JPH0676809B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- JPH0676809B2 JPH0676809B2 JP19249791A JP19249791A JPH0676809B2 JP H0676809 B2 JPH0676809 B2 JP H0676809B2 JP 19249791 A JP19249791 A JP 19249791A JP 19249791 A JP19249791 A JP 19249791A JP H0676809 B2 JPH0676809 B2 JP H0676809B2
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- magnetic bearing
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
- F16C32/0448—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors by using the electromagnet itself as sensor, e.g. sensorless magnetic bearings
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気軸受装置に係り、
特に磁気力により被支持体を非接触状態で支持する磁気
軸受装置に関するものである。
特に磁気力により被支持体を非接触状態で支持する磁気
軸受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の磁気軸受装置の説明図であ
る。一般に磁気軸受装置は、磁力により支持力を発揮す
る電磁石１１と、被支持体１３の移動量を検出する位置
センサ１５と、センサアンプ１７により検出された信号
に基づき、制御信号を発する制御回路１９と、その制御
信号に基づき電磁石コイル１２に電流を供給するパワー
アンプ１８とから構成されている。
る。一般に磁気軸受装置は、磁力により支持力を発揮す
る電磁石１１と、被支持体１３の移動量を検出する位置
センサ１５と、センサアンプ１７により検出された信号
に基づき、制御信号を発する制御回路１９と、その制御
信号に基づき電磁石コイル１２に電流を供給するパワー
アンプ１８とから構成されている。
【０００３】電磁石１１のコイル１２による磁界によっ
てヨーク部１４は被支持体１３を吸引する。この吸引力
を制御し、任意の位置で安定支持するために、位置セン
サ１５を備えている。このようにして、磁気軸受におい
ては、位置センサ１５は被支持体１３の位置制御に必要
不可欠のものである。
てヨーク部１４は被支持体１３を吸引する。この吸引力
を制御し、任意の位置で安定支持するために、位置セン
サ１５を備えている。このようにして、磁気軸受におい
ては、位置センサ１５は被支持体１３の位置制御に必要
不可欠のものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この被支持体の位置を
検出するために、従来位置検出のためのセンサを備えて
いた。この位置検出のためのセンサは、例えば、インダ
クタンスの変化による電磁誘導型センサでは、支持力を
与える電磁石の近傍に、特別の検出用のコイルを設け
て、検出用の信号を印加する等、専用の測定系により測
定を行っていた。そのために電磁石の吸引力の作用点で
ある被支持体の部位と、位置センサの位置検出点である
被支持体の部位とを一致させることは構造上困難であっ
た。また、専用のコイル、測定系などが必要であり構造
が複雑となる欠点があった。
検出するために、従来位置検出のためのセンサを備えて
いた。この位置検出のためのセンサは、例えば、インダ
クタンスの変化による電磁誘導型センサでは、支持力を
与える電磁石の近傍に、特別の検出用のコイルを設け
て、検出用の信号を印加する等、専用の測定系により測
定を行っていた。そのために電磁石の吸引力の作用点で
ある被支持体の部位と、位置センサの位置検出点である
被支持体の部位とを一致させることは構造上困難であっ
た。また、専用のコイル、測定系などが必要であり構造
が複雑となる欠点があった。
【０００５】本発明は、上述の事情に鑑みなされたもの
で、その目的とするところは、制御用電磁石の作用点で
被支持体の位置検出を可能ならしめ、かつ位置検出用コ
イルを不用とし、磁気浮上された被支持体の移動量を簡
単な構造で検出できる磁気軸受装置を提供することにあ
る。
で、その目的とするところは、制御用電磁石の作用点で
被支持体の位置検出を可能ならしめ、かつ位置検出用コ
イルを不用とし、磁気浮上された被支持体の移動量を簡
単な構造で検出できる磁気軸受装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受装置
