JPH0640407Y2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH0640407Y2 JPH0640407Y2 JP14787888U JP14787888U JPH0640407Y2 JP H0640407 Y2 JPH0640407 Y2 JP H0640407Y2 JP 14787888 U JP14787888 U JP 14787888U JP 14787888 U JP14787888 U JP 14787888U JP H0640407 Y2 JPH0640407 Y2 JP H0640407Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- iron core
- sensor
- legs
- gap
- levitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は移動体を浮上用電磁石により浮上させてリニア
モータにより搬送する磁気浮上搬送装置に関するもの
で、とくにガイドレールと移動体との間の空隙長さを検
出するギャップセンサと浮上用電磁石の配置に関するも
のである。
モータにより搬送する磁気浮上搬送装置に関するもの
で、とくにガイドレールと移動体との間の空隙長さを検
出するギャップセンサと浮上用電磁石の配置に関するも
のである。
［従来の技術］ 従来、IC製造装置等で使用される磁気浮上搬送装置の浮
上制御系は、IC等を載せて搬送する移動体に固定された
浮上用電磁石と、浮上用電磁石に適宜長さの空隙長さを
介して対向し、搬送方向に伸びる強磁性体からなるガイ
ドレールと、浮上用電磁石とガイドレールとの間の空隙
長さを検出するギャップセンサから構成されている。ギ
ャップセンサはその検出値により浮上用電磁石の制御巻
線電流を制御するため、浮上用電磁石１個に対しそれぞ
れ１個設け、かつ出来るだけ浮上用電磁石の磁極の近く
に配置される。従って、第３図および第４図に示すよう
に、浮上用電磁石１のＵ字状の鉄心11の両脚に制御巻線
12を設け、同様にＵ字状のセンサ鉄心41の両脚に励磁巻
線42と検出巻線43を設けたリラクタンス形のギャップセ
ンサ４を鉄心11の両脚が並ぶ延長線の方向に隣接し、か
つセンサ鉄心41の両脚が前記延長線の方向に沿って並ぶ
ように配置されている。
上制御系は、IC等を載せて搬送する移動体に固定された
浮上用電磁石と、浮上用電磁石に適宜長さの空隙長さを
介して対向し、搬送方向に伸びる強磁性体からなるガイ
ドレールと、浮上用電磁石とガイドレールとの間の空隙
長さを検出するギャップセンサから構成されている。ギ
ャップセンサはその検出値により浮上用電磁石の制御巻
線電流を制御するため、浮上用電磁石１個に対しそれぞ
れ１個設け、かつ出来るだけ浮上用電磁石の磁極の近く
に配置される。従って、第３図および第４図に示すよう
に、浮上用電磁石１のＵ字状の鉄心11の両脚に制御巻線
12を設け、同様にＵ字状のセンサ鉄心41の両脚に励磁巻
線42と検出巻線43を設けたリラクタンス形のギャップセ
ンサ４を鉄心11の両脚が並ぶ延長線の方向に隣接し、か
つセンサ鉄心41の両脚が前記延長線の方向に沿って並ぶ
ように配置されている。
［考案が解決しようとする課題］ ところで、このように浮上用電磁石とギャップセンサの
位置が接近すると電磁石に電流を流した場合、漏れ磁束
がギャップセンサに影響するが、ギャップセンサの浮上
用電磁石に近い方のセンサ鉄心の脚と遠い方のセンサ鉄
心の脚に与える漏れ磁束の影響はアンバランスとなり、
ギャップセンサの検出信号が振幅変調を受け、正確な空
隙長さを検出できない。またこの変調を避けるためギャ
ップセンサの検出信号を改善する処理回路を設けると、
制御電流に対するギャップセンサの検出電圧のゲイン位
相特性は第６図のボード線図に示すように、例えば制御
電流の100HZ付近で0dB以上となるようにゲイン位相特性
が悪化し、浮上制御系のゲインが上げられず、剛性の低
い制御系になってしまうという欠点があった。
位置が接近すると電磁石に電流を流した場合、漏れ磁束
がギャップセンサに影響するが、ギャップセンサの浮上
用電磁石に近い方のセンサ鉄心の脚と遠い方のセンサ鉄
心の脚に与える漏れ磁束の影響はアンバランスとなり、
ギャップセンサの検出信号が振幅変調を受け、正確な空
隙長さを検出できない。またこの変調を避けるためギャ
ップセンサの検出信号を改善する処理回路を設けると、
制御電流に対するギャップセンサの検出電圧のゲイン位
相特性は第６図のボード線図に示すように、例えば制御
電流の100HZ付近で0dB以上となるようにゲイン位相特性
が悪化し、浮上制御系のゲインが上げられず、剛性の低
い制御系になってしまうという欠点があった。
本考案は上記欠点を除き、制御系の安定化と装置の小型
化を図ることを目的とするものである。
化を図ることを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 本案はＵ字状の鉄心に制御巻線を設け、移動体に固定さ
れた浮上用電磁石と、浮上用電磁石に適宜長さの空隙長
さを介して対向し、搬送方向に伸びる強磁性体からなる
ガイドレールと、ガイドレールと適宜長さの空隙長さを
介して対向するＵ字状のセンサ鉄心の両脚に励磁巻線と
検出巻線を設けたリラクタンス形のギャップセンサとを
備えた磁気浮上搬送装置において、ギャップセンサを浮
上用電磁石の鉄心の両脚が並ぶ延長線の方向に隣接し、
かつセンサ鉄心の両脚が前記延長線の方向と直角方向に
並ぶように配置し、両脚の検出巻線を直列に接続したも
のである。
れた浮上用電磁石と、浮上用電磁石に適宜長さの空隙長
さを介して対向し、搬送方向に伸びる強磁性体からなる
ガイドレールと、ガイドレールと適宜長さの空隙長さを
介して対向するＵ字状のセンサ鉄心の両脚に励磁巻線と
検出巻線を設けたリラクタンス形のギャップセンサとを
備えた磁気浮上搬送装置において、ギャップセンサを浮
上用電磁石の鉄心の両脚が並ぶ延長線の方向に隣接し、
かつセンサ鉄心の両脚が前記延長線の方向と直角方向に
並ぶように配置し、両脚の検出巻線を直列に接続したも
のである。
［作用］ 上記構成により、浮上用電磁石の漏れ磁束はセンサ鉄心
の両脚にほぼ等しく影響するため、センサ鉄心の両脚の
検出巻線を直列に巻くことにより互いに漏れ磁束による
誘起電圧は打ち消され、正常な空隙長さの検出信号のみ
を取り出すことができる。
の両脚にほぼ等しく影響するため、センサ鉄心の両脚の
検出巻線を直列に巻くことにより互いに漏れ磁束による
誘起電圧は打ち消され、正常な空隙長さの検出信号のみ
を取り出すことができる。
［実施例］ 本考案を図に示す実施例について説明する。
第１図は本考案の実施例の側面断面、第２図は平断面図
で、浮上用電磁石１はＵ字状の電磁鋼板を積層して構成
した鉄心11の両脚に制御巻線12を直列に巻回して移動体
２に２個固定されてある。ガイドレール３は鉄心11の端
面に適宜空隙を介して鉄心11の両脚が並ぶ方向に長く伸
ばされている。ギャップセンサ４は同様にＵ字状の電磁
鋼板を積層して構成したセンサ鉄心41の両脚に励磁巻線
42と検出巻線43とをそれぞれ直列になるように巻回して
あり、鉄心41の端面が適宜空隙を介してガイドレール３
に対向し、かつセンサ鉄心41の両脚の並ぶ方向が鉄心11
の両脚が並ぶ方向と直角になるように移動体２の両端に
固定されている。
で、浮上用電磁石１はＵ字状の電磁鋼板を積層して構成
した鉄心11の両脚に制御巻線12を直列に巻回して移動体
２に２個固定されてある。ガイドレール３は鉄心11の端
面に適宜空隙を介して鉄心11の両脚が並ぶ方向に長く伸
ばされている。ギャップセンサ４は同様にＵ字状の電磁
鋼板を積層して構成したセンサ鉄心41の両脚に励磁巻線
42と検出巻線43とをそれぞれ直列になるように巻回して
あり、鉄心41の端面が適宜空隙を介してガイドレール３
に対向し、かつセンサ鉄心41の両脚の並ぶ方向が鉄心11
の両脚が並ぶ方向と直角になるように移動体２の両端に
固定されている。
ギャップセンサ４は励磁巻線42を一定周波数の交流電流
で励磁し、検出巻線43に誘起する電圧から空隙長さを検
出するリラクタンス形検出器になっている。
で励磁し、検出巻線43に誘起する電圧から空隙長さを検
出するリラクタンス形検出器になっている。
５は移動体３に設けられた２次導体、６は移動体３を移
動させるリニアモータの固定子である。
動させるリニアモータの固定子である。
いま、制御巻線12および励磁巻線42に電流を流し、浮上
用電磁石１によりガイドレール３に吸引させて移動体３
を浮上させると、浮上用電磁石１とガイドレール３との
間の空隙長さに応じて電圧が検出巻線43に誘起される。
このときセンサ鉄心42の両脚から鉄心11までの距離が同
じなので、センサ鉄心42の両脚には浮上用電磁石１の漏
れ磁束が同じいようにはいる。したがってセンサ鉄心42
の両脚の検出巻線43に誘起される漏れ磁束誘起電圧は両
脚の検出巻線43が直列に接続されているので互いに打ち
消され、空隙長さに応じた誘起電圧だけが検出巻線43に
誘起され、空隙長さの正確な検出信号として取り出され
る。
用電磁石１によりガイドレール３に吸引させて移動体３
を浮上させると、浮上用電磁石１とガイドレール３との
間の空隙長さに応じて電圧が検出巻線43に誘起される。
このときセンサ鉄心42の両脚から鉄心11までの距離が同
じなので、センサ鉄心42の両脚には浮上用電磁石１の漏
れ磁束が同じいようにはいる。したがってセンサ鉄心42
の両脚の検出巻線43に誘起される漏れ磁束誘起電圧は両
脚の検出巻線43が直列に接続されているので互いに打ち
消され、空隙長さに応じた誘起電圧だけが検出巻線43に
誘起され、空隙長さの正確な検出信号として取り出され
る。
第５図は本考案の実施例による浮上用電磁石の制御電流
に対するギャップセンサの検出電圧のゲイン位相特性を
示すもので、制御電流の100HZ付近で従来より約30Bd低
くなり、制御巻線からの漏れ磁束の影響は従来の約30分
の１になっている。
に対するギャップセンサの検出電圧のゲイン位相特性を
示すもので、制御電流の100HZ付近で従来より約30Bd低
くなり、制御巻線からの漏れ磁束の影響は従来の約30分
の１になっている。
［考案の効果］ 以上のように、本考案によれば、 （１）ギャップセンサの検出信号が浮上用電磁石の制御
電流による振幅変調を受けないため、空隙長さの検出誤
差が少ない。
電流による振幅変調を受けないため、空隙長さの検出誤
差が少ない。
（２）上記検出誤差を少なくするための処理回路を必要
としないため、装置の小型が図れるとともに、浮上制御
系のゲインを上げ、剛性を高くすることができる。
としないため、装置の小型が図れるとともに、浮上制御
系のゲインを上げ、剛性を高くすることができる。
（３）浮上用電磁石とギャップセンサとが接する位置ま
で近づけられるため装置の小型化が図れる。以上のよう
な効果がある。
で近づけられるため装置の小型化が図れる。以上のよう
な効果がある。
第１図は本考案の実施例を示す側断面図、第２図は平断
面図、第３図は従来例を示す側断面図、第４図は平断面
図、第５図は本案実施例のゲイン位相特性図、第６図は
従来例のゲイン位相特性図である。 １…浮上用電磁石、11…鉄心、12…制御巻線、２…移動
体、３…ガイドレール、４…ギャップセンサ、41…セン
サ鉄心、42…励磁巻線、43…検出巻線
面図、第３図は従来例を示す側断面図、第４図は平断面
図、第５図は本案実施例のゲイン位相特性図、第６図は
従来例のゲイン位相特性図である。 １…浮上用電磁石、11…鉄心、12…制御巻線、２…移動
体、３…ガイドレール、４…ギャップセンサ、41…セン
サ鉄心、42…励磁巻線、43…検出巻線
Claims (2)
- 【請求項１】Ｕ字状の鉄心に制御巻線を設け、移動体に
固定された浮上用電磁石と、浮上用電磁石に適宜長さの
空隙長さを介して対向し、搬送方向に伸びる強磁性体か
らなるガイドレールと、ガイドレールと適宜長さの空隙
長さを介して対向するＵ字状のセンサ鉄心の両脚に励磁
巻線と検出巻線を設けたリラクタンス形のギャップセン
サとを備えた磁気浮上搬送装置において、ギャップセン
サを浮上用電磁石の鉄心の両脚が並ぶ延長線の方向に隣
接し、かつセンサ鉄心の両脚が前記延長線の方向と直角
方向に並ぶように配置し、両脚の検出巻線を直列に接続
したことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】前記鉄心およびセンサ鉄心が電磁鋼板によ
りＵ字状に形成されて積層され、鉄心の積層方向の延長
線の方向に隣接してセンサ鉄心が配置され、かつセンサ
鉄心の積層方向が鉄心の積層方向と直角になるように配
置した請求項１記載の磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14787888U JPH0640407Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14787888U JPH0640407Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268603U JPH0268603U (ja) | 1990-05-24 |
| JPH0640407Y2 true JPH0640407Y2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=31418692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14787888U Expired - Lifetime JPH0640407Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640407Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP14787888U patent/JPH0640407Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0268603U (ja) | 1990-05-24 |
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