JP3974928B1 - 排水処理方法および排水処理装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】難分解性の有機フッ素化合物を効果的に微生物によって分解することができる排水処理装置を提供する。
【解決手段】有機フッ素化合物を含有する排水は、マイクロナノバブル発生槽１に導入されて、微生物タンク６１から微生物を添加され、助剤タンク５０からマイクロナノバブル発生助剤を添加され、栄養剤タンク５２から栄養剤を添加されると共にマイクロナノバブル発生機２３によってマイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成される。上記被処理水は、上記マイクロナノバブル発生槽１から活性炭塔４に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解される。
【選択図】図１

Description

この発明は、例えば、半導体工場や液晶工場のみならず、有機フッ素化合物を製造または使用する工場における排水処理方法および排水処理装置に関する。
有機フッ素化合物は化学的に安定な物質である。特に、上記有機フッ素化合物は、耐熱性および耐薬品性の観点から優れた性質を有することから、界面活性剤等の用途に用いられている。
しかしながら、上記有機フッ素化合物は、化学的に安定な物質であるが故に、微生物によって分解され難い。例えば、上記有機フッ素化合物としてのパーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）は、生態系での分解が進まないことから、生態系への影響が懸念されている。すなわち、上記パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）や上記パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）は、化学的に安定なため、熱分解させるためには、約１０００℃以上の高温を必要としていた（特開２００１−３０２５５１号公報：特許文献１参照）。
特開２００１−３０２５５１号公報
そこで、この発明の課題は、難分解性の有機フッ素化合物を効果的に微生物によって分解することができる排水処理方法および排水処理装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の排水処理方法は、
マイクロナノバブル発生槽で、有機フッ素化合物を含有する排水に、微生物、マイクロナノバブル発生助剤および栄養剤を添加すると共にマイクロナノバブルを含有させて、被処理水を作成し、
上記被処理水を、活性炭が充填された活性炭塔に供給して、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を、上記微生物によって分解することを特徴としている。
ここで、上記マイクロナノバブルとは、１０μｍから数百ｎｍ前後の直径を有する気泡をいう。上記マイクロナノバブル発生助剤とは、マイクロナノバブルの発生状態を安定して維持できるものをいう。上記栄養剤とは、微生物が活性化する際に必要な栄養素をいう。上記有機フッ素化合物とは、例えば、パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）をいう。
この発明の排水処理方法によれば、マイクロナノバブル発生槽で、有機フッ素化合物を含有する排水に、微生物、マイクロナノバブル発生助剤および栄養剤を添加すると共にマイクロナノバブルを含有させて、被処理水を作成し、上記被処理水を、活性炭が充填された活性炭塔に供給して、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を、上記微生物によって分解するので、上記微生物を、上記微生物の固定化担体である上記活性炭塔の上記活性炭に繁殖させて、上記マイクロナノバブルと上記栄養剤によって一層活性化し、上記有機フッ素化合物を合理的に分解処理できる。また、上記マイクロナノバブル発生助剤を添加することによって、上記微生物を活性化する上記マイクロナノバブルを、最適量発生できる。
したがって、難分解性の有機フッ素化合物（例えば、パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ））を効果的に微生物によって分解することができる。
また、この発明の排水処理装置は、
マイクロナノバブル発生機を収容するマイクロナノバブル発生槽と、
微生物を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された微生物タンクと、
マイクロナノバブル発生助剤を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された助剤タンクと、
栄養剤を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された栄養剤タンクと、
活性炭を充填すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された活性炭塔と
を備え、
有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽に導入されて、上記微生物タンクから上記微生物を添加され、上記助剤タンクから上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンクから上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機によってマイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成され、
上記被処理水は、上記活性炭塔に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解されることを特徴としている。
ここで、上記マイクロナノバブルとは、１０μｍから数百ｎｍ前後の直径を有する気泡をいう。上記マイクロナノバブル発生助剤とは、マイクロナノバブルの発生状態を安定して維持できるものをいう。上記栄養剤とは、微生物が活性化する際に必要な栄養素をいう。上記有機フッ素化合物とは、例えば、パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）をいう。
この発明の排水処理装置によれば、マイクロナノバブル発生槽と、微生物タンクと、助剤タンクと、栄養剤タンクと、活性炭塔とを備え、有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽に導入されて、上記微生物、上記マイクロナノバブル発生助剤および上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成され、上記被処理水は、上記活性炭塔に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解されるので、上記微生物を、上記微生物の固定化担体である上記活性炭塔の上記活性炭に繁殖させて、上記マイクロナノバブルと上記栄養剤によって一層活性化し、上記有機フッ素化合物を合理的に分解処理できる。また、上記マイクロナノバブル発生助剤を添加することによって、上記微生物を活性化する上記マイクロナノバブルを、最適量発生できる。
したがって、難分解性の有機フッ素化合物（例えば、パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ））を効果的に微生物によって分解することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、
マイクロナノバブル発生機を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された排ガス処理槽と、
微生物を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された微生物タンクと、
マイクロナノバブル発生助剤を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された助剤タンクと、
栄養剤を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された栄養剤タンクと
を備え、
上記排ガス処理槽に導入された水は、上記微生物タンクから上記微生物を添加され、上記助剤タンクから上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンクから上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機によってマイクロナノバブルを含有されて、洗浄水が作成され、
上記活性炭塔で上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を上記微生物によって分解することで発生する排ガスは、上記排ガス処理槽に導入されて、上記洗浄水によって処理される。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記排ガス処理槽と、上記微生物タンクと、上記助剤タンクと、上記栄養剤タンクとを備え、上記排ガス処理槽に導入された水は、上記微生物、上記マイクロナノバブル発生助剤および上記栄養剤を添加されると共にマイクロナノバブルを含有されて、上記洗浄水が作成され、上記排ガスは、上記洗浄水によって処理されるので、上記排ガス中のフッ素を、上記洗浄水中の活性化した上記微生物によって、合理的に処理できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、曝気部を有すると共に上記活性炭塔および上記排ガス処理槽に接続された中継槽を備え、上記活性炭塔を通過した上記被処理水および上記排ガスは、上記中継槽に導入されて、上記被処理水と上記排ガスとに分離され、上記排ガスは、上記排ガス処理槽に導入される。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記活性炭塔を通過した上記被処理水および上記排ガスは、上記曝気部を有する上記中継槽に導入されて、上記被処理水と上記排ガスとに分離されるので、上記被処理水および上記排ガスを個別に確実に処理できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、
上記排ガス処理槽は、
下部に配置されると共に、上記マイクロナノバブル発生機を収容して上記洗浄水を貯水する下部貯水部と、
上部に配置されると共に、上記下部貯水部から汲み上げられた上記洗浄水を散水する上部散水部と
を有し、
上記上部散水部から散水された上記洗浄水は、上記排ガスを洗浄して、上記下部貯水部に貯水され、再度、上記上部散水部に汲み上げられる。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記上部散水部から散水された上記洗浄水は、上記排ガスを洗浄して、上記下部貯水部に貯水され、再度、上記上部散水部に汲み上げられるので、上記洗浄水を上記上部散水部と上記下部貯水部との間を循環して利用することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記マイクロナノバブル発生槽に、充填材が収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記マイクロナノバブル発生槽に、充填材が収容されているので、上記マイクロナノバブルで活性化した上記微生物を、上記充填材に固定しつつ繁殖させることができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記中継槽に、マイクロナノバブル発生機が収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記中継槽に、マイクロナノバブル発生機が収容されているので、上記中継槽で上記被処理水中の上記微生物を活性化して、この活性化した微生物によって、上記被処理水中に残存している有機フッ素化合物を、さらに分解できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記中継槽に、充填材が収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記中継槽に、充填材が収容されているので、上記マイクロナノバブルで活性化した上記微生物を、固定化担体としての上記充填材に高濃度で培養できて、上記被処理水の処理効率を高めることができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材である。
ここで、上記ポリ塩化ビニリデン充填材の形状は、例えば、ひも状やリング状である。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材であるので、上記ポリ塩化ビニリデン充填材に活性化した微生物を高濃度に培養できて、上記有機フッ素化合物を一次処理できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状である。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状であるので、多くの上記ポリ塩化ビニリデン充填材を、上記マイクロナノバブル発生槽や上記中継槽に、収容することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記中継槽で分離された上記被処理水は、キレート樹脂で、処理される。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記中継槽で分離された上記被処理水は、キレート樹脂で、処理されるので、上記中継槽の上記被処理水中の低濃度フッ素を、上記キレート樹脂で高度に処理することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記充填材は、活性炭である。
ここで、上記活性炭は、例えば、網袋に収容されており、隣り合う上記網袋の間には、網状管が設置されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記充填材は、活性炭であるので、上記活性炭に吸着した上記有機フッ素化合物を、活性化した微生物で、分解処理できる。つまり、上記活性化した微生物によって、上記活性炭を再生できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記活性炭は、網袋に収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記活性炭は、網袋に収容されているので、上記活性炭を、上記網袋ごと、上記マイクロナノバブル発生槽や上記中継槽に、簡単に収容することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記網袋は、複数あり、少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられているので、全ての上記活性炭への水の流れをよくして、閉塞現象の発生を防止できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記中継槽で分離された上記被処理水は、カルシウム剤で、沈殿処理される。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記中継槽で分離された上記被処理水は、カルシウム剤で、沈殿処理されるので、上記中継槽の上記被処理水中の高濃度フッ素を、上記カルシウム剤を添加して、無害なフッ化カルシウムとして沈澱処理できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、充填材が収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、充填材が収容されているので、上記充填材に上記微生物が繁殖して、上記排ガス中の有機物を吸収した上記洗浄水を、上記下部貯水部で、処理できる。つまり、上記充填材に繁殖して活性化した微生物によって、上記洗浄水中の有機フッ素化合物を分解できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材である。
ここで、上記ポリ塩化ビニリデン充填材の形状は、例えば、ひも状やリング状である。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材であるので、上記ポリ塩化ビニリデン充填材に活性化した微生物を高濃度に培養できて、上記有機フッ素化合物を処理できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状である。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状であるので、多くの上記ポリ塩化ビニリデン充填材を、上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、収容することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、リング状である。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、リング状であるので、上記ポリ塩化ビニリデン充填材を、上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、簡単に収容することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記充填材は、活性炭である。
ここで、上記活性炭は、例えば、網袋に収容されており、隣り合う上記網袋の間には、網状管が設置されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記充填材は、活性炭であるので、上記活性炭に吸着した上記有機フッ素化合物を、活性化した微生物で、分解処理できる。つまり、上記活性化した微生物によって、上記活性炭を再生できる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記活性炭は、網袋に収容されている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記活性炭は、網袋に収容されているので、上記活性炭を、上記網袋ごと、上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、簡単に収容することができる。
また、一実施形態の排水処理装置では、上記網袋は、複数あり、少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられている。
この実施形態の排水処理装置によれば、上記少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられているので、全ての上記活性炭への水の流れをよくして、閉塞現象の発生を防止できる。
この発明の排水処理方法によれば、マイクロナノバブル発生槽で、有機フッ素化合物を含有する排水に、微生物、マイクロナノバブル発生助剤および栄養剤を添加すると共にマイクロナノバブルを含有させて、被処理水を作成し、上記被処理水を、活性炭が充填された活性炭塔に供給して、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を、上記微生物によって分解するので、難分解性の有機フッ素化合物を効果的に微生物によって分解することができる。
また、この発明の排水処理装置によれば、マイクロナノバブル発生槽と、微生物タンクと、助剤タンクと、栄養剤タンクと、活性炭塔とを備え、有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽に導入されて、上記微生物、上記マイクロナノバブル発生助剤および上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成され、上記被処理水は、上記活性炭塔に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解されるので、難分解性の有機フッ素化合物を効果的に微生物によって分解することができる。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
（第１の実施形態）
図１は、この発明の排水処理装置の第１の実施形態である模式図を示している。この排水処理装置は、マイクロナノバブル発生機２３を収容するマイクロナノバブル発生槽１と、微生物を収容する微生物タンク６１と、マイクロナノバブル発生助剤を収容する助剤タンク５０と、栄養剤を収容する栄養剤タンク５２と、活性炭を充填する活性炭塔４とを有する。上記微生物タンク６１、上記助剤タンク５０、上記栄養剤タンク５２および上記活性炭塔４は、それぞれ、上記マイクロナノバブル発生槽１に接続されている。
そして、有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽１に導入されて、上記微生物タンク６１から上記微生物を添加され、上記助剤タンク５０から上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンク５２から上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機２３によってマイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成される。
上記被処理水は、上記マイクロナノバブル発生槽１から上記活性炭塔４に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解される。
上記微生物タンク６１には、上記微生物を上記マイクロナノバブル発生槽１に送出する微生物タンク用ポンプ６２が接続されている。上記助剤タンク５０には、上記マイクロナノバブル発生助剤を上記マイクロナノバブル発生槽１に送出する助剤タンク用ポンプ５１が接続されている。上記栄養剤タンク５２には、上記栄養剤を上記マイクロナノバブル発生槽１に送出する栄養剤タンク用ポンプ５３が接続されている。上記マイクロナノバブル発生槽１には、上記被処理水を上記活性炭塔４に送出するマイクロナノバブル発生槽用ポンプ２が接続されている。
上記微生物は、一般の生物処理水に含まれている微生物であってもよく、特に有機フッ素化合物の分解に優れた微生物であってもよく、特に限定しないで、微生物ならば、どの様な種類でも構わない。
また、上記微生物タンク６１から添加される上記微生物は、微生物そのものであってもよく、または、液体中に存在していてもよく、対象とする微生物で決定すればよい。
上記マイクロナノバブル発生助剤とは、マイクロナノバブルの発生状態を安定して維持できるものをいう。つまり、上記マイクロナノバブル発生助剤は、最適なマイクロナノバブルを発生し、存在している微生物を全て活性化する。
上記栄養剤は、例えば、窒素やリンを主成分として、カリウム、マグネシウムやカルシウムを微量に含み、微生物が活性化する際に必要な栄養素をいう。
上記マイクロナノバブル発生機２３には、空気吸い込み管２５が接続され、この空気吸い込み管２５には、空気吸い込み量を調整するバルブ２４が接続されている。上記マイクロナノバブル発生機２３には、上記マイクロナノバブル発生槽１内の水を上記マイクロナノバブル発生機２３に供給する循環ポンプ２６が接続されている。
そして、上記マイクロナノバブル発生機２３は、上記循環ポンプ２６から水を供給され、かつ、上記空気吸い込み管２５から空気を吸い込んで、水と空気が超高速で旋回流を起こして、結果的に一定時間後にマイクロナノバブルを発生する。
上記循環ポンプ２６は、水をマイクロナノバブル発生機２３に必要圧力状態で供給している。必要圧力状態で供給すると、マイクロナノバブルが効率よく発生する。必要圧力とは、１.５ｋｇ/ｃｍ２以上を意味する。
上記マイクロナノバブル発生機２３としては、市販されているものならば、メーカーを限定するものではなく、具体的には、株式会社ナノプラネット研究所や株式会社オーラテックや野村電子工業株式会社の商品がある。他の商品としては、一例として、西華産業株式会社のマイクロバブル水製造装置や資源開発株式会社のマイクロバブル水製造装置があるが、目的に従って選定すれば良い。
ここで、上記マイクロナノバブルとは、１０μｍから数百ｎｍ前後の直径を有する気泡をいう。なお、通常のバブル（気泡）は、水の中を上昇して、ついには表面でパンとはじけて消滅する。また、マイクロバブルとは、１０μｍ〜数十μｍの気泡径を有する気泡をいい、水中で縮小していき、ついには消滅（完全溶解）してしまう。また、ナノバブルとは、数百ｎｍ以下の直径を有する気泡をいい、いつまでも水の中に存在できる。そして、マイクロナノバブルは、マイクロバブルとナノバブルとが混合したバブルであるといえる。
そして、上記マイクロナノバブル発生槽１内では、上記マイクロナノバブル発生助剤の添加によって、上記マイクロナノバブル発生機２３から、最適なマイクロナノバブルが発生している。
上記マイクロナノバブル発生機２３から吐出される微細な泡によって、水流２７が発生し、この水流２７が、上記マイクロナノバブル発生槽１の循環水流となって、上記マイクロナノバブル発生槽１内を攪拌している。つまり、上記水流２７は、上記有機フッ素化合物含有排水、上記マイクロナノバブル発生助剤、上記微生物および上記栄養剤を混合する。マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、上記栄養剤の添加によって、一層活性化する。
上記マイクロナノバブル発生槽１内の上記被処理水は、バルブ４９で流量を調整されて、上記マイクロナノバブル発生槽用ポンプ２によって、上記活性炭塔４の上部に導入される。
上記活性炭塔４に充填された活性炭は、例えば、ヤシガラ活性炭または石炭系の活性炭である。ヤシガラ活性炭を選定するか、石炭系の活性炭を選定するかは、処理実験を実施して、活性炭の種類や形状、または、上記被処理水の導入量などを決定すれば良い。
上記活性炭塔４内の上記活性炭には、マイクロナノバブルによって活性化した微生物が繁殖し、この微生物が上記有機フッ素化合物を分解する。上記有機フッ素化合物を分解すると、フッ素を含むガスを発生するが、上記被処理水と共に、上記活性炭塔４の下部から流出する。
上記活性炭に微生物が繁殖していない場合、上記活性炭に水を導入し続けると、上記活性炭の有機物を吸着する能力が減少する。しかし、上記活性炭に繁殖した微生物の活性度が強力であると、上記活性炭が吸着した有機物を分解し、あたかも上記活性炭が再生された状態となる。
従来、水道に関する浄水場では、流入水の有機物負荷が低いので、上記活性炭が微生物によって再生されていたが、排水では、有機物負荷がある程度高いので、上記活性炭の再生は稀であった。
そこで、本発明では、マイクロナノバブルで、上記被処理水中の微生物を活性化し、固定化担体としての上記活性炭で微生物を繁殖させると、排水で有機物負荷があっても、強力で自動再生能力のある、いわゆる生物活性炭となり、上記活性炭塔４の活性炭の再生が不要で、メンテナンスコストおよびランニングコストの低減が可能となる。
上記マイクロナノバブル発生槽１には、ダクト７を介して、排ガス処理槽９が接続されている。上記活性炭塔４および上記排ガス処理槽９には、中継槽５が接続されている。つまり、上記中継槽５は、配管を介して、上記活性炭塔４に接続する一方、ダクト７を介して、上記排ガス処理槽９に接続する。
上記活性炭塔４は、下流側に、分岐配管を有し、上記分岐配管の一方側は、中継槽行き自動バルブ３ａを介して、上記中継槽５に接続し、上記分岐配管の他方側は、マイクロナノバブル発生槽行き自動バルブ３ｂを介して、上記マイクロナノバブル発生槽１に接続する。
そして、上記活性炭塔４から排出された上記被処理水と上記フッ素を含む排ガスとは、上記被処理水の水質が良くて、上記有機フッ素化合物が分解されていれば、上記中継槽行き自動バルブ３ａが開となりかつ上記マイクロナノバブル発生槽行きバルブ３ｂが閉となって、上記中継槽５に導入される。
具体的に述べると、上記被処理水の水質が悪い場合は、上記有機フッ素化合物が充分に分解されていないので、上記中継槽５に導入された水質の悪い上記被処理水は、泡立って、この泡が、上記中継槽５の内部を上昇して、ついには、上記中継槽５内の上記電極棒６０に触れて、上記中継槽行き自動バルブ３ａが閉となり、上記マイクロナノバブル発生槽行きバルブ３ｂが開となる。
逆に、上記被処理水の水質が良く、上記有機フッ素化合物が分解されていれば、上記中継槽５内部が泡立つことはなく、上記中継槽行き自動バルブ３ａが開となり、上記マイクロナノバブル発生槽行きバルブ３ｂが閉となって、上記被処理水および上記排ガスが、上記中継槽５に、順次導入されることになる。
すなわち、上記中継槽５は、曝気部６５を有する。上記曝気部６５は、上記中継槽５内にある散気管５８と、この散気管５８に空気を送るブロワー５９とを有する。この曝気部６５によって、上記被処理水を泡立たせる。
上記中継槽５を出た上記被処理水は、上記被処理水の内容（すなわち水質）によって、次工程排水処理設備で処理される。この次工程排水処理設備では、フッ素含有排水の処理となる場合が多い。
一方、上記マイクロナノバブル発生槽１および上記中継槽５内のフッ素を含む（矢印で示す）排ガス６は、ダクト７を経由して、ファン８により、上記排ガス処理槽９に導入される。
このように、上記活性炭塔４を通過した上記被処理水および上記排ガスは、上記中継槽５に導入されて、上記被処理水と上記排ガスとに分離され、上記排ガスは、上記排ガス処理槽９に導入される。
上記排ガス処理槽９は、マイクロナノバブル発生機１２を収容する。上記排ガス処理槽９には、微生物を収容する微生物タンク６３と、マイクロナノバブル発生助剤を収容する助剤タンク５４と、栄養剤を収容する栄養剤タンク５６とが接続されている。上記微生物タンク６３、上記助剤タンク５４および上記栄養剤タンク５６は、上記微生物タンク６１、上記助剤タンク５０および上記栄養剤タンク５２と同様の構成であるので、その説明を省略する。
上記微生物タンク６３には、上記微生物を上記排ガス処理槽９に送出する微生物タンク用ポンプ６４が接続されている。上記助剤タンク５４には、上記マイクロナノバブル発生助剤を上記排ガス処理槽９に送出する助剤タンク用ポンプ５５が接続されている。上記栄養剤タンク５６には、上記栄養剤を上記排ガス処理槽９に送出する栄養剤タンク用ポンプ５７が接続されている。
そして、上記排ガス処理槽９に導入された水は、上記微生物タンク６３から上記微生物を添加され、上記助剤タンク５４から上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンク５６から上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機１２によってマイクロナノバブルを含有されて、洗浄水が作成される。
上記活性炭塔４で上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を上記微生物によって分解することで発生する排ガスは、上記排ガス処理槽９に導入されて、上記洗浄水によって処理される。
上記排ガス処理槽９は、下部に配置される下部貯水部１１と、上部に配置される上部散水部１０とを有する。
上記下部貯水部１１は、上記マイクロナノバブル発生機１２を収容して上記洗浄水を貯水する。上記上部散水部１０は、上記下部貯水部１１から汲み上げられた上記洗浄水を散水する。
上記上部散水部１０から散水された上記洗浄水は、上記排ガスを洗浄して、上記下部貯水部１１に貯水され、再度、散水ポンプ１７を介して、上記上部散水部１０に汲み上げられる。
上記上部散水部１０は、下から上に順に、多孔板１８、プラスチック充填材１９（例えば、商品名テラレット）および散水ノズル２０を有する。上記上部散水部１０には、上記散水ノズル２０の上部に、排気出口２２が設けられている。
そして、上記フッ素を含む排ガスは、上記上部散水部１０と上記下部貯水部１１との間に設けられた上記ダクト７から、上記排ガス処理槽９に流入し、上記散水ノズル２０から散水される上記洗浄水によって洗浄されて、上記排気出口２２から排出される。
上記下部貯水部１１には、上記マイクロナノバブル発生機１２が収容されている。上記マイクロナノバブル発生機１２は、上記マイクロナノバブル発生機２３と同様の構成であるので、その説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機１２には、空気吸い込み管１４が接続され、この空気吸い込み管１４には、空気吸い込み量を調整するバルブ１３が接続されている。上記マイクロナノバブル発生機１２には、上記排ガス処理槽９内の水を上記マイクロナノバブル発生機１２に供給する循環ポンプ１５が接続されている。
そして、上記マイクロナノバブル発生機１２は、上記循環ポンプ１５から水を供給され、かつ、上記空気吸い込み管１４から空気を吸い込んで、水と空気が超高速で旋回流を起こして、結果的に一定時間後にマイクロナノバブルを発生する。
上記排ガス処理槽９内では、上記マイクロナノバブル発生助剤の添加によって、上記マイクロナノバブル発生機１２から、一定時間後に最適なマイクロナノバブルが発生している。
上記マイクロナノバブル発生機１２から吐出される微細な泡によって、水流１６が発生し、この水流１６が、上記排ガス処理槽９の循環水流となって、上記排ガス処理槽９内を攪拌している。つまり、上記水流１６は、上記有機フッ素化合物含有排水、上記マイクロナノバブル発生助剤、上記微生物および上記栄養剤を混合する。マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、上記栄養剤の添加によって、一層活性化する。
上記下部貯水部１１内の上記洗浄水は、上記散水ポンプ１７によって、洗浄水配管２１を経由して、上記上部散水部１０の上記散水ノズル２０より、散水される。
そして、マイククロナノバブルを含んだ洗浄水を、マイクロナノバブルを含んでいない洗浄水と比較すると、マイクロナノバブルを含んだ洗浄水の方が、上記有機フッ素化合物の除去率が良いことが、実験により確認できた。
この理由として、マイクロナノバブルを含んだ洗浄水の気体中の汚れ成分に対する洗浄効果の拡大が考えられる。
よって、蒸発性またはガス化しやすい有機フッ素化合物が発生した場合、洗浄水に吸収されて、上記下部貯水部１１でマイクロナノバブルによって活性化した微生物により分解されることになる。
そして、上記排ガス処理槽９の洗浄水は、運転開始とともに、水分が上記排気出口２２より、蒸発または飛散によって、減少してくるが、補給水を自動的に補給する（図示しない）ボールタップが設置されて、補給水を自動的に補給し、上記下部貯水部１１の液面が維持される。なお、上記排ガス処理槽９で処理されたフッ素を含む排ガスは、洗浄水に溶解して、洗浄水は、フッ素含有排水となり、次工程排水処理設備でフッ素が処理されることとなる。
次に、上記構成の排水処理装置を用いて、排水を処理する方法を説明する。
上記マイクロナノバブル発生槽１で、有機フッ素化合物を含有する排水に、微生物、マイクロナノバブル発生助剤および栄養剤を添加すると共にマイクロナノバブルを含有させて、被処理水を作成する。
その後、上記被処理水を、上記マイクロナノバブル発生槽１から活性炭が充填された上記活性炭塔４に供給して、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を、上記微生物によって分解する。
上記構成の排水処理装置によれば、上記マイクロナノバブル発生槽１と、上記微生物タンク６１と、上記助剤タンク５０と、上記栄養剤タンク５２と、上記活性炭塔４とを有し、有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽１に導入されて、上記微生物、上記マイクロナノバブル発生助剤および上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成され、上記被処理水は、上記マイクロナノバブル発生槽１から上記活性炭塔４に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解されるので、上記微生物を、上記微生物の固定化担体である上記活性炭塔４の上記活性炭に繁殖させて、上記マイクロナノバブルと上記栄養剤によって一層活性化し、上記有機フッ素化合物を合理的に分解処理できる。また、上記マイクロナノバブル発生助剤を添加することによって、上記微生物を活性化する上記マイクロナノバブルを、最適量発生できる。
したがって、難分解性の有機フッ素化合物（例えば、パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ））を効果的に微生物によって分解することができる。
また、上記排ガス処理槽９と、上記微生物タンク６３と、上記助剤タンク５４と、上記栄養剤タンク５６とを有し、上記排ガス処理槽９に導入された水は、上記微生物、上記マイクロナノバブル発生助剤および上記栄養剤を添加されると共にマイクロナノバブルを含有されて、上記洗浄水が作成され、上記排ガスは、上記洗浄水によって処理されるので、上記排ガス中のフッ素を、上記洗浄水中の活性化した上記微生物によって、合理的に処理できる。
また、上記活性炭塔４を通過した上記被処理水および上記排ガスは、上記曝気部６５を有する上記中継槽５に導入されて、上記被処理水と上記排ガスとに分離されるので、上記被処理水および上記排ガスを個別に確実に処理できる。
また、上記上部散水部１０から散水された上記洗浄水は、上記排ガスを洗浄して、上記下部貯水部１１に貯水され、再度、上記上部散水部１０に汲み上げられるので、上記洗浄水を上記上部散水部１０と上記下部貯水部１１との間を循環して利用することができる。
（第２の実施形態）
図２は、この発明の排水処理装置の第２の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第２の実施形態では、上記中継槽５に、マイクロナノバブル発生機２８が収容されている。なお、この第２の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８は、図１に示す上記第１の実施形態の上記マイクロナノバブル発生機２３と同様の構成であるので、その説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８には、空気吸い込み管３０が接続され、この空気吸い込み管３０には、空気吸い込み量を調整するバルブ２９が接続されている。上記マイクロナノバブル発生機２８には、上記中継槽５内の水を上記マイクロナノバブル発生機２８に供給する循環ポンプ３１が接続されている。
そして、上記マイクロナノバブル発生機２８は、上記循環ポンプ３１から水を供給され、かつ、上記空気吸い込み管３０から空気を吸い込んで、水と空気が超高速で旋回流を起こして、結果的に一定時間後にマイクロナノバブルを発生する。
上記中継槽５内では、上記マイクロナノバブル発生助剤の添加によって、上記マイクロナノバブル発生機２８から、最適なマイクロナノバブルが発生している。
上記マイクロナノバブル発生機２８から吐出される微細な泡によって、水流３２が発生し、この水流３２が、上記中継槽５の循環水流となって、上記中継槽５内を攪拌している。つまり、上記水流３２は、上記有機フッ素化合物含有排水、上記マイクロナノバブル発生助剤、上記微生物および上記栄養剤を混合する。マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、上記栄養剤の添加によって、一層活性化する。
そして、マイククロナノバブルを含んだ被処理水は、含んでいない被処理水と比較すると、含んだ被処理水の方が、有機フッ素化合物の除去率が良いことが、実験により確認できた。
この理由としては、マイクロナノバブルを含んだ被処理水は、マイクロナノバブルによって、微生物が活性化し、残存している有機フッ素化合物を分解するためである。
また、上記マイクロナノバブル発生機２８は、マイクロナノバブルを発生するために、空気が必要となるが、必要量の空気は、上記バルブ２９と上記空気吸い込み管３０から確保している。なお、上記中継槽５からの被処理水は、その水質によって次工程処理設備で処理される。
したがって、上記中継槽５に、上記マイクロナノバブル発生機２８が収容されているので、上記中継槽５で上記被処理水中の上記微生物を活性化して、この活性化した微生物によって、上記被処理水中に残存している有機フッ素化合物を、さらに分解できる。
（第３の実施形態）
図３は、この発明の排水処理装置の第３の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第３の実施形態では、上記マイクロナノバブル発生槽１に、充填材としてのひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されている。また、上記中継槽５で分離された上記被処理水は、キレート樹脂塔のキレート樹脂で、処理される。なお、この第３の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
したがって、上記マイクロナノバブル発生槽１に、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されているので、上記マイクロナノバブルで活性化した上記微生物を、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に固定しつつ繁殖させることができる。また、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に活性化した微生物を高濃度に培養できて、上記有機フッ素化合物を一次処理できる。また、多くの上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３を、上記マイクロナノバブル発生槽１に、収容することができる。
また、上記中継槽で分離された上記被処理水は、キレート樹脂で、処理されるので、上記中継槽５の上記被処理水中の低濃度フッ素を、上記キレート樹脂で高度に処理することができる。
（第４の実施形態）
図４は、この発明の排水処理装置の第４の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第４の実施形態では、上記マイクロナノバブル発生槽１に、充填材としての活性炭３５が収容されている。また、上記中継槽５で分離された上記被処理水は、カルシウム剤添加凝集沈殿設備のカルシウム剤で、沈殿処理される。なお、この第４の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
上記活性炭３５は、網袋３４に収容されており、上記網袋３４は、複数あり、少なくとも一組の隣り合う上記網袋３４，３４の間に、網状管３６が設けられている。上記網袋３４および上記網状管３６は、上記マイクロナノバブル発生槽１内に設置された多孔板３７の中に、収容されている。
したがって、上記活性炭３５に吸着した上記有機フッ素化合物を、活性化した微生物で、分解処理できる。つまり、上記活性化した微生物によって、上記活性炭３５を再生できる。また、上記活性炭３５は、上記網袋３４に収容されているので、上記活性炭３５を、上記網袋３４ごと、上記マイクロナノバブル発生槽１に、簡単に収容することができる。また、上記少なくとも一組の隣り合う上記網袋３４，３４の間に、網状管３６が設けられているので、全ての上記活性炭３５への水の流れをよくして、閉塞現象の発生を防止できる。
また、上記中継槽５で分離された上記被処理水は、カルシウム剤で、沈殿処理されるので、上記中継槽５の上記被処理水中の高濃度フッ素を、上記カルシウム剤を添加して、無害なフッ化カルシウムとして沈澱処理できる。
（第５の実施形態）
図５は、この発明の排水処理装置の第５の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第５の実施形態では、上記中継槽５に、マイクロナノバブル発生機２８が収容されている。また、上記中継槽５に、充填材としてのひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されている。なお、この第５の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８は、図１に示す上記第１の実施形態の上記マイクロナノバブル発生機２３と同様の構成であるので、その説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８には、空気吸い込み管３０が接続され、この空気吸い込み管３０には、空気吸い込み量を調整するバルブ２９が接続されている。上記マイクロナノバブル発生機２８には、上記中継槽５内の水を上記マイクロナノバブル発生機２８に供給する循環ポンプ３１が接続されている。
そして、上記マイクロナノバブル発生機２８は、上記循環ポンプ３１から水を供給され、かつ、上記空気吸い込み管３０から空気を吸い込んで、水と空気が超高速で旋回流を起こして、結果的にマイクロナノバブルを発生する。
上記中継槽５内では、上記マイクロナノバブル発生助剤の添加によって、上記マイクロナノバブル発生機２８から、最適なマイクロナノバブルが発生している。
上記マイクロナノバブル発生機２８から吐出される微細な泡によって、水流３２が発生し、この水流３２が、上記中継槽５の循環水流となって、上記中継槽５内を攪拌している。つまり、上記水流３２は、上記有機フッ素化合物含有排水、上記マイクロナノバブル発生助剤、上記微生物および上記栄養剤を混合する。マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、上記栄養剤の添加によって、一層活性化する。
そして、マイククロナノバブルを含んだ被処理水は、含んでいない被処理水と比較すると、含んだ被処理水の方が、有機フッ素化合物の除去率が良いことが、実験により確認できた。
この理由としては、マイクロナノバブルを含んだ被処理水は、マイクロナノバブルによって、微生物が活性化し、残存している有機フッ素化合物を分解するためである。
また、上記マイクロナノバブル発生機２８は、マイクロナノバブルを発生するために、空気が必要となるが、必要量の空気は、上記バルブ２９と上記空気吸い込み管３０から確保している。なお、上記中継槽５からの被処理水は、その水質によって次工程処理設備で処理される。
したがって、上記中継槽５に、上記マイクロナノバブル発生機２８が収容されているので、上記中継槽５で上記被処理水中の上記微生物を活性化して、この活性化した微生物によって、上記被処理水中に残存している有機フッ素化合物を、さらに分解できる。
また、上記中継槽５に、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されているので、上記マイクロナノバブルで活性化した上記微生物を、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に固定しつつ繁殖させることができる。また、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に活性化した微生物を高濃度に培養できて、上記被処理水の処理効率を高めることができる。また、多くの上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３を、上記中継槽５に、収容することができる。
（第６の実施形態）
図６は、この発明の排水処理装置の第６の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第６の実施形態では、上記中継槽５に、マイクロナノバブル発生機２８が収容されている。上記中継槽５に、充填材としての活性炭３５が収容されている。なお、この第６の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８は、図１に示す上記第１の実施形態の上記マイクロナノバブル発生機２３と同様の構成であるので、その説明を省略する。
上記マイクロナノバブル発生機２８には、空気吸い込み管３０が接続され、この空気吸い込み管３０には、空気吸い込み量を調整するバルブ２９が接続されている。上記マイクロナノバブル発生機２８には、上記中継槽５内の水を上記マイクロナノバブル発生機２８に供給する循環ポンプ３１が接続されている。
そして、上記マイクロナノバブル発生機２８は、上記循環ポンプ３１から水を供給され、かつ、上記空気吸い込み管３０から空気を吸い込んで、水と空気が超高速で旋回流を起こして、結果的に一定時間後にマイクロナノバブルを発生する。
上記中継槽５内では、上記マイクロナノバブル発生助剤の添加によって、上記マイクロナノバブル発生機２８から、最適なマイクロナノバブルが発生している。
上記マイクロナノバブル発生機２８から吐出される微細な泡によって、水流３２が発生し、この水流３２が、上記中継槽５の循環水流となって、上記中継槽５内を攪拌している。つまり、上記水流３２は、上記有機フッ素化合物含有排水、上記マイクロナノバブル発生助剤、上記微生物および上記栄養剤を混合する。マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、上記栄養剤の添加によって、一層活性化する。
そして、マイククロナノバブルを含んだ被処理水は、含んでいない被処理水と比較すると、含んだ被処理水の方が、有機フッ素化合物の除去率が良いことが、実験により確認できた。
この理由としては、マイクロナノバブルを含んだ被処理水は、マイクロナノバブルによって、微生物が活性化し、残存している有機フッ素化合物を分解するためである。
また、上記マイクロナノバブル発生機２８は、マイクロナノバブルを発生するために、空気が必要となるが、必要量の空気は、上記バルブ２９と上記空気吸い込み管３０から確保している。なお、上記中継槽５からの被処理水は、その水質によって次工程処理設備で処理される。
したがって、上記中継槽５に、上記マイクロナノバブル発生機２８が収容されているので、上記中継槽５で上記被処理水中の上記微生物を活性化して、この活性化した微生物によって、上記被処理水中に残存している有機フッ素化合物を、さらに分解できる。
また、上記活性炭３５は、網袋３４に収容されており、上記網袋３４は、複数あり、少なくとも一組の隣り合う上記網袋３４，３４の間に、網状管３６が設けられている。上記網袋３４および上記網状管３６は、上記中継槽５内に設置された多孔板３７の中に、収容されている。
したがって、上記活性炭３５に吸着した上記有機フッ素化合物を、活性化した微生物で、分解処理できる。つまり、上記活性化した微生物によって、上記活性炭３５を再生できる。また、上記活性炭３５は、上記網袋３４に収容されているので、上記活性炭３５を、上記網袋３４ごと、上記中継槽５に、簡単に収容することができる。また、上記少なくとも一組の隣り合う上記網袋３４，３４の間に、網状管３６が設けられているので、全ての上記活性炭３５への水の流れをよくして、閉塞現象の発生を防止できる。
（第７の実施形態）
図７は、この発明の排水処理装置の第７の実施形態を示している。図１に示す上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第７の実施形態では、上記排ガス処理槽９の上記下部貯水部１１に、充填材としてのひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されている。なお、この第７の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
したがって、上記排ガス処理槽９に、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３が収容されているので、上記マイクロナノバブルで活性化した上記微生物を、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に固定しつつ繁殖させることができる。
よって、微生物濃度が高まり、微生物が活性化しているので、フッ素を含む排ガスを散水処理した時に、同時に上記洗浄水に吸収移行する有機物を効率的に微生物処理することができる。
すなわち、有機フッ素化合物の分解過程でガス化した有機フッ素化合物を、上記洗浄水によって洗浄しつつ吸収し、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３に繁殖した活性化微生物によって微生物分解する。
また、多くの上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３を、上記排ガス処理槽９の上記下部貯水部１１に、収容することができる。
（実験例）
図１の第１の実施形態に対応する実験装置を製作した。この実験装置において、上記マイクロナノバブル発生槽１の容量を約１ｍ３とし、上記活性炭塔４の容量を２ｍ３とし、上記中継槽５の容量を１ｍ３とし、上記排ガス処理槽９の全体容量を約３ｍ３として、１ケ月、上記マイクロナノバブル発生槽１、上記活性炭塔４、上記中継槽５および上記排ガス処理槽９に有機フッ素化合物含有排水と生物処理水を導入して試運転をおこなった。
試運転後、上記マイクロナノバブル発生槽１の入口におけるＰＦＯＳ（パーフルオロオクタンスルホン散）濃度と上記中継槽５の出口におけるＰＦＯＳの濃度とを測定し、ＰＦＯＳの除去率を測定したところ、９２％であった。つまり、難分解性のＰＦＯＳを微生物によって効果的に分解することができる。
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記第３，５，７の実施形態において、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３の代わりに、リング状ポリ塩化ビニリデン充填材を用いてもよく、このリング状ポリ塩化ビニリデン充填材を、上記マイクロナノバブル発生槽１、上記中継槽５や上記排ガス処理槽９に、簡単に収容することができる。また、上記第１〜上記第７の実施形態において、上記マイクロナノバブル発生槽１、上記中継槽５や上記排ガス処理槽９に、上記ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材３３や上記活性炭３５を用いてもよい。
本発明の排水処理装置の第１実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第２実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第３実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第４実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第５実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第６実施形態を示す模式図である。 本発明の排水処理装置の第７実施形態を示す模式図である。
符号の説明
１ マイクロナノバブル発生槽
２ マイクロナノバブル発生槽用ポンプ
４ 活性炭塔
５ 中継槽
６ 排ガス
７ ダクト
９ 排ガス処理槽
１０ 上部散水部
１１ 下部貯水部
１２ マイクロナノバブル発生機
１３ バルブ
１４ 空気吸い込み管
１５ 循環ポンプ
１６ 水流
１７ 散水ポンプ
１８ 多孔板
１９ プラスチック充填材
２０ 散水ノズル
２１ 洗浄水配管
２２ 排気出口
２３ マイクロナノバブル発生機
２４ バルブ
２５ 空気吸い込み管
２６ 循環ポンプ
２７ 水流
２８ マイクロナノバブル発生機
２９ バルブ
３０ 空気吸い込み管
３１ 循環ポンプ
３２ 水流
３３ ひも状ポリ塩化ビニリデン充填材
３４ 網袋
３５ 活性炭
３６ 網状管
３７ 多孔板
５０ 助剤タンク
５１ 助剤タンク用ポンプ
５２ 栄養剤タンク
