KR100757529B1 - 자기 베어링 장치 - Google Patents

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Abstract

자기 베어링 장치는 전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석, 상기 부상체의 변위를 검출하는 변위 센서, 상기 변위 센서 및 전자석에 케이블을 개재하여 신호 및 전류를 공급하는 제어기, 및 변위 센서와 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 가진다. 상기 제어기의 부상제어시스템 내에 보호판을 배치함으로써 발생하는 변위 센서에 대한 이상신호를 방지하는 잡음제거필터를 설치하였다.

Description

자기 베어링 장치{MAGNETIC BEARING DEVICE}
도 1은 종래의 자기 베어링 장치를 위한 제어회로의 회로구성을 부분적으로 블럭 형태로 나타낸 회로도.
도 2는 도 1에 도시한 제어회로의 구동회로에 대한 블럭도.
도 3은 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 변위 센서 및 전자석의 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치에 있어서, 부상제어시스템의 회로구성을 부분적으로 블럭 형태로 나타낸 회로도.
도 5는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치에 있어서, 부상제어시스템의 구동회로의 블럭도.
도 6은 수정된 구동회로의 블럭도.
도 7은 수정된 또다른 구동회로의 블럭도.
도 8a는 종래 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압파형도.
도 8b는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압파형도.
도 9a는 종래 자기 베어링 장치의 센서 신호파형도.
도 9b는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 센서 신호파형도.
도 10a는 본 발명에 따른 또다른 자기 베어링 장치의 변위 센서 및 전자석 단면도.
도 10b는 도 10a의 X(b)-X(b)의 단면도.
본 발명은 전자석에 의해 발생되는 전자기력하에서 대상물을 부상시키고 지지하는 자기 베어링 장치에 관한 것이다.
자기 베어링 장치에 의해 부상되는 대상물의 변위를 검출하는 변위 센서로는 와전류형 센서, 유도형 센서, 정전용량형 센서 및 레이저 센서 등의 광전자계 센서를 포함한다. 이러한 변위 센서중에서 터보분자 펌프의 변위 센서에는 주로 와전류형 센서 및 유도형 센서가 사용되고 있다.
부식환경하에서 사용하기 위해서는, 자기 베어링과 변위 센서는 보호재를 사용하여 피복될 필요가 있다. 와전류형 센서, 유도형 센서 및 정전용량형 센서를 사용한 자기 베어링 장치는 테플론 등의 합성수지 또는 세라믹 등의 보호재로 피복하는 것도 가능하다. 레이저 센서 등의 광전자계 센서는 레이저빔이 투과할 수 있는 유리로 피복될 필요가 있다. 변위 센서가 금속재로 피복될 필요가 있는 상황에서는 와전류형 센서, 정전용량형 센서 및 광전자계 센서를 사용할 수 없다. 이들이 비자성체 금속으로 피복되어야 한다면 유도형 센서가 사용될 수 있다.
자기 베어링과 변위 센서를 테플론, 세라믹, 유리 등으로 보호하기 위해서는 제작공정, 비용 및 강도 등의 면에서 문제가 있다. 또, 가스 오염이 문제가 되는 특별한 환경에서는 이러한 보호재가 사용될 수 없다.
이러한 경우에는 비자성체 금속재로 보호하는 유도형 센서를 사용하는 것이 관례이다. 그러나, 유도형 센서의 반송주파수에 의하여 발생하는 자계에 의해 비자성체 금속 격벽 표면에 와전류가 발생되어, 그 결과 유도형 센서의 검출신호 감도가 저하된다. 즉, s/n 비가 저하된다.
자기 베어링은 전자석에 전류를 흐르게 하고 전자석에 의해 발생하는 전자기력하에서 대상물을 부상제어시킴으로써 동작한다. 자기 베어링 및 그것과 결합된 유도형 센서가 비자성체 금속으로 피복되어 있다면, 자기 베어링 및 유도형 센서 모두가 동일한 비자성체 금속 격벽으로 피복되기 때문에, 전자석에 의해 발생되는 전자기 잡음 및 이 전자기 잡음에 의해 비자성체 금속 격벽 표면에 발생하는 와전류가 비자성체 금속 격벽을 통하여 유도형 센서에 좋지 않은 영향을 미친다. 따라서 비자성체 금속 격벽으로 유도형 센서 및 자기 베어링을 보호하는 것은 유도형 센서에 인가된 자기적, 전기적 잡음으로 인해 자기부상제어가 곤란해지는 단점을 갖는다.
도 1은 종래 자기 베어링 장치에 관한 제어회로의 회로구성을 나타낸 도면이다. 도 1에 있어서, 제어회로가 포함하는 오실레이터(1)는 그 출력신호가 연산증폭기(2-1, 2-2), 전류제한저항기(3-1, 3-2) 및 케이블(CB)을 거쳐, 자기 베어링(MC)에 의해 부상된 대상물(5)의 위치변위(예를 들어 X축 방향의 변위)를 검출하는 직렬로 접속된 한 쌍의 변위 센서(Z1, Z2)에 공급된다. 변위 센서(Z1, Z2) 사이의 접속점의 전위(센서신호)(Eg)를 차동 증폭기(6)의 음극단자에 입력하고, 기준 저항(Ra, Rb)에 의해 설정되는 기준 전위(Es)를 차동 증폭기(6)의 양극단자에 입력한다. 상기 차동 증폭기(6)의 출력신호는 동기검파기(7)와 위상보상회로(8)를 통하여 구동회로(9)에 인가된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 구동 회로(9)는 제어기(9-1)와 구동기(9-2)로 구성되어 있다. 제어기(9-1)는 PWM 과정에 따라 구동기(9-2)를 제어한다. 구동기(9-2)의 출력은 자기 베어링(MC)의 전자석 코일(10)에 공급된다.
도 1에서, 커패시터(4)는 변위 센서(Z1, Z2)와 병렬로 연결되어 이것과 병렬 공진을 발생시킨다.
비자성체 금속의 보호판이 변위 센서(Z1, Z2)와 대상물(5) 사이에 배치되어 있고, 각각의 변위 센서(Z1, Z2)에 유도형 센서를 사용하면 상기와 같은 문제, 즉 비자성체 금속의 보호판에 의해 발생하는 와전류로 인해 변위 센서(Z1, Z2)의 검출신호 감도가 저하되고, 변위 센서(Z1, Z2)는 전자석 코일(10)을 구동하는 전류에 의해 발생하는 자계에 의한 좋지 않은 영향을 받게 되는 문제가 발생한다.
따라서 본 발명은, 적어도 변위 센서를 비자성체 금속재로 보호하며 자기 베어링 및 변위 센서를 포함하고, 변위 센서의 검출신호 감도가 저하되지 않으며, 즉 상기 비자성체 금속재에 의해 발생하는 와전류에 의하여 s/n 비가 나빠지지 않고, 또한 자기 베어링의 전자석 코일을 구동하는 전류에 의하여 발생하는 자계의 영향을 변위 센서가 받지 않아 정밀도가 좋게 부상제어를 수행할 수 있는 자기 베어링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따라 제공되는 자기 베어링 장치는 전자기력하에서 대상물을 부상시키는 전자석, 상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서, 상기 변위 센서 및 전자석에 케이블을 개재하여 신호 및 전류를 공급하는 제어기, 및 변위 센서와 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하여 이루어지고, 상기 제어기는 상기 보호판을 배치함으로써 발생하는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 설치한 부상제어시스템을 포함한다.
상기 제어기는 보호판을 배치함으로써 발생하는 이상신호가 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하기 때문에, 변위 센서에 유도형 변위 센서를 사용하고, 변위 센서와 부상체 사이에 비자성체 금속재로 이루어지는 보호판을 배치하더라도, 변위 센서에 대한 센서신호의 s/n 비가 향상되고 변위 센서의 기능을 충분히 발휘시킬 수 있다.
잡음제거필터는 필터 또는 필터와 위상보상기로 구성될 수 있다.
변위 센서는 보호판을 관통하는 요크를 포함할 수도 있고, 상기 요크와 동일 또는 유사한 재료의 자성부재로서 상기 요크에 인접한 보호판에 매립되어 있는 자성부재를 상기 베어링 장치가 더 포함할 수도 있다.
이와 같이 구성하면, 요크와 부상체 사이의 거리는 보호판의 두께만큼 감소되고, 그 결과 변위 센서의 감도가 향상하며, 부상체의 변위를 정밀도 높게 검출할 수 있다.
제어기는 변위 센서를 구성하는 센서 소자를 구동하기 위한 파워 구동기를 포함한다. 파워 구동기는 부상체 변위의 변화에 대한 변위 센서 검출신호의 변화의 비율을 증가시키는데 효과적이다.
제어기는 전자석을 구동하는 PWM 구동기를 포함하고, 상기 PWM 구동기의 출력단에 일반모드(common-mode) 코일, 정규모드(normal-mode) 코일, 또는 일반모드 코일과 정규모드 코일이 설치되어 있다.
상기 PWM 구동기 및 일반모드 코일, 정규모드 코일, 또는 일반모드 코일과 정규모드 코일은 전자석에 의해 발생하는 전자기 잡음을 감소시키는데 효과적이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 이점은 본 발명의 바람직한 실시예에 나타낸 첨부 도면의 예시와 관련하여 다음의 설명으로 명백해질 것이다.
(실시예)
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 자기 베어링 장치는 부상체(5)와, 이 부상체(5)를 지지하는 전자석(11) 및 변위를 검출하는 유도형 변위 센서(13)의 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판(캔)(14)을 포함한다. 비자성체 금속재의 보호판(14)은 전자석(11) 및 변위 센서(13)를 보호하는데 제공된다. 변위 센서(13)는 센서 요크(센서 코어)(13a)와 이 센서 요크(13a) 둘레에 배치된 센서 코일(13b)로 구성되어 있다. 전자석(11)은 전자석 요크(11a)와 이 전자석 요크(11a) 둘레에 배치된 전자석 코일(10)로 구성되어 있다.
도 4는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 부상제어시스템에 대한 회로구성을 나타낸다. 도 4에 도시된 바와 같이, 부상제어시스템은 출력신호가 연산 증폭기(15-1, 15-3), 파워 부스터(15-2, 15-4) 및 케이블(CB)을 통하여 자기 베어 링(MC)에 의해 부상된 대상물(5)의 변위를 검출하는 직렬로 접속된 한 쌍의 변위 센서(Z1, Z2)에 공급되는 오실레이터(1)를 포함한다. 증폭기(15-1, 15-3) 및 파워 부스터(15-2, 15-4)는 연합하여 파워 구동기(15)를 구성한다. 변위 센서(Z1, Z2) 사이의 접속점의 전위(센서신호)(Eg)는 잡음제거필터(16)의 대역필터(16-1)와 대역소거필터(16-2)를 거쳐 차동 증폭기(6)의 음극단자에 입력된다. 기준 저항(Ra, Rb)에 의해 설정되는 기준 전위(Es)는 잡음제거필터(16)의 대역필터(16-3), 대역소거필터(16-4) 및 위상보상기(16-5)를 거쳐 차동 증폭기(6)의 양극단자에 인가된다. 차동 증폭기(6)의 출력신호는 동기검파기(7) 및 위상보상회로(8)를 거쳐 구동회로(9)에 인가된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 구동회로(9)는 제어기(9-1)와 구동기(9-2)로 구성되어 있다. 구동기(9-2)의 출력신호는 케이블(CB)을 통해 전자석(11)의 코일(10)에 공급된다. 오실레이터(1)의 출력신호는 위상보상기(17) 및 비교기(18)를 거쳐 동기검파기(7)에 인가된다.
부상체(5)와 전자석(11) 및 변위 센서(13) 사이에 비자성체 금속재로 이루어진 보호판(캔)(14)을 배치함으로써, 보호판(14)에 의해 발생하는 와전류 및 전자석(11)에 의해 발생하는 자계에 기인한 손실 때문에 변위 센서(13)의 센서 신호의 s/n 비가 저하된다. 센서 신호의 s/n 비를 개선하기 위하여, 변위 센서(13), 즉 변위 센서(Z1, Z2)을 구동하는 전류 공급부에 파워 구동기(15)가 설치된다. 또한, 센서 신호(Eg)와 기준 신호(Es)로부터의 잡음을 충분히 제거하기 위하여 대역필터(16-1), 대역소거필터(16-2), 대역필터(16-3), 대역소거필터(16-4) 및 위상보 상기(16-5)를 포함하는 잡음제거필터부(16)가 사용된다. 이러한 구성에 의해, 센서 전류(Eg)로 전자석(11)을 구동하는 전류에 의하여 발생하는 자계의 영향을 적게 하여, 대상물(5)에 대한 안정된 부상제어가 가능하게 된다.
센서 신호(Eg)는 대역필터(16-1) 및 대역소거필터(16-2)를 통과하고, 기준 신호(Es)는 대역필터(16-3) 및 대역소거필터(16-4)를 통과하기 때문에, 센서 신호(Eg)와 기준 신호(Es)는 서로 위상어긋남이 발생한다. 상기 위상어긋남을 보상하기 위하여, 기준 신호(Es)쪽에 위상보상기(16-5)를 설치한다. 위상보상기(16-5)는 센서 신호(Eg)쪽에 설치해도 된다. 오실레이터(1)로부터의 출력신호는 동기검파기(7)에 공급되기 전에 위상보상기(17)에 의해 위상이 보상된다. 이와 같이 위상 보상을 수행함으로써, 변위 센서(13), 즉 변위 센서(Z1, Z2)의 감도를 최적화한다.
구동회로(9)에 있어서, 제어기(9-1)는 PWM 처리에 따라 구동기(9-2)를 제어한다. 구동기(9-2)의 출력은 일반모드 코일(19)을 거쳐 전자석(11)의 코일(10)로 공급되어, PWM 처리에서 스위칭 잡음을 감소시켜 변위 센서(13)에 대한 잡음 영향을 감소시킬 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 구동회로(9)의 출력신호는 정규모드 코일(20)을 거쳐 전자석(11)의 코일(10)로 공급되어, PWM 처리에서 전류의 과도적인 변화를 감소시켜, 상기 전류의 과도적 변화에 의한 잡음을 감소시키고 변위 센서(13) 등에 대한 이들의 영향을 감소시킬 수 있다.
대안적으로, 도 7에 도시된 바와 같이, 구동회로(9)의 출력신호는 일반모드 코일(19)과 정규모드 코일(20)을 거쳐 전자석(11)의 코일(10)로 공급되어, PWM 처 리에서 잡음을 감소시켜 변위 센서(13)등에 대한 잡음 영향을 감소시킬 수 있다.
자기 베어링 장치가 예를 들어, 엑시머 레이저와 같이 부식환경에서 사용되며 또한 유기계나 Si계의 가스오염이 되기 쉬운 것과 결합되는 경우에는, 변위 센서나 전자석을 보호판 또는 캔으로 보호하는 캔 구조가 필요하게 된다. 보호판 또는 캔은 예를 들어, 변위 센서 및 전자석을 부식 및 가스오염으로부터 보호하기 위하여 SUS 304 또는 SUS 306 등의 비자성체 금속재로 구성된다. 변위 센서에 유도형 센서를 사용하고 도 4 내지 도 7에 도시된 부상제어시스템와 결합하여 센서로서의 기능을 충분히 다할 수 있다.
도 8a는 종래 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압파형을 나타내고, 도 8b는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압파형을 나타낸다. 도 8a 및 도 8b에 명백한 바와 같이, 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압은 종래 자기 베어링 장치의 전자석 코일에 인가되는 전압보다 혼입되는 잡음이 대폭적으로 감소한다.
도 9a는 종래 자기 베어링 장치의 센서 신호파형을 나타내고, 도 9b는 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 센서 신호파형을 나타낸다. 도 9a 및 도 9b로부터, 본 발명에 따른 자기 베어링 장치의 센서 신호가 종래 자기 베어링 장치의 센서 신호보다 전자석으로부터의 전자기 잡음이 대폭적으로 감소한다는 것을 알 수 있다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명에 따른 또다른 자기 베어링 장치의 변위 센서 및 전자석을 나타낸다. 도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 변위 센서(13)의 센서 요크(센서 코어)(13a)는 비자성체 금속재로 이루어지는 보호판(14)을 관통하여 부상체(5)에 대향하고 있다. 전자석(11)의 전자석 요크(전자석 코어)(11a)도 비자성체 금속재의 보호판(14)을 관통하여 부상체(5)에 대향하고 있다. 보호판(14)을 관통한 센서 요크(13a) 및 전자석 요크(11a)의 관통부는 각각 접합시일(joint seal)(13c, 11b)로써 보호판(14)에 용접된다.
센서 요크(13a)의 단부가 보호판(14)을 관통함으로써, 부상체(5)와 센서 요크(13a) 사이의 거리는 보호판(14)의 두께만큼 감소한다. 따라서, 변위 센서(13)의 감도가 향상되어 부상체(5)의 변위를 정밀도 좋게 검출할 수 있다. 또한, 전자석 요크(11a)의 단부를 보호판(14)에 관통시킴으로써, 부상체(5)와 전자석 요크(11a) 사이의 거리 역시 보호판(14)의 두께만큼 감소한다. 결과적으로, 부상체(5)에 작용하는 자기력이 커지므로, 그 만큼 전자석을 소형화할 수 있게 된다.
도 10a 및 도 10b에 도시한 실시예에서는, 센서 요크(13a)와 전자석 요크(11a)의 단부가 보호판(14)을 관통하여 부상체(5)에 대향하는 구성으로 되어 있다. 그러나, 센서 요크(13a)와 전자석 요크(11a)의 단부를 이 보호판(14)에 관통시키는 대신에 센서 요크(13a) 및 전자석 요크(11a)와 동일 또는 유사한 자성부재를 센서 요크(13a)와 전자석 요크(11a)에 인접한 보호판(14)에 매립할 수도 있다.
본 발명에 따른 자기 베어링 장치를 부식환경에서 사용하는 경우에는, 센서 요크(13a)와 전자석 요크(11a)는 부식환경에 견딜 수 있는 자성체재료로 만들어질 수 있다.
비록 본 발명에서는 임의의 바람직한 실시예를 도시하고 상세하게 기술하였지만, 첨부된 청구범위의 범위에서 벗어나지 않는 다양한 변형예 및 실시예가 가능 하다는 것은 명백하다.
본 발명에 따르면, 적어도 변위 센서를 비자성체 금속재로 보호하는 자기 베어링 장치를 사용하여, 상기 비자성체 금속재에 의해 발생하는 와전류에 의하여 센서 검출신호의 감도가 저하(s/n 비가 저하)되지 않고, 또한 전자석을 구동하는 전류에 의하여 발생하는 자기의 영향을 센서가 받지 않아 정밀도가 좋은 부상제어를 할 수 있다.

Claims (22)

  1. 자기 베어링 장치로서,
    전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석;
    상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서;
    상기 변위 센서에 케이블을 통해 신호를 공급하고 상기 전자석에 케이블을 통해 전류를 공급하는 제어기; 및
    상기 자기 베어링 장치는, 상기 변위 센서 및 상기 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하고,
    상기 제어기는, 상기 보호판에 의해 발생되는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 변위 센서는 상기 보호판을 관통하여 연장되는 요크를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 변위 센서의 센서 소자를 구동하는 파워 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일 및 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  9. 자기 베어링 장치로서,
    전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석;
    상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서;
    상기 변위 센서에 케이블을 통해 신호를 공급하고 상기 전자석에 케이블을 통해 전류를 공급하는 제어기; 및
    상기 자기 베어링 장치는, 상기 변위 센서 및 상기 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하고,
    상기 제어기는 상기 보호판에 의해 발생되는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하고,
    상기 변위 센서는 요크를 포함하며, 상기 보호판은 상기 요크와 동일 또는 유사한 재료의 자성부재로 이루어지고, 상기 자성부재는 상기 요크에 인접한 상기 보호판에 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 변위 센서의 센서 소자를 구동하는 파워 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일 및 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  14. 자기 베어링 장치로서,
    전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석;
    상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서;
    상기 변위 센서에 케이블을 통해 신호를 공급하고 상기 전자석에 케이블을 통해 전류를 공급하는 제어기; 및
    상기 자기 베어링 장치는, 상기 변위 센서 및 상기 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하고,
    상기 제어기는, 상기 보호판에 의해 발생되는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하며,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 잡음제거필터는 필터 또는 필터 및 위상보상기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 변위 센서의 센서 소자를 구동하는 파워 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  17. 자기 베어링 장치로서,
    전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석;
    상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서;
    상기 변위 센서에 케이블을 통해 신호를 공급하고 상기 전자석에 케이블을 통해 전류를 공급하는 제어기; 및
    상기 자기 베어링 장치는, 상기 변위 센서 및 상기 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하고,
    상기 제어기는, 상기 보호판에 의해 발생되는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하며,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 잡음제거필터는, 필터 또는 필터 및 위상보상기로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 변위 센서의 센서 소자를 구동하는 파워 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  20. 자기 베어링 장치로서,
    전자기력하에서 부상체를 부상시키는 전자석;
    상기 부상체의 변위를 검출하는 유도형 변위 센서;
    상기 변위 센서에 케이블을 통해 신호를 공급하고 상기 전자석에 케이블을 통해 전류를 공급하는 제어기; 및
    상기 자기 베어링 장치는, 상기 변위 센서 및 상기 부상체 사이에 배치된 비자성체 금속재의 보호판을 포함하고,
    상기 제어기는, 상기 보호판에 의해 발생되는 이상신호가 상기 변위 센서에 인가되는 것을 방지하는 잡음제거필터를 구비한 부상제어시스템을 포함하며,
    상기 제어기는 상기 전자석을 구동하는 PWM 구동기와, 상기 PWM 구동기의 출력단에 접속된 일반모드 코일 및 정규모드 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 잡음제거필터는, 필터 또는 필터 및 위상보상기로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
  22. 제 20항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 변위 센서의 센서 소자를 구동하는 파워 구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 베어링 장치.
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