JP4619972B2 - 排水処理方法および排水処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、排水処理方法および排水処理装置に関し、特に、有機フッ素化合物含有排水の処理装置に関する。

水処理の対象となる被処理水が含有する化合物の一例である有機フッ素化合物は、化学的に安定な物質である。特に、この有機フッ系化合物は、耐熱性および耐薬品性の観点から優れた性質を有することから、界面活性剤等の用途に用いられている。

しかしながら、この有機フッ素化合物は、化学的に安定な物質であるが故に微生物分解がしにくい。例えば、この有機フッ素化合物としてのパーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）は、生態系での分解が進まないことから生態系への影響が懸念されている。

すなわち、上記パーフルオロオクタスルホン酸（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）は、化学的に安定なため、完全に熱分解させるためには、約１０００℃以上の高温が必要と言われている。また、ＰＦＯＳやＰＦＯＡは、従来の微生物や光触媒等による処理では分解が極めて困難であった。

ところで、従来技術として、ナノバブルの利用方法および装置が、特許文献１（特開２００４−１２１９６２号公報）に記載されている。

この従来技術では、ナノバブルが有する浮力の減少、表面積の増加、表面活性の増大、局所高圧場の生成、静電分極の実現による界面活性作用と殺菌作用などの特性を活用したものである。この従来技術では、より具体的には、それらが相互に関連することによって、汚れ成分の吸着機能、物体表面の高速洗浄機能、殺菌機能によって各種物体を高機能、低環境負荷で洗浄することができ、汚濁水の浄化を行うことができることを開示している。

また、今一つの従来技術としては、ナノ気泡の生成方法が、特許文献２（特開２００３−３３４５４８号公報）に記載されている。

この従来技術は、液体中において、（１）液体の一部を分解ガス化する工程、（２）液体中で超音波を印加する工程または、（３）液体の一部を分解ガス化する工程および超音波を印加する工程から構成されていることを開示している。

また、別の従来技術として、オゾンマイクロバブルを利用する廃液の処理装置が、特許文献３（特開２００４−３２１９５９号公報）に記載されている。

この従来技術では、マイクロバブル発生装置にオゾン発生装置より生成されたオゾンガスと処理槽の下部から抜き出された廃液を加圧ポンプを介して供給している。また、この従来技術では、生成されたオゾンマイクロバブルをガス吹き出しパイプの開口部より処理槽内の廃液中に通気することを開示している。

しかし、上述の従来技術では、有機フッ素化合物を効果的に微生物分解することはできない。
特開２００４−１２１９６２号公報 特開２００３−３３４５４８号公報 特開２００４−３２１９５９号公報

本発明は、有機フッ素化合物を効果的に微生物分解できる排水処理方法および排水処理装置を提供することを課題とする。

前記課題を解決するために、本発明による排水処理方法は、微生物を含んだ水と有機フッ素化合物含有排水とを混合してなる被処理水をバブル発生槽に貯留し、前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水にマイクロナノバブルを導入して前記被処理水中の微生物を活性化し、前記被処理水を活性炭が充填された活性炭吸着塔に通水することで、前記被処理水中の有機物を前記活性炭に吸着させるとともに、前記活性炭に前記微生物を繁殖させて前記活性炭に吸着された前記有機物を分解させる方法とする。

この方法によれば、被処理水中の難分解性の有機物を活性炭に吸着して除去し、吸着した有機フッ素化合物をマイクロナノバブルによって活性化した微生物が活性炭上で分解する。これによって、難分解性の有機物も微生物により時間をかけて分解することができる。また、活性炭に吸着した有機物を分解することで活性炭を自己再生することができ、活性炭の再生作業が不要である。

また、前記方法によれば、生物処理水に含まれる微生物をマイクロナノバブルで活性化して、有機フッ素化合物を効率よく分解できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記活性炭吸着塔から流出する被処理水の一部を前記バブル発生槽に環流させてもよい。

この方法によれば、バブル発生槽と活性炭吸着塔との間で被処理水を循環させることによって、活性炭吸着塔において有機物を分解して活性が低下した微生物をバブル発生槽に返送し、マイクロナノバブルによって再度活性化させてから活性炭吸着塔に供給する。これによって、活性炭吸着塔における微生物の活性を維持し、活性炭に吸着した難分解性の有機物の分解を促進できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記バブル発生槽において貯留している前記被処理水から放出されるガスを回収し、前記ガスを、マイクロナノバブルを導入した洗浄水が散水される空間を通して装置の外に排出してもよい。

この方法によれば、有機フッ素化合物を微生物で分解することによって発生する排ガス中に含まれるフッ素ガスを、洗浄水に溶け込ませることで回収し、大気に漏れ出させない。また、洗浄水にマイクロナノバブルを導入することで、洗浄水中の微生物を活性化し、洗浄水に溶け込ませて回収した排ガス中に含まれる有機物を分解することができる。

また、本発明の排水処理方法において、前記洗浄水を水槽に貯留し、前記水槽に貯留する前記洗浄水に前記マイクロナノバブルの導入を行い、前記ガスに散水した前記洗浄水を前記水槽に回収し、前記水槽に微生物が滞留可能な充填物を保持してもよい。

この方法によれば、洗浄水中の微生物を充填物に繁殖させ、微生物を高濃度化できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記充填物は、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンあるとよい。

この方法によれば、洗浄水中の微生物を効率よく高濃度化できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記充填物は、活性炭を含んでもよく、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋または網袋に収容した活性炭を網状管の周囲に複数配置したものであるとよい。

この方法によれば、洗浄水に回収した有機物を活性炭に吸着し、活性炭上で活性化した微生物によって効率よく分解できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持してもよい。

この方法によれば、バブル発生槽において、活性炭に有機物を吸着し、活性化した微生物によって活性炭上で有機物を分解できるので、活性炭吸着塔における有機物分解の負荷を低減できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記活性炭吸着塔から流出する被処理水を、一旦、中継槽に貯留してから排出し、前記中継槽に貯留した被処理水にマイクロナノバブルを導入してもよい。

この方法によれば、仮に、有機物が活性炭吸着塔で分解されないまま流出したとしても、中継槽において、マイクロなのバブルにより被処理水中の微生物を活性化して、流出した有機物を分解することができるので、より高度の処理ができる。

また、本発明の排水処理方法において、前記中継槽に貯留した被処理水中に、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンを保持してもよい。

この方法によれば、微生物を高濃度化することができ、有機物を効率的に分解できる。

また、本発明の排水処理方法において、前記中継槽に貯留した被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持してもよい。

この方法によれば、中継槽において、活性炭に有機物を吸着し、活性化した微生物によって活性炭上で有機物を分解できるので、有機物の除去がより高度に行える。

また、本発明の排水処理方法において、前記中継槽から排出される被処理水を、キレート樹脂塔でさらに処理してもよく、カルシウム剤を添加して凝集沈殿処理してもよい。

この方法によれば、有機フッ素化合物を分解して生じたフッ素を除去することができる。

また、本発明のよる排水処理装置は、微生物を含んだ水と有機フッ素化合物含有排水とを混合してなる被処理水を貯留し、貯留する前記被処理水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を備えるバブル発生槽と、活性炭が充填され、前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水が通水される活性炭吸着塔と、前記活性炭吸着塔から流出する前記被処理水を、一旦、貯留してから装置外部に流出させる中継槽と、洗浄水を貯留して、前記洗浄水にマイクロナノバブルを導入する水槽部、および、前記水槽部の上方に設けられ、排ガスが挿通され、前記排ガスに前記洗浄水を散水する散水部からなる排ガス処理塔とを有し、前記活性炭吸着塔から流出する被処理水の一部を前記バブル発生槽に環流させ、前記バブル発生槽および前記中継槽において前記被処理水から放出される排ガスを、前記排ガス処理塔の前記散水部に導入するものとする。

この構成によれば、被処理水中の有機フッ素化合物を活性炭に吸着して除去し、吸着した有機フッ素化合物をマイクロナノバブルによって活性化した微生物が活性炭上で分解する。さらに、被処理水から放出される排ガスを、排ガス処理塔で洗浄するので、有機物および有機フッ素化合物を分解して生じたフッ素ガスを回収すると共に、回収した有機物を分解して処理することができる。

また、本発明の排水処理装置において、前記水槽部は、前記洗浄水中に微生物が滞留可能な充填物を保持してもよい。

この構成によれば、充填物に微生物を繁殖させ、洗浄水中の微生物を高濃度化して有機物を効率よく分解できる。

また、本発明の排水処理装置において、前記充填物は、ひも状またはリング状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなってもよい。

