JPH03202702A - インダクタンス形変位センサ - Google Patents
インダクタンス形変位センサInfo
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- JPH03202702A JPH03202702A JP1342771A JP34277189A JPH03202702A JP H03202702 A JPH03202702 A JP H03202702A JP 1342771 A JP1342771 A JP 1342771A JP 34277189 A JP34277189 A JP 34277189A JP H03202702 A JPH03202702 A JP H03202702A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、検出用フィルのインダクタンス変化により、
磁性体からなる被測定体の変位を検出するインダクタン
ス形変位センサに関し、検出用フィル又は検出用コイル
と検波回路の間の電線等の配線に外部からの雑音が入っ
てもこの雑音の影響がなく変位を測定できるインダクタ
ンス形変位センサに関するものである。
磁性体からなる被測定体の変位を検出するインダクタン
ス形変位センサに関し、検出用フィル又は検出用コイル
と検波回路の間の電線等の配線に外部からの雑音が入っ
てもこの雑音の影響がなく変位を測定できるインダクタ
ンス形変位センサに関するものである。
第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構成を示
すブロック図である。同図において、１００は搬送波信
号を発生する信号発生器、１０１−１，１０１−２はそ
れぞれ検出コイル、１０３は差動増幅回路、１０４は同
期検波回路である。
すブロック図である。同図において、１００は搬送波信
号を発生する信号発生器、１０１−１，１０１−２はそ
れぞれ検出コイル、１０３は差動増幅回路、１０４は同
期検波回路である。
検出コイル１０１−１及び１０１−２はそれぞれ磁性体
で構成されたコアに巻線されており、互いに対向して配
置され、その間に磁性体からなる回転体等の被測定体が
配置されている。従って、被測定体が所定位置より変位
すると、検出フィル１０１−１及び１０１−２のインダ
クタンスが変化する。
で構成されたコアに巻線されており、互いに対向して配
置され、その間に磁性体からなる回転体等の被測定体が
配置されている。従って、被測定体が所定位置より変位
すると、検出フィル１０１−１及び１０１−２のインダ
クタンスが変化する。
上記構成のインダクタンス形変位センサにおいて、検出
フィル１０１−１と１０１−２の接続点からの信号を差
動増幅回路１０３で基準信号と差動的増幅し、その出力
を同期検波回路１０４を通して、同期検波して出力信号
を得ている。
フィル１０１−１と１０１−２の接続点からの信号を差
動増幅回路１０３で基準信号と差動的増幅し、その出力
を同期検波回路１０４を通して、同期検波して出力信号
を得ている。
しかしながら、上記従来構成のインダクタンス形変位セ
ンサにおいては、検出フィル１０１−１と１０１−２の
接続点は差動増幅回路１０３に配線で接続されており、
外部雑音があると、この雑音と振幅変調された変位信号
が混在したまま基準信号と差動的に増幅されるため、同
期検波回路１０４を通した後も、この雑音が変位信号の
歪として残ってしまい、被測定体の正確な変位を測定で
きないという欠点があった。
ンサにおいては、検出フィル１０１−１と１０１−２の
接続点は差動増幅回路１０３に配線で接続されており、
外部雑音があると、この雑音と振幅変調された変位信号
が混在したまま基準信号と差動的に増幅されるため、同
期検波回路１０４を通した後も、この雑音が変位信号の
歪として残ってしまい、被測定体の正確な変位を測定で
きないという欠点があった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、外部から侵
入する雑音を減衰させて同期検波することにより、該雑
音の影響を除去し被測定体の変位を正確に測定できるイ
ンダクタンス形変位センサを提供することにある。
入する雑音を減衰させて同期検波することにより、該雑
音の影響を除去し被測定体の変位を正確に測定できるイ
ンダクタンス形変位センサを提供することにある。
上記課題を解決するため本発明は、磁性体で構成された
コアと、該コアに巻線された検出用コイルと、搬送波を
該検出用コイルに供給する信号発生器と、同期検波回路
を具備し、磁性体からなる被測定体の変位を非接触で測
定する測定するインダクタンス形変位センサにおいて、
検出用コイルからの信号を、当該センサに要求される応
答周波数の２倍以上のバンド幅を持つバンドパスフィル
タに通した後に同期検波回路で検波することを特徴とす
る。
コアと、該コアに巻線された検出用コイルと、搬送波を
該検出用コイルに供給する信号発生器と、同期検波回路
を具備し、磁性体からなる被測定体の変位を非接触で測
定する測定するインダクタンス形変位センサにおいて、
検出用コイルからの信号を、当該センサに要求される応
答周波数の２倍以上のバンド幅を持つバンドパスフィル
タに通した後に同期検波回路で検波することを特徴とす
る。
インダクタンス形変位センサを上記の如く構成すること
により、検出用コイルからの信号を、当該センサに要求
される応答周波数の２倍以上のバンド幅を持つバンドパ
スフィルタに通した後に同期検波回路で検波するから、
バンドパスフィルタの帯域幅以外の周波数成分の雑音が
検出用フィル或いは検出用コイルと同期検波回路を接続
する配線等に混入しても、該雑音は充分に減衰され、被
測定体のより正確な変位を測定することが可能となる。
により、検出用コイルからの信号を、当該センサに要求
される応答周波数の２倍以上のバンド幅を持つバンドパ
スフィルタに通した後に同期検波回路で検波するから、
バンドパスフィルタの帯域幅以外の周波数成分の雑音が
検出用フィル或いは検出用コイルと同期検波回路を接続
する配線等に混入しても、該雑音は充分に減衰され、被
測定体のより正確な変位を測定することが可能となる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明のインダクタンス形変位センサの構成を
示すブロック図である。同図において、１は搬送波信号
を発生する信号発生器、２−１゜２−２は検出コイル、
３−１．３−２はバンドパスフィルタ、４は差動増幅回
路、５は同期検波回路である。検出コイル２−１及び検
出コイル２−２は図示を省略するが、磁性体で構成され
たコアに巻線され、磁性体からなる被測定体に対向して
配置され、被測定体の変位により検出フィル２−１と検
出コイル２−２のインダクタンスがそれぞれ変化するよ
うになっている。従って、検出コイル２−１と検出コイ
ル２−２の接続点の電位は被測定体の変位に伴って変化
する。
示すブロック図である。同図において、１は搬送波信号
を発生する信号発生器、２−１゜２−２は検出コイル、
３−１．３−２はバンドパスフィルタ、４は差動増幅回
路、５は同期検波回路である。検出コイル２−１及び検
出コイル２−２は図示を省略するが、磁性体で構成され
たコアに巻線され、磁性体からなる被測定体に対向して
配置され、被測定体の変位により検出フィル２−１と検
出コイル２−２のインダクタンスがそれぞれ変化するよ
うになっている。従って、検出コイル２−１と検出コイ
ル２−２の接続点の電位は被測定体の変位に伴って変化
する。
検出コイル２−１と２−１の接続点から出力される振幅
変調された変位信号ＳＩはバンド／くスフィルタ３−１
を通って差動増幅回路４の一方の入力端子に入力され、
信号発生器１からの基準信号Ｓ１はバンドパスフィルタ
３−２を通って差動増幅回路４の他方の入力端子に入力
される。差動増幅回路４において、変位信号Ｓ、と基準
信号Ｓ。
変調された変位信号ＳＩはバンド／くスフィルタ３−１
を通って差動増幅回路４の一方の入力端子に入力され、
信号発生器１からの基準信号Ｓ１はバンドパスフィルタ
３−２を通って差動増幅回路４の他方の入力端子に入力
される。差動増幅回路４において、変位信号Ｓ、と基準
信号Ｓ。
は差動的に増幅され同期検波回路５に入力され、該同期
検波回路５において、信号発生器１からの同期信号Ｓ、
と同期検波する。
検波回路５において、信号発生器１からの同期信号Ｓ、
と同期検波する。
上記構成のインダクタンス形変位センサにおいて、イン
ダクタンスの変化を電圧の変化に置き直すために、その
変位信号は搬送波を振幅変調した信号となる。簡単のた
めに変位信号周波数を一つとして第２図を用いて説明す
る。搬送波の角周波数をω。、実効値振幅をＥ６として
、変位信号の角周波数をω１．変調度をｍとした場合に
、変調波は、 ｅ ” ＩＴ Ｅ ｅ（１＋ ｍ ＩＩｃｏｓω、ｔ）
ｃｏｓωｃｔ＋ｍ≦１（１） で表わされる。
ダクタンスの変化を電圧の変化に置き直すために、その
変位信号は搬送波を振幅変調した信号となる。簡単のた
めに変位信号周波数を一つとして第２図を用いて説明す
る。搬送波の角周波数をω。、実効値振幅をＥ６として
、変位信号の角周波数をω１．変調度をｍとした場合に
、変調波は、 ｅ ” ＩＴ Ｅ ｅ（１＋ ｍ ＩＩｃｏｓω、ｔ）
ｃｏｓωｃｔ＋ｍ≦１（１） で表わされる。
なお、第２図において、２０１はＥ、、１．２０２はＥ
−＋−，２０３は、／ＴＥ、、 ２０４はｍｆ丁Ｅ、を
それぞれ示す。ここで、 ｍ” （Ｅｍｕｚ Ｅａｔｓ ） ／ （Ｅｍｕ、
十Ｅ＋＋＋＋ａ ） （２）さらに、式（１）を変形
すると、 ｅ −ＩＴ Ｅ ｃｃｏｓ（１） 、ｋ（Ｅ’−Ｅ 、
（ｃｏｓ（（Ｌ） ｅ ＋ （Ｌ）ｖ、）す／ ２ 十
ｍ Ｖ７″ＴＥ Ｊｃｏｓ（ω８−ω、＞ｔＶ、ｐ
（３）となり、そのスペクトルは第３図に示すようにな
る。つまり搬送波の角周波数ω。の成分３０１と、変位
信号の角周波数ω、によるω。±ω１の成分３０２，３
０３とからなっている。
−＋−，２０３は、／ＴＥ、、 ２０４はｍｆ丁Ｅ、を
それぞれ示す。ここで、 ｍ” （Ｅｍｕｚ Ｅａｔｓ ） ／ （Ｅｍｕ、
十Ｅ＋＋＋＋ａ ） （２）さらに、式（１）を変形
すると、 ｅ −ＩＴ Ｅ ｃｃｏｓ（１） 、ｋ（Ｅ’−Ｅ 、
（ｃｏｓ（（Ｌ） ｅ ＋ （Ｌ）ｖ、）す／ ２ 十
ｍ Ｖ７″ＴＥ Ｊｃｏｓ（ω８−ω、＞ｔＶ、ｐ
（３）となり、そのスペクトルは第３図に示すようにな
る。つまり搬送波の角周波数ω。の成分３０１と、変位
信号の角周波数ω、によるω。±ω１の成分３０２，３
０３とからなっている。
ここに、雑音の角周波数ω。が入ると、ｅ ＝ 、／Ｔ
Ｅ ｃｃｏｓωｃｔ ＋ ｍ ＩＴ Ｅ Ｊｃｏｓ（
ω計ω１）ｔし２ 十ｍ ｌ”Ｅ”’Ｅ Ｊｃｏｓ（ω
、 −（１） 、） ｔＪ／ ２＋ＥＩＩＣＯ５ωｌｌ
ｔ （４）Ｅ、は雑音の振幅 のように表わされる。
Ｅ ｃｃｏｓωｃｔ ＋ ｍ ＩＴ Ｅ Ｊｃｏｓ（
ω計ω１）ｔし２ 十ｍ ｌ”Ｅ”’Ｅ Ｊｃｏｓ（ω
、 −（１） 、） ｔＪ／ ２＋ＥＩＩＣＯ５ωｌｌ
ｔ （４）Ｅ、は雑音の振幅 のように表わされる。
ここで、バンドパスフィルタ３−１．３−２のバンド幅
を第４図の４０１に示すような幅とすると、このバンド
幅以外の雑音成分（ω、） ４０２を除去することがで
きる。ここで、変位信号の角周波数ω、が変位センサの
周波数応答範囲の上限であれば、バンドパスフィルタ３
−１．３−２のバンド幅は２ω、あれば良いことになる
。このバンドパスフィルタ３−１．３−２を第１図に示
すように差動増幅回路４の前に接続することにより、セ
ンサ出力Ｓ。ＯＴには雑音の少ない一信号が表れる。な
お、上記例ではバンドパスフィルタ３−１．３−２を差
動増幅回路４の前に接続したが、該バンドパスフィルタ
は同期検波回路５の前に接続しても良いことは当然であ
る。第１図のように、差動増幅回路４の前に接続する場
合は２つのバンドパスフィルタ３−１．３−２を用意し
、変位信号Ｓ、と信号発生器１からの基準信号Ｓ、の両
方に挿入する必要がある。そしてバンドパスフィルタは
搬送波と周波数が一致していなければその位相が変化し
てしまうために、第１図のようにの変位信号Ｓ１と基準
信号Ｓ、との両方をバンドパスフィルタ３−１．３−２
に通すことで、位相のずれを防ぐことができる。第５図
は本発明のインダクタンス形変位センサの具体的構成を
示すブロック図であり、同図において、第１図と同一符
号を付した部分は同−又は相当部分を示す。図示するよ
うに、信号発生器１からの搬送波は抵抗器Ｒ８を通して
検出コイル２−１と検出コイル２−２の直列回路と抵抗
器Ｒ１と抵抗器Ｒ８の直列回路に接続される。被測定体
の変位により検出コイル２−１及び検出コイル２−２の
インダクタンスが変化するのに対して、抵抗器Ｒ８及び
抵抗器Ｒ３の抵抗値は変化しないから、検出コイル２−
１と検出コイル２−２の接続点からは変位信号Ｓ、が出
力され、抵抗器Ｒ１と抵抗器Ｒ１の接続点からは基準信
号Ｓ、が出力される。変位信号ＳＩはバンドパスフィル
タ３−１を通り、コンデンサＣ３及び抵抗器Ｒ５を通っ
て差動増幅回路４の一方の入力端子に入力される。また
、基準信号Ｓ、はバンドパスフィルタ３−２を通り、コ
ンデンサＣ１と抵抗器Ｒ４を通って差動増幅回路４の他
方の入力端子に入力される。該差動増幅回路４で変位信
号Ｓ、と基準信号Ｓ、との差がとられこの差信号が増幅
され、同期検波回路５に入力される。該同期検波回路５
では信号発生器１からの同期信号Ｓ、との間で同期検波
され出力信号Ｓ。ＵＴを得る。なお、第５図において、
Ｃ１はコンデンサである。
を第４図の４０１に示すような幅とすると、このバンド
幅以外の雑音成分（ω、） ４０２を除去することがで
きる。ここで、変位信号の角周波数ω、が変位センサの
周波数応答範囲の上限であれば、バンドパスフィルタ３
−１．３−２のバンド幅は２ω、あれば良いことになる
。このバンドパスフィルタ３−１．３−２を第１図に示
すように差動増幅回路４の前に接続することにより、セ
ンサ出力Ｓ。ＯＴには雑音の少ない一信号が表れる。な
お、上記例ではバンドパスフィルタ３−１．３−２を差
動増幅回路４の前に接続したが、該バンドパスフィルタ
は同期検波回路５の前に接続しても良いことは当然であ
る。第１図のように、差動増幅回路４の前に接続する場
合は２つのバンドパスフィルタ３−１．３−２を用意し
、変位信号Ｓ、と信号発生器１からの基準信号Ｓ、の両
方に挿入する必要がある。そしてバンドパスフィルタは
搬送波と周波数が一致していなければその位相が変化し
てしまうために、第１図のようにの変位信号Ｓ１と基準
信号Ｓ、との両方をバンドパスフィルタ３−１．３−２
に通すことで、位相のずれを防ぐことができる。第５図
は本発明のインダクタンス形変位センサの具体的構成を
示すブロック図であり、同図において、第１図と同一符
号を付した部分は同−又は相当部分を示す。図示するよ
うに、信号発生器１からの搬送波は抵抗器Ｒ８を通して
検出コイル２−１と検出コイル２−２の直列回路と抵抗
器Ｒ１と抵抗器Ｒ８の直列回路に接続される。被測定体
の変位により検出コイル２−１及び検出コイル２−２の
インダクタンスが変化するのに対して、抵抗器Ｒ８及び
抵抗器Ｒ３の抵抗値は変化しないから、検出コイル２−
１と検出コイル２−２の接続点からは変位信号Ｓ、が出
力され、抵抗器Ｒ１と抵抗器Ｒ１の接続点からは基準信
号Ｓ、が出力される。変位信号ＳＩはバンドパスフィル
タ３−１を通り、コンデンサＣ３及び抵抗器Ｒ５を通っ
て差動増幅回路４の一方の入力端子に入力される。また
、基準信号Ｓ、はバンドパスフィルタ３−２を通り、コ
ンデンサＣ１と抵抗器Ｒ４を通って差動増幅回路４の他
方の入力端子に入力される。該差動増幅回路４で変位信
号Ｓ、と基準信号Ｓ、との差がとられこの差信号が増幅
され、同期検波回路５に入力される。該同期検波回路５
では信号発生器１からの同期信号Ｓ、との間で同期検波
され出力信号Ｓ。ＵＴを得る。なお、第５図において、
Ｃ１はコンデンサである。
上記のように変位信号の角周波数ω、の２倍（２ω、）
のバント幅を有するバンドパスフィルタ３−１．３−２
を設けることにより、検出コイル２−１．２−２やセン
サケーブルが、モータや電磁石のような商用周波数等の
雑音源に接近して配置されても、該雑音源から混入する
雑音は充分低減されるから、より正確な変位を測定する
ことができる。
のバント幅を有するバンドパスフィルタ３−１．３−２
を設けることにより、検出コイル２−１．２−２やセン
サケーブルが、モータや電磁石のような商用周波数等の
雑音源に接近して配置されても、該雑音源から混入する
雑音は充分低減されるから、より正確な変位を測定する
ことができる。
なお、上記実施例は本発明のインダクタンス形変位セン
サの一例であり、本発明のインダクタンス形変位センサ
は上記構成のものに限定されるものではなく、要は磁性
体で構成されたコアと、該コアに巻線された検出用コイ
ルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信号発生器と
、同期検波回路を具備し、磁性体からなる被測定体の変
位を非接触で測定するインダクタンス形変位センサ全て
に適用できる。
サの一例であり、本発明のインダクタンス形変位センサ
は上記構成のものに限定されるものではなく、要は磁性
体で構成されたコアと、該コアに巻線された検出用コイ
ルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信号発生器と
、同期検波回路を具備し、磁性体からなる被測定体の変
位を非接触で測定するインダクタンス形変位センサ全て
に適用できる。
以上説明したように本発明によれば、検出用コイルから
の信号を、当該センサに要求される応答周波数の２倍以
上のバンド幅を持つバンドバスフィルタに通した後に同
期検波回路で検波するから、バンドパスフィルタの帯域
幅成分以外の成分の雑音が検出用コイル或いは検出用コ
イルと同期検波回路を接続する配線等に混入しても、該
雑音は充分に減衰され、被測定体のより正確な変位を測
定することができるという優れた効果かえられる。例え
ば、バンドパスフィルタの減衰勾配が２０ｄＢ／Ｄｅｃ
、帯域幅が１０ｋＨｚで、搬送周波数が５０ｋＨｚ、雑
音が商用周波数の５０Ｈｚの場合、周波数に３桁の差が
あるので理論上この雑音は６０ｄＢに減衰されることに
なり、被測定体の変位に殆ど影響しないことになる。
の信号を、当該センサに要求される応答周波数の２倍以
上のバンド幅を持つバンドバスフィルタに通した後に同
期検波回路で検波するから、バンドパスフィルタの帯域
幅成分以外の成分の雑音が検出用コイル或いは検出用コ
イルと同期検波回路を接続する配線等に混入しても、該
雑音は充分に減衰され、被測定体のより正確な変位を測
定することができるという優れた効果かえられる。例え
ば、バンドパスフィルタの減衰勾配が２０ｄＢ／Ｄｅｃ
、帯域幅が１０ｋＨｚで、搬送周波数が５０ｋＨｚ、雑
音が商用周波数の５０Ｈｚの場合、周波数に３桁の差が
あるので理論上この雑音は６０ｄＢに減衰されることに
なり、被測定体の変位に殆ど影響しないことになる。
第１図は本発明のインダクタンス形変位センサの構成を
示すブロック図、第２図は検出コイルからの振幅変調さ
れた変位信号の波形図、第３図は変位信号のスペクトル
を示す図、第４図は変調変位信号、Ｓ音スペクトルとバ
ンドパスフィルタのバンドを示す図、第５図は本発明の
インダクタンス形変位センサの具体的構成を示すブロッ
ク図、第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構
成を示すブロック図である。 図中、１・・・・信号発生器、２−１．２−２・・・・
検出フィル、３−１．３−２・・・・バンドパスフィル
タ、４・・・・差動増幅回路、５・・・・同期検波回路
。
示すブロック図、第２図は検出コイルからの振幅変調さ
れた変位信号の波形図、第３図は変位信号のスペクトル
を示す図、第４図は変調変位信号、Ｓ音スペクトルとバ
ンドパスフィルタのバンドを示す図、第５図は本発明の
インダクタンス形変位センサの具体的構成を示すブロッ
ク図、第６図は従来のインダクタンス形変位センサの構
成を示すブロック図である。 図中、１・・・・信号発生器、２−１．２−２・・・・
検出フィル、３−１．３−２・・・・バンドパスフィル
タ、４・・・・差動増幅回路、５・・・・同期検波回路
。
Claims (1)
- 磁性体で構成されたコアと、該コアに巻線された検出用
コイルと、搬送波を該検出用コイルに供給する信号発生
器と、同期検波回路を具備し、磁性体からなる被測定体
の変位を非接触で測定するインダクタンス形変位センサ
において、前記検出用コイルからの信号を、当該センサ
に要求される応答周波数の２倍以上のバンド幅を持つバ
ンドパスフィルタに通した後に前記同期検波回路で検波
することを特徴とするインダクタンス形変位センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342771A JPH0797009B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | インダクタンス形変位センサ |
| DE69010873T DE69010873T2 (de) | 1989-12-29 | 1990-12-21 | Von externen Störungen weniger beeinflusste Verschiebungssensorschaltung. |
| EP90125306A EP0435233B1 (en) | 1989-12-29 | 1990-12-21 | Displacement sensing circuit less influenced by external noises |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6326712B1 (en) | 1999-08-25 | 2001-12-04 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device |
| KR20040035975A (ko) * | 2002-10-14 | 2004-04-30 | 주식회사 한국이미지 | 물체감지용 써치코일 |
| CN106091909A (zh) * | 2016-08-02 | 2016-11-09 | 无锡研奥电子科技有限公司 | 一种电感式位移传感器电路 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5367255A (en) * | 1991-12-02 | 1994-11-22 | Mts System Corp | Magnetostrictive position transducer with band passed mode converter output for rejecting mechanical noise |
| US5986448A (en) * | 1991-12-27 | 1999-11-16 | Ntn Corporation | Revolving speed detecting device with reduced eddy current loss |
| US5359238A (en) * | 1992-08-04 | 1994-10-25 | Ford Motor Company | Analog to digital interface circuit with internal resistance compensation and integrity verification |
| JP2739539B2 (ja) * | 1993-02-05 | 1998-04-15 | セイコー精機株式会社 | 軸の撓み量検出装置 |
| US5394290A (en) * | 1993-07-06 | 1995-02-28 | Alliedsignal Inc. | Active tuned magnetic flux rate feedback sensing arrangement |
| US5329416A (en) * | 1993-07-06 | 1994-07-12 | Alliedsignal Inc. | Active broadband magnetic flux rate feedback sensing arrangement |
| DE19511436A1 (de) * | 1995-03-29 | 1996-10-02 | Oelsch Fernsteuergeraete | Steuersignalgeber zur Erzeugung mehrerer Steuersignale mittels eines einzigen Steuerhebels |
| JP3701115B2 (ja) * | 1998-02-12 | 2005-09-28 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受制御装置 |
| JP3888427B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-03-07 | 学校法人日本大学 | 変位センサ |
| JP4690110B2 (ja) | 2004-05-24 | 2011-06-01 | 株式会社ミツトヨ | 差動トランスの信号処理装置及び信号処理方法 |
| US7256575B2 (en) * | 2004-06-01 | 2007-08-14 | Tektronix, Inc. | Wide bandwidth attenuator input circuit for a measurement probe |
| US7784565B2 (en) * | 2008-09-17 | 2010-08-31 | National Oilwell Varco, L.P. | Top drive systems with main shaft deflecting sensing |
| DE102013113073A1 (de) | 2013-11-26 | 2015-05-28 | Addi-Data Gmbh | Induktiver Messtaster und Verfahren zum Betreiben eines induktiven Messtasters |
| JP6770300B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2020-10-14 | 株式会社ミツトヨ | 計測機器用の信号処理回路 |
| US11688617B2 (en) * | 2018-12-11 | 2023-06-27 | Rorze Corporation | Electrostatic capacitance sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58124955A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転信号発生装置 |
| JPS63171318A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | 回転検出装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1107953B (de) * | 1958-02-19 | 1961-05-31 | Ferranti Ltd Electrical & Gene | Elektromagnetischer Wandler |
| US3488581A (en) * | 1967-10-03 | 1970-01-06 | Reliance Electric & Eng Co | Surface interruption calibrated non-contact transducer system |
