JP3901897B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3901897B2 JP3901897B2 JP36404399A JP36404399A JP3901897B2 JP 3901897 B2 JP3901897 B2 JP 3901897B2 JP 36404399 A JP36404399 A JP 36404399A JP 36404399 A JP36404399 A JP 36404399A JP 3901897 B2 JP3901897 B2 JP 3901897B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement sensor
- electromagnet
- magnetic bearing
- bearing device
- pwm driver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/047—Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/06—Relieving load on bearings using magnetic means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/42—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions corrosive, i.e. with aggressive media or harsh conditions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は制御対象体である被浮上体を電磁石が発する電磁気力で浮上支持する磁気軸受装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来この種の磁気軸受装置の被浮上体の位置変位を検出する変位センサには、渦電流型センサ、誘導型センサ、静電容量型センサ、レーザ等オプト系のセンサがある。このようなセンサの中で、ターボ分子ポンプの変位センサには、主として渦電流型センサ、誘導型センサが用いられている。
【0003】
腐食環境下においては、変位センサを含め磁気軸受を保護するためにこれらを何らかの保護材で覆う必要がある。渦電流型センサ、誘導型センサ、静電容量型センサを用いた磁気軸受装置は、テフロン(登録商標)等の樹脂又はセラミック等の保護材で覆う構造も可能である。レーザ等オプト系のセンサは、レーザ等が透過するガラスのようなもので覆う必要がある。金属材で変位センサを保護した場合は、上記渦電流型センサ、静電容量型センサ、レーザ等オプト系センサは使用できない。金属でも非磁性体金属であれば誘導型センサは使用可能である。
【0004】
このような磁気軸受装置において、変位センサを含め磁気軸受をテフロン(登録商標)、セラミック、ガラス等で保護するには製作、コスト、強度等の問題がある。また、特殊な環境でガスコンタミが問題となる環境では、テフロン(登録商標)、セラミック、ガラス等が使用できない場合もある。
【0005】
従って、このような場合は、非磁性体金属材で保護する誘導型センサを用いることになるが、従来方式では、誘導型センサ自身のキャリア周波数により発生する磁界により、非磁性体金属隔壁表面で渦電流が発生し、誘導型センサの検出信号の感度が低下(S/N比が悪くなる)してしまう。
【0006】
また、磁気軸受は電磁石に電流を流し、それによって発生する電磁力で制御対象を浮上制御するが、その際、磁気軸受ユニットも非磁性体金属で覆う構造とした場合、電磁石と誘導型センサが同一の非磁性体金属隔壁で覆われてしまう構造になるため、電磁石が発生する電磁ノイズ及び、この電磁ノイズで発生する非磁性体金属隔壁表面の渦電流が非磁性体金属隔壁を通じて誘導型センサに影響を与えてしまう。従って、非磁性体金属隔壁で誘導型センサ及び、磁気軸受を保護する構造を採用すると、誘導型センサに磁気的、電気的ノイズが混入するため、磁気浮上制御が困難になる。
【0007】
図1は従来の磁気軸受装置の制御装置の回路構成を示す図である。図1において、1は発振器であり、該発振器1の出力は演算増幅器2−1、2−2及び電流制限抵抗器3−1、3−2、ケーブルCBを磁気軸受MCの被浮上体5の位置変位(例えばX方向の位置変位)を検出する直列に接続された一対の変位センサZ1、Z2に出力される。変位点である変位センサZ1とZ2の接続点の電位(センサ信号)Egを差動増幅器6の−端子に入力すると共に、基準抵抗器Ra、Rbで設定される基準点電位Esを+端子に入力する。該差動増幅器6の出力は同期検波回路7、位相補償回路8を通してドライブ回路9に入力される。
【0008】
ドライブ回路9は図2に示すように、コントロール部9−1とドライブ部9−2から構成され、コントロール部9−1でドライブ部9−2のPWM制御をする。ドライブ部9−2の出力は電磁石のコイル10に供給される。なお、4はコンデンサであり、該コンデンサ4は変位センサZ1、Z2と並列共振させるためのコンデンサである。
【0009】
上記構成の制御回路及び電磁石ドライブ部において、変位センサZ1、Z2と被浮上体5の間に非磁性体金属からなる保護板を配置し、変位センサZ1、Z2に誘導型センサを用いると上記のような問題、即ち非磁性体金属材からなる保護板で発生する渦電流によるセンサ検出信号の感度の低下、電磁石を駆動する電流により発生する磁気による影響をセンサが受けてしまう。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、少なくとも変位センサを非磁性体金属材で保護した構成の磁気軸受を使用し、該非磁性体金属材で発生する渦電流によりセンサ検出信号の感度が低下(S/N比が悪くなる)することなく、更に電磁石を駆動する電流により発生する磁気の影響を変位センサが受けることがなく精度の良い浮上制御ができる磁気軸受装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項1に記載の発明は、電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して変位センサに信号と、ケーブルを介して電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、変位センサと被浮上体の間に配置された非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、コントローラは保護板に起因する異常信号が変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系を備え、変位センサは保護板を貫通するヨークを有することを特徴とする。
