JP3978591B2 - 半導体メモリ装置のカラムリペア回路及びカラムリペア方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体メモリ装置のカラムリペア回路及びカラムリペア方法に関し、特に、隣接ブロックメモリアレイのローリペアラインを共有する構造を有し、ローアクティブ(row active)時に、外部から入力されるブロックアドレスをカラムリペアするブロックアドレスに合わせて変更するように改善された半導体メモリ装置のカラムリペア回路及びカラムリペア方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、DRAMを構成している多数の微細セルの中で何れか1つでも欠陥が発生すれば、そのDRAMは正常に機能できなくなる。したがって、この対策として、予めDRAM内に予備メモリセルを設け、不良セルを予備メモリセルに代替させるという冗長性を持たせたリダンダンシー方式を採用することによって、DRAMの歩留まりを改善している。
【0003】
このようなリダンダンシー方式は、チップ内の特定のメモリセルが不良と判断されたとき、この不良セルを、ワードアドレスで指定されるロー(row)単位またはビットアドレスで指定されるカラム(column)単位で、予めチップ内に用意されたリダンダンシーセル(redundancy cell)に代替させることによって、そのチップを不良として破棄すること無く使用できるようにするためのものである。以下において、不良セルをロー単位で代替するリダンダンシーセルをローリペアラインと記し、不良セルをカラム単位で代替するリダンダンシーセルをカラムリペアラインと記す。
【0004】
以下、従来のリペア方法に関して、図1〜図3を参照して説明する。
【0005】
図1は、1個のメモリバンク2を8個のブロックメモリアレイで構成する典型的なDRAMの構造を示すブロック図である。
【0006】
ここで、X−デコーダ4とY−デコーダ6は、各ブロックに含まれたセルのアクティブ状態を制御するためのローアドレス、カラムアドレス等の信号を提供するように構成されている。
【0007】
図1において、アドレスK,J,Iはブロック選択アドレスであり、それぞれのブロックは不良セルを救済するために、予備メモリセルの活性化ラインであるローリペアライン及びカラムリペアラインを所定の本数備えている。しかし、1個のブロックにおいてリペアによって救済できる量には限界があるため、リペア効率を向上させるためには隣接ブロックのリペアラインをさらに用いることができることが望ましい。
【0008】
ここで、隣接ブロックとは、図1に示されているように、アドレスビットI、Kが同じであり、アドレスビットJにより選択されるブロック対の中の一方のブロックに対する他方のブロックを意味する。
【0009】
リペアする場合、ブロック対の中の何れのブロックのリペアラインを用いるかは隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0:7>により決定され、この隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0:7>はローヒューズボックス(図示せず)から出力される信号であり、ローヒューズボックス内部のヒューズの切断状態により決定される。
【0010】
即ち、入力されたブロックアドレスの隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<i>(i=0〜7)がハイレベル(High Level)であれば、その入力されたブロックアドレスに該当するブロックのリペアラインをリペアに用い、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<i>がローレベル(Low Level)であれば、入力されたブロックアドレスに該当するブロックの隣接ブロックのリペアラインをリペアに用いる。
【0011】
例えば、ブロック0のローリペアラインを全て使用しており、ブロック0に対するローリペアがさらに必要である場合、ブロック0の隣接ブロックであるブロック2のローリペアラインを用いるために、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0>がローレベルで供給される。したがって、たとえブロック0に該当するブロックアドレス(例えば[000])が入力されても、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0>がローレベルであることから、ブロック0の隣接ブロックであるブロック2のローリペアラインが選択されることとなる。
【0012】
一方、カラムリペア方法においても、上記と同様にブロックアドレス情報を使用し、選択されたブロックに欠陥セルがある場合、欠陥セルを含むカラムを、予備メモリ領域のカラムリペアラインに代替させる。
【0013】
しかし、上記のような隣接ブロック間でローリペアラインを共有する従来のリペア方式では、ローリペアが隣接ブロックのローリペアラインを利用して行われた場合、カラムリペア状態が考慮されない問題点がある。
【0014】
以下、隣接ブロック間でローリペアラインを共有する従来のリペア方式においてカラムリペア状態が考慮されていないカラムリペア回路に関して、図2及び図3を参照して説明する。
【0015】
図2は、隣接ブロック間でローリペアラインを共有するリペア方式においてカラムリペア状態が考慮されていない従来のカラムリペア回路を示す回路図であり、カラムリダンダンシーヒューズ部20、カラムリダンダンシーデコード部30及びカラムリダンダンシー決定部40から構成されている。
【0016】
ここで、カラムリダンダンシーヒューズ部20は、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTとブロックアドレスRAT<9:11>、反転ブロックアドレスRAB<9:11>を受信し、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>とカラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを生成する。ここで、3ビットのブロックアドレスRAT<9:11>は、図1に示したアドレスK,J,Iに対応しており、RAB<9:11>は、RAT<9:11>の各ビットの信号レベルを反転したものである。
【0017】
カラムリダンダンシーデコード部30は、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを使用して、カラムアドレスBYAC<1:7>をデコードし、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>を生成する。
【0018】
カラムリダンダンシー決定部40は、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>を使用して、カラムリペアのためのカラムリダンダンシー信号YREDCを生成する。
【0019】
このような構成を有するカラムリペア回路は、外部から入力されるブロックアドレスRAT<9:11>、RAB<9:11>がそのままカラムリペア回路に入力されるため、ローリペア時にカラムリペア状態が反映されず、カラムに欠陥があることを検出できない問題点を有している。
【0020】
具体的に図3を参照して説明すれば、例えばブロック2のカラムに欠陥があってカラムリペアされており、且つブロック0のローリペアが隣接ブロックであるブロック2を利用して行なわれると仮定すれば、ブロック0のローリペアのために選択されたブロック2のローリペアラインに対するカラムの欠陥状態がローリペアに反映されなければならない。即ち、ブロック2のローリペアラインに対するカラムの欠陥を救済するために、ブロック2のローリペアされたラインの欠陥セルのあるカラムが、カラムリペアラインを使用して予備メモリのカラムに代替されなければならない。
【0021】
例えば、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0>がハイレベルである場合、入力されたブロックアドレス[000]が指定するブロックのローリペアライン、即ち、ブロック0のローリペアラインが使用されることから、ブロック2に存在するカラムの欠陥の影響は生じない。
【0022】
しかし、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb<0>がローレベルである場合には、隣接ブロック(ブロック2)のローリペアラインが使用されるが、入力されるブロックアドレスが、ブロック2に該当するブロックアドレス[010]では無く、ブロック0に該当するブロックアドレス[000]であるため、ブロック2の欠陥状態が検出されない。したがって、カラムの欠陥状態が、隣接ブロックのローリペアラインを使用したローリペア時には反映されないこととなる。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、隣接ブロックのローリペアラインを共有する半導体メモリ装置のリペア回路において、ローリペアのために選択された隣接ブロックのローリペアラインのカラムに欠陥が存在する場合、該カラム欠陥状態を反映して欠陥のあるカラムをリペアすることができ、半導体メモリ装置のリペア効率を向上させることができる半導体メモリ装置のカラムリペア回路及びカラムリペア方法を提供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体メモリ装置のカラムリペア回路は、カラムリダンダンシースタート信号に応じて、外部から入力されるブロックアドレスによって指定されるブロックのローリペアラインを用いるか、又は前記ブロックの隣接ブロックのローリペアラインを用いるかを決定する隣接ブロック選択信号を生成する隣接ブロック選択ヒューズ部、前記隣接ブロック選択信号、前記ブロックアドレス、該ブロックアドレスの各ビットを反転させた反転ブロックアドレス、及び前記カラムリダンダンシースタート信号が入力され、複数のカラムアドレス制御信号及び該カラムアドレス制御信号の初期化信号を生成するカラムリダンダンシーヒューズ部、前記初期化信号及び複数の前記カラムアドレス制御信号に応じて、入力されるカラムアドレスをデコードしてデコードカラムアドレスを生成するカラムリダンダンシーデコード部、及び前記デコーデドカラムアドレスに応じてカラムリダンダンシー信号を生成するカラムリダンダンシー決定部を備えていることを特徴とする。
【0025】
また、本発明に係る半導体メモリ装置のカラムリペア方法は、カラムリダンダンシースタート信号に応じて、外部から入力されるブロックアドレスによって指定されるブロックのローリペアラインを用いるか、又は前記ブロックの隣接ブロックのローリペアラインを用いるかを決定する隣接ブロック選択信号を生成する第1ステップ、前記ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する隣接ブロック指定ビット、及び前記ブロックアドレスの各ビットを反転させた反転ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する反転隣接ブロック指定ビットを、前記隣接ブロック選択信号がハイレベルであればそのまま伝達し、前記隣接ブロック選択信号がローレベルであれば交換して伝達する第2ステップ、該第2ステップによって処理された前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットと、前記ブロックアドレス及び前記反転ブロックアドレスの中から前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットを除いた複数のビットと、前記カラムリダンダンシースタート信号とに応じて、複数のカラムアドレス制御信号及び該カラムアドレス制御信号の初期化信号を生成する第3ステップ、複数の前記カラムアドレス制御信号及び前記初期化信号に応じて、カラムアドレスをデコードしてデコードカラムアドレスを生成する第4ステップ、及び前記デコードカラムアドレスに応じてカラムリダンダンシー信号を生成し、欠陥のあるカラムをリペアする第5ステップを含んでいることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る好ましい実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0027】
図4は、本発明の好ましい実施の形態に係る半導体メモリ装置のカラムリペア回路を示すブロック図であり、隣接ブロック選択ヒューズ部100、カラムリダンダンシーヒューズ部200、カラムリダンダンシーデコード部300、及びカラムリダンダンシー決定部400を備えて構成されている。図4に示すカラムリペア回路は、1つのメモリブロック、例えば図1に示したメモリブロック0〜7の何れか1つのブロックに対するカラムリペア回路である。
【0028】
隣接ブロック選択ヒューズ部100は、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTが入力され、外部から入力されるブロックアドレスが指定するブロックのローリペアラインを用いるか、又は隣接ブロックのローリペアラインを用いるかを決定するための隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbを生成する。
【0029】
カラムリダンダンシーヒューズ部200は、外部から入力されたブロックアドレスビットRAT<10>とRAT<10>の反転信号である反転ブロックアドレスビットRAB<10>とを、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbの信号レベルに応じて、そのまま伝達又は交換して伝達した後、ブロックアドレスビットRAT<10>、反転ブロックアドレスビットRAB<10>、カラムリダンダンシースタート信号YREDST、及び複数のブロックアドレスビットRAT<9>、RAT<11>、反転ブロックアドレスビットRAB<9>、RAB<11>を使用して、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>及びカラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを生成する。
【0030】
カラムリダンダンシーデコード部300は、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを使用してカラムアドレスBYAC<1:7>をデコードし、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>を生成する。
【0031】
カラムリダンダンシー決定部400は、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>を使用してカラムリダンダンシー信号YREDCを生成する。
【0032】
次に、上記したカラムリペア回路の各部の内部構成と動作を説明する。
【0033】
図5は、図4に示した隣接ブロック選択ヒューズ部100の回路図であり、PMOSトランジスタP1は、ゲートにカラムリダンダンシースタート信号YREDSTが入力され、そのソース及びドレインが電源電圧Vdd及びノードAにそれぞれ接続されている。PMOSトランジスタP2は、ゲートにノードAの信号を反転させるインバータI3の出力信号が入力され、そのソース及びドレインが電源電圧Vdd及びノードAにそれぞれ接続されている。NMOSトランジスタN1は、ゲートにカラムリダンダンシースタート信号YREDSTが入力され、そのソースが接地電圧Vssに接続されている。NMOSトランジスタN2はゲートに電源電圧Vddが入力され、そのソースがNMOSトランジスタN1のドレインに接続されている。ヒューズF1は、NMOSトランジスタN2のドレイン及びノードAの間に接続されている。NANDゲートND1は、ローアクティブ時にハイレベルにイネーブルされるカラムリダンダンシースタート信号YREDSTをバッファした後の出力信号、即ち2回反転させて元の信号レベルに戻すために直列接続された2個のインバータI1及びI2の出力信号と、ノードAの信号とが入力されて、否定論理積演算を行なう。インバータI4、I5は、NAMDゲートND1の出力信号をバッファして、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbとして出力する。
【0034】
次に、上記した隣接ブロック選択ヒューズ部100の動作を、図5を参照して説明する。
【0035】
先ず、図5に示した信号等を説明する。カラムリダンダンシースタート信号YREDSTはローアクティブ時にハイレベルにイネーブルされる信号である。隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbは、初期状態において、後述するカラムリダンダンシー信号YREDCがローレベルとなり、予備メモリセルではなく本来のメモリセルを使用するためのメインカラムデコーダ(図示せず)がイネーブルになるように、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTがローレベルに設定されることによって、NANDゲートND1への入力がローレベルとなり、ヒューズF1のカットの有無に係わりなくハイレベルになる信号である。このとき、ノードAは、PMOSトランジスタP1のターンオンによってハイレベルになる。
【0036】
図5において、ヒューズF1がカットされていなければ、ローアクティブ、即ちカラムリダンダンシースタート信号YREDSTがハイレベルにイネーブルされた場合、NMOSトランジスタN1へのディスチャージ経路(discharge path)が形成され、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbがハイレベルになる。従って、この場合、入力されたブロックアドレスが指定するブロックのローリペアラインが用いられる。
【0037】
逆に、ヒューズF1がカットされていれば、ローアクティブ時にNMOSトランジスタN1へのディスチャージ経路が遮断されることから、YREDSTがハイレベルとなった場合においても、ノードAは初期状態と同じ状態、即ちハイレベルに維持され、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbがローレベルになる。この場合には、入力されたブロックアドレスが指定するブロックの隣接ブロックのローリペアラインが用いられる。
【0038】
即ち、ヒューズF1のカットの有無によって、隣接ブロックのリペアラインを使用するか否かを指定することができる。
【0039】
次に、図4に示したカラムリダンダンシーヒューズ部200の構成と動作を、図6を参照して説明する。
【0040】
図6はカラムリダンダンシーヒューズ部200の内部構成を示した回路図であり、カラムリダンダンシーヒューズ部200は、アドレス伝達部210、ヒューズ部220、制御信号発生部230及び初期化信号発生部240を備えて構成されている。
【0041】
図6において、RAT<9:11>はローアクティブ時に外部から入力されるブロックアドレスであり、RAB<9:11>はブロックアドレスRAT<9:11>を反転した反転ブロックアドレスである。YREDSTは、ローアクティブ時にハイレベルにイネーブルされるカラムリダンダンシースタート信号である。YFJBは、初期状態において、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTがローレベルに設定されることによって、ハイレベルにプリチャージされるカラムリダンダンシー制御信号の初期化信号である。
【0042】
ここで、アドレス伝達部210は、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbを反転させるインバータI6及びI7と、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRb及びインバータI6、I7の出力信号の制御下で、隣接ブロックを指定する隣接ブロック指定ビット(J−ブロックアドレスビット)RAT<10>又はこの反転信号である反転隣接ブロック指定ビットRAB<10>を伝達する伝達ゲートT1〜T4とから構成されている。
【0043】
アドレス伝達部210は、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbがハイレベルであれば、外部から入力されたブロックアドレスビットRAT<10>、RAB<10>を、各々ヒューズ部220のNMOSトランジスタN6のゲート、N7のゲートに伝達し、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbがローレベルであれば、外部から入力されたブロックアドレスビットRAT<10>、反転信号RAB<10>を、各々ヒューズ部220のNMOSトランジスタN7のゲート、N6のゲートに伝達する。
【0044】
ヒューズ部220には、アドレス伝達部210の出力信号、カラムリダンダンシースタート信号YREDST、K及びI−ブロックアドレスビットRAT<9>、RAT<11>、これらの反転信号RAB<9>、RAB<11>が入力され、ローリペア及びカラムリペアの有無に対応してカットされたヒューズF2〜F7によって、制御信号発生部230への出力信号が決定される。
【0045】
ヒューズ部220において、インバータI8、I9はカラムリダンダンシースタート信号YREDSTを連続して2回反転、即ちバッファする。PMOSトランジスタP3はゲートにカラムリダンダンシースタート信号YREDSTが入力され、そのソース及びドレインが電源電圧Vdd及びノードBにそれぞれ接続されている。インバータI10の入力端子はノードBに接続されている。PMOSトランジスタP4はゲートにインバータI10の出力信号が入力され、そのソース及びドレインが電源電圧Vdd及びノードBにそれぞれ接続されている。NMOSトランジスタN3はゲートにカラムリダンダンシースタート信号YREDSTが入力され、そのソースが接地電圧Vssに接続されている。
【0046】
NMOSトランジスタN4はゲートにブロックアドレスビットRAT<9>が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF2は、NMOSトランジスタN4のドレインとノードBの間に接続されている。NMOSトランジスタN5はゲートに反転信号RAB<9>が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF3は、NMOSトランジスタN5のドレインとノードBの間に接続されている。NMOSトランジスタN6はゲートに伝達ゲートT1、T2の出力信号が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF4は、NMOSトランジスタN6のドレインとノードBの間に接続されている。NMOSトランジスタN7はゲートに伝達ゲートT3、T4の出力信号が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF5は、NMOSトランジスタN7のドレインとノードBの間に接続されている。NMOSトランジスタN8はゲートにブロックアドレスビットRAT<11>が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF6は、NMOSトランジスタN8のドレインとノードBの間に接続されている。NMOSトランジスタN9はゲートに反転信号RAB<11>が入力され、そのソースはNMOSトランジスタN3のドレインに接続されている。ヒューズF7は、NMOSトランジスタN9のドレインとノードBの間に接続されている。NANDゲートND2は、インバータI9の出力信号とノードBの信号とが入力されて否定論理積演算を行なう。
【0047】
制御信号発生部230は、ヒューズ部220の出力信号に応じて、それぞれのカラムアドレス制御信号YFS<1:7>を生成する複数のカラムアドレス制御信号発生部201〜207と、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを生成するカラムアドレス初期化信号発生部208とから構成されている。カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBは、初期状態において、ローレベルのカラムリダンダンシースタート信号YREDSTが初期化信号発生部240に入力され、ハイレベルにプリチャージされる。
【0048】
カラムアドレス制御信号発生部201において、PMOSトランジスタP5はゲートにノードCの信号が入力され、そのソースが電源電圧Vddに接続されている。NMOSトランジスタN12は、ゲートにノードCの信号が入力され、そのソースが接地電圧Vssに接続されている。ヒューズF8は、PMOSトランジスタP5のドレインとNMOSトランジスタN12のドレインの間に接続されている。NMOSトランジスタN11は、ゲートにカラムアドレス制御信号YFS<1>が接続され、そのソースが接地電圧Vssに接続され、そのドレインはNMOSトランジスタN12のドレインに接続されている。NMOSトランジスタN10は、そのゲートがヒューズF8とNMOSトランジスタN11、N12の共通接点に接続され、そのソースが接地電圧Vssに接続され、そのドレインがNMOSトランジスタN11のゲートに接続されている。
【0049】
他のカラムアドレス制御信号発生部202〜207は、上記したカラムアドレス制御信号発生部201と同様の構成を有している。
【0050】
カラムアドレス初期化信号発生部208は、ノードCに入力端子が接続されたインバータI11と、ゲートにインバータI11の出力信号が入力され、ソースが接地電圧Vssに接続されたNMOSトランジスタN31から構成されている。
【0051】
初期化信号発生部240は、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTを反転させるインバータI12と、インバータI12の出力信号を連続して反転させるインバータI13、I14と、インバータI12の出力信号及びインバータI14の出力信号が入力されて否定論理積演算を行なうNANDゲートND3と、ゲートにNANDゲートND3の出力信号が入力され、ソースが電源電圧Vddに接続され、ドレインがカラムアドレス初期化信号発生部208のNMOSトランジスタN31のドレインに接続されているPMOSトランジスタP12とから構成されている。
【0052】
上記した構成を有するカラムリダンダンシーヒューズ部200において、ハイレベルの隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbが入力される場合、入力されたブロックアドレスビットRAT<10>が指定するブロックのローリペアラインを用いなければならないため、入力されたブロックアドレスビットRAT<10>がそのままNMOSトランジスタN6のゲートに入力される。一方、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbがローレベルであれば、入力されたブロックアドレスビットRAT<10>が指定するブロックの隣接ブロックのローリペアラインを用いなければならないため、入力されたブロックアドレスビットRAT<10>を反転させたアドレスビットRAB<10>がNMOSトランジスタN6のゲートに入力される。
【0053】
即ち、本実施の形態においては、隣接する2つのブロックのローリペアラインを共有する方式において、隣接ブロック選択信号SELF_PAIRbの信号レベルに応じて、ローアクティブ時に外部から入力されるブロックアドレスビットRAT<10>とRAB<10>とを自動的に交換するか否かが決定される。これによって、後述するように、隣接ブロックのローリペアラインを用いるときにもカラム欠陥を検出し、欠陥のあるカラムをカラムリペアラインに代替させることができ、これによりリペア効率を向上させることができるようになる。
【0054】
次に、カラムリダンダンシーヒューズ部200の動作に関して図6を参照してより詳細に説明する。
【0055】
先ず、ヒューズ部220のヒューズF2〜F7及び制御信号発生部230のヒューズF8〜F14は、それぞれ欠陥のあるブロックのブロックアドレスRAT<9:11>及び欠陥のあるカラムアドレスBYAC<1:7>に対応して、予めカットされる。ヒューズF2〜F7に関しては、ヒューズF2、F4、F6が、それぞれブロックアドレスビットRAT<9>〜RAT<11>に対応し、ヒューズF3、F5、F7が、それぞれ反転ブロックアドレスビットRAB<9>〜RAB<11>に対応しており、欠陥ブロックアドレスRAT<9:11>とその反転ブロックアドレスRAB<9:11>の中のハイレベルである各ビットに対応するヒューズがカットされる。例えば、欠陥ブロックアドレスがRAT<9:11>=[010]であれば、RAB<9:11>=[101]となり、ヒューズF3、F4、F7のみがカットされる。また、ヒューズF8〜F14は、カラムアドレスビットBYAC<1>〜BYAC<7>に対応しており、欠陥のあるカラムアドレスBYAC<1:7>の中のローレベルである各ビットに対応するヒューズがカットされる。例えば、欠陥カラムアドレスがBYAC<1:7>=[0001111]であれば、ヒューズF8〜F10のみがカットされる。
【0056】
これによって、SELF_PAIRbがローレベルであり隣接ブロックのローリペアラインを使用する場合において、外部から入力されたブロックアドレスRAT<9:11>が欠陥ブロックの隣接ブロックアドレスでなければ、ヒューズ部220においてカットされていないヒューズに対応するアドレスビットの中の少なくとも1つがハイレベルであることから、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTがハイレベルになると、トランジスタN3及びトランジスタN4〜N9の何れかがターンオンしてノードBはローレベルとなり、ノードCはハイレベルとなる。これによって、NMOSトランジスタN12、N13、N18、N19、N24、N25、N30がターンオンし、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>をディスチャージさせるNMOSトランジスタN10、N15、N16、N21、N22、N27、N28がターンオフされ、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>が初期状態に設定されたハイレベルを維持することになる。
【0057】
即ち、制御信号発生部230のカラムアドレスヒューズF8〜F14のカットの有無に係わりなく、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>はハイレベルにチャージされた状態を維持する。そして、ノードCがハイレベルであるため、NMOSトランジスタN31がターンオフされ、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBは初期状態のハイレベルに維持される。
【0058】
一方、SELF_PAIRbがローレベルであり隣接ブロックのローリペアラインを使用する場合において、外部から入力されたブロックアドレスRAT<9:11>が欠陥ブロックの隣接ブロックアドレスであれば、NMOSトランジスタN4〜N9の中のカットされていないヒューズに接続されたNMOSトランジスタのゲート入力はローレベル、カットされたヒューズに接続されたNMOSトランジスタのゲート入力はハイレベルとなることから、カラムリダンダンシースタート信号YREDSTがハイレベルになっても、NMOSトランジスタN3へのディスチャージ経路が遮断されるため、ノードBは初期状態のハイレベルを維持し、ノードCはローレベルとなる。このとき、NMOSトランジスタN31はターンオンされ、カラムアドレスの初期化信号YFJBを接地させてローレベルにする。
【0059】
この場合、カラムヒューズF8〜F14がカットされた状態に従って、カラムアドレス制御信号YFS<1:7>の出力が異なる。例えば、入力されるカラムアドレスBYAC<1:7>がカラムリペアすべきカラムアドレスでない場合、即ちヒューズF8〜F14の中のカットされたヒューズに対応したビットがハイであるアドレスでなければ、PMOSトランジスタP5〜P11の中でカットされていないヒューズに接続されたPMOSトランジスタがターンオンすることによって、NMOSトランジスタN10、N15、N16、N21、N22、N27、N28の中のカットされていないヒューズに接続されたNMOSトランジスタがターンオンする。これによって、カットされていないヒューズに対応するカラムアドレス制御信号YFS<i>はローレベルとなる。
【0060】
逆に、入力されるカラムアドレスBYAC<1:7>がカラムリペアすべきカラムアドレスである場合、即ちヒューズF8〜F14の中のカットされたヒューズに対応したアドレスビットがハイであるアドレスであれば、NMOSトランジスタN10、N15、N16、N21、N22、N27、N28の中でカットされたヒューズに接続されたNMOSトランジスタはターンオンしない。これによって、カラムアドレス制御信号YFS<i>はハイレベルにチャージされる。
【0061】
次に、図4に示したカラムリダンダンシーデコード部300とカラムリダンダンシー決定部400の構成と動作を、図7及び図8を参照して説明する。
【0062】
先ず、図7はカラムリダンダンシーデコード部300の中の1つのアドレスビット<i>に関する回路図であり、図7においてi=1〜7とした回路図の全てによってカラムリダンダンシーデコード部300が構成される。図7において、PMOSトランジスタP13は、ゲートにカラムアドレス制御信号YFS<i>を反転させるインバータI16の出力信号が入力され、そのソース及びドレインが電源電圧VddとノードEにそれぞれ接続されている。PMOSトランジスタP15は、ゲートにカラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBを反転させるインバータI15の出力信号が入力され、そのソース及びドレインが電源電圧VddとノードDにそれぞれ接続されている。PMOSトランジスタP14は、ゲートにインバータI15の出力信号が入力され、そのソース及びドレインが電源電圧VddとノードEにそれぞれ接続されている。NORゲートNR1は、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBとカラムアドレス制御信号YFS<i>との否定論理和演算を行い、NORゲートNR2はカラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBとインバータI16の出力信号との否定論理和演算を行なう。PMOSトランジスタP16、P17、NMOSトランジスタN33、N34は、電源電圧Vddと接地電圧Vssの間に直列に接続され、それぞれのゲートにNORゲートNR1の出力信号を反転させるインバータI17の出力信号、カラムアドレスビットBYAC<i>を反転させるインバータI18の出力信号、及びNORゲートNR1の出力信号が入力される。伝達ゲートT5は、NORゲートNR2の出力信号を反転させるインバータI19の出力信号及びNORゲートNR2の出力信号の制御下でインバータI18の出力信号を伝達する。NMOSトランジスタN35は、ゲートにカラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBが入力され、そのドレイン及びソースがデコードカラムアドレスビットYAJ<i>の出力端子及び接地電圧Vssにそれぞれ接続されている。
【0063】
図8は、カラムリダンダンシー決定部400の回路図であり、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>が入力されて否定論理積演算を行なうNANDゲートND4、ND5と、NANDゲートND4、ND5の出力信号を否定論理和演算し、カラムリダンダンシー信号YREDCを出力するNORゲートNR3から構成されている。
【0064】
次に、上記したカラムリダンダンシーデコード部300とカラムリダンダンシー決定部400の動作を、図7及び図8を参照して詳しく説明する。
【0065】
上記したように、図6において、外部から入力されるブロックアドレスRAT<9:11>が欠陥ブロックの隣接ブロックアドレスでなければ、即ちヒューズF2、F5、F6のカットの有無(カットされていれば対応するビット=1、カットされていなければ対応するビット=0)に対応したアドレスでなければ、ノードBがローレベルとなることから、ノードCがハイレベルとなり、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBがハイレベルでNORゲートNR1、NR2に入力され、NORゲートNR1、NR2の出力レベルは、カラムアドレス制御信号YFS<i>とカラムアドレスBYAC<i>の信号レベルに依存せずに常にローレベルとなる。このとき、NMOSトランジスタN35はターンオンし、デコードカラムアドレスビットYAJ<i>はローレベルとなる。次に、デコードカラムアドレスYAJ<1:7>の各ビット信号が全てローレベルで図8に示したカラムリダンダンシー決定部400に入力されることによって、カラムリダンダンシー信号YREDCがローレベルとなる。
【0066】
即ち、この場合には、外部カラムアドレスBYAC<1:7>が欠陥のあるカラムアドレスであるか否かに係らず、カラムリダンダンシー信号YREDCがローレベルとなり、予備メモリセルではなく本来のメモリセルを使用するメインカラムデコーダ(図示省略)がイネーブルされた状態となる。
【0067】
逆に、外部から入力されるブロックアドレスRAT<9:11>が欠陥ブロックの隣接ブロックアドレスであれば、即ちヒューズF2、F5、F6のカットの有無に対応したアドレスであれば、カラムリダンダンシー信号YREDSTがハイレベルであり、且つノードBがハイレベルとなることから、ノードCがローレベルとなり、カラムアドレス制御信号の初期化信号YFJBがローレベルでNORゲートNR1、NR2に入力され、カラムアドレス制御信号YFS<i>の信号レベルが、NORゲートNR1の出力信号をハイレベルにするか、又はNORゲートNR2の出力信号をハイレベルにするかを決定する。
【0068】
例えば、外部から入力されたカラムアドレスBYAC<1:7>が、欠陥のあるカラムアドレスである場合、ローレベルであるカラムアドレスビットBYAC<i>に関しては、ヒューズF8〜14の中の対応するヒューズがカットされており、カラムアドレス制御信号YFS<i>がハイレベルであることから、NORゲートN1の出力信号がローレベル、NORゲートNR2の出力信号がハイレベルとなる。これによって、伝達ゲートT5がターンオンされ、トランジスタP16、P17、N33、N34のオン/オフに影響されることなく、BYAC<i>が、インバータI18によって反転されて伝達ゲートT5を介して出力されるデコードカラムアドレスビットYAJ<i>はハイレベルとなる。逆に、ハイレベルのカラムアドレスビットBYAC<i>に関しては、ヒューズF8〜14の中の対応するヒューズがカットされておらず、カラムアドレス制御信号YFS<i>がローレベルであり、NORゲートN1の出力信号がハイレベル、NORゲートNR2の出力信号がローレベルとなる。これによって、伝達ゲートT5、NMOSトランジスタN33はターンオンせずに、PMOSトランジスタP16、P17がターンオンし、デコードカラムアドレスビットYAJ<i>がハイレベルとなる。
【0069】
即ち、ヒューズF8〜F14のカットの有無に対応した欠陥カラムアドレスが入力されると、カラムアドレスビットBYAC<i>がローレベルまたはハイレベルの何れであっても、デコードカラムアドレスビットYAJ<i>はハイレベルとなる。その結果、カラムリダンダンシー信号YREDCがハイレベルになって、予備メモリを使用するためのリペアカラムデコーダ(図示省略)がイネーブルされ、欠陥のあるカラムはカラムリペアラインに代替されることになる。
【0070】
これに対して、外部から入力されたカラムアドレスBYAC<1:7>が欠陥カラムアドレスでない場合、少なくとも、ローレベルのカラムアドレスビットBYAC<i>に対応するYFS<i>がローレベル(対応するヒューズがカットされていない)となる状態、又はハイレベルのカラムアドレスビットBYAC<i>に対応するYFS<i>がハイレベル(対応するヒューズがカットされている)となる状態が生じる。即ち、カラムアドレス制御信号発生器201〜207の中の少なくとも1つにおいて、BYAC<i>及びYFS<i>が共にハイレベルとなる状態、または共にローレベルとなる状態が生じる。
【0071】
図7において、BYAC<i>及びYFS<i>が共にハイレベルであれば、YFJBがローレベルであることから、伝達ゲートT5がターンオンして、YAJ<i>がローレベル(BYAC<i>の反転信号)となる。また、BYAC<i>及びYFS<i>が共にローレベルであれば、YFJBがローレベルであることから、NMOSトランジスタN33、N34がターンオンして、YAJ<i>がローレベルとなる。従って、図8において、少なくとも1つのYAJ<i>がローレベルとなることから、ND3及びND4の出力レベルが共にローレベルとなることは無く、YREDCはローレベルとなる。
【0072】
即ち、ヒューズF8〜F14のカットの有無に対応した欠陥カラムアドレスが入力されない場合には、予備メモリセルではなく本来のメモリセルを使用するメインカラムデコーダ(図示省略)がイネーブルされた状態となる。
【0073】
以上、本発明について、好ましい実施の形態に基づいて説明したが、これらの実施の形態は、例示を目的として開示したものである。当業者であれば、本発明に係る技術的思想の範囲内で、多様な改良、変更、付加等が可能であり、このような改良、変更、付加等も、本発明の技術的範囲に属することは言うまでもない。
【0074】
【発明の効果】
上記したように、隣接ブロックのローリペアラインを共有するリペア方式であって、ローリペアのために選択された隣接ブロックのローリペアラインのカラムに欠陥が存在する場合、カラム欠陥状態を反映して欠陥のあるカラムをリペアすることにより、半導体メモリ装置のリペア効率を向上させることができる。
【0075】
さらに、隣接ブロック選択信号がハイレベルである場合は、外部から入力されたブロックアドレスが指定するブロックのローリペアラインを用い、隣接ブロック選択信号がローレベルである場合は、外部から入力されたブロックアドレスを反転させて隣接ブロックのローリペアラインを用い、欠陥のあるカラムをカラムリペアラインに代替させることにより、リペア効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の半導体メモリ装置の1つのバンクのブロック構造の概略を示すブロック図である。
【図2】 従来のカラムリペア回路の概略を示すブロック図である。
【図3】 従来のカラムリペア回路を使用した半導体メモリ装置におけるカラム欠陥状態の概略を示すブロック図である。
【図4】 本発明の好ましい実施の形態に係る半導体メモリ装置のカラムリペア回路の概略を示すブロック図である。
【図5】 図4に示した隣接ブロック選択ヒューズ部の回路構成を示す回路図である。
【図6】 図4に示したカラムリダンダンシーヒューズ部の回路構成を示す回路図である。
【図7】 図4に示したカラムリダンダンシーデコード部の回路構成を示す回路図である。
【図8】 図4に示したカラムリダンダンシー決定部の回路構成を示す回路図である。
【符号の説明】
100 隣接ブロック選択ヒューズ部
20、200 カラムリダンダンシーヒューズ部
30、300 カラムリダンダンシーデコード部
40、400 カラムリダンダンシー決定部
Claims (14)
- カラムリダンダンシースタート信号に応じて、外部から入力されるブロックアドレスによって指定されるブロックのローリペアラインを用いるか、又は前記ブロックの隣接ブロックのローリペアラインを用いるかを決定する隣接ブロック選択信号を生成する隣接ブロック選択ヒューズ部、
前記隣接ブロック選択信号と前記カラムリダンダンシースタート信号とに応じ、前記ブロックアドレス及び該ブロックアドレスの各ビットを反転させた反転ブロックアドレスが入力され、複数のカラムアドレス制御信号及び該カラムアドレス制御信号の初期化信号を生成するカラムリダンダンシーヒューズ部、
前記初期化信号及び複数の前記カラムアドレス制御信号に応じて、入力されるカラムアドレスをデコードしてデコードカラムアドレスを生成するカラムリダンダンシーデコード部、及び
前記デコードカラムアドレスに応じてカラムリダンダンシー信号を生成するカラムリダンダンシー決定部を備えていることを特徴とする半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記隣接ブロック選択ヒューズ部は、入力される前記ブロックアドレスによって指定される前記ブロックのローリペアラインを用いる場合、ハイレベルの前記隣接ブロック選択信号を生成し、前記隣接ブロックのローリペアラインを用いる場合、ローレベルの前記隣接ブロック選択信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。
- 前記隣接ブロック選択ヒューズ部は、
入力される前記カラムリダンダンシースタート信号をバッファして出力する、偶数個の反転素子から構成される第1バッファ、
ソース及びドレインが電源電圧及び第1ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記カラムリダンダンシースタート信号が入力される第1スイッチング素子、
ソース及びドレインが電源電圧及び前記第1ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記第1ノードの信号の反転信号が入力される第2スイッチング素子、
ソースが接地電圧に接続され、ゲートに前記カラムリダンダンシースタート信号が入力される第3スイッチング素子、
ソースが前記第3スイッチング素子のドレインに接続され、ゲートに電源電圧が入力される第4スイッチング素子、
該第4スイッチング素子と前記第1ノードの間に接続されるヒューズ、
前記第1バッファの出力信号と前記第1ノードの信号とが入力される否定論理積演算を行う論理素子、及び
該論理素子の出力信号をバッファして前記隣接ブロック選択信号として出力する、偶数個の反転素子から構成された第2バッファを備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記カラムリダンダンシーヒューズ部は、
前記ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する隣接ブロック指定ビット、及び前記反転ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する反転隣接ブロック指定ビットを、前記隣接ブロック選択信号がハイレベルであればそのまま伝達し、前記隣接ブロック選択信号がローレベルであれば交換して伝達するアドレス伝達部、
該アドレス伝達部から出力された前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットと、前記ブロックアドレス及び前記反転ブロックアドレスの中から前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットを除いた複数のビットと、前記カラムリダンダンシースタート信号とが入力され、所定の出力信号を出力するヒューズ部、
該ヒューズ部の出力信号が入力され、複数の前記カラムアドレス制御信号を生成し、前記カラムリダンダンシースタート信号がイネーブルの場合に前記初期化信号を生成する制御信号発生部、及び
前記カラムリダンダンシースタート信号がディスエーブルの場合に前記初期化信号を生成する第1初期化信号発生部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記アドレス伝達部は、
前記隣接ブロック選択信号と、該隣接ブロック選択信号の反転信号の制御下で、前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットを、選択的に伝達する複数の伝達ゲートを備えていることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記ヒューズ部は、
前記カラムリダンダンシースタート信号を反転させる第1反転素子、
該第1反転素子の出力信号を反転させる第2反転素子、
ソース及びドレインが電源電圧及び第1ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記カラムリダンダンシースタート信号が入力される第1スイッチング素子、
ソース及びドレインが電源電圧及び前記第1ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記第1ノードの信号の反転信号が入力される第2スイッチング素子、
前記隣接ブロック指定ビット、前記反転隣接ブロック指定ビット、前記ブロックアドレス及び前記反転ブロックアドレスの中から前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットを除いた複数のビットの各々がゲートに接続される第3〜第8スイッチング素子、
ソース及びドレインが接地電圧及び複数の前記第3〜第8スイッチング素子の共通接点にそれぞれ接続され、ゲートに前記カラムリダンダンシースタート信号が入力される第9スイッチング素子、
前記第3〜第8スイッチング素子のそれぞれと前記第1ノードの間にそれぞれ接続された複数のヒューズ、及び
前記第2反転素子の出力信号と、前記第1ノードの信号とが入力され、否定論理積演算を行う論理素子を備え、
複数の前記ヒューズは、欠陥のあるブロックアドレスに対応して切断されることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記制御信号発生部は、
前記ヒューズ部の出力信号に応じて前記カラムアドレス制御信号を生成する複数のカラムアドレス制御信号発生部と、
前記ヒューズ部の出力信号に応じて前記初期化信号を生成する第2初期化信号発生部を備えていることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ素子のカラムリペア回路。 - 前記第1初期化信号発生部は、
前記カラムリダンダンシースタート信号を反転させる第1反転素子、
該第1反転素子の出力信号を反転させる第2反転素子、
該第2反転素子の出力信号を反転させる第3反転素子、
前記第1反転素子の出力信号と前記第3反転素子の出力信号とが入力されて否定論理積演算を行う論理素子、及び
電源電圧に接続され、ゲートに前記論理素子の出力信号が入力されるスイッチング素子を備えていることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記カラムリダンダンシーデコード部は、
ソース及びドレインが電源電圧及び第1ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記初期化信号の反転信号が入力される第1スイッチング素子、
ソース及びドレインが電源電圧及び第2ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記カラムアドレス制御信号の反転信号が入力される第2スイッチング素子、
ソース及びドレインが電源電圧及び前記第2ノードにそれぞれ接続され、ゲートに前記初期化信号の反転信号が入力される第3スイッチング素子、
前記初期化信号と前記カラムアドレス制御信号とが入力されて否定論理和演算を行う第1論理素子、
電源電圧と接地との間に直列接続され、ゲートに前記第1論理素子の反転信号が入力される第4スイッチング素子、ゲートに前記カラムアドレスの1つのビット信号の反転信号が入力される第5、第6スイッチング素子、及びゲートに前記第1論理素子の出力信号が入力される第7スイッチング素子、
前記初期化信号と前記カラムアドレス制御信号の反転信号とが入力されて否定論理和演算を行う第2論理素子、
前記第2論理素子の出力信号及び該出力信号の反転信号の制御下で、前記カラムアドレスの1つの前記ビット信号を伝達する伝達素子、及び
ソース及びドレインが接地電圧及び出力端子にそれぞれ接続され、ゲートに前記初期化信号が入力される第8スイッチング素子を備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記カラムリダンダンシー決定部は、
メインカラムデコーダをイネーブルさせる場合、ローレベルの前記カラムリダンダンシー信号を出力し、リペアカラムデコーダをイネーブルさせる場合、ハイレベルの前記カラムリダンダンシー信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - 前記カラムリダンダンシー決定部は、
前記デコーデドカラムアドレスの各ビットが入力されて否定論理積演算を行う複数の第1論理素子、及び
複数の該第1論理素子の出力信号が入力されて否定論理和演算を行い、前記カラムリダンダンシー信号を出力する第2論理素子を備えていることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア回路。 - カラムリダンダンシースタート信号に応じて、外部から入力されるブロックアドレスによって指定されるブロックのローリペアラインを用いるか、又は前記ブロックの隣接ブロックのローリペアラインを用いるかを決定する隣接ブロック選択信号を生成する第1ステップ、
前記ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する隣接ブロック指定ビット、及び前記ブロックアドレスの各ビットを反転させた反転ブロックアドレスの中の隣接ブロックを指定する反転隣接ブロック指定ビットを、前記隣接ブロック選択信号がハイレベルであればそのまま伝達し、前記隣接ブロック選択信号がローレベルであれば交換して伝達する第2ステップ、
該第2ステップによって処理された前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットと、前記ブロックアドレス及び前記反転ブロックアドレスの中から前記隣接ブロック指定ビット及び前記反転隣接ブロック指定ビットを除いた複数のビットと、前記カラムリダンダンシースタート信号とに応じて、複数のカラムアドレス制御信号及び該カラムアドレス制御信号の初期化信号を生成する第3ステップ、
複数の前記カラムアドレス制御信号及び前記初期化信号に応じて、カラムアドレスをデコードしてデコードカラムアドレスを生成する第4ステップ、及び
前記デコードカラムアドレスに応じてカラムリダンダンシー信号を生成し、欠陥のあるカラムをリペアする第5ステップを含んでいることを特徴とする半導体メモリ装置のカラムリペア方法。 - 前記第1ステップは、外部から入力された前記ブロックアドレスによって指定されるブロックのローリペアラインを用いる場合、ハイレベルの前記隣接ブロック選択信号を生成し、前記隣接ブロックのローリペアラインを用いる場合、ローレベルの前記隣接ブロック選択信号を生成するステップを含んでいることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア方法。
- 前記第5ステップは、前記カラムリダンダンシー信号がハイレベルである場合、欠陥のあるカラムをカラムリペアラインに代替させるために、リペアカラムデコーダをイネーブルさせる第7ステップを含んでいることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置のカラムリペア方法。
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