| US3715659A (en) * | 1970-03-25 | 1973-02-06 | Reliance Electric Co | Inductive non-contact vibration analyzer which is independent of standoff distance |
| US4321602A (en) * | 1980-07-07 | 1982-03-23 | Rca Corporation | Frequency-tracking filter, as for use in FM-CW radar |
| JPS57186102A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-16 | Mitsubishi Electric Corp | Detector for rotational angle |
| US4678992A (en) * | 1983-07-12 | 1987-07-07 | Hi-Tech Systems, Corp. | Electronic metal detector |
| US4654589A (en) * | 1983-09-30 | 1987-03-31 | The Boeing Company | Apparatus and method for identifying a reference location for a work piece |
| JPS62173005A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-29 | Kobe Steel Ltd | 錫を含有するアルミニウム合金板材の製造方法 |
| IT209873Z2 (it) * | 1987-01-16 | 1988-11-04 | Itt Ind Riunite Srl | Dispositivo circuitale per il rilevamento dell'assetto di veicoli. |
| FR2630541B1 (fr) * | 1988-04-22 | 1993-01-22 | Mecanique Magnetique Sa | Capteur inductif pour palier magnetique radial |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP1342771A patent/JPH0797009B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-21 EP EP90125306A patent/EP0435233B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-21 DE DE69010873T patent/DE69010873T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-26 US US07/633,842 patent/US5107210A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-28 KR KR1019900022250A patent/KR0165892B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58124955A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転信号発生装置 |
| JPS63171318A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Fuji Electric Co Ltd | 回転検出装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6326712B1 (en) | 1999-08-25 | 2001-12-04 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device |
| KR20040035975A (ko) * | 2002-10-14 | 2004-04-30 | 주식회사 한국이미지 | 물체감지용 써치코일 |
| CN106091909A (zh) * | 2016-08-02 | 2016-11-09 | 无锡研奥电子科技有限公司 | 一种电感式位移传感器电路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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