【0012】
請求項2に記載の発明は、電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して変位センサに信号と、ケーブルを介して電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、変位センサと被浮上体の間に配置された非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
コントローラは保護板に起因する異常信号が変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系を備え、変位センサはヨークを有し、保護板はその一部が該ヨークと同一又は同質の磁性材料で構成され、該一部の磁性材料は該ヨークに隣接する該保護板内に埋め込まれていることを特徴とする。
【0013】
請求項3に記載の発明は、電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、変位センサと被浮 上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、コントローラは保護板に起因する異常信号が変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする。
【0014】
請求項4に記載の発明は、電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に電流を供給するコントローラとを具備し、変位センサと被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、コントローラは保護板に起因する異常信号が変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、PWMドライバはその出力端子に接続されたノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする。
【0015】
請求項5に記載の発明は、電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して変位センサに信号と、ケーブルを介して電磁石に電流を供給するコントローラとを具備し、変位センサと被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、コントローラは保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルとノーマルモードコイルを通して電磁石を付勢することを特徴とする。
【0016】
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の磁気軸受装置において、コントローラは変位センサのセンサ素子を付勢するパワードライバを有することを特徴とする。
【0017】
請求項7に記載の発明は、請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする。
【0018】
請求項8に記載の発明は、請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする。
【0019】
請求項9に記載の発明は、請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルとノーマルモードコイルを通して電磁石を付勢することを特徴とする。
【0020】
請求項10に記載の発明は、請求項3又は4又は5に記載の磁気軸受装置において、ノイズ除去フィルタにフィルタ回路若しくはフィルタ回路と位相補償回路の両方を設けたことを特徴とする。
【0021】
上記のように、変位センサへの異常信号混入を防止するフィルタ回路又はフィルタ回路と位相補償回路を設けたことにより、変位センサに誘導型変位センサを用い、被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置しても、変位センサのS/N比を向上させ、変位センサの機能を充分に発揮させることができる。
【0022】
また、変位センサのヨークが非磁性体金属材からなる保護板を貫通するか又は該保護板のヨークが対向する部位に該ヨークと同一又は同質の磁性体材を埋め込むことにより、ヨークと被浮上体の間隔が保護板の厚さだけ小さくなる。これによりセンサ感度が向上し、被浮上体の変位を精度良く検知できる。
【0023】
また、変位センサのセンサ素子の駆動をパワードライブで付勢することにより、変位センサの被浮上体の浮上位置変位量に対する検出信号の変化率が向上する。
【0024】
また、上記のように、電磁石の駆動部にPWMドライバを用い、該PWMドライバの出力端子にコモンモードコイル又はノーマルモードコイルのいずれか、又はその両方を接続することにより、磁気軸受を構成する電磁石から発生する電磁ノイズを減少させることが可能となる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図3は本発明に係る磁気軸受装置を構成する変位センサ及び電磁石の部分の断面構成例を示す図である。図示するように、被浮上体5と該被浮上体5を支持する電磁石11及び該被浮上体5の変位を検出する誘導型の変位センサ13の間に非磁性体金属材からなる保護板(キャン)14を配置し、該非磁性体金属材からなる保護板14で変位センサ13と電磁石11を保護している。なお、変位センサ13はセンサヨーク(コア)13aの外周にセンサコイル13bを装着した構成であり、電磁石11は電磁石ヨーク11aの外周に電磁石コイル10を装着した構成である。