は、磁界発生用コイルとヨーク部からなる電磁石及び被
支持体を備えた磁気軸受装置において、前記磁界発生用
コイルを前記被支持体の移動量検出のためのコイルとし
て共用し、パルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源よりの
スイッチングリップル電流から移動量を検出し、この検
出された信号によって被支持体を所定位置に支承するよ
うに構成される。
は、磁界発生用コイルとヨーク部からなる電磁石及び被
支持体を備えた磁気軸受装置において、前記磁界発生用
コイルを前記被支持体の移動量検出のためのコイルとし
て共用し、パルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源よりの
スイッチングリップル電流から移動量を検出し、この検
出された信号によって被支持体を所定位置に支承するよ
うに構成される。
【０００７】
【作用】本発明に於いては、被支持体が移動する時に、
この移動を磁界発生用コイルのインダクタンスの変化と
して捉える。パルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源を用
いることにより、ＰＷＭスイッチング用キャリア信号
（２０ｋHz〜１２０ｋHz程度）をパルス幅変調されたス
イッチングリップル電流が磁界発生用コイルに供給され
ている。このスイッチングリップル電流を測定すること
により、インダクタンスの変化、即ち被支持体の位置の
検出が、電磁石の作用点において可能となる。
この移動を磁界発生用コイルのインダクタンスの変化と
して捉える。パルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源を用
いることにより、ＰＷＭスイッチング用キャリア信号
（２０ｋHz〜１２０ｋHz程度）をパルス幅変調されたス
イッチングリップル電流が磁界発生用コイルに供給され
ている。このスイッチングリップル電流を測定すること
により、インダクタンスの変化、即ち被支持体の位置の
検出が、電磁石の作用点において可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る磁気軸受装置の実施例を
図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例の
磁気軸受装置のブロック図であり、本発明の磁気軸受装
置の構成について説明する。電磁石１１のコイル１２に
通電すると、ヨーク部１４が励磁され被支持体１３を所
定位置で支承する制御磁界が発生する。本発明の磁気軸
受装置においては、従来技術の位置センサー１５を有し
ていない。何らかの原因で被支持体１３が移動したとす
ると、被支持体１３とヨーク部１４との間隔Ｘが変化す
る。本発明では被支持体１３がコイル１１の磁界中を移
動する時に、ヨーク部１４と被支持体１３が作る磁気回
路のインダクタンスが変化することを利用して被支持体
１３のヨーク部１４に対する位置を検出するものであ
る。
図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例の
磁気軸受装置のブロック図であり、本発明の磁気軸受装
置の構成について説明する。電磁石１１のコイル１２に
通電すると、ヨーク部１４が励磁され被支持体１３を所
定位置で支承する制御磁界が発生する。本発明の磁気軸
受装置においては、従来技術の位置センサー１５を有し
ていない。何らかの原因で被支持体１３が移動したとす
ると、被支持体１３とヨーク部１４との間隔Ｘが変化す
る。本発明では被支持体１３がコイル１１の磁界中を移
動する時に、ヨーク部１４と被支持体１３が作る磁気回
路のインダクタンスが変化することを利用して被支持体
１３のヨーク部１４に対する位置を検出するものであ
る。
【０００９】即ち、コイル１２は磁界発生により被支持
体１３を支承するために用いるものと、被支持体の位置
を検出するためのセンス用コイルとしての両方の役割を
果たしている。 パルス幅変調（ＰＷＭ）軸受電源２１
は被支持体１３を支承する励磁電流をパルス幅変調（Ｐ
ＷＭ）により供給するものであり、電流検出器２３はパ
ルス幅変調されたスイッチングリップル電流を低抵抗な
どにより検出するものである。
体１３を支承するために用いるものと、被支持体の位置
を検出するためのセンス用コイルとしての両方の役割を
果たしている。 パルス幅変調（ＰＷＭ）軸受電源２１
は被支持体１３を支承する励磁電流をパルス幅変調（Ｐ
ＷＭ）により供給するものであり、電流検出器２３はパ
ルス幅変調されたスイッチングリップル電流を低抵抗な
どにより検出するものである。
【００１０】パルス幅変調（ＰＷＭ）型軸受電源２１
は、パルス幅を変調することによって電流を制御する軸
受電源であり、その出力はパルス幅変調されたスイッチ
ングリップル電流がコイル１２に印加される。コイル１
２に印加されたスイッチングリップル電流は電流検出器
２３によって検出される。そしてその出力はパルス幅変
調（ＰＷＭ）型軸受電源２１にフィードバックされると
ともに、バンドパスフィルタ２４、整流回路２５、ロー
パスフィルタ２６に入る。バンドパスフィルタ２４はパ
ルス変調されたスイッチングリップル電流の基本周波数
を通す帯域フィルタでありこの基本周波数としては、２
０〜１２０ｋHz程度が用いられている。スイッチングリ
ップル電流の基本周波数成分は整流回路２５で検波整流
される。ローパスフィルタ２６は検波整流されたスイッ
チングリップル電流の基本周波数成分に相当する大きさ
の低周波成分のみを通過させるフィルタである。即ち、
被支持体１３とヨーク部１４とで構成される磁気回路
が、被支持体１３の位置によってそのコイル１２より見
たインダクタンスが変化する。インダクタンスの変化は
スイッチングリップル電流の基本周波数の大きさの変化
として捉えられ、整流回路２５によって検波整流された
信号はインダクタンスの大きさの変化に対応した信号と
なる。従ってその高調波成分を除去する低域フィルタ、
ローパスフィルタ２６の出力信号はインダクタンスの変
化、即ち、被支持体１３とヨーク部１４との位置間隔Ｘ
に対応した量の信号となる。このようにして被支持体位
置Ｘが検出されると、その信号は制御回路２７にフィー
ドバックされて所定の計算をされて被支持体のあるべき
位置に軸を支承するような信号が再びパルス幅変調（Ｐ
ＷＭ）型軸受電源２１にフィードバックされる。これに
より被支持対１３を所定位置に支承する。
は、パルス幅を変調することによって電流を制御する軸
受電源であり、その出力はパルス幅変調されたスイッチ
ングリップル電流がコイル１２に印加される。コイル１
２に印加されたスイッチングリップル電流は電流検出器
２３によって検出される。そしてその出力はパルス幅変
調（ＰＷＭ）型軸受電源２１にフィードバックされると
ともに、バンドパスフィルタ２４、整流回路２５、ロー
パスフィルタ２６に入る。バンドパスフィルタ２４はパ
ルス変調されたスイッチングリップル電流の基本周波数
を通す帯域フィルタでありこの基本周波数としては、２
０〜１２０ｋHz程度が用いられている。スイッチングリ
ップル電流の基本周波数成分は整流回路２５で検波整流
される。ローパスフィルタ２６は検波整流されたスイッ
チングリップル電流の基本周波数成分に相当する大きさ
の低周波成分のみを通過させるフィルタである。即ち、
被支持体１３とヨーク部１４とで構成される磁気回路
が、被支持体１３の位置によってそのコイル１２より見
たインダクタンスが変化する。インダクタンスの変化は
スイッチングリップル電流の基本周波数の大きさの変化
として捉えられ、整流回路２５によって検波整流された
信号はインダクタンスの大きさの変化に対応した信号と
なる。従ってその高調波成分を除去する低域フィルタ、
ローパスフィルタ２６の出力信号はインダクタンスの変
化、即ち、被支持体１３とヨーク部１４との位置間隔Ｘ
に対応した量の信号となる。このようにして被支持体位
置Ｘが検出されると、その信号は制御回路２７にフィー
ドバックされて所定の計算をされて被支持体のあるべき
位置に軸を支承するような信号が再びパルス幅変調（Ｐ
ＷＭ）型軸受電源２１にフィードバックされる。これに
より被支持対１３を所定位置に支承する。
【００１１】従来技術の位置センサを用いる場合には、
位置センサのキャリア信号と、ＰＷＭスイッチング用キ
ャリア信号との干渉問題が生じていた。そのため相互の
キャリア周波数を離して設定する等の方策を必要として
いた。本発明の磁気軸受け装置においては、キャリア信
号は単一のためかかる問題を生じない。
位置センサのキャリア信号と、ＰＷＭスイッチング用キ
ャリア信号との干渉問題が生じていた。そのため相互の
キャリア周波数を離して設定する等の方策を必要として
いた。本発明の磁気軸受け装置においては、キャリア信
号は単一のためかかる問題を生じない。
【００１２】図２は、本発明の第２の実施例の磁気軸受
装置のブロック図である。この図は、軸受位置制御２系
統分の構成を示すもので、被支持体の両側に対応する二
個の電磁石を制御するものである。ここでパルス幅変調
（ＰＷＭ）回路３１は、所定のパルス幅、所定の大きさ
のパルスを形成する回路である。スイッチング回路３２
は、キャリア信号からスイッチングリップル電流を形成
し、コイル１２に印加する。コイル１２に流れるスイッ
チングリップル電流は、電流検出器２３により検出され
て、ローパスフィルタ３４を介してパルス幅変調（ＰＷ
Ｍ）回路３１にフィードバックされる。また電流検出器
２３の出力はバンドパスフィルタ２４によりスイッチン
グリップル電流の基本周波数成分のみが取り出され、整
流回路２５によってその直流成分すなわち大きさが検出
される。ローパスフィルタ２６によって高調波分が除去
されたスイッチングリップル電流の基本周波数成分は作
動増幅器４１を介して制御回路４１に入る。この点の構
成は図１のものと同じである。
装置のブロック図である。この図は、軸受位置制御２系
統分の構成を示すもので、被支持体の両側に対応する二
個の電磁石を制御するものである。ここでパルス幅変調
（ＰＷＭ）回路３１は、所定のパルス幅、所定の大きさ
のパルスを形成する回路である。スイッチング回路３２
は、キャリア信号からスイッチングリップル電流を形成
し、コイル１２に印加する。コイル１２に流れるスイッ
チングリップル電流は、電流検出器２３により検出され
て、ローパスフィルタ３４を介してパルス幅変調（ＰＷ
Ｍ）回路３１にフィードバックされる。また電流検出器
２３の出力はバンドパスフィルタ２４によりスイッチン
グリップル電流の基本周波数成分のみが取り出され、整
流回路２５によってその直流成分すなわち大きさが検出
される。ローパスフィルタ２６によって高調波分が除去
されたスイッチングリップル電流の基本周波数成分は作
動増幅器４１を介して制御回路４１に入る。この点の構
成は図１のものと同じである。
【００１３】図１の第一の実施例の構成と異なる点は、
被支持体１３の相対向する両側の電磁石のコイル１２に
それぞれ図１に対応する制御装置が具備されていること
である。制御回路４１の出力は一方ではそのままパルス
幅変調（ＰＷＭ）回路３１に印加され、他方の側では反
転回路３５を通して逆位相とされて他方のパルス幅変調
（ＰＷＭ）回路３１に印加される。このようにして被支
持体の相対向する両方の側から被支持体の位置を制御す
ることによって線形的な制御範囲が広がるという利点が
得られる。
被支持体１３の相対向する両側の電磁石のコイル１２に
それぞれ図１に対応する制御装置が具備されていること
である。制御回路４１の出力は一方ではそのままパルス
幅変調（ＰＷＭ）回路３１に印加され、他方の側では反
転回路３５を通して逆位相とされて他方のパルス幅変調
（ＰＷＭ）回路３１に印加される。このようにして被支
持体の相対向する両方の側から被支持体の位置を制御す
ることによって線形的な制御範囲が広がるという利点が
得られる。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、磁気軸受の磁界発生用コイル
を、移動量検出センサのコイルとして共用し、パルス幅
変調（ＰＷＭ）軸受電源のスイッチングリップル電流を
測定用信号として用いることで、磁気軸受装置の構造が
コンパクトになり、被支持体の位置検出点と作用点とを
一致させることができる。さらに、従来の誘導型位置セ
ンサのように、独立した発振回路をもつ必要がなくなる
ので、位置センサの発振回路とパルス幅変調（ＰＷＭ）
軸受電源のスイッチングリップル電流との干渉によるノ
イズ発生の問題を解決できる。
を、移動量検出センサのコイルとして共用し、パルス幅
変調（ＰＷＭ）軸受電源のスイッチングリップル電流を
測定用信号として用いることで、磁気軸受装置の構造が
コンパクトになり、被支持体の位置検出点と作用点とを
一致させることができる。さらに、従来の誘導型位置セ
ンサのように、独立した発振回路をもつ必要がなくなる
ので、位置センサの発振回路とパルス幅変調（ＰＷＭ）
軸受電源のスイッチングリップル電流との干渉によるノ
イズ発生の問題を解決できる。
【図１】本発明の第一の実施例の磁気軸受装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】本発明の第二の実施例の磁気軸受装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】従来の磁気軸受装置の制御系のブロック図であ
る。
る。
１１ 電磁石 １２ コイル １３ 被支持体 １４ ヨーク部 １５ 位置センサ １７ センサーアンプ １８ パワーアンプ １９ 制御回路 ２１ パルス幅変調（ＰＷＭ）軸受電源 ２３ 電流検出器 ２４ バンドパスフィルタ ２５ 整流回路 ２６ ローパスフィルタ ２７ 制御回路 ３１ パルス幅変調（ＰＷＭ）回路 ３２ スイッチング回路 ３４ ローパスフィルタ ３５ 反転回路 ４０ 差動増幅器 ４１ 制御回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中沢 敏治 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 飯島 直樹 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内
Claims (3)
- 【請求項１】 被支持体の移動量を検出する装置を備
え、磁気力により非接触に支持する磁気軸受装置におい
て、パルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源を有し、その
スイッチングリップル電流を測定し、被支持体の移動量
情報を検出する手段を具備することを特徴とする磁気軸
受装置。 - 【請求項２】 前記スイッチングリップル電流を測定
し、被支持体の移動量情報を検出する手段は、前記スイ
ッチングリップル電流のキャリア信号成分を検出するバ
ンドパスフィルタと、該キャリア信号成分を整流検波し
て移動量情報に相当する低周波成分を取り出す整流回路
及びローパスフィルタとからなることを特徴とする請求
項１記載の磁気軸受装置。 - 【請求項３】 前記被支持体の移動量情報の出力信号
は、制御回路を介して、相対向する二個の磁界発生用コ
イルのパルス幅変調（ＰＷＭ）型の軸受電源に、一方は
そのまま、他方は反転してフィードバック印加されるこ
とを特徴とする請求項２記載の磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19249791A JPH0676809B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19249791A JPH0676809B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118329A JPH05118329A (ja) | 1993-05-14 |
| JPH0676809B2 true JPH0676809B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=16292293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19249791A Expired - Lifetime JPH0676809B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676809B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3701115B2 (ja) | 1998-02-12 | 2005-09-28 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受制御装置 |
| JP3901897B2 (ja) * | 1999-08-25 | 2007-04-04 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受装置 |
| EP1903228B1 (en) | 2005-07-05 | 2015-11-04 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device and magnetic bearing method |
| DE102008007512A1 (de) * | 2007-07-30 | 2009-02-05 | Schaeffler Kg | Verfahren und Anordnung zum sensorlosen Betrieb von Magnetlagern |
| JP5077059B2 (ja) * | 2008-05-13 | 2012-11-21 | 株式会社明電舎 | 磁気軸受装置 |
| DE102010013682B4 (de) | 2010-04-01 | 2020-06-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Adaption eines Widerstandswertes eines Elektromagneten eines Magnetlagers und zur sensorlosen Positionsermittlung eines in einem magnetischen Lager gelagerten Objekts unter Berücksichtigung des adaptierten Widerstandswertes |
-
1991
- 1991-07-05 JP JP19249791A patent/JPH0676809B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05118329A (ja) | 1993-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090928 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 16 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100928 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |