行となる位置に配置するのが好ましく、このためには、前記第1磁性体の軸方向(リング状の外周磁極部の中心軸C)に沿った寸法の略中央位置が適当である。また、蒸発面は、蒸発物質の消耗により背面側に後退するので、これを考慮すると、蒸発面は、前記略中央位置より正面側であるのが好ましい。すなわち、前記外周磁極部はリング状であって前記中央磁極部を取り囲むように配置され、前記外周磁極部の中心軸に沿った方向において、前記蒸発面が、前記第1磁性体の略中央位置と前記第1磁性体の正面側端部位置との間に配置されていることが好ましい。
【0010】
第1磁性体の軸方向寸法は、磁石の位置等の関係で大きくなる場合もあるが、磁性体が大きくなると磁力線が分散するので、磁力線を集中させて磁束密度を高くするために、前記外周磁極部の中心軸に沿った方向において、前記第1磁性体の前記蒸発物質と接する面の寸法が、第1磁性体全体の寸法より小さく形成されているのが好ましい。
この構成であれば、第1磁性体が大きくなっても、蒸発物質と接する面の寸法を小さくすることで、磁力線が蒸発面付近に集中し、磁束密度を高くすることができる。
【0011】
また、前記中央磁極部と前記外周磁極部とを蒸発物質背面側でつなぐ磁気回路を構成するための第2磁性体を設けておくと、磁力線は磁気回路内に多く位置し、周囲へ発散する磁力線が少なくなり、磁場による周囲への影響を抑えることができる。特に複数の真空アーク蒸発源が設置される真空アーク蒸着装置の場合には、隣接する蒸発源への磁場の影響を防止できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図4は、本発明の第1実施形態を示している。本発明の真空アーク蒸発源1が適用される真空アーク蒸着装置2は、内部にワークとしての基板Wが設置される真空チャンバ3を有し、このチャンバ3内に複数の真空アーク蒸発源1が設けられている。また、この真空アーク蒸発源1は、陰極となる蒸発物質4を備えている。なお、真空アーク蒸着装置2は、アーク放電電流を供給するためのアーク電源5を備えている。
【0013】
真空アーク蒸発源1は、図2及び図3に示すように、陰極となる蒸発物質4の他、磁場発生源6を有している。磁場発生源6は、蒸発物質4の蒸発面4a(図2の上側面)の略中央位置に配置された中央磁極部8と、蒸発物質4の外周を囲むように配置されたリング状の外周磁極部9とを有している。なお、中央磁極部8と外周磁極部9とは同軸状に配置され、前記蒸発物質4は中央磁極部8側面と外周磁極部9内周面の間にドーナツ状に設けられている。
前記中央磁極部8は、中央第1磁性体11と中央永久磁石(ネオジ磁石)12とを有している。中央第1磁性体11は、蒸発物質4の中央孔に嵌合され、蒸発面4aより正面側(基板W側:図2において上側)にやや突出状に設けられている。中央永久磁石12は、中央第1磁性体11の背面側に設けられ、蒸発物質4の背面側に位置している。
【0014】
この中央磁石12は、両磁極が軸方向(外周磁極部9の中心軸であって図2の線Cの方向)を向くように配置され、図2では正面側がS極とされ、背面側がN極とされている。したがって、中央磁極部8の蒸発面4a付近、すなわち中央第1磁性体11にはS極が現れる。
前記外周磁極部9は、外周第1磁性体14と外周永久磁石(ネオジ磁石)15とを有している。外周第1磁性体14は、リング状であって蒸発物質4と同軸状に配置され、蒸発面4aより正面側にやや突出状に設けられている。なお、前記中央第1磁性体11とこの外周第1磁性体14の背面は蒸発物質4の背面と面一となっている。
【0015】
外周永久磁石15は、リング状であって外周第1磁性体14背面側に設けられ、蒸発物質4の背面側に位置している。この外周磁石15は、両磁極が軸方向を向くように配置され、図2では、正面側がN極とされ、背面側がS極とされている。したがって、外周磁極部9の蒸発面4a付近、すなわち外周第1磁性体14にはN極が現れる。中央第1磁性体11はS極であるので、外周第1磁性体14の内周面(N極)と中央第1磁性体11の外周面(S極)との間には、蒸発面4aと略平行な磁力線Mが放射状に発生する(図2参照)。この平行な磁力線は、図2の矢印Aで示すように、蒸発面4a上のアークスポットを高速で周回運動させる。
【0016】
また、各磁石12,15から出た磁力線は第1磁性体11,14に集中するため、蒸発面(陰極表面)4aでの磁束密度が大きくなる。アークスポットの回転速度は磁束密度の蒸発面4aに平行な成分に比例するので、このように形成された磁場によりアークスポットを高速に回転させることができる。したがって、陰極表面の局所加熱を防ぎ、溶融粒子の発生を抑制することができる。
ここで、蒸発面4aは、磁力線分布の最も適した箇所に配置されるべきである。すなわち、蒸発面4aは磁力線が平行になる位置に配置するのが好ましい。平行な磁力線は、各第1磁性体11,14の軸方向寸法h1の略中央位置に形成されるので、蒸発面4aは、第1磁性体11,14の軸方向寸法h1の略中央位置に配置するのが好ましい。言い換えると、第1磁性体11,14の蒸発面4aに対する突出寸法h2は、h1の略半分であるのが好ましい。
【0017】
また、蒸発面4aは蒸発物質4の消耗により後退(図2において下方に消耗)するので、これを考慮すると、蒸発面4aは、第1磁性体11,14の軸方向寸法h2の略中央位置と第1磁性体11,14の上面側端部との間に配置されているのが良い。言い換えると、第1蒸発体11,14の蒸発面4aに対する突出寸法h1は、0≦h2≦(h1/2)の範囲であるのが良い。
中央磁石11と外周磁石15の背面には、これら両者を磁気的に接続する磁気回路を構成するための第2磁性体17が設けられている。この第2磁性体17は、外周磁極部9と同径の円盤形状に形成されている。第2磁性体17を設けることで、各磁石11,15の背面側磁極からの磁力線の発散が抑えられ、チャンバ3内で隣接する他の蒸発源1への磁場の影響が少なくなる。
【0018】
なお、第2磁性体17を有することによって、磁場発生源6の径方向断面形状は、図2のようにE字状となる。
図3は、図2のような磁場発生源6における磁力線分布のシミュレーション結果を示している。なお、図3(b)は、図3(a)中の磁場発生源6の構成対応図である。図3(a)に示すように、磁石12,15で発生した磁力線は、第1磁性体11,14に集中し、蒸発面4aで平行な磁場が形成されている。
また、図4は、蒸発物質4内の磁束密度分布の等高線図を示している。なお、図4中、符号4bは中央第1磁性体11と接する面を、符号4cは外周第1磁性体14と接する面を示している。
【0019】
蒸発物質4内において磁束密度は0.05T以上となり、強い磁場を形成できている。なお、図4において、a2〜a14は等高線であり、a2は0.0829T、a3は0.0982T、a4は0.113T、a5は0.129T、a6は0.144T、a7は0.159T、a8は0.175T、a9は0.190T、a10は0.205T、a11は0.221T、a12は0.236T、a13は0.251T、a14は0.266Tを示している。
図5〜図7は、第2実施形態に係る真空アーク蒸発源1を示している。この蒸発源1の磁場発生源6は、第1実施形態の中央永久磁石12が磁性体に置き換えられている点で第1実施形態と相違する。
【0020】
ここでは、中央第1磁性体11が第1磁性体17と接するように延長され、中央磁極部8を構成している。この中央磁極部8は、第2磁性体17を介して外周永久磁石15と接続されているので、中央磁極部8には、S極が現れ、N極である外周磁極部9とは異種磁極となる。
中央磁石12を磁性体に置き換えても、図6の磁力線分布図及び図7の磁束密度等高線図に示すように、第1実施形態とよく似た磁場分布を形成することができる。第1実施形態に比べて磁束密度はわずかに小さくなるが、蒸発面4aに略平行な磁力線が形成されている。
【0021】
なお、図7の磁束密度等高線は、a2が0.0536T、a3が0.0612T、a4が0.0689T、a5が0.0766T、a6が0.0842T、a7が0.0919T、a8が0.996T、a9が0.107T、a10が0.115T、a11が0.123T、a12が0.130T、a13が0.138T、a14が0.146Tを示している。
図8及び図9は、第3実施形態に係る真空アーク蒸発源1を示している。この蒸発源1の磁場発生源6は、蒸発物質4と接する部分において第1磁性体11,14の軸方向厚みを薄くしている点で第1実施形態のものと相違する。
【0022】
すなわち、中央第1磁性体11の外周面の一部11aが蒸発物質4側に突出形成され、また、外周第1磁性体14の内周面の一部14aが蒸発物質4側に突出形成されている。これら突出形成された部分11a,14aは磁力線集中部であり、中央第1磁性体11の外周面又は外周第1磁性体14の内周面から出る磁力線は、図9に示すように、薄い部分11a,14aに集中し、蒸発面4aの磁束密度を高くすることができる。
図10は、第4実施形態に係る真空アーク蒸発源1を示している。この蒸発源1の磁場発生源6は、磁石の配置が第1実施形態と相違する。この磁場発生源6では、中央磁極部8は蒸発物質4背面側まで延びる中央磁性体11からなり、外周磁極部9は蒸発物質4背面側まで延びる外周磁性体14からなる。
【0023】
蒸発物質4の背面側には、リング状の永久磁石20が設けられている。この磁石20は、内周面と外周面に磁極が現れるものであり、図10では、外周側がN極、内周側がS極とされている。両磁極はそれぞれ中央磁性体11及び外周磁性体14と接しており、中央磁極部8正面側にはS極が、外周磁極部9正面側には
N極が現れる。各磁極から出た磁力線は磁性体11,14に集中し、中央磁極部8の外周面と外周磁極部9の内周面との間には蒸発面4aと略平行な磁力線が現れる。
【0024】
図11は、第5実施形態に係る真空アーク蒸発源1を示している。この蒸発源1の磁場発生源6も、磁石の配置が第1実施形態と相違する。この磁場発生源6では、中央永久磁石12及び外周永久磁石15が磁性体11,14より正面側に配置されている。このような配置であっても、蒸発面4aと略平行な磁力線が得られる。
上記第2〜5実施形態において説明を省略した点は第1実施形態と同様である。
【0025】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、放射状であって蒸発面に対してより平行な磁力線が得られるので、アークスポットをより高速で周回運動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 真空アーク蒸着装置の概略構成図である。
【図2】 (a)は、第1実施形態に係る真空アーク蒸発源の径方向断面図であり、(b)は、同正面図である。
【図3】 (a)は第1実施形態に係る真空アーク蒸発源の磁力線分布図であり、(b)は(a)中の磁場発生源の構成対応図である。
【図4】 第1実施形態に係る真空アーク蒸発源の蒸発物質内の磁束密度等高線図である。
【図5】 第2実施形態に係る真空アーク蒸発源の径方向断面図である。
【図6】 第2実施形態に係る真空アーク蒸発源の磁力線分布図である。
【図7】 第2実施形態に係る真空アーク蒸発源の蒸発物質内の磁束密度等高線図である。
【図8】 第3実施形態に係る真空アーク蒸発源の径方向断面図である。
【図9】 第3実施形態に係る真空アーク蒸発源の磁力線分布図である。
【図10】 第4実施形態に係る真空アーク蒸発源の径方向断面図である。
【図11】 第5実施形態に係る真空アーク蒸発源の径方向断面図である。
【符号の説明】
1 真空アーク蒸発源
4 蒸発物質
6 磁場発生源
8 中央磁極部
9 外周磁極部
11 中央第1磁性体
12 中央永久磁石
14 外周第1磁性体
15 外周永久磁石
17 第2磁性体
Claims (5)
- 蒸発物質(4)の蒸発面(4a)に平行な成分を有する磁力線を発生する磁場発生源(6)を備えた真空アーク蒸発源において、
前記磁場発生源(6)は、前記蒸発面(4a)の略中央位置に配置された中央磁極部(8)と前記蒸発物質(4)の外周を囲むように配置された外周磁極部(9)とを備え、
前記蒸発面(4a)において前記中央磁極部(8)と前記外周磁極部(9)との間で放射状に延びる磁力線を発生するように前記中央磁極部(8)と前記外周磁極部(9)とは異種磁極とされ、
前記中央磁極部(8)及び/又は外周磁極部(9)は、使用前の蒸発物質(4)の蒸発面(4a)より正面側に突出するように配備されている
ことを特徴とする真空アーク蒸発源。 - 前記中央磁極部(8)及び/又は外周磁極部(9)は、蒸発物質(4)正面側に位置する第1磁性体(11,14)の背面側に磁石(12,15)を設けて構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の真空アーク蒸発源。 - 前記外周磁極部(9)はリング状であって前記中央磁極部(8)を取り囲むように配置され、
前記外周磁極部(9)の中心軸(C)に沿った方向において、前記蒸発面(4a)が、前記第1磁性体(11,14)の略中央位置と前記第1磁性体(11,14)の正面側端部位置との間に配置されている
ことを特徴とする請求項2記載の真空アーク蒸発源。 - 前記外周磁極部(9)はリング状であって前記中央磁極部(8)を取り囲むように配置され、
前記外周磁極部(9)の中心軸(C)に沿った方向において、前記第1磁性体(11,14)の前記蒸発物質(4)と接する面の寸法(h3)が、第1磁性体(11,14)全体の寸法(h1)より小さく形成されている
ことを特徴とする請求項2又は3記載の真空アーク蒸発源。 - 前記中央磁極部(8)と前記外周磁極部(9)とを蒸発物質(4)背面側でつなぐ磁気回路を構成するための第2磁性体(17)が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の真空アーク蒸発源。
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