JPH04179626A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH04179626A JPH04179626A JP30700190A JP30700190A JPH04179626A JP H04179626 A JPH04179626 A JP H04179626A JP 30700190 A JP30700190 A JP 30700190A JP 30700190 A JP30700190 A JP 30700190A JP H04179626 A JPH04179626 A JP H04179626A
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- Japan
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- yoke
- tunnel
- conveyance
- bored
- transfer chamber
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- Pending
Links
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空の搬送室内を磁気浮上により搬送台を非
接触で移動させる磁気浮上搬送装置に関する。
接触で移動させる磁気浮上搬送装置に関する。
［従来の技術］
かかる装置は知られており、特に半導体製造における工
程間のウェハの搬送に用いられている。
程間のウェハの搬送に用いられている。
［発明が解決しようとする課題］
かかる装置において、搬送台を浮上、案内、制動する電
磁石及び駆動するりニアモータは、一般にすべて搬送路
内に設けられている。
磁石及び駆動するりニアモータは、一般にすべて搬送路
内に設けられている。
したがって、これら電磁石及びリニアモータのコイル部
分の熱が搬送台に伝達されてそこに保有（蓄熱）され、
該搬送台の温度が上昇してそこに載置される被搬送物に
悪影響を及ぼす。
分の熱が搬送台に伝達されてそこに保有（蓄熱）され、
該搬送台の温度が上昇してそこに載置される被搬送物に
悪影響を及ぼす。
また、配線コード、モールド材、被覆の樹脂成分が放出
されるので、電磁石及びリニアモータのコイル部分によ
り搬送室内の雰囲気が汚染され、かつ、真空度が低下す
る。
されるので、電磁石及びリニアモータのコイル部分によ
り搬送室内の雰囲気が汚染され、かつ、真空度が低下す
る。
これに加えて、保守管理が面倒である等、種々の不具合
があった。
があった。
本発明は、搬送台を浮上、案内、制動及び駆動する電磁
石及びモータによる搬送台の温度上昇、搬送路内の雰囲
気の汚染及び真空度の低下を防止すると共に、電磁石及
びモータの保守管理を容易にする磁気浮上搬送装置を提
供することを目的としている。
石及びモータによる搬送台の温度上昇、搬送路内の雰囲
気の汚染及び真空度の低下を防止すると共に、電磁石及
びモータの保守管理を容易にする磁気浮上搬送装置を提
供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明の磁気浮上搬送装置は、真空の搬送室内を磁気浮
上により搬送台を非接触で移動させる磁気浮上搬送装置
において、前記搬送台を浮上、案内、制動及び駆動する
電磁石及びモータのコイル部分を前記搬送室の外側に配
設し、継鉄を該搬送室壁の透孔から内部に臨ませて該搬
送室壁と前記継鉄とを接合手段により密着すると共に、
該搬送室を非磁性体で形成している。
上により搬送台を非接触で移動させる磁気浮上搬送装置
において、前記搬送台を浮上、案内、制動及び駆動する
電磁石及びモータのコイル部分を前記搬送室の外側に配
設し、継鉄を該搬送室壁の透孔から内部に臨ませて該搬
送室壁と前記継鉄とを接合手段により密着すると共に、
該搬送室を非磁性体で形成している。
本発明の実施に際して、上記接合手段は、ろう付は等が
好ましい。
好ましい。
［作用］
上記のように構成された本発明の磁気浮上搬送装置によ
れば、電磁石及びモータのコイル部分が搬送路の外側に
設けられているので、コイル部分の熱が搬送台に伝達す
るのが防止される。
れば、電磁石及びモータのコイル部分が搬送路の外側に
設けられているので、コイル部分の熱が搬送台に伝達す
るのが防止される。
また、熱により配線コード、モールド材、被覆の樹脂成
分が放出されるので、コイル部分による搬送路内の雰囲
気の汚染、真空度の低下が防止される。
分が放出されるので、コイル部分による搬送路内の雰囲
気の汚染、真空度の低下が防止される。
［実施例コ
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図において、筒状の搬送トンネル１は、非磁性体で
形成され、内部には、筒状の搬送台１０が磁気浮上によ
り移動されるようになっている。
形成され、内部には、筒状の搬送台１０が磁気浮上によ
り移動されるようになっている。
この搬送トンネル１の上部には、浮上用電磁石４が設け
られ、底部には、浮上変位検出センサ８が設けられてい
る。
られ、底部には、浮上変位検出センサ８が設けられてい
る。
前記電磁石４の電磁コイル５が巻回された継鉄６の両端
部は、搬送トンネル１に穿設された透孔２．２に挿入さ
れ、端面はトンネル内面と面一に形成されており、継鉄
６と透孔２とは、接合手段であるろう付は部７により密
着されている。
部は、搬送トンネル１に穿設された透孔２．２に挿入さ
れ、端面はトンネル内面と面一に形成されており、継鉄
６と透孔２とは、接合手段であるろう付は部７により密
着されている。
前記変位検出センサ８は、搬送トンネル１に穿設された
透孔３に挿入され、端面はトンネル内面と面一に形成さ
れており、センサ８と透孔３とは、ろう付は部７により
密着されている。
透孔３に挿入され、端面はトンネル内面と面一に形成さ
れており、センサ８と透孔３とは、ろう付は部７により
密着されている。
その変位検出センサ８は、電気回路Ｌ１によりセンサア
ンプ９を介して制御ユニット１０に接続され、このユニ
ット１０には、補償回路１１、パワーアンプ１２及び電
気回路Ｌ２を介して電磁コイル５が接続されている。
ンプ９を介して制御ユニット１０に接続され、このユニ
ット１０には、補償回路１１、パワーアンプ１２及び電
気回路Ｌ２を介して電磁コイル５が接続されている。
このように構成された第１図の実施例の作動に際しては
、電磁石４を励磁して搬送台２０を磁気浮上させ、図示
しないリニアモータで移動させる。
、電磁石４を励磁して搬送台２０を磁気浮上させ、図示
しないリニアモータで移動させる。
そして、浮上変位検出センサ８で浮上位置を検出し、制
御ユニット１０はその信号に基づき、所定の浮上位置に
なるように電磁コイル５に制御電流を出力する。
御ユニット１０はその信号に基づき、所定の浮上位置に
なるように電磁コイル５に制御電流を出力する。
この電磁石４の電磁コイル５は、搬送トンネル１の外側
に設けられ、継鉄６と透孔２とはろう付は部７で密着さ
れているので、電磁コイル５の熱が搬送台２０に伝達す
るのが防止される。また、電磁コイル５が搬送トンネル
１の外側に設けられていることから、該トンネル１内の
雰囲気の汚染が防止され、真空度が向上される。
に設けられ、継鉄６と透孔２とはろう付は部７で密着さ
れているので、電磁コイル５の熱が搬送台２０に伝達す
るのが防止される。また、電磁コイル５が搬送トンネル
１の外側に設けられていることから、該トンネル１内の
雰囲気の汚染が防止され、真空度が向上される。
第２図及び第３図は本発明の別の実施例を示す。
搬送台２ＯＡを収めた搬送トンネルＩＡの上部に、電磁
石４．４をＺ軸に対して左右等角度に配設し、搬送台２
ＯＡの山形の頂面に対向させ、２個の浮上位置検出セン
サ８．８を山形頂面のターゲットＡに対向させた例であ
る。なお、図中の符号Ｗは、半導体のウェハである。こ
の実施例では、前記実施例と同じ作用効果があり、また
、センサ８．８により搬送台２ＯＡの２軸方向すなわち
浮上位置変位を検出すると共に、Ｚ軸に対する傾き量を
検出するようにしている。
石４．４をＺ軸に対して左右等角度に配設し、搬送台２
ＯＡの山形の頂面に対向させ、２個の浮上位置検出セン
サ８．８を山形頂面のターゲットＡに対向させた例であ
る。なお、図中の符号Ｗは、半導体のウェハである。こ
の実施例では、前記実施例と同じ作用効果があり、また
、センサ８．８により搬送台２ＯＡの２軸方向すなわち
浮上位置変位を検出すると共に、Ｚ軸に対する傾き量を
検出するようにしている。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したように構成されているので、搬
送台の温度上昇、搬送トンネル内の雰囲気の汚染を防止
し、真空度を向上することができる。
送台の温度上昇、搬送トンネル内の雰囲気の汚染を防止
し、真空度を向上することができる。
また、電磁石、リニアモータ等の保守管理を容易にする
ことができる。
ことができる。
第１図及び第２図は本発明のそれぞれ異なる実施例を示
す搬送方向に直交する断面図、第３図は第２図の搬送ト
ンネルの側断面図である。 １、ＩＡ・・・搬送トンネル ４・・・電磁石 ５
・・・電磁コイル ６・・・継鉄７・・・ろう付は部 第２図 手続補正書 平成３年３月７日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、 事件の表示 特願平２−３０７００１号 ２゜ 発明の名称 磁気浮上搬送装置 ３、 補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 東京都大田区羽田旭町１１番１号名 称 （
０２３） 株式会社荏原製作所代表者 藤村宏幸 ４、 代理人〒１０５ 住 所 東京都港区西新橋２丁目１３番３号５、 補
正命令の日付 自発補正 ６、 補正の対象 図面 ７、 補正の内容 （１） 図面第３図を別紙訂正図面の通り補正します。 ８、 添付書類の目録 （１） 訂正図面（第３図） １通第３図
す搬送方向に直交する断面図、第３図は第２図の搬送ト
ンネルの側断面図である。 １、ＩＡ・・・搬送トンネル ４・・・電磁石 ５
・・・電磁コイル ６・・・継鉄７・・・ろう付は部 第２図 手続補正書 平成３年３月７日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、 事件の表示 特願平２−３０７００１号 ２゜ 発明の名称 磁気浮上搬送装置 ３、 補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 東京都大田区羽田旭町１１番１号名 称 （
０２３） 株式会社荏原製作所代表者 藤村宏幸 ４、 代理人〒１０５ 住 所 東京都港区西新橋２丁目１３番３号５、 補
正命令の日付 自発補正 ６、 補正の対象 図面 ７、 補正の内容 （１） 図面第３図を別紙訂正図面の通り補正します。 ８、 添付書類の目録 （１） 訂正図面（第３図） １通第３図
Claims (1)
- 真空の搬送室内を磁気浮上により搬送台を非接触で移
動させる磁気浮上搬送装置において、前記搬送台を浮上
、案内、制動及び駆動する電磁石及びモータのコイル部
分を前記搬送室の外側に配設し、継鉄を該搬送室壁の透
孔から内部に臨ませて該搬送室壁と前記継鉄とを接合手
段により密着すると共に、該搬送室を非磁性体で形成し
たことを特徴とする磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30700190A JPH04179626A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30700190A JPH04179626A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04179626A true JPH04179626A (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=17963822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30700190A Pending JPH04179626A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04179626A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6570285B2 (en) | 1999-12-27 | 2003-05-27 | Ebara Corporation | Magnetic bearing apparatus having a protective non-magnetic can |
| CN101837790A (zh) * | 2010-06-06 | 2010-09-22 | 张耀平 | 动力系统外置式薄壁真空管道磁浮交通系统 |
| CN108860170A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-11-23 | 武汉理工大学 | 一种真空管道磁悬浮列车真空接驳系统 |
-
1990
- 1990-11-15 JP JP30700190A patent/JPH04179626A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6570285B2 (en) | 1999-12-27 | 2003-05-27 | Ebara Corporation | Magnetic bearing apparatus having a protective non-magnetic can |
| CN101837790A (zh) * | 2010-06-06 | 2010-09-22 | 张耀平 | 动力系统外置式薄壁真空管道磁浮交通系统 |
| CN108860170A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-11-23 | 武汉理工大学 | 一种真空管道磁悬浮列车真空接驳系统 |
| CN108860170B (zh) * | 2018-03-19 | 2020-04-21 | 武汉理工大学 | 一种真空管道磁悬浮列车真空接驳系统 |
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