JP3943272B2 - カーボンナノチューブのフイルム化方法 - Google Patents
カーボンナノチューブのフイルム化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3943272B2 JP3943272B2 JP869099A JP869099A JP3943272B2 JP 3943272 B2 JP3943272 B2 JP 3943272B2 JP 869099 A JP869099 A JP 869099A JP 869099 A JP869099 A JP 869099A JP 3943272 B2 JP3943272 B2 JP 3943272B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon nanotubes
- carbon nanotube
- substrate
- solvent
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
- H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
- H01J2201/30453—Carbon types
- H01J2201/30469—Carbon nanotubes (CNTs)
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/842—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure for carbon nanotubes or fullerenes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上にカーボンナノチューブの被膜を形成するカーボンナノチューブのフイルム化方法、その方法によりフィルム化されたカーボンナノチューブ及びこれを用いた電界電子放出源に関する。
【0002】
【従来の技術】
電界電子放出源は、熱エネルギを利用する電子源(熱電子放出源)に比べ、省エネルギで長寿命化が可能など、優れた点が多い。現在、このような電界電子放出源の材料としては、タングステン、シリコン、モリブデン等が知られている。
【0003】
電界電子放出源は、その先端に電界を集中させるため、鋭利な先端を持たなければならない。しかしながら、タングステン等の金属材料の先端を鋭利に加工することは容易ではない。また、使用中に電界電子放出源の先端の鋭利さを保つためには、電子管内を10−8Torr台以上の高真空にする必要もある。このように、金属材料を用いた電界電子放出源は、その製造が非常に困難であるとともに、その後の電子管の製造も困難にする。
【0004】
最近、上記の様な欠点を持たない電界電子放出源の材料として、カーボンナノチューブが注目されている。カーボンナノチューブは、それ自体が電界を集中させるのに充分な鋭利さを持ち、化学的に安定で、機械的にも強靱であるという特徴を持つため、電界電子放出源として非常に有望視されている。
【0005】
カーボンナノチューブは、多層カーボンナノチューブ(MWNT)と単層カーボンナノチューブ(SWNT)とに大別できる。多層カーボンナノチューブは、その名の通り、2層以上の同心円筒からなり、その先端は閉じている。また、単層カーボンナノチューブは、1層の円筒からなり、その先端は開口している。このうち、電界電子放出源としては、主に多層カーボンナノチューブが用いられる。
【0006】
多層カーボンナノチューブは、一対の純粋炭素電極を用いて、ガス雰囲気下で直流アーク放電を行えば得ることができる。即ち、アーク放電により陽極炭素電極が蒸発して、煤と陰極堆積物となるが、多層カーボンナノチューブは、その陰極堆積物中に含まれている。
【0007】
得られた多層カーボンナノチューブは、分離精製することなくエポキシ樹脂で固めたものが、良好な電界電子放出源になり得ることがコリンズ等によって報告されている(P.G.Collins等、Appl.Phys.Lett69(13)23,Sep.(1996).,p1969)。
しかしながら、分離精製を行って、その先端を開口させた多層カーボンナノチューブのほうが、電界電子放出源としては、しきい値が低い、電流密度が大きいなどの有利な結果が得られることがスモーリー等によって確認されている(Smally等、Sciepce vol.269,1550(1995))。分離精製の方法は、以下のようにして行われる。
【0008】
まず、粗多層カーボンナノチューブを、すり鉢で粉砕する。次に、粉砕した粗多層カーボンナノチューブをエタノールで分散させ、超音波をかける。そして、粗多層カーボンナノチューブを分散させた工タノールを濾過し、濾過液を乾燥させる。現出した物質を篩に掛け、篩を通過したものだけ石英ガラス上でバーナにより加熱燃焼させる。
【0009】
以上のようにして分離精製された多層カーボンナノチューブは、純度が高められるだけでなく、その先端が開口しており、電界電子放出源として良好な特性を示す。
【0010】
また、多層カーボンナノチューブを電界電子放出源として利用するには、多層カーボンナノチューブをフィルム化することが好ましく、その方法は、スイスの原子クラスター研究者、ド・ヘール等によって開発されている(SCIENCE 268(1995)845)。その方法は、分離、精製した多層カーボンナノチューブを0.2μm径の多孔セラミックフィルタに通し、それをテフロンやアルミホイルに転写するというものである。そして、このようにして得られたフィルム化された多層カーボンナノチューブを用いて、電界電子放出評価を行なった結果が、SICENCE 270(1995)1179に報告されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
多層カーボンナノチューブの回収率は、原料の消費量に対して十数パーセントにしかならない。また、多層カーボンナノチューブの分離精製は、手間がかかる。したがって、多層カーボンナノチューブを用いた電界電子放出源は、コストがかかり、量産には向かないという問題がある。
【0012】
また、ド・ヘール等によるカーボンナノチューブのフィルム化方法は、単層ナノチューブが、多層ナノチューブとは異なり、柔軟性に富んでおり、互いに絡みやすく束になりやすいという特徴を有するために、セラミックフィルタの小孔に捕らえられず、転写が困難であるという理由により、単層ナノチューブのフィルム化には利用できないという問題もある。
また、種々の用途の電界電子放出源を形成するためには、用途に応じた所定パターンのフィルム化が必要であるが、カーボンナノチューブを所定パターンにフィルム化することが困難という問題がある。
【0013】
本発明は、カーボンナノチューブの分離精製の手間を省き、所定パターンに形成された安価な電界電子放出源を提供できるカーボンナノチューブのフィルム化方法を提供することを課題とする。
【0014】
また、本発明は、単層カーボンナノチューブを所定パターンにフイルム化するに適したカーボンナノチューブのフィルム化方法を提供することを課題とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた溶液の前記溶媒を蒸発させることにより、前記溶液中に配設され所定パターンの露出部を有する基板の前記露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とするカーボンナノチューブのフィルム化方法が得られる。
【0016】
ここで、前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒中に分散させた後沈殿物を除去して得られる上澄みを用いて、前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させるようにすることが好ましい。あるいは、前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒に分散させた溶液または前記上澄みを濾過して得られた濾液を用いて、前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させるようにすることもできる。
【0017】
また、前記粗カーボンナノチューブを粉砕処理した後前記溶媒中に分散させた溶液を用いるようにしてもよい。
【0018】
また、本発明によれば、粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させることにより溶液を得、散布手段により、所定パターンの露出部を有する基板の前記露出部上に前記溶液を散布し、前記溶媒を蒸発させることにより前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とするカーボンナノチューブのフィルム化方法が得られる。
前記溶液の散布及び溶媒の蒸発を複数回繰り返して行うようにしてもよい。
【0019】
ここで、前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒中に分散させた後、沈殿物を除去して得られる上澄みであることが好ましい。あるいは、前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを溶媒に分散させた溶液または前記上澄みを濾過して得られた濾液を使用してもよい。
【0020】
また、前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを粉砕処理した後、前記溶媒中に分散させることにより得られる溶液を使用してもよい。
尚、前記基板としては、金属板や炭素シートなどの導電板が使用できる。
【0021】
上記方法により得られたフィルム化されたカーボンナノチューブは、電界電子放出源として利用できる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0023】
はじめに、一般的な単層カーボンナノチューブの製造方法について説明する。単層カーボンナノチューブを製造する場合にも、多層カーボンナノチューブを製造する場合と同様、一対の炭素電極を用い、ガス雰囲気下で直流アーク放電を行う。ただし、単層カーボンナノチューブを製造する場合は、多層カーボンナノチューブを製造する場合と異なり、陽極電極として、触媒となり得るニッケル、イットリウムなどの金属が添加された炭素電極を用いる。このようなアーク放電により、煤と、陰極堆積物が生成するが、単層カーボンナノチューブは、煤中に存在する。
【0024】
発明者等は、先に、特願平10−82409号において、粗単層カーボンナノチューブの回収率を飛躍的に向上させる製造方法を提案した。この方法によれば、従来の方法よりも、また、多層カーボンナノチューブを製造するよりも、安価に大量の単層カーボンナノチューブを得ることができる。したがって、単層カーボンナノチューブを電界電子放出源として利用することができれば、カーボンナノチューブを用いた電界電子放出源を、安価に提供することができるはずである。
【0025】
そこで、発明者等は、未処理の粗単層カーボンナノチューブを用いて、電界電子放出実験を行った結果、未処理の粗単層カーボンナノチューブを用いて電界電子放出が生じることを確認した。その結果を図1に示す。
【0026】
図1のI−V特性に示すように、印加電圧が500Vを超えるあたりから、電流が検出され、また、FNプロットが、負の傾きを有する直線であることから、電界電子放出が生じていることは明らかである。
【0027】
しかしながら、未処理の粗単層カーボンナノチューブは、そのままでは扱いにくく、また、特性的に多層カーボンナノチューブを用いた電界電子放出源に対抗できないので、処理及び基板への堆積(フィルム化)を行うこととした。尚、単層カーボンナノチューブは、基板に密着させないと、電圧を印加したときに、対極板に引き寄せられ、特性の変化や短絡の原因となる。
【0028】
粗単層カーボンナノチューブの処理及び基板への堆積方法を概略説明すると、先ず、ビーカ等の容器を用意し、その内底に金属板または炭素シート等の導電性の基板(導電板)をセットする。そこへ、粗単層カーボンナノチューブと溶媒、例えば、アセトンを入れる。そして、容器に超音波をかけた後、ドラフトチャンバ内で溶媒を自然蒸発させる。すると、基板の表面に粗単層カーボンナノチューブが、均一に密着、堆積する。尚、以上のようにして得られた、フィルム化したカーボンナノチューブは、例えば、基板の裏側から指ではじくような、強い振動を与えても脱落しない程度に、強固に密着していた。
【0029】
次に、基板上に、所定パターンにフィルム化されたカーボンナノチューブを形成する方法を詳細に説明する。
図2は、所定パターンにフィルム化されたカーボンナノチューブを基板上に作製する方法に係る実施の形態を示す図である。
【0030】
図2において、21は容器であるビーカ、22は、別途粗カーボンナノチューブをアセトン等の溶媒に分散、静止せた後に得られたカーボンナノチューブが分散した溶液、23は銅等の導電性の基板(導電板)、24は基板23に被着したマスク部としての粘着テープである。基板23上面の一部が粘着テープ24に覆われることにより、基板23の上面には、所定パターンの露出部25が形成されている。
【0031】
所定パターンのフィルム化されたカーボンナノチューブを作製する場合には、先ず、ビーカ21の内底に、粘着テープ24が所定パターンに被着された基板23をセットする。一方、カーボンナノチューブが分散した上澄み液を作るべく、別途用意されたビーカ(図示せず)に粗カーボンナノチューブと溶媒、例えばアセトンを入れ、前記ビーカに超音波をかけた後、10分間程度静止してその上澄み液を回収する。そして、得られた上澄み液の溶液22をビーカ21に移し替え、例えば、ドラフトチャンバ内で溶液22の溶媒を自然蒸発させる。すると、基板23及び粘着テープ24の表面に粗単層カーボンナノチューブが、均一に密着、堆積する。その後、粘着テープ24を剥離し除去することにより、露出部25にのみフィルム化されたカーボンナノチューブが形成される。
【0032】
露出部25のパターンを記号や文字等の種々の形状に形成することにより、記号や文字等の種々の所定パターンのフィルム化されたカーボンナノチューブを形成することが可能になる。尚、カーボンナノチューブフィルムを所定パターンに形成することが可能であるため、電界電子放出源として利用する場合に、基板23の導電パターンを所定形状に加工する必要が無く、ベタ状の電極を使用することが可能になる。
【0033】
図3は、所定パターンにフィルム化されたカーボンナノチューブを基板上に作製する方法に係る他の実施の形態を示す図である。
図3において、31は銅等の導電性の基板(導電板)、33はセラミック等によって形成されたマスク部である。マスク部33には、所定パターンの貫通孔34(図3では9個の四角形状の貫通孔)が形成されている。
【0034】
所定パターンのフィルム化されたカーボンナノチューブを作製する場合には、先ず、基板31上にマスク部33を重ね、これをビーカ(図示せず)の内底にセットする。このとき、貫通孔34に対応する基板31の上面部分は、マスク部33で覆われず、破線で示すように9個の四角形状の露出部32が形成される。
【0035】
そこへ、別途、粗単層カーボンナノチューブと溶媒(図示せず)、例えば、アセトンをビーカ(図示せず)に入れて超音波をかけた後に静止して得られた上澄み液を、基板31及びマスク部が配設されたビーカ内に注ぎ込んで自然蒸発させる。すると、基板31の露出部32及びマスク部33の表面に粗単層カーボンナノチューブが、均一に密着、堆積する。その後、マスク部33を除去することにより、基板31の露出部32にのみフィルム化されたカーボンナノチューブが得られる。
【0036】
貫通孔34のパターンを記号や文字等の種々の形状に形成することにより、記号や文字等の種々の所定パターンのフィルム化されたカーボンナノチューブを形成することが可能になる。また、微細な貫通孔34を規則正しく配置することにより、点状で規則正しく配列した、規格の揃ったカーボンナノチューブ(電界電子放出源)を得ることが可能になる。尚、カーボンナノチューブフィルムを所定パターンに形成することが可能であるため、電界電子放出源として利用する場合に、基板31の導電パターンを所定形状に加工する必要が無く、ベタ状の電極を使用することが可能になる。
【0037】
前述した各実施の形態に係る方法は、非常に簡易であり、大量生産に向いている。また、この方法は、一度粗単層カーボンナノチューブの固まりをほぐした(溶媒中に分散させた)後、基板上で再び固まりとしているので、ロット内の均一性が確保される。よって、スケールアップに有利である。
【0038】
尚、粗単層カーボンナノチューブは、予め、すり鉢やミキサで粉砕(数十秒から数分程度)してから上記処理、堆積の工程を行うようにしてもよい。また、容器に超音波をかけて、粗単層カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた後、沈殿物を取り除いてから、上澄みの溶媒を自然蒸発させるようにしてもよい。このようにすることで、単層カーボンナノチューブの先端部分が表面に現れ易くなり、しきい値電圧を下げ、大きな電流密度を得ることができる。
【0039】
あるいは、単に粗カーボンナノチューブの分散した上澄み液を用いるのではなく、これを濾過し、粗単層カーボンナノチューブを分散させた溶液から沈殿物を取り除いた濾液を用いて、基板への堆積を行なうようにしてもよい。この際、適切な穴径の濾過フィルタを用いることにより、濾液に含まれる単層カーボンナノチューブの純度を高めることができる。
【0040】
また、上記方法を用いると、高純度の粗単層カーボンナノチューブは、ビーカの側面へほとんど付着することなく、基板に密着して堆積する。これに対し、低純度の粗単層カーボンナノチューブは、ビーカの側面に付着し易く、基板への密着性も弱く崩れ易い。このことから、上記方法は、粗単層カーボンナノチューブの純度を検査することなく、その純度を知ることができ、製品の品質検査を容易にするという効果も有る。
【0041】
前記各実施の形態により得られる、単層カーボンナノチューブを表面に堆積させた導電性の基板(フィルム化されたカーボンナノチューブ)は、2極管や3極管(発光デバイス)等の電子管のカソード、即ち電界電子放出源として利用することができる。特に、フラットディスプレイパネルに用いられる表示管の電界電子放出源として期待される。しかしながら、その用途はこれらに限られるものではない。
【0042】
尚、上記各実施の形態では、単層カーボンナノチューブを導電性の基板に堆積させたが、多層カーボンナノチューブを堆積させる方法、あるいは、絶縁基板上に単層または多層カーボンナノチューブを堆積させる方法としても利用できることは言うまでもない。ここで、分離精製された多層カーボンナノチューブを基板に堆積させた場合、単層カーボンナノチューブの場合と同様に基板に密着することが発明者等により確認されている。また、基板の両面に単層または多層カーボンナノチューブを堆積させる方法としても利用できる。これらの方法により得られるフィルム化されたカーボンナノチューブは、水素の貯蔵や、電池の電極としての利用が考えられる。
【0043】
また、上記各実施の形態では、溶媒として、アセトンを例示したが、ジエチルエーテルや、水、エタノール等の液体が使用できる。
また、金属基板としては、銅、銀、ニッケル、あるいは、チタン等が使用できる。
【0044】
さらにまた、上記各実施の形態では、溶媒を自然乾燥させるものとしたが、溶媒を加熱したり、減圧雰囲気下に置いたりすることにより、急速乾燥させても同様の結果が得られる。また、溶媒を完全に蒸発させずに、蒸発途中で基板を溶液中から引き上げ、その後、基板を乾燥させるようにしてもよい。
【0045】
尚、上記各実施の形態では、ビーカ等の容器中に溶液及び基板を配設した状態で、前記基板上にカーボンナノチューブを堆積させるようにしたが、スポイトあるいはディスペンサ等の散布手段を用いて、露出部を形成した基板の露出部に粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた溶液を滴下することにより散布し、前記溶媒を蒸発させるようにしてフィルム化する方法であってもよい。
【0046】
即ち、粗カーボンナノチューブをアセトン等の溶媒中に分散させて超音波をかけることにより溶液を得、図2及び図3と同じようにマスク部を基板に重ねることにより、前記基板に所定パターンの露出部を形成し、前記露出部上にスポイトあるいはディスペンサ等の散布手段を用いて前記溶液を散布した後、前記溶媒を蒸発させ、その後、前記マスク部を除去することにより前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させるようにして、フィルム化することもできる。
【0047】
この方法では、ほぼ基板の露出部にのみカーボンナノチューブを堆積することができるため、マスク部上に堆積するカーボンナノチューブを最小化でき、カーボンナノチューブ等の材料の有効利用を図ることができる。また、基板の露出部分に、滴下することにより散布するカーボンナノチューブの量を調整すれば、カーボンナノチューブ層の膜厚制御が可能になるという利点もある。
この場合、カーボンナノチューブを含む溶液の散布、溶媒の蒸発という工程を繰り返すことにより、カーボンナノチューブ層を所望の厚さに形成するようにしてもよい。
また、マスク部の厚みを適宜変更することにより、所望の厚さのカーボンナノチューブを形成するようにしてもよい。
これにより、例えば、電界電子放出源に用いる場合に、電子放出に最適な厚さのカーボンナノチューブ層を形成することが可能になる。
【0048】
前記溶液は、前記の如くして粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させることにより得られる各種溶液や、前記溶液を濃縮して得られる溶液を使用することができる。例えば、前述したように、前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒中に分散させた後、沈殿物を除去して得られる上澄み液、または、前記粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた溶液または前記上澄みを濾過して得られた濾液が使用できるだけでなく、前記粗カーボンナノチューブを粉砕処理した後、前記溶媒中に分散させることにより得られる溶液等も使用することができる。
【0049】
【実施例】
以下、実際に単層カーボンナノチューブを用いる電界電子放出源を作製し、その特性等を測定した結果を示す。
【0050】
電界電子放出源の作製は、次のように行った。まず、100mlのビーカを用意し、粗単層カーボンナノチューブを50mgとアセトンを100cc入れる。そして、ビーカに超音波(100W、20分)をかけ、粗単層カーボンナノチューブをアセトン中に分散させる。上澄みと沈殿物とを分離し、40×40×0.3mmの銅板を底にセットした2つのビーカに、それぞれ上澄みと沈殿物を入れ、ドラフトチャンバ内に静置してアセトンを自然蒸発させる。これにより、表面に粗単層カーボンナノチューブを堆積させた銅板が得られる。
【0051】
この後、得られた銅板を5mm角に切り取り、図4に示すような2極管構造物のカソードとした。即ち、粗単層カーボンナノチューブ41を堆積させた銅板42を、スペーサ43を介してアノード電極44に対向させ、アノード電極44と銅板42との間に電源45から電圧を印加するようにした。
【0052】
評価は、この2極管構造物を評価用チャンバ内に導入し、前記チャンバ内部を真空にして行った。このときの背圧は、2×10−7Torr以下とした。尚、使用した粗単層カーボンナノチューブは、Ni及びYの混合物を添加した一対の炭素電極を用いて、発明者等により提案された交流アーク放電(AC180A、He圧:500Torr)により得たものを用いた。測定の結果を図5に示す。
【0053】
図5の結果から、沈殿物には、触媒金属や、アモルファス状の炭素等の不純物が多く含まれており、電子放出の効率が非常に悪く、上澄みは、不純物が少ないので、効率よく電子放出が行われていることが分かる。そこで、以下では、上澄みのみを用いて、上述した方法で電界電子放出源を作製し、その特性を測定した。
【0054】
図6に、粗単層カーボンナノチューブとして、従来の直流アーク放電(陽極に、Ni及びYを添加した炭素電極を用い、DC150Aの電流を流した)により得たものを用いた場合の測定結果を示す。
【0055】
図6のI−V特性から明らかなように、印加電圧が200Vを超えると、電流が流れ始める。また、図6のFNプロットは、傾きが負のほぼ直線となっている。これらのことから、単層カーボンナノチューブを電界電子放出源として利用できることが分かる。
【0056】
また、図7には、単層カーボンナノチューブ(交流アーク放電(AC180A、He圧:500Torr)により得たもの)を用いた電界電子放出源の電流時間変化を測定した結果を示す。
【0057】
図7から明らかな通り、単層カーボンナノチューブは、電界電子放出源として、長時間安定した特性を示す。
【0058】
また、図8に示す3極構造物を作製し、チャンバ内で電圧を印可したところ、蛍光体を発光させることができた。即ち、単層カーボンナノチューブ81を堆積させた銅板82をスペーサ83を介して金属メッシュであるグリッド電極84に対向させ、さらに、ガラス板85に金属メッシュであるアノード電極86を設けて、その表面に蛍光体87を塗布した三極構造物に、電源88からの電圧を印加するようにして、その蛍光体87を発光させることができた。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、粗カーボンナノチューブが分散した溶液中に、所定パターンの露出部を有する基板を配設して溶媒を蒸発させ、カーボンナノチューブの層を前記基板の露出部上に堆積させるようにしたことで、容易に所定パターンのカーボンナノチューブのフィルム化が実現できる。
また、粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた溶液を、散布手段により、所定パターンの露出部を有する基板の前記露出部上に散布し、前記溶媒を蒸発させることにより前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させるようにしているので、容易に所定パターンのカーボンナノチューブのフィルム化が実現できると共に、材料の有効利用を図ることが可能になる。
【0060】
また、本発明の方法により得られるフィルム化されたカーボンナノチューブを、電界電子放出源として利用するようにしたことで、所定パターンに形成された安価な電界電子放出源を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 未処理の粗単層カーボンナノチューブを用いた2極管構造物の特性を示すグラフである。
【図2】 所定パターンに形成されフィルム化されたカーボンナノチューブの作製方法に係る本発明の実施の形態を示す図である。
【図3】 所定パターンに形成されフィルム化されたカーボンナノチューブの作製方法に係る本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図4】 2極管構造物の構成を示す概略図である。
【図5】 上澄みと沈殿物とを用い、本発明の製造方法により作製した電界電子放出源の特性を示すグラフである。
【図6】 本発明により作製した電界電子放出源の特性を示すグラフである。
【図7】 本発明により作製した電界電子放出源の放出電流の時間変化を示すグラフである。
【図8】 3極管構造の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
21・・・容器としてのビーカ
22・・・溶液
23・・・基板
24・・・マスク部としての粘着テープ
25、32・・・露出部
33・・・マスク部
41、81・・・単層カーボンナノチューブ
42、82・・・銅板
43、83・・・スペーサ
44、86・・・アノード電極
45、88・・・電源
84・・・グリッド電極
85・・・ガラス板
87・・・蛍光体
Claims (10)
- 粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させた溶液の前記溶媒を蒸発させることにより、前記溶液中に配設され所定パターンの露出部を有する基板の前記露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とするカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒中に分散させた後沈殿物を除去して得られる上澄みを用いて、前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒に分散させた溶液または前記上澄みを濾過して得られた濾液を用いて、前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とする請求項1又は2記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記粗カーボンナノチューブを粉砕処理した後前記溶媒中に分散させた溶液を用いて、前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 粗カーボンナノチューブを溶媒中に分散させることにより溶液を得、散布手段により、所定パターンの露出部を有する基板の前記露出部上に前記溶液を散布し、前記溶媒を蒸発させることにより前記基板の露出部上にカーボンナノチューブを堆積させることを特徴とするカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記溶液の散布及び溶媒の蒸発を複数回繰り返して行うことを特徴とする請求項5記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを前記溶媒中に分散させた後、沈殿物を除去して得られる上澄みであることを特徴とする請求項5又は6記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを溶媒に分散させた溶液または前記上澄みを濾過して得られた濾液であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一に記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記溶液は、前記粗カーボンナノチューブを粉砕処理した後、前記溶媒中に分散させることにより得られる溶液であることを特徴とする請求項5乃至8のいずれか一に記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
- 前記基板が、導電板であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一に記載のカーボンナノチューブのフィルム化方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP869099A JP3943272B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | カーボンナノチューブのフイルム化方法 |
KR1020000002011A KR100364563B1 (ko) | 1999-01-18 | 2000-01-17 | 카본 나노튜브의 필름화 방법, 그 방법에 의해 필름화된카본 나노튜브 및 이것을 이용한 전계 전자 방출원 |
US09/484,693 US6616495B1 (en) | 1999-01-18 | 2000-01-18 | Filming method of carbon nanotube and the field emission source using the film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP869099A JP3943272B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | カーボンナノチューブのフイルム化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000203821A JP2000203821A (ja) | 2000-07-25 |
JP3943272B2 true JP3943272B2 (ja) | 2007-07-11 |
Family
ID=11699927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP869099A Expired - Fee Related JP3943272B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | カーボンナノチューブのフイルム化方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6616495B1 (ja) |
JP (1) | JP3943272B2 (ja) |
KR (1) | KR100364563B1 (ja) |
Families Citing this family (93)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001030200A (ja) * | 1999-07-22 | 2001-02-06 | Nec Corp | フィルムおよびこれを用いた積層体の製造方法 |
US7161285B2 (en) * | 2000-11-20 | 2007-01-09 | Nec Corporation | CNT film and field-emission cold cathode comprising the same |
US6885022B2 (en) * | 2000-12-08 | 2005-04-26 | Si Diamond Technology, Inc. | Low work function material |
US7265174B2 (en) * | 2001-03-22 | 2007-09-04 | Clemson University | Halogen containing-polymer nanocomposite compositions, methods, and products employing such compositions |
JP3665969B2 (ja) | 2001-03-26 | 2005-06-29 | エイコス・インコーポレーテッド | カーボンナノチューブ含有フィルムの製造方法及びカーボンナノチューブ含有コーティング |
US7259410B2 (en) | 2001-07-25 | 2007-08-21 | Nantero, Inc. | Devices having horizontally-disposed nanofabric articles and methods of making the same |
US6835591B2 (en) * | 2001-07-25 | 2004-12-28 | Nantero, Inc. | Methods of nanotube films and articles |
US7563711B1 (en) | 2001-07-25 | 2009-07-21 | Nantero, Inc. | Method of forming a carbon nanotube-based contact to semiconductor |
US6919592B2 (en) | 2001-07-25 | 2005-07-19 | Nantero, Inc. | Electromechanical memory array using nanotube ribbons and method for making same |
US6706402B2 (en) | 2001-07-25 | 2004-03-16 | Nantero, Inc. | Nanotube films and articles |
US8062697B2 (en) * | 2001-10-19 | 2011-11-22 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Ink jet application for carbon nanotubes |
US20060252163A1 (en) * | 2001-10-19 | 2006-11-09 | Nano-Proprietary, Inc. | Peelable photoresist for carbon nanotube cathode |
US7195938B2 (en) * | 2001-10-19 | 2007-03-27 | Nano-Proprietary, Inc. | Activation effect on carbon nanotubes |
US7854861B2 (en) * | 2001-10-19 | 2010-12-21 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Well formation |
US7147894B2 (en) * | 2002-03-25 | 2006-12-12 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Method for assembling nano objects |
US9574290B2 (en) | 2003-01-13 | 2017-02-21 | Nantero Inc. | Methods for arranging nanotube elements within nanotube fabrics and films |
US7858185B2 (en) | 2003-09-08 | 2010-12-28 | Nantero, Inc. | High purity nanotube fabrics and films |
US8937575B2 (en) | 2009-07-31 | 2015-01-20 | Nantero Inc. | Microstrip antenna elements and arrays comprising a shaped nanotube fabric layer and integrated two terminal nanotube select devices |
WO2005019793A2 (en) | 2003-05-14 | 2005-03-03 | Nantero, Inc. | Sensor platform using a horizontally oriented nanotube element |
KR100549103B1 (ko) * | 2003-06-05 | 2006-02-06 | 한국과학기술원 | 탄소나노튜브 어레이의 제작방법 |
US7375369B2 (en) | 2003-09-08 | 2008-05-20 | Nantero, Inc. | Spin-coatable liquid for formation of high purity nanotube films |
US7416993B2 (en) | 2003-09-08 | 2008-08-26 | Nantero, Inc. | Patterned nanowire articles on a substrate and methods of making the same |
US7452735B2 (en) * | 2003-09-12 | 2008-11-18 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Carbon nanotube deposition with a stencil |
JP2005235728A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-09-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 電気部材及び電気装置、並びにこれらの製造方法 |
US7125308B2 (en) * | 2003-12-18 | 2006-10-24 | Nano-Proprietary, Inc. | Bead blast activation of carbon nanotube cathode |
CN100543907C (zh) * | 2004-04-22 | 2009-09-23 | 清华大学 | 一种碳纳米管场发射阴极的制备方法 |
US7709880B2 (en) | 2004-06-09 | 2010-05-04 | Nantero, Inc. | Field effect devices having a gate controlled via a nanotube switching element |
CN1313364C (zh) * | 2004-06-16 | 2007-05-02 | 东元奈米应材股份有限公司 | 纳米碳管悬浮液及其制造方法 |
US20060292297A1 (en) * | 2004-07-06 | 2006-12-28 | Nano-Proprietary, Inc. | Patterning CNT emitters |
WO2006011655A1 (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-02 | National Institute Of Advanced Industrial Scienceand Technology | 単層カーボンナノチューブおよび配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体ならびにそれらの製造方法・装置および用途 |
US7736209B2 (en) * | 2004-09-10 | 2010-06-15 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Enhanced electron field emission from carbon nanotubes without activation |
WO2006121461A2 (en) | 2004-09-16 | 2006-11-16 | Nantero, Inc. | Light emitters using nanotubes and methods of making same |
CA2581058C (en) | 2004-09-21 | 2012-06-26 | Nantero, Inc. | Resistive elements using carbon nanotubes |
CA2586120A1 (en) | 2004-11-02 | 2006-12-28 | Nantero, Inc. | Nanotube esd protective devices and corresponding nonvolatile and volatile nanotube switches |
US20080012461A1 (en) * | 2004-11-09 | 2008-01-17 | Nano-Proprietary, Inc. | Carbon nanotube cold cathode |
EP1825038B1 (en) | 2004-12-16 | 2012-09-12 | Nantero, Inc. | Aqueous carbon nanotube applicator liquids and methods for producing applicator liquids thereof |
US8941094B2 (en) | 2010-09-02 | 2015-01-27 | Nantero Inc. | Methods for adjusting the conductivity range of a nanotube fabric layer |
US9287356B2 (en) | 2005-05-09 | 2016-03-15 | Nantero Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US7781862B2 (en) | 2005-05-09 | 2010-08-24 | Nantero, Inc. | Two-terminal nanotube devices and systems and methods of making same |
US8013363B2 (en) | 2005-05-09 | 2011-09-06 | Nantero, Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US9196615B2 (en) | 2005-05-09 | 2015-11-24 | Nantero Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US9911743B2 (en) | 2005-05-09 | 2018-03-06 | Nantero, Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US7782650B2 (en) | 2005-05-09 | 2010-08-24 | Nantero, Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US7835170B2 (en) | 2005-05-09 | 2010-11-16 | Nantero, Inc. | Memory elements and cross point switches and arrays of same using nonvolatile nanotube blocks |
US8513768B2 (en) | 2005-05-09 | 2013-08-20 | Nantero Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US8183665B2 (en) | 2005-11-15 | 2012-05-22 | Nantero Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
US8217490B2 (en) | 2005-05-09 | 2012-07-10 | Nantero Inc. | Nonvolatile nanotube diodes and nonvolatile nanotube blocks and systems using same and methods of making same |
KR100700638B1 (ko) * | 2005-05-11 | 2007-03-27 | 한국기초과학지원연구원 | 발광성 실리카 나노튜브 |
US7598127B2 (en) | 2005-05-12 | 2009-10-06 | Nantero, Inc. | Nanotube fuse structure |
US7915122B2 (en) | 2005-06-08 | 2011-03-29 | Nantero, Inc. | Self-aligned cell integration scheme |
US7927992B2 (en) | 2005-09-06 | 2011-04-19 | Nantero, Inc. | Carbon nanotubes for the selective transfer of heat from electronics |
US8525143B2 (en) | 2005-09-06 | 2013-09-03 | Nantero Inc. | Method and system of using nanotube fabrics as joule heating elements for memories and other applications |
CA2621103C (en) | 2005-09-06 | 2015-11-03 | Nantero, Inc. | Nanotube fabric-based sensor systems and methods of making same |
JP2009509358A (ja) * | 2005-09-21 | 2009-03-05 | ユニバーシティ オブ フロリダ リサーチ ファンデーション インコーポレーティッド | パターン化導電性薄膜を形成するための低温法およびそれに由来するパターン化物品 |
EP1973845A4 (en) | 2005-12-19 | 2009-08-19 | Nantero Inc | PREPARATION OF CARBON NANOTUBES |
WO2008112764A1 (en) | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Nantero, Inc. | Electromagnetic and thermal sensors using carbon nanotubes and methods of making same |
CN101284661B (zh) | 2007-04-13 | 2011-03-23 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 碳纳米管薄片的制备方法 |
CN101284662B (zh) | 2007-04-13 | 2011-01-05 | 清华大学 | 碳纳米管薄膜的制备方法 |
WO2009005908A2 (en) | 2007-05-22 | 2009-01-08 | Nantero, Inc. | Triodes using nanofabric articles and methods of making the same |
CN101409338A (zh) * | 2007-10-10 | 2009-04-15 | 清华大学 | 锂离子电池负极,其制备方法和应用该负极的锂离子电池 |
CN101409337B (zh) * | 2007-10-10 | 2011-07-27 | 清华大学 | 锂离子电池负极,其制备方法和应用该负极的锂离子电池 |
CN101388447B (zh) * | 2007-09-14 | 2011-08-24 | 清华大学 | 锂离子电池负极及其制备方法 |
TWI474544B (zh) * | 2007-10-26 | 2015-02-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 鋰離子電池負極,其製備方法和應用該負極的鋰離子電池 |
CN101420021B (zh) * | 2007-10-26 | 2011-07-27 | 清华大学 | 锂离子电池正极及其制备方法 |
CN101635362B (zh) * | 2008-07-25 | 2012-03-28 | 清华大学 | 膜电极及采用该膜电极的燃料电池 |
CN101425584B (zh) * | 2007-11-02 | 2011-05-04 | 清华大学 | 燃料电池膜电极及其制备方法 |
CN101465434B (zh) * | 2007-12-19 | 2010-09-29 | 清华大学 | 燃料电池膜电极及其制备方法 |
CN101425583B (zh) * | 2007-11-02 | 2011-06-08 | 清华大学 | 燃料电池膜电极及其制备方法 |
TWI455398B (zh) * | 2007-11-16 | 2014-10-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 燃料電池膜電極及其製備方法 |
WO2009155359A1 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | Nantero, Inc. | Nram arrays with nanotube blocks, nanotube traces, and nanotube planes and methods of making same |
CN101752568B (zh) * | 2008-12-17 | 2012-06-20 | 清华大学 | 膜电极及采用该膜电极的生物燃料电池 |
CN101752567B (zh) * | 2008-12-17 | 2012-09-19 | 清华大学 | 膜电极及采用该膜电极的燃料电池 |
US9077042B2 (en) * | 2008-07-25 | 2015-07-07 | Tsinghua University | Membrane electrode assembly and biofuel cell using the same |
US7915637B2 (en) | 2008-11-19 | 2011-03-29 | Nantero, Inc. | Switching materials comprising mixed nanoscopic particles and carbon nanotubes and method of making and using the same |
WO2010126767A2 (en) | 2009-04-30 | 2010-11-04 | University Of Florida Research Fondation Inc. | Single wall carbon nanotube based air cathodes |
US8574673B2 (en) | 2009-07-31 | 2013-11-05 | Nantero Inc. | Anisotropic nanotube fabric layers and films and methods of forming same |
US8128993B2 (en) | 2009-07-31 | 2012-03-06 | Nantero Inc. | Anisotropic nanotube fabric layers and films and methods of forming same |
US8351239B2 (en) | 2009-10-23 | 2013-01-08 | Nantero Inc. | Dynamic sense current supply circuit and associated method for reading and characterizing a resistive memory array |
US8895950B2 (en) | 2009-10-23 | 2014-11-25 | Nantero Inc. | Methods for passivating a carbonic nanolayer |
US8222704B2 (en) | 2009-12-31 | 2012-07-17 | Nantero, Inc. | Compact electrical switching devices with nanotube elements, and methods of making same |
WO2011100661A1 (en) | 2010-02-12 | 2011-08-18 | Nantero, Inc. | Methods for controlling density, porosity, and/or gap size within nanotube fabric layers and films |
EP2552826A4 (en) | 2010-03-30 | 2013-11-13 | Nantero Inc | METHOD FOR ARRANGING NANOSCOPIC ELEMENTS IN NETWORKS, FIBERS AND FILMS |
US10661304B2 (en) | 2010-03-30 | 2020-05-26 | Nantero, Inc. | Microfluidic control surfaces using ordered nanotube fabrics |
JP6138694B2 (ja) | 2010-12-17 | 2017-05-31 | ユニバーシティ オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション,インク.University Of Florida Reseatch Foundation,Inc. | 電気化学電池用の電極を形成する方法 |
KR101165809B1 (ko) | 2011-01-11 | 2012-07-16 | 고려대학교 산학협력단 | 횡형 전계 방출 소자 |
SG193937A1 (en) | 2011-04-04 | 2013-11-29 | Univ Florida | Nanotube dispersants and dispersant free nanotube films therefrom |
JP2011157270A (ja) * | 2011-04-25 | 2011-08-18 | Nec Corp | Cnt膜及びその製造方法並びにcnt膜を用いた電界放出型冷陰極及び画像表示装置 |
KR101239395B1 (ko) * | 2011-07-11 | 2013-03-05 | 고려대학교 산학협력단 | 전계 방출원 및 이를 적용하는 소자 및 그 제조방법 |
US10654718B2 (en) | 2013-09-20 | 2020-05-19 | Nantero, Inc. | Scalable nanotube fabrics and methods for making same |
CN105764838B (zh) | 2013-11-20 | 2019-03-01 | 佛罗里达大学研究基金会有限公司 | 含碳材料上的二氧化碳还原 |
US9299430B1 (en) | 2015-01-22 | 2016-03-29 | Nantero Inc. | Methods for reading and programming 1-R resistive change element arrays |
US9934848B2 (en) | 2016-06-07 | 2018-04-03 | Nantero, Inc. | Methods for determining the resistive states of resistive change elements |
US9941001B2 (en) | 2016-06-07 | 2018-04-10 | Nantero, Inc. | Circuits for determining the resistive states of resistive change elements |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0822733B2 (ja) * | 1993-08-04 | 1996-03-06 | 工業技術院長 | カーボンナノチューブの分離精製方法 |
KR100365444B1 (ko) * | 1996-09-18 | 2004-01-24 | 가부시끼가이샤 도시바 | 진공마이크로장치와이를이용한화상표시장치 |
JP3017161B2 (ja) | 1998-03-16 | 2000-03-06 | 双葉電子工業株式会社 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
US6232706B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-05-15 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same |
-
1999
- 1999-01-18 JP JP869099A patent/JP3943272B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-01-17 KR KR1020000002011A patent/KR100364563B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-01-18 US US09/484,693 patent/US6616495B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100364563B1 (ko) | 2002-12-18 |
JP2000203821A (ja) | 2000-07-25 |
KR20000071254A (ko) | 2000-11-25 |
US6616495B1 (en) | 2003-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3943272B2 (ja) | カーボンナノチューブのフイルム化方法 | |
JP3049019B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの皮膜を形成する方法及びその方法により皮膜を形成された単層カーボンナノチューブ | |
JP5698982B2 (ja) | 照明ランプ及びナノ炭素材料複合基板とその製造方法 | |
JP3825336B2 (ja) | ナノカーボンの製造方法及びナノカーボンの製造装置 | |
JP3740295B2 (ja) | カーボンナノチューブデバイス、その製造方法及び電子放出素子 | |
KR100734684B1 (ko) | 카본 나노튜브를 함유하는 테이프상 물질, 카본나노튜브의 제조 방법, 그 테이프상 물질을 함유하는 전계방출형 전극 및 그 제조 방법 | |
KR100560244B1 (ko) | 탄소나노구조체 또는 나노와이어를 이용한 전계 방출어레이 및 그 제조 방법 | |
JP2000277003A (ja) | 電子放出源の製造方法及び電子放出源 | |
WO2011016616A2 (ko) | 신규한 구조의 탄소계 나노복합체 및 이의 제조방법 | |
JP2008509540A5 (ja) | ||
KR20090080140A (ko) | 단층 카본 나노튜브 및 배향 단층 카본 나노튜브·벌크 구조체 및 그들의 제조방법·장치 및 용도 | |
JP2004189573A (ja) | カーボンナノチューブ集合体およびこれを設置したカーボンナノチューブ設置装置 | |
JP5253943B2 (ja) | 導電性材料およびその製造方法 | |
JP3764651B2 (ja) | カーボンナノチューブ接合体の製造方法 | |
JP3913583B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
WO2001092150A1 (fr) | Procede de fixation de nanotubes de carbone | |
JP2004243477A (ja) | 炭素質ナノ構造体の製造方法、炭素質ナノ構造体及びそれを用いた電子源 | |
JP2007311364A (ja) | 電子放出素子とその作製方法及びそれを装着した装置 | |
JP2004055158A (ja) | カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法 | |
JP2005001942A (ja) | 配向性カーボンナノチューブ膜の精製方法 | |
JP5549028B2 (ja) | フレーク状ナノ炭素材料の製造方法及び電子放出素子並びに面発光素子 | |
JP3912273B2 (ja) | カーボンナノチューブのテープ状集合体およびこれを設置したカーボンナノチューブ設置装置 | |
JP3912276B2 (ja) | カーボンナノチューブのテープ状集合体およびこれを設置したカーボンナノチューブ設置装置 | |
TWI794965B (zh) | 三維束狀多壁奈米碳管及其製備方法與工作電極應用 | |
JP5549027B2 (ja) | 粒子状ナノ炭素材料の製造方法及び電子放出素子並びに面発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070405 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100413 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |