JP2001182746A - 磁気軸受装置 - Google Patents
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/047—Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/42—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions corrosive, i.e. with aggressive media or harsh conditions
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステータとロータの間に非磁性体からなるキ
ャンを配置しても、センサ感度の低下、浮上用制御磁力
の減少及びモータステータの磁気回転力の減少がなく、
磁気軸受を構成するセンサ、電磁石及びモータを小型化
できる磁気軸受装置を提供すること。 【解決手段】 ロータ１９とステータの間に非磁性体か
らなるキャン１３を配置し、ステータ側に配置した電磁
石１０の磁気力によりロータ１９を浮上支持する磁気軸
受装置において、電磁石１０のヨーク１１をキャン１３
を貫通させるか又は該キャン１３の該電磁石１０のヨー
ク１１が対向する部分に磁性体部材１７を埋め込み、該
ヨーク１１を直接的又は該磁性体部材１７を介してロー
タ１９の電磁石ターゲット２０に非接触で対向させる。
ャンを配置しても、センサ感度の低下、浮上用制御磁力
の減少及びモータステータの磁気回転力の減少がなく、
磁気軸受を構成するセンサ、電磁石及びモータを小型化
できる磁気軸受装置を提供すること。 【解決手段】 ロータ１９とステータの間に非磁性体か
らなるキャン１３を配置し、ステータ側に配置した電磁
石１０の磁気力によりロータ１９を浮上支持する磁気軸
受装置において、電磁石１０のヨーク１１をキャン１３
を貫通させるか又は該キャン１３の該電磁石１０のヨー
ク１１が対向する部分に磁性体部材１７を埋め込み、該
ヨーク１１を直接的又は該磁性体部材１７を介してロー
タ１９の電磁石ターゲット２０に非接触で対向させる。
Description
【０００１】本発明はロータとステータの間に非磁性体
からなるキャンを配置し、ステータ側に配置した電磁石
の磁気力によりロータを浮上支持する磁気軸受装置に関
するものである。
からなるキャンを配置し、ステータ側に配置した電磁石
の磁気力によりロータを浮上支持する磁気軸受装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】腐食性ガス雰囲気等の特殊な雰囲気で使
用する磁気軸受装置は、ロータとステータの間に非磁性
体からなるキャンを配置し、ステータ側に配置された磁
気軸受の電磁石、ロータの変位や回転を検出するセン
サ、ロータに回転磁力を与えるモータステータを腐食性
ガスから保護している。
用する磁気軸受装置は、ロータとステータの間に非磁性
体からなるキャンを配置し、ステータ側に配置された磁
気軸受の電磁石、ロータの変位や回転を検出するセン
サ、ロータに回転磁力を与えるモータステータを腐食性
ガスから保護している。
【０００３】また、各種の処理ガスを取り扱う処理装置
等においては、上記のようにロータとステータとの間に
キャンを配することにより、ステータ側を密封し、該ス
テータ側から排出されるパーティクルや有機系ガス等に
より処理ガスが汚染されるのを防止している。
等においては、上記のようにロータとステータとの間に
キャンを配することにより、ステータ側を密封し、該ス
テータ側から排出されるパーティクルや有機系ガス等に
より処理ガスが汚染されるのを防止している。
【０００４】しかしながら、ロータとステータの間に非
磁性体からなるキャンを配置することは、その分ロータ
とステータとの間の磁気的間隔が大きくなり、磁気抵抗
が増大しロータを浮上制御するための制御磁力が小さく
なるという問題がある。また、大きい制御磁力を得るた
めには電磁石コイルのアンペアターン、即ち起磁力を大
きくする必要があり、電磁石が大型化するという問題が
ある。
磁性体からなるキャンを配置することは、その分ロータ
とステータとの間の磁気的間隔が大きくなり、磁気抵抗
が増大しロータを浮上制御するための制御磁力が小さく
なるという問題がある。また、大きい制御磁力を得るた
めには電磁石コイルのアンペアターン、即ち起磁力を大
きくする必要があり、電磁石が大型化するという問題が
ある。
【０００５】また、変位センサや回転センサにインダク
タンス式のセンサを用いた場合、センサヨークとロータ
ターゲットの間に非磁性体からなるキャンを配置するこ
とはその肉厚分センサヨークとターゲットとの間の磁気
的間隔が大きくなり、磁気抵抗が増大し、センサ感度が
低下するという問題がある。また、センサ感度を向上さ
せるためには検出コイルのアンペアターンを大きくする
必要があり、センサが大型化するという問題がある。
タンス式のセンサを用いた場合、センサヨークとロータ
ターゲットの間に非磁性体からなるキャンを配置するこ
とはその肉厚分センサヨークとターゲットとの間の磁気
的間隔が大きくなり、磁気抵抗が増大し、センサ感度が
低下するという問題がある。また、センサ感度を向上さ
せるためには検出コイルのアンペアターンを大きくする
必要があり、センサが大型化するという問題がある。
【０００６】また、ロータを回転力を与えるモータのス
テータとロータの間に非磁性体からなるキャンを配置す
ることはその肉厚分ステータとロータとの間の磁気的間
隔が大きくなったこととなり、磁気回転力が小さくなる
という問題がある。また、磁気回転力を大きくするため
にステータコイルのアンペアターンを大きくする必要が
あり、モータが大型化するという問題がある。また、効
率の悪化という問題もある。
テータとロータの間に非磁性体からなるキャンを配置す
ることはその肉厚分ステータとロータとの間の磁気的間
隔が大きくなったこととなり、磁気回転力が小さくなる
という問題がある。また、磁気回転力を大きくするため
にステータコイルのアンペアターンを大きくする必要が
あり、モータが大型化するという問題がある。また、効
率の悪化という問題もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、ステータとロータの間に非磁性体
からなるキャンを配置しても、センサ感度の低下、浮上
用制御磁力の減少及びモータステータの磁気回転力の減
少がなく、磁気軸受を構成するセンサ、電磁石及びモー
タを小型化できる磁気軸受装置を提供することを目的と
する。
みてなされたもので、ステータとロータの間に非磁性体
からなるキャンを配置しても、センサ感度の低下、浮上
用制御磁力の減少及びモータステータの磁気回転力の減
少がなく、磁気軸受を構成するセンサ、電磁石及びモー
タを小型化できる磁気軸受装置を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、ロータとステータの間に非磁
性体からなるキャンを配置し、ステータ側に配置した電
磁石の磁気力によりロータを浮上支持する磁気軸受装置
において、電磁石のヨークをキャンを貫通させるか又は
該キャンの該電磁石のヨークが対向する部分に磁性体材
を埋め込み、該ヨークを直接的又は該磁性体材を介して
ロータのターゲットに非接触で対向させることを特徴と
する。
請求項１に記載の発明は、ロータとステータの間に非磁
性体からなるキャンを配置し、ステータ側に配置した電
磁石の磁気力によりロータを浮上支持する磁気軸受装置
において、電磁石のヨークをキャンを貫通させるか又は
該キャンの該電磁石のヨークが対向する部分に磁性体材
を埋め込み、該ヨークを直接的又は該磁性体材を介して
ロータのターゲットに非接触で対向させることを特徴と
する。
【０００９】上記のように電磁石のヨークをキャンを貫
通させるか又は該キャンの該電磁石のヨークが対向する
部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分ヨークと
ロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少し、磁気抵
抗が減少するから、電磁石の小型化が可能となる。
通させるか又は該キャンの該電磁石のヨークが対向する
部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分ヨークと
ロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少し、磁気抵
抗が減少するから、電磁石の小型化が可能となる。
【００１０】また、請求項２に記載の発明は、ロータと
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータ側に配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支
持すると共に、該ロータの変位をステータ側に配置し変
位センサで検出する磁気軸受装置において、少なくとも
変位センサのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャ
ンの該変位センサのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性体材を介してロー
タのターゲットに非接触で対向させることを特徴とす
る。
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータ側に配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支
持すると共に、該ロータの変位をステータ側に配置し変
位センサで検出する磁気軸受装置において、少なくとも
変位センサのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャ
ンの該変位センサのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性体材を介してロー
タのターゲットに非接触で対向させることを特徴とす
る。
【００１１】上記のように変位センサのヨークをキャン
を貫通させるか又は該キャンの該変位センサのヨークが
対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分
ヨークとロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、変位センサの小型化が可
能となる。また、検出感度の改善が可能となる。
を貫通させるか又は該キャンの該変位センサのヨークが
対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分
ヨークとロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、変位センサの小型化が可
能となる。また、検出感度の改善が可能となる。
【００１２】また、請求項３に記載の発明は、ロータと
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータ側に配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支
持すると共に、該ロータの回転をステータ側に配置し回
転センサで検出する磁気軸受装置において、少なくとも
回転センサのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャ
ンの該回転センサのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性体材を介してロー
タのターゲットに非接触で対向させることを特徴とす
る。
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータ側に配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支
持すると共に、該ロータの回転をステータ側に配置し回
転センサで検出する磁気軸受装置において、少なくとも
回転センサのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャ
ンの該回転センサのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性体材を介してロー
タのターゲットに非接触で対向させることを特徴とす
る。
【００１３】上記のように回転センサのヨークをキャン
を貫通させるか又は該キャンの該回転センサのヨークが
対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分
ヨークとロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、回転センサの小型化が可
能となる。また、検出感度の改善が可能となる。
を貫通させるか又は該キャンの該回転センサのヨークが
対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるので、その分
ヨークとロータターゲットとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、回転センサの小型化が可
能となる。また、検出感度の改善が可能となる。
【００１４】また、請求項４に記載の発明は、ロータと
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータに配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支持
すると共に、該ロータをステータ側に配置したモータス
テータの磁気力で回転させる磁気軸受装置において、少
なくともモータステータのヨークをキャンを貫通させる
か又は該キャンの該モータステータのヨークが対向する
部分に磁性体材を埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性
体材を介してロータに非接触で対向させることを特徴と
する。
ステータの間に非磁性体からなるキャンを配置し、ステ
ータに配置した電磁石の磁気力によりロータを浮上支持
すると共に、該ロータをステータ側に配置したモータス
テータの磁気力で回転させる磁気軸受装置において、少
なくともモータステータのヨークをキャンを貫通させる
か又は該キャンの該モータステータのヨークが対向する
部分に磁性体材を埋め込み該ヨークを直接的又は該磁性
体材を介してロータに非接触で対向させることを特徴と
する。
【００１５】上記のようにモータステータのヨークをキ
ャンを貫通させるか又は該キャンの該モータステータの
ヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるの
で、その分ヨークとロータとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、モータの小型化が可能と
なる。また、効率の改善が可能となる。
ャンを貫通させるか又は該キャンの該モータステータの
ヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込んでいるの
で、その分ヨークとロータとの間の磁気的間隔が減少
し、磁気抵抗が減少するから、モータの小型化が可能と
なる。また、効率の改善が可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明に係る磁気軸受装
置のラジアル磁気軸受部の構成を示す図で、図１（ａ）
は側断面図、図１（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、
図１（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視面図である。１０は磁
気軸受を構成する電磁石であり、該電磁石１０はＵ字状
のヨーク１１を有し該ヨーク１１にコイル１２が装着さ
れている。また、１４はインダクタンス式のラジアル変
位センサであり、該ラジアル変位センサ１４はＵ字状の
ヨーク１５を有し該ヨーク１５に検出コイル１６が装着
されている。
面に基づいて説明する。図１は本発明に係る磁気軸受装
置のラジアル磁気軸受部の構成を示す図で、図１（ａ）
は側断面図、図１（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、
図１（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視面図である。１０は磁
気軸受を構成する電磁石であり、該電磁石１０はＵ字状
のヨーク１１を有し該ヨーク１１にコイル１２が装着さ
れている。また、１４はインダクタンス式のラジアル変
位センサであり、該ラジアル変位センサ１４はＵ字状の
ヨーク１５を有し該ヨーク１５に検出コイル１６が装着
されている。
【００１７】上記電磁石１０及びラジアル変位センサ１
４はステータ側（ステータフレームＳＴＦ）に固定さ
れ、ロータ１９に対向している。電磁石１０及びラジア
ル変位センサ１４とロータ１９の間にはキャン１３が配
置され、該キャン１３はステータ側に固定されている。
キャン１３は非磁性体材からなり、該キャン１３の電磁
石１０のヨーク１１先端が位置する部分及びラジアル変
位センサ１４のヨーク１５先端が位置する部分にはヨー
ク１１及びヨーク１５と同一又は同質の磁性体部材１
７、１８が埋め込まれ、その埋め込み部には溶接等によ
り接合シール部２２、２３が形成され、仕上加工されて
いる。
４はステータ側（ステータフレームＳＴＦ）に固定さ
れ、ロータ１９に対向している。電磁石１０及びラジア
ル変位センサ１４とロータ１９の間にはキャン１３が配
置され、該キャン１３はステータ側に固定されている。
キャン１３は非磁性体材からなり、該キャン１３の電磁
石１０のヨーク１１先端が位置する部分及びラジアル変
位センサ１４のヨーク１５先端が位置する部分にはヨー
ク１１及びヨーク１５と同一又は同質の磁性体部材１
７、１８が埋め込まれ、その埋め込み部には溶接等によ
り接合シール部２２、２３が形成され、仕上加工されて
いる。
【００１８】ロータ１９の電磁石１０のヨーク１１が磁
性体部材１７を介して対向している部分には磁性体から
なる電磁石ターゲット２０が固定されている。これによ
り電磁石１０で発生した磁束Φは図１（ｂ）に示すよう
に、ヨーク１１→磁性体部材１７→電磁石ターゲット２
０→磁性体部材１７→ヨーク１１に至る磁路を通り、ロ
ータ１９に磁気浮上力を与える。このように、キャン１
３の電磁石１０のヨーク１１先端が位置する部分にヨー
ク１１と同一又は同質の磁性体部材１７を埋め込むこと
により、非磁性体からなるキャン１３を設けても上記磁
路が磁気抵抗が増加することなく、電磁石１０の磁気浮
上力も減少しないから、電磁石１０の小型化が可能にな
る。
性体部材１７を介して対向している部分には磁性体から
なる電磁石ターゲット２０が固定されている。これによ
り電磁石１０で発生した磁束Φは図１（ｂ）に示すよう
に、ヨーク１１→磁性体部材１７→電磁石ターゲット２
０→磁性体部材１７→ヨーク１１に至る磁路を通り、ロ
ータ１９に磁気浮上力を与える。このように、キャン１
３の電磁石１０のヨーク１１先端が位置する部分にヨー
ク１１と同一又は同質の磁性体部材１７を埋め込むこと
により、非磁性体からなるキャン１３を設けても上記磁
路が磁気抵抗が増加することなく、電磁石１０の磁気浮
上力も減少しないから、電磁石１０の小型化が可能にな
る。
【００１９】また、ロータ１９のラジアル変位センサ１
４のヨーク１５が磁性体部材１８を介して対向している
部分には磁性体からなるセンサターゲット２１が固定さ
れている。これにより、ヨーク１５→磁性体部材１８→
センサターゲット２１→磁性体部材１８→ヨーク１５に
至る磁路が形成される。ロータ１９の変位により、磁性
体部材１８とセンサターゲット２１の間の隙間に変化が
生じ、磁路の磁気抵抗が変化することにより、検出コイ
ル１６、１６のインダクタンスが変化する。
４のヨーク１５が磁性体部材１８を介して対向している
部分には磁性体からなるセンサターゲット２１が固定さ
れている。これにより、ヨーク１５→磁性体部材１８→
センサターゲット２１→磁性体部材１８→ヨーク１５に
至る磁路が形成される。ロータ１９の変位により、磁性
体部材１８とセンサターゲット２１の間の隙間に変化が
生じ、磁路の磁気抵抗が変化することにより、検出コイ
ル１６、１６のインダクタンスが変化する。
【００２０】ラジアル変位センサ１４はこのインダクタ
ンス変化を利用して、ロータ１９の変位を検出する。こ
のように、キャン１３のラジアル変位センサ１４のヨー
ク１５が位置する部分に磁性体部材１８を埋め込むこと
により、非磁性体からなるキャン１３を設けても上記磁
路の磁気抵抗が増加することがなく、ラジアル変位セン
サ１４の感度が低下することがない。従って、検出コイ
ル１６、１６を大きくする必要がなく、ラジアル変位セ
ンサ１４の小型化が可能になる。
ンス変化を利用して、ロータ１９の変位を検出する。こ
のように、キャン１３のラジアル変位センサ１４のヨー
ク１５が位置する部分に磁性体部材１８を埋め込むこと
により、非磁性体からなるキャン１３を設けても上記磁
路の磁気抵抗が増加することがなく、ラジアル変位セン
サ１４の感度が低下することがない。従って、検出コイ
ル１６、１６を大きくする必要がなく、ラジアル変位セ
ンサ１４の小型化が可能になる。
【００２１】キャン１３に埋め込む磁性体部材１７及び
１８をヨーク１１及び１５と同一又は同質の磁性体とし
たが、例えば、キャン１３と同様に腐食性ガス等の腐食
環境に曝される磁性体部材１７及び１８には、腐食環境
に曝されることのないヨーク１１及び１５と異なる腐食
環境に強い磁性体材料を用いるとよい。なお、図１
（ｂ）において、ステータフレームＳＴＦ、キャン１３
及びロータ１９等の断面は実際は円弧をなしているが、
ここでは作図の便宜上直線で表している。
１８をヨーク１１及び１５と同一又は同質の磁性体とし
たが、例えば、キャン１３と同様に腐食性ガス等の腐食
環境に曝される磁性体部材１７及び１８には、腐食環境
に曝されることのないヨーク１１及び１５と異なる腐食
環境に強い磁性体材料を用いるとよい。なお、図１
（ｂ）において、ステータフレームＳＴＦ、キャン１３
及びロータ１９等の断面は実際は円弧をなしているが、
ここでは作図の便宜上直線で表している。
【００２２】図２は上記ラジアル磁気軸受の分解状態を
示す図で、ロータ１９は円柱又は円筒状で電磁石１０及
びラジアル変位センサ１４の位置する部分にはそれぞれ
磁性体からなる電磁石ターゲット２０、センサターゲッ
ト２１が固着されている。非磁性体からなるキャン１３
は円筒状で電磁石１０及びラジアル変位センサ１４の位
置する部分にはそれぞれ磁性体部材２０及び２１が埋め
込まれている。ステータ２４は円筒状のステータフレー
ムＳＴＦの内周壁に樹脂材等を充填して電磁石１０及び
ラジアル変位センサ１４を装着した構成で、その中央部
には上記キャン１３を嵌挿する貫通孔が形成されてい
る。キャン１３の外径と、貫通孔の内径は略等しく形成
し、キャン１３を冷却した状態で貫通孔に挿入すること
により固定している。
示す図で、ロータ１９は円柱又は円筒状で電磁石１０及
びラジアル変位センサ１４の位置する部分にはそれぞれ
磁性体からなる電磁石ターゲット２０、センサターゲッ
ト２１が固着されている。非磁性体からなるキャン１３
は円筒状で電磁石１０及びラジアル変位センサ１４の位
置する部分にはそれぞれ磁性体部材２０及び２１が埋め
込まれている。ステータ２４は円筒状のステータフレー
ムＳＴＦの内周壁に樹脂材等を充填して電磁石１０及び
ラジアル変位センサ１４を装着した構成で、その中央部
には上記キャン１３を嵌挿する貫通孔が形成されてい
る。キャン１３の外径と、貫通孔の内径は略等しく形成
し、キャン１３を冷却した状態で貫通孔に挿入すること
により固定している。
【００２３】キャン１３、該キャン１３に埋め込まれた
磁性体部材１７、１８、ロータ１９及び該ロータ１９に
固着された電磁石ターゲット２０、センサターゲット２
１に高耐食性の材料を用いることにより、高耐食性で組
立性の優れた磁気軸受を構成することができる。ここで
はターゲット２０、センサターゲット２１の材料として
はＰＢ、ＰＣ、電磁ステンレス鋼、Ｆｅ−Ｓｉ材を用い
る。キャン１３にＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３０４材を用
いている。そして電磁石１０のヨーク１１及びラジアル
変位センサ１４のヨーク１５には珪素鋼鈑の積層体を用
いている。
磁性体部材１７、１８、ロータ１９及び該ロータ１９に
固着された電磁石ターゲット２０、センサターゲット２
１に高耐食性の材料を用いることにより、高耐食性で組
立性の優れた磁気軸受を構成することができる。ここで
はターゲット２０、センサターゲット２１の材料として
はＰＢ、ＰＣ、電磁ステンレス鋼、Ｆｅ−Ｓｉ材を用い
る。キャン１３にＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３０４材を用
いている。そして電磁石１０のヨーク１１及びラジアル
変位センサ１４のヨーク１５には珪素鋼鈑の積層体を用
いている。
【００２４】また、上記例では、キャン１３に磁性体部
材１７、１８を埋め込み、該磁性体部材１７、１８を介
して電磁石１０のヨーク１１、ラジアル変位センサ１４
のヨーク１５をロータ１９の電磁石ターゲット２０、セ
ンサターゲット２１に非接触で対向させているが、電磁
石１０のヨーク１１、ラジアル変位センサ１４のヨーク
１５をそれぞれキャン１３を貫通させて配置し、直接的
にロータ１９の電磁石ターゲット２０、センサターゲッ
ト２１に非接触で対向させても、組立性は劣るが磁気的
には上記と同様の作用効果が得られる。
材１７、１８を埋め込み、該磁性体部材１７、１８を介
して電磁石１０のヨーク１１、ラジアル変位センサ１４
のヨーク１５をロータ１９の電磁石ターゲット２０、セ
ンサターゲット２１に非接触で対向させているが、電磁
石１０のヨーク１１、ラジアル変位センサ１４のヨーク
１５をそれぞれキャン１３を貫通させて配置し、直接的
にロータ１９の電磁石ターゲット２０、センサターゲッ
ト２１に非接触で対向させても、組立性は劣るが磁気的
には上記と同様の作用効果が得られる。
【００２５】図３は本発明に係る磁気軸受装置の回転セ
ンサ部の構成を示す図で、図３（ａ）は側断面図、図３
（ｂ）は回転ターゲットの一部平面図である。回転セン
サ３０はＵ字状のヨーク３１を具備し、該ヨーク３１に
検出コイル３２、３２が装着されている。３４は非磁性
体からなるキャンで、該キャン３４のヨーク３１の先端
が対向する位置に、該ヨーク３１と同一又は同質の磁性
体部材３３、３３が埋め込まれている。即ち、ヨーク３
１は磁性体部材３３、３３を介して回転ターゲット３５
と対向している。回転ターゲット３５は磁性体からな
り、円板状でロータ１９に固着され、その外周部には所
定の間隔でスリット３５ａが放射方向に形成されてい
る。
ンサ部の構成を示す図で、図３（ａ）は側断面図、図３
（ｂ）は回転ターゲットの一部平面図である。回転セン
サ３０はＵ字状のヨーク３１を具備し、該ヨーク３１に
検出コイル３２、３２が装着されている。３４は非磁性
体からなるキャンで、該キャン３４のヨーク３１の先端
が対向する位置に、該ヨーク３１と同一又は同質の磁性
体部材３３、３３が埋め込まれている。即ち、ヨーク３
１は磁性体部材３３、３３を介して回転ターゲット３５
と対向している。回転ターゲット３５は磁性体からな
り、円板状でロータ１９に固着され、その外周部には所
定の間隔でスリット３５ａが放射方向に形成されてい
る。
【００２６】上記構成の回転センサ３０において、ヨー
ク３１が磁性体部材３３、３３を介して、回転ターゲッ
トのスリット３５ａでない部分に対向した状態ではヨー
ク３１→磁性体部材３３→回転ターゲット３５→磁性体
部材３３→ヨーク３１に至る磁気抵抗の小さい磁路が形
成される。ヨーク３１が磁性体部材３３、３３を介して
スリット３５ａに対向すると、スリット３５ａの部分の
磁気抵抗が大きいから上記磁路の磁気抵抗が大きく変化
し、検出コイル３２、３２のインダクタンスが変化す
る。このインダクタンスの変化を利用してスリット３５
ａの単位時間当りの通過個数を検出することにより、ロ
ータ１９の回転速度を検出できる。
ク３１が磁性体部材３３、３３を介して、回転ターゲッ
トのスリット３５ａでない部分に対向した状態ではヨー
ク３１→磁性体部材３３→回転ターゲット３５→磁性体
部材３３→ヨーク３１に至る磁気抵抗の小さい磁路が形
成される。ヨーク３１が磁性体部材３３、３３を介して
スリット３５ａに対向すると、スリット３５ａの部分の
磁気抵抗が大きいから上記磁路の磁気抵抗が大きく変化
し、検出コイル３２、３２のインダクタンスが変化す
る。このインダクタンスの変化を利用してスリット３５
ａの単位時間当りの通過個数を検出することにより、ロ
ータ１９の回転速度を検出できる。
【００２７】このように、回転センサ３０のヨーク３１
の先端が位置する部分にヨーク３１と同一又は同質の磁
性体部材３３、３３を埋め込むことにより、非磁性体か
らなるキャン３４を設けても上記磁路の磁気抵抗が増加
することなく、回転センサ３０の小型化が可能になる。
また、キャン３４に磁性体部材３３、３３を埋め込み、
該磁性体部材３３、３３を介して回転センサ３０のヨー
ク３１をロータ１９の回転ターゲット３５に非接触で対
向させているが、ヨーク３１をそれぞれキャン３４を貫
通させて配置し、直接的に回転ターゲット３５に非接触
で対向させても、上記と同様の作用効果が得られる。
の先端が位置する部分にヨーク３１と同一又は同質の磁
性体部材３３、３３を埋め込むことにより、非磁性体か
らなるキャン３４を設けても上記磁路の磁気抵抗が増加
することなく、回転センサ３０の小型化が可能になる。
また、キャン３４に磁性体部材３３、３３を埋め込み、
該磁性体部材３３、３３を介して回転センサ３０のヨー
ク３１をロータ１９の回転ターゲット３５に非接触で対
向させているが、ヨーク３１をそれぞれキャン３４を貫
通させて配置し、直接的に回転ターゲット３５に非接触
で対向させても、上記と同様の作用効果が得られる。
【００２８】また、キャン３４に埋め込む磁性体部材３
３、３３をヨーク３１と同一又は同質の磁性体とした
が、例えば、キャン３４と同様、腐食性ガス等の腐食環
境に曝される磁性体部材３３、３３には、腐食環境に曝
されることのないヨーク３１と異なり、腐食環境に強い
磁性体材料を用いるとよい。
３、３３をヨーク３１と同一又は同質の磁性体とした
が、例えば、キャン３４と同様、腐食性ガス等の腐食環
境に曝される磁性体部材３３、３３には、腐食環境に曝
されることのないヨーク３１と異なり、腐食環境に強い
磁性体材料を用いるとよい。
【００２９】図４は本発明に係る磁気軸受装置のモータ
部の構成を示す断面図である。モータ部４０は内方突出
した４個の磁極４２を有するステータヨーク４１を具備
し、磁極４２はステータ巻線４３が装着されている。該
ステータヨーク４１の内周には非磁性体材からなる円筒
状のキャン１３が嵌挿されている。該キャン１３のステ
ータヨーク４１の磁極４２先端が位置する部分には該ス
テータヨーク４１と同一又は同質の磁性体部材４４が埋
め込まれ、該埋め込み部には溶接等により接合シール部
４５が形成されている。また、４６はロータ１９に設け
られたモータロータ（モータターゲット）である。
部の構成を示す断面図である。モータ部４０は内方突出
した４個の磁極４２を有するステータヨーク４１を具備
し、磁極４２はステータ巻線４３が装着されている。該
ステータヨーク４１の内周には非磁性体材からなる円筒
状のキャン１３が嵌挿されている。該キャン１３のステ
ータヨーク４１の磁極４２先端が位置する部分には該ス
テータヨーク４１と同一又は同質の磁性体部材４４が埋
め込まれ、該埋め込み部には溶接等により接合シール部
４５が形成されている。また、４６はロータ１９に設け
られたモータロータ（モータターゲット）である。
【００３０】上記のようにステータヨーク４１の磁極４
２をキャン１３に埋め込んだ磁性体部材４４を介してモ
ータロータ４６に非接触で対向させているので、非磁性
体のキャン１３を設けても、ヨークとロータとの間の磁
気的間隔が大きくなることはなく、磁気抵抗が増加する
ことがない。従って、モータステータの磁気回転力が減
少することなく、モータの小型化が可能となる。
２をキャン１３に埋め込んだ磁性体部材４４を介してモ
ータロータ４６に非接触で対向させているので、非磁性
体のキャン１３を設けても、ヨークとロータとの間の磁
気的間隔が大きくなることはなく、磁気抵抗が増加する
ことがない。従って、モータステータの磁気回転力が減
少することなく、モータの小型化が可能となる。
【００３１】また、上記例ではキャン１３に磁性体部材
４４を埋め込み、該磁性体部材４４を介してステータヨ
ーク４１の磁極４２をモータロータ４６に非接触で対向
させているが、磁極４２をそれぞれキャン１３を貫通さ
せて配置し、直接的にモータロータ４６に非接触で対向
させても、上記と同様の作用効果が得られる。
４４を埋め込み、該磁性体部材４４を介してステータヨ
ーク４１の磁極４２をモータロータ４６に非接触で対向
させているが、磁極４２をそれぞれキャン１３を貫通さ
せて配置し、直接的にモータロータ４６に非接触で対向
させても、上記と同様の作用効果が得られる。
【００３２】図５は本発明に係る磁気軸受装置のアキシ
ャル磁気軸受部の構成を示す図で、図５（ａ）は側断面
図であり、図５（ｂ）はその一部拡大図である。アキシ
ャル磁気軸受ＡＢはロータ１９に固着された円板状のタ
ーゲット５１の両面（図では上下面）に所定の間隙を設
けてステータフレームＳＴＦに固定されたリング状の電
磁石５２、５３が対向して配置されている。ここでは電
磁石５２と５３の間にスペーサ５５を介在させて固定す
ることにより、ターゲット５１の間に所定の間隙を設け
ている。
ャル磁気軸受部の構成を示す図で、図５（ａ）は側断面
図であり、図５（ｂ）はその一部拡大図である。アキシ
ャル磁気軸受ＡＢはロータ１９に固着された円板状のタ
ーゲット５１の両面（図では上下面）に所定の間隙を設
けてステータフレームＳＴＦに固定されたリング状の電
磁石５２、５３が対向して配置されている。ここでは電
磁石５２と５３の間にスペーサ５５を介在させて固定す
ることにより、ターゲット５１の間に所定の間隙を設け
ている。
【００３３】電磁石５２は図６に示すように、平面リン
グ状で断面Ｌ字状の２個の磁性体材からなるヨーク部材
５２−１と５２−２の間にリング状のコイル５２−３を
挟持した構成である。また、ヨーク部材５２−１はリン
グ状の非磁性体部材５２−４で同心円状に分割されてい
る。電磁石５３も図示は省略するが電磁石５２と同様に
平面リング状で断面Ｌ字状の２個のヨーク部材５３−１
と５３−２の間にリング状のコイル５３−３を挟持した
構成であり、ヨーク部５３−１は同心円状の内周部５２
−１ａと外周部５２−１ｂからなり、該内周部５２−１
ａと外周部５２−１ｂの間にリング状の非磁性体部材
（キャン）５３−４を介在させて、内周部５２−１ａと
外周部５２−１ｂを磁気的に分離させている。
グ状で断面Ｌ字状の２個の磁性体材からなるヨーク部材
５２−１と５２−２の間にリング状のコイル５２−３を
挟持した構成である。また、ヨーク部材５２−１はリン
グ状の非磁性体部材５２−４で同心円状に分割されてい
る。電磁石５３も図示は省略するが電磁石５２と同様に
平面リング状で断面Ｌ字状の２個のヨーク部材５３−１
と５３−２の間にリング状のコイル５３−３を挟持した
構成であり、ヨーク部５３−１は同心円状の内周部５２
−１ａと外周部５２−１ｂからなり、該内周部５２−１
ａと外周部５２−１ｂの間にリング状の非磁性体部材
（キャン）５３−４を介在させて、内周部５２−１ａと
外周部５２−１ｂを磁気的に分離させている。
【００３４】上記構成のアキシャル磁気軸受において、
電磁石５２の磁束Φは図５（ｂ）に示すように、ヨーク
部材５２−１→ターゲット５１→ヨーク部材５２−２→
ヨーク部材５２−１の磁路を通りターゲット５１に制御
磁力を与える。また、電磁石５３の磁束も同様な磁路を
通って制御磁力を与える。これによりターゲット５１が
固定されているロータ１９はアキシャル方向の所定位置
に浮上制御される。
電磁石５２の磁束Φは図５（ｂ）に示すように、ヨーク
部材５２−１→ターゲット５１→ヨーク部材５２−２→
ヨーク部材５２−１の磁路を通りターゲット５１に制御
磁力を与える。また、電磁石５３の磁束も同様な磁路を
通って制御磁力を与える。これによりターゲット５１が
固定されているロータ１９はアキシャル方向の所定位置
に浮上制御される。
【００３５】アキシャル磁気軸受ＡＢを上記のようにコ
イル５２−３をヨーク部材５２−１と５２−２で挟み込
む構成とすることにより、分解オーバホールの際、コイ
ル５２−３の取り外しが容易となる。また、ヨーク部材
５２−１の内周部５２−１ａと外周部５２−１ｂをヨー
ク部材５２−１にビス止めにて固定し、該内周部５２−
１ａと外周部５２−１ｂの間の間隙に、リング状の非磁
性体部材（キャン）５３−４を挿入し溶接加工にて接合
シール部５６を形成して接合する際に、コイル５２−３
を別にしておけるので、コイル５２−３の焼損を防止で
きる。
イル５２−３をヨーク部材５２−１と５２−２で挟み込
む構成とすることにより、分解オーバホールの際、コイ
ル５２−３の取り外しが容易となる。また、ヨーク部材
５２−１の内周部５２−１ａと外周部５２−１ｂをヨー
ク部材５２−１にビス止めにて固定し、該内周部５２−
１ａと外周部５２−１ｂの間の間隙に、リング状の非磁
性体部材（キャン）５３−４を挿入し溶接加工にて接合
シール部５６を形成して接合する際に、コイル５２−３
を別にしておけるので、コイル５２−３の焼損を防止で
きる。
【００３６】図７は本発明に係る磁気軸受装置を採用し
た回転機械の構成例を示す図である。図７において、１
９はロータであり、該ロータ１９の外周軸方向所定の位
置にはステータフレームＳＴＦに固定されたラジアル磁
気軸受ＲＢ１、ＲＢ２、モータＭ、アキシャル磁気軸受
ＡＢが配置され、ロータ１９の端部には回転羽根ＲＦが
固定されている。ラジアル磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２は、
図１に示すような構成で、電磁石１０、ラジアル変位セ
ンサ１４を具備し、それぞれステータフレームＳＴに固
定されている。また、ロータ１９の外周の電磁石１０の
ヨーク１１及びラジアル変位センサ１４のヨーク１５が
対向する位置には、それぞれ電磁石ターゲット２０、セ
ンサターゲット２１が固着されている。
た回転機械の構成例を示す図である。図７において、１
９はロータであり、該ロータ１９の外周軸方向所定の位
置にはステータフレームＳＴＦに固定されたラジアル磁
気軸受ＲＢ１、ＲＢ２、モータＭ、アキシャル磁気軸受
ＡＢが配置され、ロータ１９の端部には回転羽根ＲＦが
固定されている。ラジアル磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２は、
図１に示すような構成で、電磁石１０、ラジアル変位セ
ンサ１４を具備し、それぞれステータフレームＳＴに固
定されている。また、ロータ１９の外周の電磁石１０の
ヨーク１１及びラジアル変位センサ１４のヨーク１５が
対向する位置には、それぞれ電磁石ターゲット２０、セ
ンサターゲット２１が固着されている。
【００３７】モータＭは図４に示すような構成であり、
ステータヨーク４１はステータフレームＳＴＦに固定さ
れている。ロータ１９の外周のステータヨーク４１の磁
極４２が対向する位置には、モータロータ４６が固着さ
れている。アキシャル磁気軸受ＡＢは図５に示すような
構成で、ロータ１９に固着されたターゲット５１と該タ
ーゲット５１を挟んでステータフレームＳＴＦに固定さ
れた電磁石５２、５３が配置されている。キャン１３は
モータＭ及びその両側に配置されたラジアル磁気軸受Ｒ
Ｂ１、ＲＢ２をカバーする範囲に円筒状でその両端をス
テータ側板６１、６２に固着している。
ステータヨーク４１はステータフレームＳＴＦに固定さ
れている。ロータ１９の外周のステータヨーク４１の磁
極４２が対向する位置には、モータロータ４６が固着さ
れている。アキシャル磁気軸受ＡＢは図５に示すような
構成で、ロータ１９に固着されたターゲット５１と該タ
ーゲット５１を挟んでステータフレームＳＴＦに固定さ
れた電磁石５２、５３が配置されている。キャン１３は
モータＭ及びその両側に配置されたラジアル磁気軸受Ｒ
Ｂ１、ＲＢ２をカバーする範囲に円筒状でその両端をス
テータ側板６１、６２に固着している。
【００３８】また、キャン１３の外周軸方向のラジアル
磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２の電磁石１０のヨーク１１、ラ
ジアル変位センサ１４のヨーク１５の対向する位置には
図１に示すように磁性体部材１７、１８が埋め込まれて
いる。また、モータＭの磁極（ヨーク）４２が対向する
位置には図４に示すように磁性体部材４４が埋め込まれ
ている。なお、図７では図示を省略するが、図３に示す
構成の回転センサも設けている。
磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２の電磁石１０のヨーク１１、ラ
ジアル変位センサ１４のヨーク１５の対向する位置には
図１に示すように磁性体部材１７、１８が埋め込まれて
いる。また、モータＭの磁極（ヨーク）４２が対向する
位置には図４に示すように磁性体部材４４が埋め込まれ
ている。なお、図７では図示を省略するが、図３に示す
構成の回転センサも設けている。
【００３９】図７の６５はロータ１９の軸方向の変位を
検出するアキシャル変位センサであり、該アキシャル変
位センサ６５は渦電流式のセンサでり、ロータ１９に固
着されたターゲット６６に対向して配置されている。該
アキシャル変位センサ６５は不導電体材（例えばＳｉＯ
2）のケーシング６７に収容されて配置されている。ま
た、６３及び６４はタッチダウンベアリングである。
検出するアキシャル変位センサであり、該アキシャル変
位センサ６５は渦電流式のセンサでり、ロータ１９に固
着されたターゲット６６に対向して配置されている。該
アキシャル変位センサ６５は不導電体材（例えばＳｉＯ
2）のケーシング６７に収容されて配置されている。ま
た、６３及び６４はタッチダウンベアリングである。
【００４０】回転機械を図７に示すような構造とするこ
とにより、ステータ部をキャン１３で覆った、所謂キャ
ン構造としても、ラジアル磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２、モ
ータＭ等を小型化することができるから、回転機械全体
をコンパクトに構成できる。また、ラジアル磁気軸受Ｒ
Ｂ１、ＲＢ２及びモータＭが組立性に優れた構成とな
る。アキシャル磁気軸受ＡＢも組立分解が容易な構成と
なる。
とにより、ステータ部をキャン１３で覆った、所謂キャ
ン構造としても、ラジアル磁気軸受ＲＢ１、ＲＢ２、モ
ータＭ等を小型化することができるから、回転機械全体
をコンパクトに構成できる。また、ラジアル磁気軸受Ｒ
Ｂ１、ＲＢ２及びモータＭが組立性に優れた構成とな
る。アキシャル磁気軸受ＡＢも組立分解が容易な構成と
なる。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように各請求項に記載の発
明によれば下記のような優れた効果が得られる。
明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【００４２】上記課題を解決するため請求項１に記載の
発明によれば、電磁石のヨークをキャンを貫通させるか
又は該キャンの該電磁石のヨークが対向する部分に磁性
体材を埋め込んでいるので、その分ヨークとロータター
ゲットとの間の磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少す
るから、電磁石の小型化が可能となる。
発明によれば、電磁石のヨークをキャンを貫通させるか
又は該キャンの該電磁石のヨークが対向する部分に磁性
体材を埋め込んでいるので、その分ヨークとロータター
ゲットとの間の磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少す
るから、電磁石の小型化が可能となる。
【００４３】請求項２に記載の発明によれば、変位セン
サのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの該変
位センサのヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込ん
でいるので、その分ヨークとロータターゲットとの間の
磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、変位セ
ンサの小型化が可能となる。また、検出感度の改善が可
能となる。
サのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの該変
位センサのヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込ん
でいるので、その分ヨークとロータターゲットとの間の
磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、変位セ
ンサの小型化が可能となる。また、検出感度の改善が可
能となる。
【００４４】請求項３に記載の発明によれば、回転セン
サのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの該回
転センサのヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込ん
でいるので、その分ヨークとロータターゲットとの間の
磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、回転セ
ンサの小型化が可能となる。また、検出感度の改善が可
能となる。
サのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの該回
転センサのヨークが対向する部分に磁性体材を埋め込ん
でいるので、その分ヨークとロータターゲットとの間の
磁気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、回転セ
ンサの小型化が可能となる。また、検出感度の改善が可
能となる。
【００４５】請求項４に記載の発明によれば、モータス
テータのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの
該モータステータのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込んでいるので、その分ヨークとロータとの間の磁
気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、モータの
小型化が可能となる。また、効率の改善が可能となる。
テータのヨークをキャンを貫通させるか又は該キャンの
該モータステータのヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込んでいるので、その分ヨークとロータとの間の磁
気的間隔が減少し、磁気抵抗が減少するから、モータの
小型化が可能となる。また、効率の改善が可能となる。
【図１】本発明に係る磁気軸受装置のラジアル磁気軸受
部の構成を示す図で、図１（ａ）は側断面図、図１
（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、図１（ｃ）は
（ａ）のＢ−Ｂ矢視面図である。
部の構成を示す図で、図１（ａ）は側断面図、図１
（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、図１（ｃ）は
（ａ）のＢ−Ｂ矢視面図である。
【図２】本発明に係る磁気軸受装置のラジアル磁気軸受
の分解状態を示す図である。
の分解状態を示す図である。
【図３】本発明に係る磁気軸受装置の回転センサ部の構
成を示す図で、図３（ａ）は側断面図、図３（ｂ）は回
転ターゲットの一部平面図である。
成を示す図で、図３（ａ）は側断面図、図３（ｂ）は回
転ターゲットの一部平面図である。
【図４】本発明に係る磁気軸受装置のモータ部の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】本発明に係る磁気軸受装置のアキシャル磁気軸
受部の構成を示す図で、図５（ａ）は側断面図であり、
図５（ｂ）はその一部拡大図である。
受部の構成を示す図で、図５（ａ）は側断面図であり、
図５（ｂ）はその一部拡大図である。
【図６】本発明に係る磁気軸受装置のアキシャル磁気軸
受部の電磁石の分解斜視図である。
受部の電磁石の分解斜視図である。
【図７】本発明に係る磁気軸受装置を採用した回転機械
の構成例を示す図である。
の構成例を示す図である。
１０ 電磁石 １１ ヨーク １２ コイル １３ キャン １４ ラジアル変位センサ １５ ヨーク １６ 検出コイル １７ 磁性体部材 １８ 磁性体部材 １９ ロータ ２０ 電磁石ターゲット ２１ センサターゲット ２２ 接合シール部 ２３ 接合シール部 ２４ ステータ ３０ 回転センサ ３１ ヨーク ３２ 検出コイル ３３ 磁性体部材 ３４ キャン ３５ 回転ターゲット ３６ 接合シール部 ４０ モータ部 ４１ ステータヨーク ４２ 磁極 ４３ ステータ巻線 ４４ 磁性体部材 ４５ 接合シール部 ４６ モータロータ ５１ ターゲット ５２ 電磁石 ５３ 電磁石 ５４ Ｏリング ５５ スペーサ ５６ 接合シール部 ６１ ステータ側板 ６２ ステータ側板 ６３ ダッチダウンベアリング ６４ ダッチダウンベアリング ６５ アキシャル変位センサ ６６ ターゲット ６７ ケーシング
Claims (4)
- 【請求項１】 ロータとステータの間に非磁性体からな
るキャンを配置し、ステータ側に配置した電磁石の磁気
力によりロータを浮上支持する磁気軸受装置において、 前記電磁石のヨークを前記キャンを貫通させるか又は該
キャンの該電磁石のヨークが対向する部分に磁性体材を
埋め込み、該ヨークを直接的又は該磁性体材を介して前
記ロータのターゲットに非接触で対向させることを特徴
とする磁気軸受装置。 - 【請求項２】 ロータとステータの間に非磁性体からな
るキャンを配置し、ステータ側に配置した電磁石の磁気
力によりロータを浮上支持すると共に、該ロータの変位
をステータ側に配置し変位センサで検出する磁気軸受装
置において、 少なくとも前記変位センサのヨークを前記キャンを貫通
させるか又は該キャンの該変位センサのヨークが対向す
る部分に磁性体材を埋め込み該ヨークを直接的又は該磁
性体材を介して前記ロータのターゲットに非接触で対向
させることを特徴とする磁気軸受装置。 - 【請求項３】 ロータとステータの間に非磁性体からな
るキャンを配置し、ステータ側に配置した電磁石の磁気
力によりロータを浮上支持すると共に、該ロータの回転
をステータ側に配置し回転センサで検出する磁気軸受装
置において、 少なくとも前記回転センサのヨークを前記キャンを貫通
させるか又は該キャンの該回転センサのヨークが対向す
る部分に磁性体材を埋め込み該ヨークを直接的又は該磁
性体材を介して前記ロータのターゲットに非接触で対向
させることを特徴とする磁気軸受装置。 - 【請求項４】 ロータとステータの間に非磁性体からな
るキャンを配置し、ステータに配置した電磁石の磁気力
によりロータを浮上支持すると共に、該ロータをステー
タ側に配置したモータステータの磁気力で回転させる磁
気軸受装置において、 少なくとも前記モータステータのヨークを前記キャンを
貫通させるか又は該キャンの該モータステータのヨーク
が対向する部分に磁性体材を埋め込み該ヨークを直接的
又は該磁性体材を介して前記ロータに非接触で対向させ
ることを特徴とする磁気軸受装置。
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