この構成によれば、微生物を効果的に高濃度化できる。

また、本発明の排水処理装置において、前記充填物は、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋からなってもよい。

この構成によれば、活性炭に有機物を吸着させ、活性炭上で有機物を分解することができる。

また、本発明の排水処理装置において、前記バブル発生槽は、貯留した前記被処理水中に、ひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンを保持してもよい。

この構成によれば、ポリ塩化ビニリデンに微生物を繁殖させ、微生物を高濃度化して、活性炭吸着塔における分解能力を高めることができる。

また、本発明の排水処理装置において、前記バブル発生槽は、貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持してもよい。

この構成によれば、バブル発生槽において、活性炭に有機物を吸着し、活性化した微生物によって活性炭上で有機物を分解できるので、活性炭吸着塔における有機物分解の負荷を低減できる。

また、本発明の排水処理装置において、前記中継槽は、貯留する被処理水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を備えてもよい。

この構成によれば、活性炭吸着塔で有機物を分解できずに流出したとしても、中継槽において、マイクロナノバブルによって活性化した微生物によって分解することができる。

また、本発明の排水処理装置において、前記中継槽は、貯留した被処理水中に、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンを保持してもよい。

この構成によれば、ポリ塩化ビニリデンに微生物を繁殖させ、微生物を高濃度化して、有機物の分解を促進できる。

また、本発明の排水処理装置において、前記中継槽は、貯留した被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持してもよい。

この構成によれば、活性炭に有機物を吸着し、活性化した微生物によって活性炭上で有機物を分解できるので、次工程に有機物の残存する被処理水を流出させない。

本発明によれば、有機フッ素化合物を活性炭で吸着し、活性炭に吸着した有機フッ素化合物をマイクロナノバブルで活性化した微生物で分解するので、被処理水中の有機フッ素化合物を完全に分解することができる。さらに、排ガスに洗浄水を散水してから排出するので、有機フッ素化合物を分解したときに発生するフッ素ガスを洗浄水に溶け込ませて回収できる。

これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１に、本発明の第１実施形態の排水処理装置を示す。この排水処理装置は、バブル発生槽１、活性炭吸着塔２，中継槽３および排ガス処理塔４からなる。

バブル発生槽１には、有機フッ素化合物含有排水に加え、微生物を含んだ生物処理水が導入され、それらを混合したものを本排水処理装置の被処理水とする。生物処理水は、有機フッ素化合物含有排水と同じ施設等から排出されたものである必要はない。

バブル発生槽１は、被処理水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置５を備える密閉された水槽である。マイクロナノバブル発生装置５は、循環ポンプ６でバブル発生槽１内の被処理水を吸い出してマイクロバブル発生器７に注入し、被処理水の流速によって調節弁８を介して自給した空気を剪断してマイクロナノバブル（微細な気泡）を生成し、被処理水と共に吐出するものである。マイクロナノバブル発生装置５は、バブル発生槽１内の被処理水にマイクロナノバブルを導入するだけでなく、被処理水を撹拌する水流を形成して、有機フッ素化合物含有排水と生物処理水とを混合する機能も果たす。

ポンプ９は、バブル発生槽１のマイクロナノバブルを含んだ被処理水を、バルブ１０を介して活性炭吸着塔２の頂部に導入する。活性炭吸着塔２は、内部に活性炭が充填されている。活性炭は、例えばヤシガラ活性炭が適用されるが、石炭系など他の種類の活性炭を使用してもよく、被処理水の水質や処理量によって最適なものを選択するとよい。

活性炭吸着塔２の底部から流出する被処理水は、バルブ１１を介してバブル発生槽１に環流されるものと、バルブ１２を介して中継槽３に導入されて一旦貯留した後に次工程に排出されるものとに分流される。

バブル発生槽１および中継槽３は、ともに密閉した水槽であるが、それぞれ、被処理水から排出される排ガスを吸い出す排気ダクト１３，１４が設けられており、発生した排ガスは、排気ファン１５によって排ガス処理塔４に導入される。

排ガス処理塔４は、洗浄水を貯留する水槽部１６と、水槽部１６の上方に一体に設けられ、下側から排気ファン１５によって排ガスが導入され、導入された排ガスに水槽部１６の洗浄水を散布する散水部１７とからなる。

水槽部１６は、貯留する洗浄水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置１８を備えている。マイクロナノバブル発生装置１８は、循環ポンプ１９、マイクロナノバブル発生器２０および調節弁２１からなる。

散水部１７は、底板となる多孔板２２の上に、プラスチック充填材２３が配置され、プラスチック充填材２２の隙間を上昇する排ガスに対して散水ポンプ２４で水槽部１６から汲み上げた洗浄水を上方から散水する散水ノズル２５を備えている。

続いて、以上の構成からなる排水処理装置の作用について説明する。
バブル発生槽１において、マイクロナノバブルを導入することで、生物処理水に含まれている微生物が活性化し、被処理水中の有機物を分解する。有機フッ素化合物等の難分解性の有機物は、容易に分解できないため、ポンプ９によって活性炭吸着塔２に送られ、充填されている活性炭に吸着される。

有機フッ素化合物を吸着した活性炭には、マイクロナノバブルによって活性化した微生物を含む被処理水が次から次へと供給されるため、活性炭上に微生物が繁殖し、吸着した有機フッ素化合物を徐々に分解する。吸着した有機フッ素化合物が分解されることによって、活性炭は、再び有機フッ素化合物を吸着できる状態になる。

従来、有機物を吸着した活性炭は、人為的な再生作業が必要であったが、本発明では、活性化した微生物により、活性炭吸着塔２内で活性炭に吸着された有機フッ素化合物を分解することで、活性炭を自己再生でき、再生作業が不要である。

活性炭において微生物の活性を維持するためには、バルブ１１を介してバブル発生槽１に返送する被処理水の流量を多くして、微生物の循環量を多くすることが効果的である。つまり、活性炭吸着塔２において活性の低下した微生物をバブル発生槽１に返送し、マイクロナノバブルにより再び活性化した微生物を活性炭吸着塔２に供給するとよい。

また、有機フッ素化合物が分解されることによってフッ素ガスが発生するが、フッ素ガスは活性炭吸着塔２の底部から被処理水と共にバブル発生槽１および中継槽３に流出し、排気ファン１５によって排気ダクト１３，１４を介して排ガス処理塔４に導入される。

排ガス処理塔４では、散水部１７において、挿通される排ガスに洗浄水を散布し、排ガス中のフッ素ガスや有機物を洗浄水に溶け込ませて回収し、清浄なガスだけを排出する。このように、バブル発生槽１および中継槽３において、有機フッ素化合物を分解した際に発生したフッ素ガスを含む排ガスを排ガス処理塔４で回収するので、次工程で被処理水が大気開放されて外気にフッ素ガスを放出することがない。

さらに、排ガス処理塔４の水槽部１６にマイクロナノバブルを導入することで、洗浄水中に回収した有機物を分解して、排ガス中の有機物やフッ素を溶け込ませ易くすることができる。

さらに、図２に、本発明の第２実施形態の排水処理装置を示す。以降の説明において、上記第１実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付して、その説明を省略する。

本実施形態の処理装置では、バブル発生槽１の被処理水内にひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなる発生槽内充填物２６を保持している。これにより、発生槽内充填物２６上に微生物を高濃度に繁殖させることで、バブル発生槽１内の微生物濃度、ひいては活性炭吸着塔２に導入される微生物の濃度を高め、活性炭に吸着された有機フッ素化合物の分解を促進する。

また、本実施形態では、中継槽３から排出する被処理水は、キレート樹脂塔に送られ、フッ素を除去する処理が行われる。

図３に、本発明の第３実施形態を示す。本実施形態では、バブル発生槽１に多孔板によって収容スペース２７が形成されており、収容スペース２７内に、それぞれ活性炭２８を収容し、直立した網状管２９の周囲に配置した複数の網袋３０が保持されている。

多孔板２７および網袋３０は、被処理水が自由に出入りすることができ、さらに、網状管２９が活性炭２８の過度の密集を防止して、活性炭２８の間に被処理水の流路を形成している。マイクロナノバブル発生装置５が発生させる水流により、活性炭２８には有機物およびマイクロナノバブルによって活性化した微生物が供給される。よって、網状管２９は、活性炭２８の中をより多くの被処理水が通過するように、大きさや向きを選択するとよい。

活性炭２８は、被処理水中の有機物を吸着するが、活性化した微生物は活性炭２８に吸着された有機物を分解することができる。つまり、バブル発生槽１において、被処理水中の有機物の一部を効果的に分解することによって、活性炭吸着塔２の負荷を低減することができる。また、マイクロナノバブルで活性化した微生物は、有機フッ素化合物のような難分解性の有機物をも分解して、活性炭２８を自己再生するので、活性炭２８の寿命が長い。

本実施形態においては、中継槽３から排出する被処理水は、カルシウム添加凝集沈殿設備に送られ、フッ素を除去する処理が行われる。

図４に、本発明の第４実施形態を示す。本実施形態は、中継槽３にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置３１を設けたものである。マイクロナノバブル発生装置３１は、循環ポンプ３２、マイクロナノバブル発生器３３および調節弁３４からなる。本実施形態では、仮に、有機フッ素化合物が分解されずに活性炭吸着塔２を通過しても、中継槽３において、マイクロナノバブルによって活性化した微生物によって分解することができ、有機フッ素化合物のより高度な処理が可能である。

図５に、本発明の第５実施形態を示す。本実施形態は、上記第４実施形態のマイクロナノバブル発生装置３１を設けた中継槽３に、さらに、被処理水中に保持されるひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなる中継槽内充填物３４を設けたものである。これによって、中継槽内充填物３４に高濃度の微生物を繁殖させることができ、中継槽３における有機フッ素化合物の処理能力が向上する。

図６に、本発明の第６実施形態を示す。本実施形態は、上記第４実施形態のマイクロナノバブル発生装置３１を設けた中継槽３に、さらに、多孔板によって収容スペース３５を形成し、収容スペース３５内に、それぞれ活性炭３６を収容し、直立した網状管３７の周囲に配置した複数の網袋３８が保持されている。

活性炭３６は、次工程に排出する被処理水から有機物を吸着して除去する。マイクロナノバブルで活性化した微生物は、活性炭３６に吸着された有機物を分解して活性炭３６を自己再生する。こうして、有機フッ素化合物のより高度な処理が可能である。

図７に、本発明の第７実施形態を示す。本実施形態は、第１実施形態の排ガス処理塔４の水槽部１６に、さらに、洗浄水中に保持されるひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなる水槽内充填物３９を設けたものである。これによって、水槽内充填物４３に高濃度の微生物を繁殖させることができ、水槽部１６における有機物の分解能力が向上する。

図８に、本発明の第８実施形態を示す。第１実施形態の排ガス処理塔４の水槽部１６に、さらに、多孔板によって収容スペース４０を形成し、収容スペース４０内に、それぞれ活性炭４１を収容し、直立した網状管４２の周囲に配置した複数の網袋４３を保持したものである。これによって、排ガスから洗浄水に回収した有機物を活性炭４１に吸着させて洗浄水の有機物濃度を低く保つことができ、排ガスを適切に浄化できる状態を維持する。また、マイクロナノバブルによって活性化した微生物は、活性炭４１に吸着された有機物を分解するので、活性炭４１を自己再生して長寿命化する。

本発明の第１実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第２実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第３実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第４実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第５実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第６実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第７実施形態の排水処理装置の概略図。 本発明の第８実施形態の排水処理装置の概略図。

符号の説明

１ バブル発生槽
２ 活性炭吸着塔
３ 中継槽
４ 排ガス処理塔
５ マイクロナノバブル発生装置
１６ 水槽部
１７ 散水部
１８ マイクロナノバブル発生装置
２６ 発生槽内充填物（ポリ塩化ビニリデン）
２８ 活性炭
２９ 網状管
３０ 網袋
３０ マイクロナノバブル発生装置
３４ 中継槽内充填物（ポリ塩化ビニリデン）
３６ 活性炭
３７ 網状管
３８ 網袋
３９ 水槽内充填物（ポリ塩化ビニリデン）
４１ 活性炭
４２ 網状管
４３ 網袋

Claims (23)

1. 微生物を含んだ水と有機フッ素化合物含有排水とを混合してなる被処理水をバブル発生槽に貯留し、
   前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水にマイクロナノバブルを導入して前記被処理水中の微生物を活性化し、
   前記被処理水を活性炭が充填された活性炭吸着塔に通水することで、前記被処理水中の有機物を前記活性炭に吸着させるとともに、前記活性炭に前記微生物を繁殖させて前記活性炭に吸着された前記有機物を分解させることを特徴とする排水処理方法。
2. 前記活性炭吸着塔から流出する被処理水の一部を前記バブル発生槽に環流させることを特徴とする請求項１に記載の排水処理方法。
3. 前記バブル発生槽において貯留している前記被処理水から放出されるガスを回収し、前記ガスを、マイクロナノバブルを導入した洗浄水が散水される空間を通して装置の外に排出することを特徴とする請求項１または２に記載の排水処理方法。
4. 前記洗浄水を水槽に貯留し、前記水槽に貯留する前記洗浄水に前記マイクロナノバブルの導入を行い、前記ガスに散水した前記洗浄水を前記水槽に回収し、前記水槽に微生物が滞留可能な充填物を保持することを特徴とする請求項３に記載の排水処理方法。
5. 前記充填物は、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンからなることを特徴とする請求項４に記載の排水処理方法。
6. 前記充填物は、活性炭を含むことを特徴とする請求項４に記載の排水処理方法。
7. 前記充填物は、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋であることを特徴とする請求項４に記載の排水処理方法。
8. 前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の排水処理方法。
9. 前記活性炭吸着塔から流出する前記被処理水を、一旦、中継槽に貯留してから排出し、
   前記中継槽に貯留した前記被処理水にマイクロナノバブルを導入することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の排水処理方法。
10. 前記中継槽に貯留した前記被処理水中に、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンを保持することを特徴とする請求項９に記載の排水処理方法。
11. 前記中継槽に貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持することを特徴とする請求項９に記載の排水処理方法。
12. 前記中継槽から排出される前記被処理水を、キレート樹脂塔でさらに処理することを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の排水処理方法。
13. 前記中継槽から排出される前記被処理水に、カルシウム剤を添加して凝集沈殿処理することを特徴とする請求項９から１２のいずれかに記載の排水処理方法。
14. 微生物を含んだ水と有機フッ素化合物含有排水とを混合してなる被処理水を貯留し、貯留する前記被処理水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を備えるバブル発生槽と、
    活性炭が充填され、前記バブル発生槽に貯留した前記被処理水が通水される活性炭吸着塔と、
    前記活性炭吸着塔から流出する前記被処理水を、一旦、貯留してから装置外部に流出させる中継槽と、
    洗浄水を貯留して、前記洗浄水にマイクロナノバブルを導入する水槽部、および、前記水槽部の上方に設けられ、排ガスが挿通され、前記排ガスに前記洗浄水を散水する散水部からなる排ガス処理塔とを有し、
    前記活性炭吸着塔から流出する被処理水の一部を前記バブル発生槽に環流させ、
    前記バブル発生槽および前記中継槽において前記被処理水から放出される排ガスを、前記排ガス処理塔の前記散水部に導入することを特徴とする排水処理装置。
15. 前記水槽部は、前記洗浄水中に微生物が滞留可能な充填物を保持することを特徴とする請求項１４に記載の排水処理装置。
16. 前記充填物は、ひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなることを特徴とする請求項１５に記載の排水処理装置。
17. 前記充填物は、リング状に形成されたポリ塩化ビニリデンからなることを特徴とする請求項１５に記載の排水処理装置。
18. 前記充填物は、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋からなることを特徴とする請求項１５に記載の排水処理装置。
19. 前記バブル発生槽は、貯留した前記被処理水中に、ひも状に形成されたポリ塩化ビニリデンを保持することを特徴とする請求項１４から１８のいずれかに記載の排水処理装置。
20. 前記バブル発生槽は、貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持することを特徴とする請求項１４から１８のいずれかに記載の排水処理装置。
21. 前記中継槽は、貯留する前記被処理水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を備えることを特徴とする請求項１４から２０のいずれかに記載の排水処理装置。
22. 前記中継槽は、貯留した前記被処理水中に、ひも状に形成したポリ塩化ビニリデンを保持することを特徴とする請求項２１に記載の排水処理装置。
23. 前記中継槽は、貯留した前記被処理水中に、それぞれ活性炭を収容して網状管の周囲に配置された複数の網袋を保持することを特徴とする請求項２１に記載の排水処理装置。

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