JPH0797009B2 - インダクタンス形変位センサ - Google Patents
インダクタンス形変位センサInfo
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- JPH0797009B2 JPH0797009B2 JP1342771A JP34277189A JPH0797009B2 JP H0797009 B2 JPH0797009 B2 JP H0797009B2 JP 1342771 A JP1342771 A JP 1342771A JP 34277189 A JP34277189 A JP 34277189A JP H0797009 B2 JPH0797009 B2 JP H0797009B2
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- Japan
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- signal
- displacement
- frequency
- detection coil
- bandpass filter
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、検出用コイルのインダクタンス変化により、
磁性体からなる被測定体の変位を検出するインダクタン
ス形変位センサに関し、検出用コイル又は検出用コイル
と検波回路の間の電線等の配線に外部からの雑音が入っ
てもこの雑音の影響がなく変位を測定できるインダクタ
ンス形変位センサに関するものである。
磁性体からなる被測定体の変位を検出するインダクタン
ス形変位センサに関し、検出用コイル又は検出用コイル
と検波回路の間の電線等の配線に外部からの雑音が入っ
てもこの雑音の影響がなく変位を測定できるインダクタ
ンス形変位センサに関するものである。
第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構成を示
すブロック図である。同図において、100は搬送波信号
を発生する信号発生器、101−1,101−２はそれぞれ検出
コイル、103は差動増幅回路、104は同期検波回路であ
る。検出コイル101−１及び101−２はそれぞれ磁性体で
構成されたコアに巻線されており、互いに対向して配置
され、その間に磁性体からなる回転体等の被測定体が配
置されている。従って、被測定体が所定位置により変位
すると、検出コイル101−１及び101−２のインダクタン
スが変化する。
すブロック図である。同図において、100は搬送波信号
を発生する信号発生器、101−1,101−２はそれぞれ検出
コイル、103は差動増幅回路、104は同期検波回路であ
る。検出コイル101−１及び101−２はそれぞれ磁性体で
構成されたコアに巻線されており、互いに対向して配置
され、その間に磁性体からなる回転体等の被測定体が配
置されている。従って、被測定体が所定位置により変位
すると、検出コイル101−１及び101−２のインダクタン
スが変化する。
上記構成のインダクタンス形変位センサにおいて、検出
コイル101−１と101−２の接続点からの信号を差動増幅
回路103で基準信号と差動的増幅し、その出力を同期検
波回路104を通して、同期検波して出力信号を得てい
る。
コイル101−１と101−２の接続点からの信号を差動増幅
回路103で基準信号と差動的増幅し、その出力を同期検
波回路104を通して、同期検波して出力信号を得てい
る。
しかしながら、上記従来構成のインダクタンス形変位セ
ンサにおいては、検出コイル101−１と101−２の接続点
は差動増幅回路103に配線で接続されており、外部雑音
があると、この雑音と振幅変調された変位信号が混在し
たまま基準信号と差動的に増幅されるため、同期検波回
路104を通した後も、この雑音が変位信号の歪として残
ってしまい、被測定体の正確な変位を測定できないとい
う欠点があった。
ンサにおいては、検出コイル101−１と101−２の接続点
は差動増幅回路103に配線で接続されており、外部雑音
があると、この雑音と振幅変調された変位信号が混在し
たまま基準信号と差動的に増幅されるため、同期検波回
路104を通した後も、この雑音が変位信号の歪として残
ってしまい、被測定体の正確な変位を測定できないとい
う欠点があった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、外部から侵
入する雑音を減衰させて同期検波することにより、該雑
音の影響を除去し被測定体の変位を正確に測定できるイ
ンダクタンス形変位センサを提供することにある。
入する雑音を減衰させて同期検波することにより、該雑
音の影響を除去し被測定体の変位を正確に測定できるイ
ンダクタンス形変位センサを提供することにある。
上記課題を解決するための本発明は、磁性体で構成され
るコアと、該コアに巻線された直列に接続された一対の
検出用コイルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信
号発生回路と、同期検波器を具備し、磁性体からなる被
測定体の変位による検出用コイルのインダクタンス変化
に基づく一対の検出用コイルの接続点の搬送波信号の振
幅変化を検出して被測定体の変位を非接触で測定するイ
ンダクタンス形変位センサにおいて、検出用コイルの接
続点からの信号と信号発生器からの搬送波信号をそれぞ
れバンドパスフィルタを通してから該両信号の差信号を
得るか、又は両信号の差信号を得てから該差信号をバン
ドパスフィルタを通し、該差信号を同期検波回路で搬送
波信号との間で同期検波するように構成し、バンドパス
フィルタは当該センサに要求される応答周波数である被
測定体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド幅を
有し、且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンドパス
フィルタであることを特徴とする。
るコアと、該コアに巻線された直列に接続された一対の
検出用コイルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信
号発生回路と、同期検波器を具備し、磁性体からなる被
測定体の変位による検出用コイルのインダクタンス変化
に基づく一対の検出用コイルの接続点の搬送波信号の振
幅変化を検出して被測定体の変位を非接触で測定するイ
ンダクタンス形変位センサにおいて、検出用コイルの接
続点からの信号と信号発生器からの搬送波信号をそれぞ
れバンドパスフィルタを通してから該両信号の差信号を
得るか、又は両信号の差信号を得てから該差信号をバン
ドパスフィルタを通し、該差信号を同期検波回路で搬送
波信号との間で同期検波するように構成し、バンドパス
フィルタは当該センサに要求される応答周波数である被
測定体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド幅を
有し、且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンドパス
フィルタであることを特徴とする。
〔作用〕 上記構成を採用することにより、本発明は検出用コイル
の接続点からの信号と信号発生器からの搬送波信号をそ
れぞれバンドパスフィルタを通してから該両信号の差信
号を得るか、又は両信号の差信号を得てから該差信号を
バンドパスフィルタを通し、該差信号を同期検波回路で
搬送波信号との間で同期検波するように構成し、バンド
パスフィルタは当該センサに要求される応答周波数であ
る被測定体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド
幅を有し、且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンド
パスフィルタとするから、バンドパスフィルタの帯域幅
（搬送波周波数±被測定体の変位の周波数の最大値）以
外の周波数成分の雑音が検出用コイル或いは検出用コイ
ルと同期検波回路を接続する配線等に混入しても、該雑
音は十分に減衰し、被測定体の変位検出に影響を与える
ことがなく、被測定体の変位を精度良く正確に測定でき
る。
の接続点からの信号と信号発生器からの搬送波信号をそ
れぞれバンドパスフィルタを通してから該両信号の差信
号を得るか、又は両信号の差信号を得てから該差信号を
バンドパスフィルタを通し、該差信号を同期検波回路で
搬送波信号との間で同期検波するように構成し、バンド
パスフィルタは当該センサに要求される応答周波数であ
る被測定体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド
幅を有し、且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンド
パスフィルタとするから、バンドパスフィルタの帯域幅
（搬送波周波数±被測定体の変位の周波数の最大値）以
外の周波数成分の雑音が検出用コイル或いは検出用コイ
ルと同期検波回路を接続する配線等に混入しても、該雑
音は十分に減衰し、被測定体の変位検出に影響を与える
ことがなく、被測定体の変位を精度良く正確に測定でき
る。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明のインダクタンス形変位センサの構成を
示すブロック図である。同図において、１は搬送波信号
を発生する信号発生器、２−1,2−２は検出コイル、３
−1,3−２はバンドパスフィルタ、４は差動増幅回路、
５は同期検波回路である。検出コイル２−１及び検出コ
イル２−２は図示を省略するが、磁性体で構成されたコ
アに巻線され、磁性体からなる被測定体に対向して配置
され、被測定体の変位により検出コイル２−１と検出コ
イル２−２のインダクタンスがそれぞれ変化するように
なっている。従って、検出コイル２−１と検出コイル２
−２の接続点の電位は被測定体の変位に伴って変化す
る。
示すブロック図である。同図において、１は搬送波信号
を発生する信号発生器、２−1,2−２は検出コイル、３
−1,3−２はバンドパスフィルタ、４は差動増幅回路、
５は同期検波回路である。検出コイル２−１及び検出コ
イル２−２は図示を省略するが、磁性体で構成されたコ
アに巻線され、磁性体からなる被測定体に対向して配置
され、被測定体の変位により検出コイル２−１と検出コ
イル２−２のインダクタンスがそれぞれ変化するように
なっている。従って、検出コイル２−１と検出コイル２
−２の接続点の電位は被測定体の変位に伴って変化す
る。
検出コイル２−１と２−１の接続点から出力される振幅
変調された変位信号S1はバンドパスフィルタ３−１を通
って差動増幅回路４の一方の入力端子に入力され、信号
発生器１からの基準信号S2はバンドパスフィルタ３−２
を通って差動増幅回路４の他方の入力端子に入力され
る。差動増幅回路４において、変位信号S1と基準信号S2
は差動的に増幅され同期検波回路５に入力され、該同期
検波回路５において、信号発生器１からの同期信号S3と
同期検波する。
変調された変位信号S1はバンドパスフィルタ３−１を通
って差動増幅回路４の一方の入力端子に入力され、信号
発生器１からの基準信号S2はバンドパスフィルタ３−２
を通って差動増幅回路４の他方の入力端子に入力され
る。差動増幅回路４において、変位信号S1と基準信号S2
は差動的に増幅され同期検波回路５に入力され、該同期
検波回路５において、信号発生器１からの同期信号S3と
同期検波する。
上記構成のインダクタンス形変位センサにおいて、イン
ダクタンスの変化を電圧の変化に置き直すために、その
変位信号は搬送波を振幅変調した信号となる。簡単のた
めに変位信号周波数を一つとして第２図を用いて説明す
る。搬送波の角周波数をωc,実効値振幅をEcとして、変
位信号の角周波数をωm,変調度をｍとした場合に、変調
数は、 で表わされる。
ダクタンスの変化を電圧の変化に置き直すために、その
変位信号は搬送波を振幅変調した信号となる。簡単のた
めに変位信号周波数を一つとして第２図を用いて説明す
る。搬送波の角周波数をωc,実効値振幅をEcとして、変
位信号の角周波数をωm,変調度をｍとした場合に、変調
数は、 で表わされる。
なお、第２図において、201はEmax、202はEmin、 をそれぞれ示す。ここで、 ｍ＝（Emax−Emin）／（Emax＋Emin） （２） さらに、式（１）を変形すると、 となり、そのスペクトルは第３図に示すようになる。つ
まり搬送波の角周波数ωｃの成分301と、変位信号の角
周波数ωｍによるωｃ±ωｍの成分302,303とからなっ
ている。
まり搬送波の角周波数ωｃの成分301と、変位信号の角
周波数ωｍによるωｃ±ωｍの成分302,303とからなっ
ている。
ここに、雑音の角周波数ωｎが入ると、 Enは雑音の振幅 のように表わされる。
ここで、バンドパスフィルタ３−1,3−２のバンド幅を
第４図の401に示すような幅とすると、このバンド幅以
外の雑音成分（ωｎ）402を除去することができる。こ
こで、変位信号の角周波数ωｍが変位センサの周波数応
答範囲の上限であれば、バンドパスフィルタ３−1,3−
２のバンド幅を２ωｍあれば良いことになる。このバン
ドパスフィルタ３−1,3−２を第１図に示すように差動
増幅回路４の前に接続することにより、センサ出力SOUT
には雑音の少ない信号が表れる。なお、上記例ではバン
ドパスフィルタ３−1,3−２を差動増幅回路４の前に接
続したが、該バンドパスフィルタは同期検波回路５の前
に接続しても良いことは当然である。第１図のように、
差動増幅回路４の前に接続する場合は２つのバンドパス
フィルタ３−1,3−２を用意し、変位信号S1と信号発生
器１からの基準信号S2の両方に挿入する必要がある。そ
してバンドパスフィルタは搬送波と周波数が一致してい
なければその位相が変化してしまうために、第１図のよ
うにの変位信号S1と基準信号S2との両方をバンドパスフ
ィルタ３−1,3−２に通すことで、位相のずれを防ぐこ
とができる。第５図は本発明のインダクタンス形変位セ
ンサの具体的構成を示すブロック図であり、同図におい
て、第１図と同一符号を付した部分は同一又は相当部分
を示す。図示するように、信号発生器１からの搬送波は
抵抗器R1を通して検出コイル２−１と検出コイル２−２
の直列回路と抵抗器R2と抵抗器R3の直列回路に接続され
る。被測定体の変位により検出コイル２−１及び検出コ
イル２−２のインダクタンスが変化するのに対して、抵
抗器R2及び抵抗器R3の抵抗値は変化しないから、検出コ
イル２−１と検出コイル２−２の接続点からは変位信号
S1が出力され、抵抗器R2と抵抗器R3の接続点からは基準
信号S2が出力される。変位信号S1はバンドパスフィルタ
３−１を通り、コンデンサC3及び抵抗器R5を通って差動
増幅回路４の一方の入力端子に入力される。また、基準
信号S2はバンドパスフィルタ３−２を通り、コンデンサ
C2と抵抗器R4を通って差動増幅回路４の他方の入力端子
に入力される。該差動増幅回路４で変位信号S1と基準信
号S2との差がとられこの差信号が増幅され、同期検波回
路５に入力される。該同期検波回路５では信号発生器１
からの同期信号S3との間で同期検波され出力信号SOUTを
得る。なお、第５図において、C1はコンデンサである。
第４図の401に示すような幅とすると、このバンド幅以
外の雑音成分（ωｎ）402を除去することができる。こ
こで、変位信号の角周波数ωｍが変位センサの周波数応
答範囲の上限であれば、バンドパスフィルタ３−1,3−
２のバンド幅を２ωｍあれば良いことになる。このバン
ドパスフィルタ３−1,3−２を第１図に示すように差動
増幅回路４の前に接続することにより、センサ出力SOUT
には雑音の少ない信号が表れる。なお、上記例ではバン
ドパスフィルタ３−1,3−２を差動増幅回路４の前に接
続したが、該バンドパスフィルタは同期検波回路５の前
に接続しても良いことは当然である。第１図のように、
差動増幅回路４の前に接続する場合は２つのバンドパス
フィルタ３−1,3−２を用意し、変位信号S1と信号発生
器１からの基準信号S2の両方に挿入する必要がある。そ
してバンドパスフィルタは搬送波と周波数が一致してい
なければその位相が変化してしまうために、第１図のよ
うにの変位信号S1と基準信号S2との両方をバンドパスフ
ィルタ３−1,3−２に通すことで、位相のずれを防ぐこ
とができる。第５図は本発明のインダクタンス形変位セ
ンサの具体的構成を示すブロック図であり、同図におい
て、第１図と同一符号を付した部分は同一又は相当部分
を示す。図示するように、信号発生器１からの搬送波は
抵抗器R1を通して検出コイル２−１と検出コイル２−２
の直列回路と抵抗器R2と抵抗器R3の直列回路に接続され
る。被測定体の変位により検出コイル２−１及び検出コ
イル２−２のインダクタンスが変化するのに対して、抵
抗器R2及び抵抗器R3の抵抗値は変化しないから、検出コ
イル２−１と検出コイル２−２の接続点からは変位信号
S1が出力され、抵抗器R2と抵抗器R3の接続点からは基準
信号S2が出力される。変位信号S1はバンドパスフィルタ
３−１を通り、コンデンサC3及び抵抗器R5を通って差動
増幅回路４の一方の入力端子に入力される。また、基準
信号S2はバンドパスフィルタ３−２を通り、コンデンサ
C2と抵抗器R4を通って差動増幅回路４の他方の入力端子
に入力される。該差動増幅回路４で変位信号S1と基準信
号S2との差がとられこの差信号が増幅され、同期検波回
路５に入力される。該同期検波回路５では信号発生器１
からの同期信号S3との間で同期検波され出力信号SOUTを
得る。なお、第５図において、C1はコンデンサである。
上記のように変位信号の角周波数ωｍの２倍（２ωｍ）
のバンド幅を有するバンドパスフィルタ３−1,3−２を
設けることにより、検出コイル２−1,2−２やセンサケ
ーブルが、モータや電磁石のような商用周波数等の雑音
源に接近して配置されても、該雑音源から混入する雑音
は充分低減されるから、より正確な変位を測定すること
ができる。
のバンド幅を有するバンドパスフィルタ３−1,3−２を
設けることにより、検出コイル２−1,2−２やセンサケ
ーブルが、モータや電磁石のような商用周波数等の雑音
源に接近して配置されても、該雑音源から混入する雑音
は充分低減されるから、より正確な変位を測定すること
ができる。
なお、上記実施例は本発明のインダクタンス形変位セン
サの一例であり、本発明のインダクタンス形変位センサ
は上記構成のものに限定されるものではなく、要は磁性
体で構成されたコアと、該コアに巻線された検出用コイ
ルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信号発生器
と、同期検波回路を具備し、磁性体からなる被測定体の
変位を非接触で測定するインダクタンス形変位センサ全
てに適用できる。
サの一例であり、本発明のインダクタンス形変位センサ
は上記構成のものに限定されるものではなく、要は磁性
体で構成されたコアと、該コアに巻線された検出用コイ
ルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信号発生器
と、同期検波回路を具備し、磁性体からなる被測定体の
変位を非接触で測定するインダクタンス形変位センサ全
てに適用できる。
以上説明したように本発明によれば、検出コイルからの
信号を当該センサに要求される応答周波数である被測定
体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド幅を有し
且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンドパスフィル
タを通した後に同期検波回路で検波するから、バンドパ
スフィルタの帯域幅成分以外の成分の雑音が検出用コイ
ル或いは検出用コイルと同期検波回路を接続する配線等
に混入しても、該雑音は充分に減衰され、被測定体のよ
り正確な変位を測定することができるという優れた効果
がえられる。例えば、バンドパスフィルタの減衰勾配が
20dB/Dec、帯域幅が10kHzで、搬送周波数が50kHz、雑音
が商用周波数の50Hzの場合、周波数に３桁の差があるの
で理論上この雑音は60dBに減衰されることになり、被測
定体の変位に殆ど影響しないことになる。
信号を当該センサに要求される応答周波数である被測定
体の変位の周波数の最大値の２倍以上のバンド幅を有し
且つ中心周波数が搬送波周波数であるバンドパスフィル
タを通した後に同期検波回路で検波するから、バンドパ
スフィルタの帯域幅成分以外の成分の雑音が検出用コイ
ル或いは検出用コイルと同期検波回路を接続する配線等
に混入しても、該雑音は充分に減衰され、被測定体のよ
り正確な変位を測定することができるという優れた効果
がえられる。例えば、バンドパスフィルタの減衰勾配が
20dB/Dec、帯域幅が10kHzで、搬送周波数が50kHz、雑音
が商用周波数の50Hzの場合、周波数に３桁の差があるの
で理論上この雑音は60dBに減衰されることになり、被測
定体の変位に殆ど影響しないことになる。
第１図は本発明のインダクタンス形変位センサの構成を
示すブロック図、第２図は検出コイルからの振幅変調さ
れた変位信号の波形図、第３図は変位信号のスペクトル
を示す図、第４図は変調変位信号，雑音スペクトルとバ
ンドパスフィルタのバンドを示す図、第５図は本発明の
インダクタンス形変位センサの具体的構成を示すブロッ
ク図、第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構
成を示すブロック図である。 図中、１……信号発生器、２−1,2−２……検出コイ
ル、３−1,3−２……バンドパスフィルタ、４……差動
増幅回路、５……同期検波回路。
示すブロック図、第２図は検出コイルからの振幅変調さ
れた変位信号の波形図、第３図は変位信号のスペクトル
を示す図、第４図は変調変位信号，雑音スペクトルとバ
ンドパスフィルタのバンドを示す図、第５図は本発明の
インダクタンス形変位センサの具体的構成を示すブロッ
ク図、第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構
成を示すブロック図である。 図中、１……信号発生器、２−1,2−２……検出コイ
ル、３−1,3−２……バンドパスフィルタ、４……差動
増幅回路、５……同期検波回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−171318（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−124955（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−120911（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】磁性体で構成されるコアと、該コアに巻線
された直列に接続された一対の検出用コイルと、搬送波
を該検出用コイルに供給する信号発生器と、同期検波回
路を具備し、磁性体からなる被測定体の変位による前記
検出用コイルのインダクタンス変化に基づく前記一対の
検出用コイルの接続点の搬送波信号の振幅変化を検出し
て被測定体の変位を非接触で測定するインダクタンス形
変位センサにおいて、 前記検出用コイルの接続点からの信号と前記信号発生器
からの搬送波信号をそれぞれバンドパスフィルタを通し
てから該両信号の差信号を得るか、又は両信号の差信号
を得てから該差信号をバンドパスフィルタを通し、該差
信号を前記同期検波回路で前記搬送波信号との間で同期
検波するように構成し、 前記バンドパスフィルタは当該センサに要求される応答
周波数である前記被測定体の変位の周波数の最大値の２
倍以上のバンド幅を有し、且つ中心周波数が前記搬送波
周波数であるバンドパスフィルタであることを特徴とす
るインダクタンス形変位センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342771A JPH0797009B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | インダクタンス形変位センサ |
| DE69010873T DE69010873T2 (de) | 1989-12-29 | 1990-12-21 | Von externen Störungen weniger beeinflusste Verschiebungssensorschaltung. |
| EP90125306A EP0435233B1 (en) | 1989-12-29 | 1990-12-21 | Displacement sensing circuit less influenced by external noises |
| US07/633,842 US5107210A (en) | 1989-12-29 | 1990-12-26 | Displacement sensing circuit with coil and band pass filter for attenuating external interference |
| KR1019900022250A KR0165892B1 (ko) | 1989-12-29 | 1990-12-28 | 외부잡음에 영향을 덜 받는 변위감지회로 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342771A JPH0797009B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | インダクタンス形変位センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03202702A JPH03202702A (ja) | 1991-09-04 |
| JPH0797009B2 true JPH0797009B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=18356372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1342771A Expired - Lifetime JPH0797009B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | インダクタンス形変位センサ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5107210A (ja) |
| EP (1) | EP0435233B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0797009B2 (ja) |
| KR (1) | KR0165892B1 (ja) |
| DE (1) | DE69010873T2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5367255A (en) * | 1991-12-02 | 1994-11-22 | Mts System Corp | Magnetostrictive position transducer with band passed mode converter output for rejecting mechanical noise |
| US5986448A (en) * | 1991-12-27 | 1999-11-16 | Ntn Corporation | Revolving speed detecting device with reduced eddy current loss |
| US5359238A (en) * | 1992-08-04 | 1994-10-25 | Ford Motor Company | Analog to digital interface circuit with internal resistance compensation and integrity verification |
| JP2739539B2 (ja) * | 1993-02-05 | 1998-04-15 | セイコー精機株式会社 | 軸の撓み量検出装置 |
| US5329416A (en) * | 1993-07-06 | 1994-07-12 | Alliedsignal Inc. | Active broadband magnetic flux rate feedback sensing arrangement |
| US5394290A (en) * | 1993-07-06 | 1995-02-28 | Alliedsignal Inc. | Active tuned magnetic flux rate feedback sensing arrangement |
| DE19511436A1 (de) * | 1995-03-29 | 1996-10-02 | Oelsch Fernsteuergeraete | Steuersignalgeber zur Erzeugung mehrerer Steuersignale mittels eines einzigen Steuerhebels |
| JP3701115B2 (ja) * | 1998-02-12 | 2005-09-28 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受制御装置 |
| JP3901897B2 (ja) | 1999-08-25 | 2007-04-04 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受装置 |
| JP3888427B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-03-07 | 学校法人日本大学 | 変位センサ |
| KR20040035975A (ko) * | 2002-10-14 | 2004-04-30 | 주식회사 한국이미지 | 물체감지용 써치코일 |
| JP4690110B2 (ja) | 2004-05-24 | 2011-06-01 | 株式会社ミツトヨ | 差動トランスの信号処理装置及び信号処理方法 |
| US7256575B2 (en) * | 2004-06-01 | 2007-08-14 | Tektronix, Inc. | Wide bandwidth attenuator input circuit for a measurement probe |
| US7784565B2 (en) * | 2008-09-17 | 2010-08-31 | National Oilwell Varco, L.P. | Top drive systems with main shaft deflecting sensing |
| DE102013113073A1 (de) | 2013-11-26 | 2015-05-28 | Addi-Data Gmbh | Induktiver Messtaster und Verfahren zum Betreiben eines induktiven Messtasters |
| JP6770300B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2020-10-14 | 株式会社ミツトヨ | 計測機器用の信号処理回路 |
| CN106091909A (zh) * | 2016-08-02 | 2016-11-09 | 无锡研奥电子科技有限公司 | 一种电感式位移传感器电路 |
| EP3896385B1 (en) * | 2018-12-11 | 2024-01-17 | Rorze Corporation | Electrostatic capacitance sensor |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1107953B (de) * | 1958-02-19 | 1961-05-31 | Ferranti Ltd Electrical & Gene | Elektromagnetischer Wandler |
| US3488581A (en) * | 1967-10-03 | 1970-01-06 | Reliance Electric & Eng Co | Surface interruption calibrated non-contact transducer system |
| US3715659A (en) * | 1970-03-25 | 1973-02-06 | Reliance Electric Co | Inductive non-contact vibration analyzer which is independent of standoff distance |
| US4321602A (en) * | 1980-07-07 | 1982-03-23 | Rca Corporation | Frequency-tracking filter, as for use in FM-CW radar |
| JPS57186102A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-16 | Mitsubishi Electric Corp | Detector for rotational angle |
| JPS58124955A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転信号発生装置 |
| US4678992A (en) * | 1983-07-12 | 1987-07-07 | Hi-Tech Systems, Corp. | Electronic metal detector |
| US4654589A (en) * | 1983-09-30 | 1987-03-31 | The Boeing Company | Apparatus and method for identifying a reference location for a work piece |
| JPS62173005A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-29 | Kobe Steel Ltd | 錫を含有するアルミニウム合金板材の製造方法 |
| JPS63171318A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | 回転検出装置 |
| IT209873Z2 (it) * | 1987-01-16 | 1988-11-04 | Itt Ind Riunite Srl | Dispositivo circuitale per il rilevamento dell'assetto di veicoli. |
| FR2630541B1 (fr) * | 1988-04-22 | 1993-01-22 | Mecanique Magnetique Sa | Capteur inductif pour palier magnetique radial |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP1342771A patent/JPH0797009B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-21 EP EP90125306A patent/EP0435233B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-21 DE DE69010873T patent/DE69010873T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-26 US US07/633,842 patent/US5107210A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-28 KR KR1019900022250A patent/KR0165892B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03202702A (ja) | 1991-09-04 |
| KR910012669A (ko) | 1991-08-08 |
| EP0435233B1 (en) | 1994-07-20 |
| DE69010873D1 (de) | 1994-08-25 |
| EP0435233A1 (en) | 1991-07-03 |
| KR0165892B1 (ko) | 1999-03-30 |
| US5107210A (en) | 1992-04-21 |
| DE69010873T2 (de) | 1995-03-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091018 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091018 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101018 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101018 Year of fee payment: 15 |