JPH0690545A - キャンドモータ - Google Patents

キャンドモータ

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JPH0690545A
JPH0690545A JP26290792A JP26290792A JPH0690545A JP H0690545 A JPH0690545 A JP H0690545A JP 26290792 A JP26290792 A JP 26290792A JP 26290792 A JP26290792 A JP 26290792A JP H0690545 A JPH0690545 A JP H0690545A
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displacement sensor
sensor
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magnetic
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忍 石塚
Yukio Toyama
幸雄 外山
Susumu Osawa
將 大沢
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/047Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 変位センサをキャンで覆い使用液から保護す
ることができるとともに検出感度が良好で誤動作のない
信頼性が高い変位センサを備えたキャンドモータを提供
する。 【構成】 ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用
能動型磁気軸受を備え、モータロータ35及び主軸6と
一体となる回転体が磁気軸受により回転自在に支持され
たキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸受
の制御用ラジアル変位センサ23,24及びアキシャル
用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサ41の
少なくとも一方に誘導型センサを用い、この誘導型セン
サをキャンで覆った。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はキャンドモータに係り、
特にロータを支承する磁気軸受を搭載したキャンドモー
タに関する。
【0002】
【従来の技術】従来からキャンドモータの軸受には、す
べり軸受が使われてきている。このすべり軸受の材料に
は、通常は、回転側には金属、固定側にはカーボンが使
用されている。キャンドモータポンプなどに使用した場
合、そのポンプから発生するスラストは、その方向によ
りラジアルスラストとアキシャルスラストとに分けられ
る。ラジアルスラストは軸受と軸スリーブとで受け、ア
キシャルスラストは軸受とスラスト板とで受けている。
しかしながら、キャンドモータの運転中には、回転部品
である軸スリーブとスラスト板が固定側である軸受にそ
れぞれ接触し合いながら回転するために、軸受等が摩耗
するという欠点がある。また、軸受の潤滑とキャンドモ
ータの冷却を目的として、ポンプ内を流れる液の一部を
キャンドモータ部及び軸受部に循環させているために、
液中に軸受等の摩耗によって発生した摩耗粉等が混じっ
て、液の純度を下げるという欠点がある。
【0003】これらの欠点を克服するために、近年キャ
ンドモータの軸受に、能動型の磁気軸受が使用されるよ
うになった。この方式は、ラジアル用能動型磁気軸受の
制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気
軸受の制御用アキシャル変位センサにより回転体の位置
を検出し、その変位量に応じてラジアル用能動型磁気軸
受及びアキシャル用能動型磁気軸受で回転体に力を与え
て、非接触の状態で回転自在に支持するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
磁気軸受を搭載したキャンドモータにおいては、ラジア
ル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びア
キシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位セン
サは、それぞれの変位センサが直接ポンプ使用液に接す
る為、異物の付着による感度低下やセンサの腐食で故障
するなど実用化には大きな問題があった。その対策とし
てはセンサをキャンで覆うことにより解決できるが、通
常キャンの材料はステンレス等の金属が使用されるた
め、変位センサとして一般的に用いる渦電流型センサを
使用するとキャンに発生する渦電流の影響で感度が悪
く、また、誤動作を起こす原因となる欠点があった。
【0005】また、センサ自体の問題点として、モータ
ステータ、能動型磁気軸受のステータ磁極からの電波ノ
イズや漏れ磁束によるノイズによりラジアル変位センサ
に誤動作が発生しやすいという欠点があった。
【0006】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、変位センサをキャンで覆い使用液から保護すること
ができるとともに検出感度が良好で誤動作のない信頼性
が高い変位センサを備えたキャンドモータを提供するこ
とを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため本発明のキャンドモータは、ラジアル用能動型磁気
軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受を備え、モータロ
ータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により
回転自在に支持されたキャンドモータにおいて、ラジア
ル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びア
キシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位セン
サの少なくとも一方に誘導型センサを用い、該誘導型セ
ンサをキャンで覆ったことを特徴とするものである。
【0008】また本発明のキャンドモータは、前記ラジ
アル変位センサ及びアキシャル変位センサの少なくとも
一方に電磁シールドを施したことを特徴とするものであ
る。
【0009】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、変位セ
ンサをキャンで覆うことにより変位センサを使用液から
保護することができるとともに異物の付着による感度低
下を防ぐことができる。また、変位センサに誘導型セン
サを用いるため、インダクタンスの変化を利用して回転
体の変位を検出することができ、キャンで渦電流型セン
サを覆った場合の渦電流の発生に伴う誤動作の弊害を除
去することができる。
【0010】また本発明によれば、変位センサを電磁シ
ールドしたため、能動型磁気軸受のステータ磁極からの
電波ノイズや漏れ磁束によるノイズによって変位センサ
が誤動作を起こす恐れがなく、磁気軸受の制御の信頼性
を高めることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明に係るキャンドモータの一実施
例を添付図面を参照して説明する。図1に示されるよう
に略円筒容器状のポンプケーシング1には吸込フランジ
2と吐出フランジ3とが設けられており、吸込フランジ
2には吸込口2aが形成され吐出フランジ3には吐出し
口3aが形成されている。ポンプケーシング1内には羽
根車5が収容されており、この羽根車5は主軸6の自由
端に固定され支持されている。ポンプケーシング1は羽
根車側ブラケット7を介してモータフレーム10に接続
されている。モータフレーム10は円筒状のフレーム本
体11とフレーム本体11の開口部を閉塞するフレーム
側板12とからなり、フレーム本体11の反羽根車側に
は中間カバー13及びエンドカバー14が固定されてい
る。
【0012】また、フレーム本体11の反羽根車側の内
周端とフレーム側板12の内周端にはステータキャン1
6が溶接によって固着され、ステータ室Rsが形成され
ており、ステータ室Rs内にラジアル磁気軸受のステー
タ磁極21,22とラジアル変位センサ23,24とモ
ータステータ25とが格納されている。そして、磁極2
1,22、変位センサ23,24及びモータステータ2
5には、相隣接する部材間に円筒状のディスタンスピー
ス27,28,29,30が配設されている。前記ラジ
アル変位センサ23,24はステータ磁極21,22に
隣接して設けられ、該変位センサ23,24にはインダ
クタンスの変化を利用して回転体の変位を検出する誘導
型センサが用いられている。
【0013】一方、主軸6には、ラジアル磁気軸受のス
テータ磁極21,22に対応する位置にラジアル磁気軸
受のロータ磁極31,32、ラジアル変位センサ23,
24に対応する位置にラジアル変位センサのターゲット
33,34、モータステータ25に対応する位置にモー
タロータ35がそれぞれ固定されている。
【0014】前記中間カバー13及びエンドカバー14
には、アキシャル磁気軸受のステータ磁極36及び37
が相対向して配設されている。そして、ステータ磁極3
6及び37間には、主軸6に固定されたディスク38が
配置されており、このディスク38に前記磁極36,3
7にそれぞれ対向するようにアキシャル磁気軸受のロー
タ磁極39,40が固定されている。
【0015】また、エンドカバー14には誘導型のアキ
シャル変位センサ41が配設されており、この変位セン
サ41に対向するように主軸6の軸端にアキシャル変位
センサのターゲット42が固定されている。
【0016】主軸6に取り付けられたディスク38は中
間カバー13とエンドカバー14で形成された空間内
で、ディスク38に取り付けられたアキシャル磁気軸受
のロータ磁極39,40及びそれぞれに対面して中間カ
バー13とエンドカバー14に取り付けられたアキシャ
ル磁気軸受のステータ磁極36,37とにより軸方向に
接触することなく回転し、モータロータ35を軸方向に
安定させ回転自在となるようにしている。
【0017】また、羽根車側ブラケット7及び中間カバ
ー13には、ラジアル用タッチダウン軸受46及び47
がそれぞれ設けられている。中間カバー13及びエンド
カバー14には、アキシャル用タッチダウン軸受48及
び49がそれぞれ設けられている。
【0018】図2はラジアル変位センサ23(又は2
4)及びターゲット33(又は34)の詳細構造を示す
断面図である。ラジアル変位センサ23(又は24)を
構成するセンサヨーク51、センサコイル52は非磁性
金属ケース53で覆われ、その外側は磁性金属ケース5
4で覆われている。そして、センサヨーク51の内径側
はステータキャン16に接しており、非磁性金属ケース
53と磁性金属ケース54の内径側は開放状態でステー
タキャン16と接している。一方、ラジアル変位センサ
23(又は24)のターゲットにおいては、センサター
ゲット33(又は34)は非磁性金属ケース55で覆わ
れ、その外側は磁性金属ケース56で覆われている。セ
ンサターゲット33(又は34)の外径側はロータキャ
ン58に接しており、非磁性金属ケース55と磁性金属
ケース56の外径側は開放状態でロータキャン58に接
している。
【0019】しかして、本実施例によれば、ラジアル変
位センサ23(又は24)及びセンサターゲット33
(又は34)を非磁性金属が内側、磁性金属が外側とな
るように、キャン16,58に接する側は開放状態に覆
い電磁シールドをしている。したがって、変位センサの
ノイズによる誤動作を防止することができる。また、ア
キシャル変位センサ41及びセンサターゲット42も図
2と同様に電磁シールドがなされている。なお、電磁シ
ールドの具体的構成は図2と略同一であるため説明は省
略する。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、変
位センサをキャンで覆うことにより変位センサを使用液
から保護することができるとともに異物の付着による感
度低下を防ぐことができる。また、変位センサに誘導型
センサを用いているため、インダクタンスの変化を利用
して回転体の変位を検出することができ、キャンで渦電
流型センサを覆った場合の渦電流の発生に伴う誤動作の
弊害を除去することができる。
【0021】また本発明によれば、変位センサを電磁シ
ールドしたため、能動型磁気軸受のステータ磁極からの
電波ノイズや漏れ磁束によるノイズによって変位センサ
が誤動作を起こす恐れがなく、磁気軸受の制御の信頼性
を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るキャンドモータの一実施例を示す
断面図である。
【図2】本発明に係るキャンドモータにおけるラジアル
変位センサの詳細構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 ポンプケーシング 5 羽根車 6 主軸 10 モータフレーム 11 フレーム本体 12 フレーム側板 13 中間カバー 14 エンドカバー 16 ステータキャン 21,22 ステータ磁極 23,24 ラジアル変位センサ 25 モータステータ 31,32 ロータ磁極 33,34 ターゲット 35 モータロータ 36,37 ステータ磁極 38 ディスク 39,40 ロータ磁極 41 アキシャル変位センサ 42 ターゲット 53,55 非磁性金属ケース 54,56 磁性金属ケース

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャ
    ル用能動型磁気軸受を備え、モータロータ及び主軸と一
    体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持さ
    れたキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸
    受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型
    磁気軸受の制御用アキシャル変位センサの少なくとも一
    方に誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで覆
    ったことを特徴とするキャンドモータ。
  2. 【請求項2】 前記ラジアル変位センサ及びアキシャル
    変位センサの少なくとも一方に電磁シールドを施したこ
    とを特徴とする請求項1記載のキャンドモータ。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997008808A1 (de) * 1995-08-24 1997-03-06 Sulzer Electronics Ag Spaltrohrmotor
JPH11324970A (ja) * 1998-05-13 1999-11-26 Ebara Corp キャンドモータポンプ
KR100757529B1 (ko) * 1999-08-25 2007-09-11 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 자기 베어링 장치
CN104863869A (zh) * 2014-02-21 2015-08-26 Skf磁性机械技术公司 模块化电动机和磁性轴承组件以及制造方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997008808A1 (de) * 1995-08-24 1997-03-06 Sulzer Electronics Ag Spaltrohrmotor
US5939813A (en) * 1995-08-24 1999-08-17 Sulzer Electronics Ag Gap tube motor
JPH11324970A (ja) * 1998-05-13 1999-11-26 Ebara Corp キャンドモータポンプ
KR100757529B1 (ko) * 1999-08-25 2007-09-11 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 자기 베어링 장치
CN104863869A (zh) * 2014-02-21 2015-08-26 Skf磁性机械技术公司 模块化电动机和磁性轴承组件以及制造方法
US20150244239A1 (en) * 2014-02-21 2015-08-27 Skf Magnetic Mechatronics Modular assembly of motor and magnetic bearings, and method to manufacture such an assembly
US10033246B2 (en) * 2014-02-21 2018-07-24 Skf Magnetic Mechatronics Modular assembly of motor and magnetic bearings, and method to manufacture such an assembly

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