５３ 栄養剤タンク用ポンプ
５４ 助剤タンク
５５ 助剤タンク用ポンプ
５６ 栄養剤タンク
５７ 栄養剤タンク用ポンプ
５８ 散気管
５９ ブロワー
６０ 電極棒
６１ 微生物タンク
６２ 微生物タンク用ポンプ
６３ 微生物タンク
６４ 微生物タンク用ポンプ
６５ 曝気部

Claims (22)

  1. マイクロナノバブル発生槽で、有機フッ素化合物を含有する排水に、微生物、マイクロナノバブル発生助剤および栄養剤を添加すると共にマイクロナノバブルを含有させて、被処理水を作成し、
    上記被処理水を、活性炭が充填された活性炭塔に供給して、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を、上記微生物によって分解することを特徴とする排水処理方法。
  2. マイクロナノバブル発生機を収容するマイクロナノバブル発生槽と、
    微生物を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された微生物タンクと、
    マイクロナノバブル発生助剤を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された助剤タンクと、
    栄養剤を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された栄養剤タンクと、
    活性炭を充填すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された活性炭塔と
    を備え、
    有機フッ素化合物を含有する排水は、上記マイクロナノバブル発生槽に導入されて、上記微生物タンクから上記微生物を添加され、上記助剤タンクから上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンクから上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機によってマイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成され、
    上記被処理水は、上記活性炭塔に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解されることを特徴とする排水処理装置。
  3. 請求項２に記載の排水処理装置において、
    マイクロナノバブル発生機を収容すると共に上記マイクロナノバブル発生槽に接続された排ガス処理槽と、
    微生物を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された微生物タンクと、
    マイクロナノバブル発生助剤を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された助剤タンクと、
    栄養剤を収容すると共に上記排ガス処理槽に接続された栄養剤タンクと
    を備え、
    上記排ガス処理槽に導入された水は、上記微生物タンクから上記微生物を添加され、上記助剤タンクから上記マイクロナノバブル発生助剤を添加され、上記栄養剤タンクから上記栄養剤を添加されると共に上記マイクロナノバブル発生機によってマイクロナノバブルを含有されて、洗浄水が作成され、
    上記活性炭塔で上記被処理水中の上記有機フッ素化合物を上記微生物によって分解することで発生する排ガスは、上記排ガス処理槽に導入されて、上記洗浄水によって処理されることを特徴とする排水処理装置。
  4. 請求項３に記載の排水処理装置において、
    曝気部を有すると共に上記活性炭塔および上記排ガス処理槽に接続された中継槽を備え、
    上記活性炭塔を通過した上記被処理水および上記排ガスは、上記中継槽に導入されて、上記被処理水と上記排ガスとに分離され、
    上記排ガスは、上記排ガス処理槽に導入されることを特徴とする排水処理装置。
  5. 請求項３に記載の排水処理装置において、
    上記排ガス処理槽は、
    下部に配置されると共に、上記マイクロナノバブル発生機を収容して上記洗浄水を貯水する下部貯水部と、
    上部に配置されると共に、上記下部貯水部から汲み上げられた上記洗浄水を散水する上部散水部と
    を有し、
    上記上部散水部から散水された上記洗浄水は、上記排ガスを洗浄して、上記下部貯水部に貯水され、再度、上記上部散水部に汲み上げられることを特徴とする排水処理装置。
  6. 請求項２に記載の排水処理装置において、
    上記マイクロナノバブル発生槽に、充填材が収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  7. 請求項４に記載の排水処理装置において、
    上記中継槽に、マイクロナノバブル発生機が収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  8. 請求項７に記載の排水処理装置において、
    上記中継槽に、充填材が収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  9. 請求項６または８に記載の排水処理装置において、
    上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材であることを特徴とする排水処理装置。
  10. 請求項９に記載の排水処理装置において、
    上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状であることを特徴とする排水処理装置。
  11. 請求項４に記載の排水処理装置において、
    上記中継槽で分離された上記被処理水は、キレート樹脂で、処理されることを特徴とする排水処理装置。
  12. 請求項６または８に記載の排水処理装置において、
    上記充填材は、活性炭であることを特徴とする排水処理装置。
  13. 請求項１２に記載の排水処理装置において、
    上記活性炭は、網袋に収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  14. 請求項１３に記載の排水処理装置において、
    上記網袋は、複数あり、
    少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられていることを特徴とする排水処理装置。
  15. 請求項４に記載の排水処理装置において、
    上記中継槽で分離された上記被処理水は、カルシウム剤で、沈殿処理されることを特徴とする排水処理装置。
  16. 請求項５に記載の排水処理装置において、
    上記排ガス処理槽の上記下部貯水部に、充填材が収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  17. 請求項１６に記載の排水処理装置において、
    上記充填材は、ポリ塩化ビニリデン充填材であることを特徴とする排水処理装置。
  18. 請求項１７に記載の排水処理装置において、
    上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、ひも状であることを特徴とする排水処理装置。
  19. 請求項１７に記載の排水処理装置において、
    上記ポリ塩化ビニリデン充填材は、リング状であることを特徴とする排水処理装置。
  20. 請求項１６に記載の排水処理装置において、
    上記充填材は、活性炭であることを特徴とする排水処理装置。
  21. 請求項２０に記載の排水処理装置において、
    上記活性炭は、網袋に収容されていることを特徴とする排水処理装置。
  22. 請求項２１に記載の排水処理装置において、
    上記網袋は、複数あり、
    少なくとも一組の隣り合う上記網袋の間に、網状管が設けられていることを特徴とする排水処理装置。
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