【0026】
図4は本発明に係る磁気軸受装置の浮上制御系統の構成を示す図である。発振器1の出力はパワードライブ部15の演算増幅器15−1及びパワーブースト回路15−2、演算増幅器15−3、パワーブースト回路15−4及びケーブルCBを通して磁気軸受MCの被浮上体5の位置変位を検出する直列に接続された一対の変位センサZ1、Z2に出力される。変位点である変位センサZ1とZ2の接続点の電位(センサ信号)Egはノイズ除去フィルタ部16のバンドパスフィルタ16−1、バンドイリミネートフィルタ16−2を通して差動増幅器6の−端子に入力され、標準抵抗器Ra、Rbで設定される基準点電位(基準信号)Esはノイズ除去フィルタ部16のバンドパスフィルタ16−3、バンドイリミネートフィルタ16−4、位相補償部16−5を通して差動増幅器6の+端子に入力される。
【0027】
ドライブ回路9は図5に示すように、コントロール部9−1とドライブ部9−2から構成され、ドライブ部9−2の出力はコモンモードコイル19及びケーブルCBを通して電磁石11のコイル10に供給される。また、発振器1の出力は位相補償部17、比較器(コンパレータ)18を通して同期検波回路7に入力される。
【0028】
上記のように被浮上体5と該被浮上体5を支持する電磁石11及び該被浮上体5の変位を検出する変位センサ13の間に非磁性体金属材からなる保護板(キャン)14を配置することにより、変位センサ13の変位センサ信号の渦電流ロス、電磁石から発生する磁気の影響等でS/N比が悪くなる。これらの影響を減らしS/N比を良くする手法として、変位センサ13(図1の変位センサZ1、Z2)を駆動する電流供給部にパワードライブ部15を用い、センサ信号Eg、基準信号Esから十分にノイズを除去するために、バンドパスフィルタ16−1、バンドイリミネートフィルタ16−2、バンドパスフィルタ16−3、バンドイリミネートフィルタ16−4及び位相補償部16−5からなるノイズ除去フィルタ部16を用いたことにより、磁気軸受を構成する電磁石11を駆動する電流により発生する磁気の影響を少なくし、安定した浮上制御が可能となる。
【0029】
また、センサ信号Egをバンドパスフィルタ16−1及びバンドイリミネートフィルタ16−2を通し、基準信号Esをバンドパスフィルタ16−3及びバンドイリミネートフィルタ16−4を通すことにより位相ずれが発生し、この位相ずれを補償する為に基準信号Es側に位相補償部16−5を設けている。なお、この位相補償部はセンサ信号Eg側にも設けても良い。また、同期検波回路7に入力される発振器1からの信号も位相補償部17を通して位相補償している。上記のように位相補償を行うことにより、変位センサ13の感度の最適化を行う。
【0030】
ドライブ回路9はコントロール部9−1及びドライブ部9−2で構成され、コントロール部9−1でドライブ部9−2をPWM制御している。図5に示すように、ドライブ部9−2の出力をコモンモードコイル19を通して電磁石11のコイル10に供給するように構成することにより、PWMドライブのスイッチングノイズを減少させ、変位センサへの影響を減少させることができる。
【0031】
また、ドライブ回路9の出力を図6に示すようにノーマルモードコイル20を通して電磁石11のコイル10に供給するように構成することにより、PWMドライブに対する電流の過渡的な変化を減少させ、電流の過渡的変化に起因するノイズを減少させ、変位センサ13等への影響を減少させることができる。
【0032】
また、ドライブ回路9の出力を図7に示すように、コモンモードコイル19及びノーマルモードコイル20を通して電磁石11のコイル10に供給するように構成することにより、上記コモンモードコイル19とノーマルモードコイル20の両作用により、PWMドライブに対するノイズを減少させ、変位センサ13等への影響を減少させることができる。
【0033】
磁気軸受は、例えば、エキシマレーザのように、腐食環境で且つ、有機系やSi系のガスコンタミを嫌う場合、変位センサや電磁石をキャンで保護するキャン構造が必要となる。キャンの材質としては、例えば、SUS304、SUS316等の非磁性体の金属で構成し、腐食やガスコンタミを押さえ、変位センサ13に誘導型変位センサを使用し、上記対応を施しセンサとしての機能を充分に果たすことができる。
【0034】
図8は磁気軸受の電磁石のコイルに印加される電圧波形を示す図であり、図8(a)は従来の磁気軸受装置の電圧波形、図8(b)は本発明の磁気軸受装置の電圧波形を示す。図から明らかなように、本発明の磁気軸受装置では電磁石コイルに印加される電圧波形に混入するノイズが大幅に減少する。
【0035】
図9は磁気軸受の位置センサのセンサ信号の波形を示す図で、図9(a)は従来の磁気軸受装置のセンサ信号波形、図9(b)は本発明の磁気軸受装置のセンサ信号波形を示す。図から明らかなように、本発明の磁気軸受装置では電磁石からの電磁気ノイズの影響が大幅に減少する。
【0036】
図10は本発明に係る磁気軸受装置を構成する変位センサ及び電磁石の部分の他の構成例を示す図で、図10(a)は断面図、図10(b)は(a)のA−A矢視図である。図示するように、変位センサ13のセンサヨーク(センサコア)13aは非磁性体金属材からなる保護板14を貫通して被浮上体5に対向している。また、電磁石11の電磁石ヨーク(電磁石コア)11aも保護板14を貫通して被浮上体5に対向している。なお、センサヨーク13a及び電磁石ヨーク11aの保護板14の貫通部には溶接等による接合シール部13c及び11bを設ける。
【0037】
このようにセンサヨーク13aを保護板14を貫通させることにより、センサヨーク13a及び電磁石ヨーク11aと被浮上体の間隔が保護板14の厚さ分小さくなる。これによりセンサ感度が向上し、被浮上体5の変位を精度良く検知できる。また、電磁石ヨーク11aと被浮上体5の間隔も保護板14の厚さ分小さくなるので、被浮上体5に作用する磁気力が大きくなり、その分電磁石を小型化できる。
【0038】
なお、上記例では、センサヨーク13a及び電磁石ヨーク11aが保護板14を貫通して被浮上体5に対向する構成としているが、この貫通部分にセンサヨーク13a及び電磁石ヨーク11aと同一又は同質の磁性体材を埋め込む構成としても同一の作用効果が得られる。
【0039】
なお、上記構成の磁気軸受を腐食環境で使用する場合には、センサヨーク13a及び電磁石ヨーク11aにはこの腐食環境に耐え得る磁性体材料を選択して用いる。
【0040】
【発明の効果】
以上、説明したように各請求項に記載の発明によれば、下記のような優れた効果が期待できる。
【0041】
変位センサと被浮上体の間に非磁性体金属材を配置して該非磁性体金属材で保護した構成の磁気軸受装置において、コントローラの浮上制御系内に非磁性体金属材からなる保護板を配置したことにより発生する異常信号が変位センサに作用しないようにフィルタ回路又はフィルタ回路と位相補償回路を有するノイズ除去フィルタを設けたので、変位センサのS/N比を向上させ、変位センサの機能を充分に発揮させることができ、安定した浮上制御が可能になる。
【0042】
また、変位センサのヨークが非磁性体金属材からなる保護板を貫通するか又は該保護板のヨークが対向する部位に該ヨークと同一又は同質の磁性体材を埋め込んでいるので、ヨークと被浮上体の間隔が保護板の厚さだけ小さくなり、センサ感度が向上し、被浮上体の変位を精度良く検知できる。
【0043】
また、変位センサを構成する変位を検出するセンサ素子の駆動をパワードライブで付勢するので、変位センサの被浮上体の浮上位置検出信号の変化率を向上させることができる。
【0044】
また、電磁石の駆動部にPWMドライバを用い、該PWMドライバの出力端子にコモンモードコイル又はノーマルモードコイルのいずれか、又はその両方を接続したので、磁気軸受を構成する電磁石から発生する電磁ノイズの発生を減少させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の磁気軸受装置の制御装置の回路構成を示す図である。
【図2】 従来の磁気軸受装置の電磁石ドライブ部の構成を示す図である。
【図3】 本発明に係る磁気軸受装置を構成する変位センサ及び電磁石の部分の断面構成例を示す図である。
【図4】 本発明に係る磁気軸受装置の浮上制御系統の構成例を示す図である。
【図5】 本発明に係る磁気軸受装置の電磁石ドライブ部の構成例を示す図である。
【図6】 本発明に係る磁気軸受装置の電磁石ドライブ部の構成例を示す図である。
【図7】 本発明に係る磁気軸受装置の電磁石ドライブ部の構成例を示す図である。
【図8】 図8(a)は従来例の磁気軸受装置の電磁石コイルに印加される電圧波形、図8(b)は本発明の磁気軸受装置の電磁石コイルに印加される電圧波形を示す図である。
【図9】 図9(a)は従来の磁気軸受装置のセンサ信号波形、図9(b)は本発明の磁気軸受装置のセンサ信号波形を示す図である。
【図10】 本発明に係る軸受装置を構成する変位センサ及び電磁石の部分の構成例を示す図で、図10(a)は断面図、図10(b)は(a)のA−A矢視図である。
【符号の説明】
1 発振器
4 コンデンサ
5 被浮上体
6 差動増幅器
7 同期検波回路
8 位相補償回路
9 ドライブ回路
10 電磁石のコイル
11 電磁石
14 保護板
15 パワードライブ部
16 ノイズ除去フィルタ部
17 位相補償部
18 比較器
Claims (10)
- 電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して前記変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、前記変位センサと前記被浮上体の間に配置された非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系を備え、
前記変位センサは前記保護板を貫通するヨークを有することを特徴とする磁気軸受装置。 - 電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して前記変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、前記変位センサと前記被浮上体の間に配置された非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系を備え、
前記変位センサはヨークを有し、前記保護板はその一部が該ヨークと同一又は同質の磁性材料で構成され、該一部の磁性材料は該ヨークに隣接する該保護板内に埋め込まれていることを特徴とする磁気軸受装置。 - 電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して前記変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に励磁電流を供給するコントローラとを具備し、前記変位センサと前記被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、
前記PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して前記変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に電流を供給するコントローラとを具備し、前記変位センサと前記被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、
前記PWMドライバはその出力端子に接続されたノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 電磁気力で被浮上体を浮上させる電磁石と、該被浮上体の浮上位置を検出する誘導型の変位センサと、ケーブルを介して前記変位センサに信号と、ケーブルを介して前記電磁石に電流を供給するコントローラとを具備し、前記変位センサと前記被浮上体の間に非磁性体金属材からなる保護板を配置した構成の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記保護板に起因する異常信号が前記変位センサに作用することを防止するノイズ除去フィルタを有する浮上制御系と、PWMドライバを備え、
前記PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルとノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の磁気軸受装置において、
前記コントローラは前記変位センサのセンサ素子を付勢するパワードライバを有することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、
前記コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、
前記コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1又は2に記載の磁気軸受装置において、
前記コントローラはPWMドライバを備え、該PWMドライバはその出力端子に接続されたコモンモードコイルとノーマルモードコイルを通して前記電磁石を付勢することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項3又は4又は5に記載の磁気軸受装置において、
前記ノイズ除去フィルタにフィルタ回路若しくはフィルタ回路と位相補償回路の両方を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36404399A JP3901897B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-12-22 | 磁気軸受装置 |
US09/643,950 US6326712B1 (en) | 1999-08-25 | 2000-08-23 | Magnetic bearing device |
DE60015461T DE60015461T2 (de) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | Magnetlager |
KR1020000049193A KR100757529B1 (ko) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | 자기 베어링 장치 |
EP00117398A EP1079122B1 (en) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | Magnetic bearing device |
TW089117044A TW464734B (en) | 1999-08-25 | 2000-08-24 | Magnetic bearing device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-238193 | 1999-08-25 | ||
JP23819399 | 1999-08-25 | ||
JP36404399A JP3901897B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-12-22 | 磁気軸受装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001132747A JP2001132747A (ja) | 2001-05-18 |
JP2001132747A5 JP2001132747A5 (ja) | 2004-12-02 |
JP3901897B2 true JP3901897B2 (ja) | 2007-04-04 |
Family
ID=26533571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36404399A Expired - Lifetime JP3901897B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-12-22 | 磁気軸受装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6326712B1 (ja) |
EP (1) | EP1079122B1 (ja) |
JP (1) | JP3901897B2 (ja) |
KR (1) | KR100757529B1 (ja) |
DE (1) | DE60015461T2 (ja) |
TW (1) | TW464734B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001182746A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
US20030198128A1 (en) * | 2002-04-19 | 2003-10-23 | Carlson Roger W. | Mixing system having non-contacting bearings |
US7679248B2 (en) * | 2005-09-28 | 2010-03-16 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing system |
SG189798A1 (en) | 2008-04-17 | 2013-05-31 | Synchrony Inc | High-speed permanent magnet motor and generator with low-loss metal rotor |
WO2009140022A2 (en) | 2008-04-18 | 2009-11-19 | Ramsey Gary S | Magnetic thrust bearing with integrated electronics |
US9583991B2 (en) | 2009-06-24 | 2017-02-28 | Synchrony, Inc. | Systems, devices, and/or methods for managing magnetic bearings |
CZ302646B6 (cs) * | 2009-08-26 | 2011-08-10 | Rieter Cz S.R.O. | Zpusob stabilizace levitujícího rotujícího elementu a zarízení pro stabilizaci levitujícího rotujícího elementu |
KR101158812B1 (ko) * | 2010-03-02 | 2012-06-26 | 주식회사 디엔엠 테크놀로지 | 변위 센서 및 이를 이용한 자기 베어링 시스템 |
EP2586121B1 (en) | 2010-06-23 | 2019-12-11 | Synchrony, Inc. | Split magnetic thrust bearing |
EP2487801B1 (en) * | 2011-02-10 | 2018-09-05 | Nxp B.V. | Method and apparatus for reducing or removing click noise |
EP2589827A1 (en) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | ETH Zürich | Rotating electrical machine and method for measuring a displacement of a rotating electrical machine |
JP6079090B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2017-02-15 | 株式会社島津製作所 | 磁気浮上式真空ポンプおよび磁気浮上装置 |
KR102026009B1 (ko) * | 2018-01-05 | 2019-09-26 | 엘지전자 주식회사 | 자기 베어링 제어장치 및 그 제어방법 |
CN113167564B (zh) * | 2018-12-11 | 2023-06-27 | 日商乐华股份有限公司 | 静电电容传感器 |
JP7512753B2 (ja) * | 2020-08-07 | 2024-07-09 | 株式会社Ihi | 磁極および磁気軸受 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5563008A (en) | 1978-11-01 | 1980-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic bearing |
JPS59103019A (ja) | 1982-12-02 | 1984-06-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 磁気軸受の制御回路 |
JPS6166540A (ja) | 1984-09-08 | 1986-04-05 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
US4727270A (en) * | 1986-05-08 | 1988-02-23 | North American Philips Corporation | Noise immune circuit for use with frequency sensor |
JPH0516040Y2 (ja) * | 1987-03-20 | 1993-04-27 | ||
DE3910297A1 (de) * | 1989-03-30 | 1990-10-04 | Micro Epsilon Messtechnik | Beruehrungslos arbeitendes wegmesssystem |
JPH0797009B2 (ja) | 1989-12-29 | 1995-10-18 | 株式会社荏原製作所 | インダクタンス形変位センサ |
JPH0676809B2 (ja) | 1991-07-05 | 1994-09-28 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受装置 |
JPH05196040A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-06 | Ebara Corp | 磁気浮上制御装置 |
JPH0688591A (ja) | 1992-09-04 | 1994-03-29 | Ebara Corp | キャンドモータポンプ |
JPH0688592A (ja) | 1992-09-04 | 1994-03-29 | Ebara Corp | キャンドモータポンプ |
JP3107464B2 (ja) * | 1992-09-04 | 2000-11-06 | 株式会社荏原製作所 | キャンドモータ |
JP3315027B2 (ja) | 1995-11-14 | 2002-08-19 | 株式会社荏原製作所 | 高圧液中用磁気軸受 |
CA2202439A1 (en) | 1997-04-11 | 1998-10-11 | Revolve Technologies Inc. | Position sensor noise-reduction scheme for magnetic bearing control systems |
JP3544843B2 (ja) | 1997-12-02 | 2004-07-21 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受制御装置 |
-
1999
- 1999-12-22 JP JP36404399A patent/JP3901897B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-23 US US09/643,950 patent/US6326712B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-24 KR KR1020000049193A patent/KR100757529B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-08-24 TW TW089117044A patent/TW464734B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-08-24 EP EP00117398A patent/EP1079122B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-24 DE DE60015461T patent/DE60015461T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60015461T2 (de) | 2005-05-12 |
EP1079122B1 (en) | 2004-11-03 |
KR100757529B1 (ko) | 2007-09-11 |
DE60015461D1 (de) | 2004-12-09 |
KR20010021401A (ko) | 2001-03-15 |
US6326712B1 (en) | 2001-12-04 |
EP1079122A1 (en) | 2001-02-28 |
TW464734B (en) | 2001-11-21 |
JP2001132747A (ja) | 2001-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3901897B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2001132747A5 (ja) | ||
EP1942283B1 (en) | Magnetic bearing device and method of operating the device | |
US6617722B2 (en) | Magnetic levitation rotating machine | |
US8378543B2 (en) | Generating electromagnetic forces in large air gaps | |
JPH0560050B2 (ja) | ||
US20100301840A1 (en) | Measuring the position of an object | |
US9683601B2 (en) | Generating radial electromagnetic forces | |
JP2018132166A (ja) | 磁気軸受装置および真空ポンプ | |
JP4768712B2 (ja) | 位置を自動検出する能動型磁気ベアリング | |
JP3454062B2 (ja) | リニアモータ | |
EP1176325A2 (en) | Magnetic bearing apparatus | |
CA2773835C (en) | A device for detecting the axial position of a rotary shaft, and its application to a turbo-molecular pump | |
JPH09137828A (ja) | 超低温用磁気軸受 | |
JP4220859B2 (ja) | 磁気軸受 | |
JP5359108B2 (ja) | 磁気軸受変位検出方法及び検出装置 | |
JP3972529B2 (ja) | 鋼板の制振装置 | |
JP2792350B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2014045548A (ja) | 磁気軸受型真空ポンプ | |
JP3604276B2 (ja) | 誘導電動機およびその軸受摩耗の検知方法 | |
JPH0231020A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH07139546A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH0640407Y2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
JP2003307219A (ja) | センサユニット、これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンドル装置 | |
JPH056418Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031211 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20031211 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060517 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060512 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3901897 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |