JP2003307219A - センサユニット、これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンドル装置 - Google Patents
センサユニット、これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンドル装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプ本体に内蔵するロータの位置検出セン
サの製造方法を簡素化することにより、磁気軸受スピン
ドル装置のコストダウンと信頼性の向上を図る。 【解決手段】 第１のプリント基板上１０３にセンサコ
イル１０１を配置し、これを固定用ブロック１０４を介
して第２のプリント基板１０２に固定してセンサを構成
し、プリント基板１０２，１０３上に信号伝送パターン
を形成することで、各センサ部品を簡単に精度良く作る
と同時に、センサユニットの固体差を軽減することがで
きるとともに、コストダウン，信頼性の向上を図る。
サの製造方法を簡素化することにより、磁気軸受スピン
ドル装置のコストダウンと信頼性の向上を図る。 【解決手段】 第１のプリント基板上１０３にセンサコ
イル１０１を配置し、これを固定用ブロック１０４を介
して第２のプリント基板１０２に固定してセンサを構成
し、プリント基板１０２，１０３上に信号伝送パターン
を形成することで、各センサ部品を簡単に精度良く作る
と同時に、センサユニットの固体差を軽減することがで
きるとともに、コストダウン，信頼性の向上を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、センサユニッ
ト，これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピ
ンドル装置に関し、特に、半導体製造装置などに使用す
るターボ分子ポンプを構成するためのセンサユニット，
これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンド
ル装置に関する。
ト，これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピ
ンドル装置に関し、特に、半導体製造装置などに使用す
るターボ分子ポンプを構成するためのセンサユニット，
これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンド
ル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は磁気軸受を採用した従来のターボ
分子ポンプ装置本体の縦断面図であり、図７は磁気軸受
スピンドル装置のシステム概念図を示す。
分子ポンプ装置本体の縦断面図であり、図７は磁気軸受
スピンドル装置のシステム概念図を示す。
【０００３】図６において、ターボ分子ポンプ１は回転
軸３とステータ２とを含み、回転軸３の下端側と回転軸
３の上下に対向して、回転軸３とステータ２との間の相
対位置を検出するセンサコイル８，９，１０が設けら
れ、これが図７に示されるコントローラ５１内のセンサ
回路５５によって回転軸３の位置検出信号（アナログ信
号もしくはデジタル信号）が作り出される。回転軸３の
上側と下側には回転軸１を磁気軸受支持するための電磁
石４，５，６が設けられている。さらに、回転軸３の中
央部分に対向するように、回転軸３を回転駆動するため
のモータ７が設けられている。
軸３とステータ２とを含み、回転軸３の下端側と回転軸
３の上下に対向して、回転軸３とステータ２との間の相
対位置を検出するセンサコイル８，９，１０が設けら
れ、これが図７に示されるコントローラ５１内のセンサ
回路５５によって回転軸３の位置検出信号（アナログ信
号もしくはデジタル信号）が作り出される。回転軸３の
上側と下側には回転軸１を磁気軸受支持するための電磁
石４，５，６が設けられている。さらに、回転軸３の中
央部分に対向するように、回転軸３を回転駆動するため
のモータ７が設けられている。
【０００４】モータ７は図７に示されるモータコントロ
ーラ５８によって回転制御され、電磁石４，５，６によ
る磁気軸受は磁気軸受制御回路５６からパワーアンプ５
７を介して与えられる制御信号によって制御され、これ
らの磁気軸受制御回路５６，パワーアンプ５７およびモ
ータコントローラ５８は磁気軸受スピンドル本体の外部
に設けたコントローラ５１に配置される。
ーラ５８によって回転制御され、電磁石４，５，６によ
る磁気軸受は磁気軸受制御回路５６からパワーアンプ５
７を介して与えられる制御信号によって制御され、これ
らの磁気軸受制御回路５６，パワーアンプ５７およびモ
ータコントローラ５８は磁気軸受スピンドル本体の外部
に設けたコントローラ５１に配置される。
【０００５】さらに、回転軸３の上下端には非常用軸受
１１，１２が設けられている。この非常用軸受１１，１
２は磁気軸受装置が制御不能になったときに回転軸３を
支持する。また、図６には図示していないが、回転軸３
の回転数を検出する回転検出センサ６２がステータ２内
に配置されており、図７で示されるようにその信号がコ
ントローラ５１内の回転検出センサアンプ５４を介して
回転軸回転数信号が作り出される。回転軸３とステータ
２との間の相対位置を検出するセンサには、一般にリラ
クタンス式や渦電流式に代表される磁気式センサが使用
される。
１１，１２が設けられている。この非常用軸受１１，１
２は磁気軸受装置が制御不能になったときに回転軸３を
支持する。また、図６には図示していないが、回転軸３
の回転数を検出する回転検出センサ６２がステータ２内
に配置されており、図７で示されるようにその信号がコ
ントローラ５１内の回転検出センサアンプ５４を介して
回転軸回転数信号が作り出される。回転軸３とステータ
２との間の相対位置を検出するセンサには、一般にリラ
クタンス式や渦電流式に代表される磁気式センサが使用
される。
【０００６】図７に示すように、スピンドル内に設けら
れた電磁石４，５，６と、モータ７と、センサコイル
８，９，１０と、回転検出センサ６２とがケーブル６６
を介して、外部のコントローラ５１に接続される。コン
トローラ５１は、外部からのＡＣ電源を直流に変換する
ＡＣ／ＤＣ電源５２と、ＡＣ／ＤＣ電源５２の出力か
ら、種々のＤＣ電圧を作り出すＤＣ／ＤＣ電源５３と、
センサコイル８，９，１０と接続されるセンサ回路５５
と、回転検出センサ６２と接続される回転検出センサア
ンプ５４と、センサ回路５５の信号を基に磁気軸受電磁
石の電流値を演算する磁気軸受制御回路５６と、磁気軸
受制御回路５６の出力によって磁気軸受電磁石４，５，
６に電力を供給するパワーアンプ５７と、モータ７を制
御するモータコントローラ５８と、シーケンス回路５９
と、磁気軸受異常やモータ異常を検知する異常検出回路
６０と、磁気軸受とモータの動作指令を出力したり、外
部にスピンドル状態を出力する通信回路６１とからな
る。
れた電磁石４，５，６と、モータ７と、センサコイル
８，９，１０と、回転検出センサ６２とがケーブル６６
を介して、外部のコントローラ５１に接続される。コン
トローラ５１は、外部からのＡＣ電源を直流に変換する
ＡＣ／ＤＣ電源５２と、ＡＣ／ＤＣ電源５２の出力か
ら、種々のＤＣ電圧を作り出すＤＣ／ＤＣ電源５３と、
センサコイル８，９，１０と接続されるセンサ回路５５
と、回転検出センサ６２と接続される回転検出センサア
ンプ５４と、センサ回路５５の信号を基に磁気軸受電磁
石の電流値を演算する磁気軸受制御回路５６と、磁気軸
受制御回路５６の出力によって磁気軸受電磁石４，５，
６に電力を供給するパワーアンプ５７と、モータ７を制
御するモータコントローラ５８と、シーケンス回路５９
と、磁気軸受異常やモータ異常を検知する異常検出回路
６０と、磁気軸受とモータの動作指令を出力したり、外
部にスピンドル状態を出力する通信回路６１とからな
る。
【０００７】図８は磁気式センサの概略の構成図であ
る。センサコイル３１，３２は回転軸３の両側に対向し
て設けられており、後段の回路によって各センサ出力を
得た後、両信号を差動増幅することでセンサ信号を得て
いる。１対のセンサコイル３１，３２を用いるのは、実
開平４−４０３０８号公報に記載されているように、環
境温度変化によるセンサ出力のドリフトを抑制するため
である。センサコイル３１，３２には搬送波発生回路３
３から発生された数１０ｋＨｚ以上の正弦波信号がカッ
プリングコンデンサ３５，３６を介して印加されてい
る。センサコイル３１，３２の各インダクタンスとコン
デンサ３６，３７とによって同調回路４６，４７が形成
されている。
る。センサコイル３１，３２は回転軸３の両側に対向し
て設けられており、後段の回路によって各センサ出力を
得た後、両信号を差動増幅することでセンサ信号を得て
いる。１対のセンサコイル３１，３２を用いるのは、実
開平４−４０３０８号公報に記載されているように、環
境温度変化によるセンサ出力のドリフトを抑制するため
である。センサコイル３１，３２には搬送波発生回路３
３から発生された数１０ｋＨｚ以上の正弦波信号がカッ
プリングコンデンサ３５，３６を介して印加されてい
る。センサコイル３１，３２の各インダクタンスとコン
デンサ３６，３７とによって同調回路４６，４７が形成
されている。
【０００８】回転軸３とセンサコイル３１，３２との間
のエアギャップによって、センサコイル３１，３２の各
インダクタンスが変化し、その変化分を振幅として情報
を有する各正弦波信号がカップリングコンデンサ３８，
３９を介して各々検波回路４０，４１に入力される。検
波回路４０，４１は、各入力された振幅に比例したＤＣ
信号を出力する。これらのＤＣ信号は差動増幅器４２で
減算され、センサ出力としてシフト回路４３に出力され
る。シフト回路４３では、外部から入力されるセンサゼ
ロ点シフト信号４５によってセンサ出力のゼロ点補正が
行われ、このセンサ出力が増幅回路４４でゲイン調整が
行われた後、センサ信号として出力される。
のエアギャップによって、センサコイル３１，３２の各
インダクタンスが変化し、その変化分を振幅として情報
を有する各正弦波信号がカップリングコンデンサ３８，
３９を介して各々検波回路４０，４１に入力される。検
波回路４０，４１は、各入力された振幅に比例したＤＣ
信号を出力する。これらのＤＣ信号は差動増幅器４２で
減算され、センサ出力としてシフト回路４３に出力され
る。シフト回路４３では、外部から入力されるセンサゼ
ロ点シフト信号４５によってセンサ出力のゼロ点補正が
行われ、このセンサ出力が増幅回路４４でゲイン調整が
行われた後、センサ信号として出力される。
【０００９】なお、構造上、回転軸３に対向させるセン
サコイルが１つとなる場合には、図９に示すように擬似
センサターゲット４８にセンサコイル３２を対向させ、
温度ドリフトを抑制する方法が実開平４−４０３０８号
公報に記載されている。図６に示されるスピンドルにお
いては、図示されないが、回転軸３のアキシアル方向変
位を測定するセンサコイル１０には擬似センサターゲッ
トおよびこれに対向させたセンサコイルを使用し、温度
ドリフトの抑制を図っている。ここで、図９に示されて
いるＸ０は実際の磁気浮上状態時のギャップを意味して
おり、センサコイル３２と擬似センサターゲット４８間
の設定隙間Ｘ１はほぼＸ０と同じ値に設定して固定さ
れ、さらに、擬似センサターゲット４８は、センサコイ
ル３２に対向する回転軸３と同じ材料に選ばれる。
サコイルが１つとなる場合には、図９に示すように擬似
センサターゲット４８にセンサコイル３２を対向させ、
温度ドリフトを抑制する方法が実開平４−４０３０８号
公報に記載されている。図６に示されるスピンドルにお
いては、図示されないが、回転軸３のアキシアル方向変
位を測定するセンサコイル１０には擬似センサターゲッ
トおよびこれに対向させたセンサコイルを使用し、温度
ドリフトの抑制を図っている。ここで、図９に示されて
いるＸ０は実際の磁気浮上状態時のギャップを意味して
おり、センサコイル３２と擬似センサターゲット４８間
の設定隙間Ｘ１はほぼＸ０と同じ値に設定して固定さ
れ、さらに、擬似センサターゲット４８は、センサコイ
ル３２に対向する回転軸３と同じ材料に選ばれる。
【００１０】図１０は回転軸３のラジアル方向変位を測
定する従来のセンサコイル部分の断面を示す図である。
絶縁材からなる構造体２１にセンサコイル２２，２３，
２４，２５が巻回され、これらのコイル端を一まとめに
して、ケーブル２６として外部に出される。図示してい
ないが、各センサコイルやコイル端は、構造体２１に固
定される。
定する従来のセンサコイル部分の断面を示す図である。
絶縁材からなる構造体２１にセンサコイル２２，２３，
２４，２５が巻回され、これらのコイル端を一まとめに
して、ケーブル２６として外部に出される。図示してい
ないが、各センサコイルやコイル端は、構造体２１に固
定される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】このように磁気軸受ス
ピンドルは多くの構成部品を有するために、その組立性
が悪くコストが高くなるといった問題があった。特に、
スピンドル本体内のセンサコイル部では、図１０に示し
たように、センサコイル２２〜２５を複雑な構造体２１
に巻回する必要があり、さらにこれらが信頼性を保てる
ように固定するだけでなく、コイル端も同様に構造体２
１に対して安価で確実に固定するのが難しい。
ピンドルは多くの構成部品を有するために、その組立性
が悪くコストが高くなるといった問題があった。特に、
スピンドル本体内のセンサコイル部では、図１０に示し
たように、センサコイル２２〜２５を複雑な構造体２１
に巻回する必要があり、さらにこれらが信頼性を保てる
ように固定するだけでなく、コイル端も同様に構造体２
１に対して安価で確実に固定するのが難しい。
【００１２】さらに、図８，９に示したセンサの構成概
略図からも明らかなように、センサコイル３１，３２と
接続されるカップリングコンデンサ３４，３５，３８，
３９および同調用コンデンサ３６，３７間はスピンドル
本体内でのケーブルの取回し、さらにケーブル２２とコ
ントローラ内のケーブルの取回しなど、両ケーブル部に
介在する信号伝達経路が長く、微小信号の伝送部である
ために、ノイズの影響を受けやすいといった問題があっ
た。
略図からも明らかなように、センサコイル３１，３２と
接続されるカップリングコンデンサ３４，３５，３８，
３９および同調用コンデンサ３６，３７間はスピンドル
本体内でのケーブルの取回し、さらにケーブル２２とコ
ントローラ内のケーブルの取回しなど、両ケーブル部に
介在する信号伝達経路が長く、微小信号の伝送部である
ために、ノイズの影響を受けやすいといった問題があっ
た。
【００１３】それゆえに、この発明の主たる目的は、従
来の磁気軸受スピンドルの問題を解決し、コストを低減
し、センサへの外部ノイズの影響受け難くすることによ
って、安定したターボ分子ポンプシステムを構築し得る
センサユニット，これを用いた磁気軸受ユニットおよび
磁気軸受スピンドル装置を提供することである。
来の磁気軸受スピンドルの問題を解決し、コストを低減
し、センサへの外部ノイズの影響受け難くすることによ
って、安定したターボ分子ポンプシステムを構築し得る
センサユニット，これを用いた磁気軸受ユニットおよび
磁気軸受スピンドル装置を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明は、回転軸が磁
気軸受され、センサによって回転軸の位置を検出し、そ
の検出信号で磁気軸受を制御する磁気軸受スピンドル装
置において、センサはセンサコイルが取付けられた第１
のプリント基板と、回転軸の近傍に配置され、センサコ
イルが回転軸に対向するように第１のプリント基板が取
付けられる第２のプリント基板を備えたことを特徴とす
る。
気軸受され、センサによって回転軸の位置を検出し、そ
の検出信号で磁気軸受を制御する磁気軸受スピンドル装
置において、センサはセンサコイルが取付けられた第１
のプリント基板と、回転軸の近傍に配置され、センサコ
イルが回転軸に対向するように第１のプリント基板が取
付けられる第２のプリント基板を備えたことを特徴とす
る。
【００１５】このように、センサ構成にプリント基板を
用いることにより、センサコイル部の製作を簡便化でき
るので低コストで構成できる。さらに、プリント基板内
に信号伝送パターンを形成することにより、センサコイ
ル部内のケーブルを固定する必要がなくなり、信頼性の
向上および製作工数の低減が図れる。
用いることにより、センサコイル部の製作を簡便化でき
るので低コストで構成できる。さらに、プリント基板内
に信号伝送パターンを形成することにより、センサコイ
ル部内のケーブルを固定する必要がなくなり、信頼性の
向上および製作工数の低減が図れる。
【００１６】また、第２のプリント基板には、センサコ
イルに接続されるセンサ回路が配置されることを特徴と
する。
イルに接続されるセンサ回路が配置されることを特徴と
する。
【００１７】また、センサ回路はセンサコイルに搬送波
信号を与える搬送波発生回路と、回転軸とセンサコイル
との間隙に応じて変化するセンサコイルのインダクタン
スに基づいて搬送波信号の振幅を変化させる同調回路
と、幅の変化を検出する検波回路と、線検波回路出力信
号の補正を行うシフト回路と、シフト回路で補正された
信号を増幅する増幅回路との一部もしくは全部を含むこ
とを特徴とする。
信号を与える搬送波発生回路と、回転軸とセンサコイル
との間隙に応じて変化するセンサコイルのインダクタン
スに基づいて搬送波信号の振幅を変化させる同調回路
と、幅の変化を検出する検波回路と、線検波回路出力信
号の補正を行うシフト回路と、シフト回路で補正された
信号を増幅する増幅回路との一部もしくは全部を含むこ
とを特徴とする。
【００１８】また、センサ回路は回転軸とセンサコイル
との間隙に応じて変化するセンサコイルのインダクタン
スに基づいて、外部から与えられる搬送波信号の振幅を
変化させる同調回路と、振幅の変化を検出する検波回路
と、検波回路の出力信号の補正を行うシフト回路と、シ
フト回路で補正された信号を増幅する増幅回路との一部
もしくは全部を含むことを特徴とする。
との間隙に応じて変化するセンサコイルのインダクタン
スに基づいて、外部から与えられる搬送波信号の振幅を
変化させる同調回路と、振幅の変化を検出する検波回路
と、検波回路の出力信号の補正を行うシフト回路と、シ
フト回路で補正された信号を増幅する増幅回路との一部
もしくは全部を含むことを特徴とする。
【００１９】このように、センサコイルとセンサ回路を
同じ基板上に形成することにより、センサコイルからそ
の信号処理部までの伝送距離を短くできるので、ノイズ
の影響を軽減したり、さらなるコストの低減が図れる。
同じ基板上に形成することにより、センサコイルからそ
の信号処理部までの伝送距離を短くできるので、ノイズ
の影響を軽減したり、さらなるコストの低減が図れる。
【００２０】他の発明は、回転軸が磁気軸受され、セン
サによって回転軸のアキシャル位置を検出し、その検出
信号で磁気軸受を制御する磁気軸受スピンドル装置にお
いて、センサは回転軸に対向させた第１のセンサコイル
および回転軸に対向しない第２のセンサコイルが配置さ
れる非磁性および絶縁材料からなる第１の基板と、絶縁
材料からなる第２の基板と、第１のセンサコイルと対向
する回転軸と同等の磁性材料および電気特性を有する材
料からなる第３の基板とを含み、第２のセンサコイルを
第２の基板を介して、第３の基板に対向させることを特
徴とする。
サによって回転軸のアキシャル位置を検出し、その検出
信号で磁気軸受を制御する磁気軸受スピンドル装置にお
いて、センサは回転軸に対向させた第１のセンサコイル
および回転軸に対向しない第２のセンサコイルが配置さ
れる非磁性および絶縁材料からなる第１の基板と、絶縁
材料からなる第２の基板と、第１のセンサコイルと対向
する回転軸と同等の磁性材料および電気特性を有する材
料からなる第３の基板とを含み、第２のセンサコイルを
第２の基板を介して、第３の基板に対向させることを特
徴とする。
【００２１】また、第２の基板の厚さは、通常の磁気軸
受浮上時に構成されるセンサコイルと対向する回転軸間
の隙間とほぼ同じであることを特徴とする。
受浮上時に構成されるセンサコイルと対向する回転軸間
の隙間とほぼ同じであることを特徴とする。
【００２２】さらに、第１の基板，第２の基板および第
３の基板が一体に取付けられる固定ブロックを含み、第
２のセンサコイルは固定ブロックと対向しないように配
置させることを特徴とする。
３の基板が一体に取付けられる固定ブロックを含み、第
２のセンサコイルは固定ブロックと対向しないように配
置させることを特徴とする。
【００２３】さらに、固定ブロックは第１および第２の
センサコイルに対向する位置には、配置させないことを
特徴とする。
センサコイルに対向する位置には、配置させないことを
特徴とする。
【００２４】また、第１もしく第２の基板にはセンサ回
路が設けられることを特徴とする。また、センサ回路は
センサコイルに搬送波信号を与える搬送波発生回路と、
回転軸とセンサコイルとの間隙に応じて変化するセンサ
コイルのインダクタンスに基づいて搬送波信号の振幅を
変化させる同調回路と、振幅の変化を検出する検波回路
と、検波回路出力信号の補正を行うシフト回路と、シフ
ト回路で補正された信号を増幅する増幅回路との一部も
しくは全部を含むことを特徴とする。
路が設けられることを特徴とする。また、センサ回路は
センサコイルに搬送波信号を与える搬送波発生回路と、
回転軸とセンサコイルとの間隙に応じて変化するセンサ
コイルのインダクタンスに基づいて搬送波信号の振幅を
変化させる同調回路と、振幅の変化を検出する検波回路
と、検波回路出力信号の補正を行うシフト回路と、シフ
ト回路で補正された信号を増幅する増幅回路との一部も
しくは全部を含むことを特徴とする。
【００２５】これにより、ロータに対向させるセンサコ
イルが１つとなる場合のセンサの温度ドリフトをも抑制
し、かつセンサコイル部の製作を簡略化することができ
る。しかも、センサ構成にプリント基板を用い、さらに
この構成の中で擬似センサターゲットとこれに対向させ
るセンサコイルを有し、擬似センサターゲットとセンサ
コイル間の距離を一定に保つことが容易に実現できるた
め、低コスト化が図れる。
イルが１つとなる場合のセンサの温度ドリフトをも抑制
し、かつセンサコイル部の製作を簡略化することができ
る。しかも、センサ構成にプリント基板を用い、さらに
この構成の中で擬似センサターゲットとこれに対向させ
るセンサコイルを有し、擬似センサターゲットとセンサ
コイル間の距離を一定に保つことが容易に実現できるた
め、低コスト化が図れる。
【００２６】また、内部プリント基板中に信号伝送パタ
ーンを形成することで、センサコイル部内のケーブル固
定の必要がなくなり、信頼性の向上および製作工数の低
減を図れる。さらに、プリント基板内にセンサ回路を構
成したユニットとすることにより、センサコイルからそ
の信号処理部までの伝送距離を短くでき、ノイズの影響
を軽減することができる。
ーンを形成することで、センサコイル部内のケーブル固
定の必要がなくなり、信頼性の向上および製作工数の低
減を図れる。さらに、プリント基板内にセンサ回路を構
成したユニットとすることにより、センサコイルからそ
の信号処理部までの伝送距離を短くでき、ノイズの影響
を軽減することができる。
【００２７】さらに、他の発明は、回転軸を磁気軸受す
るための電磁石と、回転軸の位置を検出するセンサコイ
ルおよびセンサコイルが接続されるセンサ回路を含むセ
ンサユニットと、センサ回路の出力に基づいて電磁石を
制御する磁気軸受制御回路と、磁気軸受制御回路からの
出力に基づいて電磁石に電流を供給するパワーアンプと
をそれぞれ近接させて配置したことを特徴とする。
るための電磁石と、回転軸の位置を検出するセンサコイ
ルおよびセンサコイルが接続されるセンサ回路を含むセ
ンサユニットと、センサ回路の出力に基づいて電磁石を
制御する磁気軸受制御回路と、磁気軸受制御回路からの
出力に基づいて電磁石に電流を供給するパワーアンプと
をそれぞれ近接させて配置したことを特徴とする。
【００２８】さらに、センサ回路および磁気軸受制御回
路に供給する制御電源もしくは電磁石への供給電力を外
部から供給することを特徴とする。
路に供給する制御電源もしくは電磁石への供給電力を外
部から供給することを特徴とする。
【００２９】さらに、センサ回路の出力を補正するため
のセンサゼロ点シフト信号が外部から供給されることを
特徴とする。
のセンサゼロ点シフト信号が外部から供給されることを
特徴とする。
【００３０】センサユニットの出力を外部に出力するこ
とを特徴とする。さらに、スピンドル本体から離れた位
置に、外部との間で通信を行うための通信回路と、セン
サ回路の出力を補正するためのセンサゼロ点補償回路
と、磁気軸受が制御不能になったことを検出するタッチ
ダウン検出回路と、回転軸の回転を検出するセンサ出力
が与えられる回転検出アンプと、交流電圧から各種直流
電圧を出力する電源回路の全部もしくは一部を搭載する
ことを特徴とする。
とを特徴とする。さらに、スピンドル本体から離れた位
置に、外部との間で通信を行うための通信回路と、セン
サ回路の出力を補正するためのセンサゼロ点補償回路
と、磁気軸受が制御不能になったことを検出するタッチ
ダウン検出回路と、回転軸の回転を検出するセンサ出力
が与えられる回転検出アンプと、交流電圧から各種直流
電圧を出力する電源回路の全部もしくは一部を搭載する
ことを特徴とする。
【００３１】また、磁気軸受スピンドル装置はターボ分
子ポンプに使用されることを特徴とする。
子ポンプに使用されることを特徴とする。
【００３２】このように電磁石，センサコイル，センサ
回路，磁気軸受制御回路，電磁石に電流を供給するパワ
ーアンプを近接して配置することで磁気軸受ユニットを
ユニット化することにより、各要素間の信号伝送距離を
短くできる結果、ノイズの影響を軽減できると同時に、
信号伝送のためケーブルが大幅に省略できるために、低
コスト化が図れる。
回路，磁気軸受制御回路，電磁石に電流を供給するパワ
ーアンプを近接して配置することで磁気軸受ユニットを
ユニット化することにより、各要素間の信号伝送距離を
短くできる結果、ノイズの影響を軽減できると同時に、
信号伝送のためケーブルが大幅に省略できるために、低
コスト化が図れる。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
を参照しながら詳細に説明する。
を参照しながら詳細に説明する。
【００３４】図１はこの発明の一実施形態における磁気
軸受スピンドル装置に用いられるセンサユニットを示す
図であり、特に（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は（ａ）
の線Ａ−Ａに沿う断面矢視図である。
軸受スピンドル装置に用いられるセンサユニットを示す
図であり、特に（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は（ａ）
の線Ａ−Ａに沿う断面矢視図である。
【００３５】図１を参照して、リング状に巻回したセン
サコイル１０１が長方形状のプリント基板１０３に樹脂
モールドによって固定され、このようなプリント基板１
０３が４枚用意される。プリント基板１０２は磁気軸受
スピンドル装置の円筒状のハウジング内に収納するため
に全体が円形に形成されており、その中央部を図６に示
した回転軸３が貫通するために円形の開口部１０６が形
成されている。この円形開口部１０６を囲むように、セ
ンサコイル１０１が固定された４枚のプリント基板１０
３がそれぞれ直角に配置されている。そして、プリント
基板１０３は固定ブロック１０４にビスによって固定さ
れ、さらに固定ブロック１０４がプリント基板１０２に
ねじ止めされる。
サコイル１０１が長方形状のプリント基板１０３に樹脂
モールドによって固定され、このようなプリント基板１
０３が４枚用意される。プリント基板１０２は磁気軸受
スピンドル装置の円筒状のハウジング内に収納するため
に全体が円形に形成されており、その中央部を図６に示
した回転軸３が貫通するために円形の開口部１０６が形
成されている。この円形開口部１０６を囲むように、セ
ンサコイル１０１が固定された４枚のプリント基板１０
３がそれぞれ直角に配置されている。そして、プリント
基板１０３は固定ブロック１０４にビスによって固定さ
れ、さらに固定ブロック１０４がプリント基板１０２に
ねじ止めされる。
【００３６】このようにプリント基板１０２，１０３を
使用することにより、センサコイルの配置位置を簡単に
決定できる。さらに、プリント基板１０２上に信号伝送
パターンを形成することで、各センサコイルからそのケ
ーブル取り出し口までのワイヤハーネスを必要とせず、
またこの信号伝送パターンは一意に決まるために、内部
の抵抗や容量を一定に保てるといった特徴がある。
使用することにより、センサコイルの配置位置を簡単に
決定できる。さらに、プリント基板１０２上に信号伝送
パターンを形成することで、各センサコイルからそのケ
ーブル取り出し口までのワイヤハーネスを必要とせず、
またこの信号伝送パターンは一意に決まるために、内部
の抵抗や容量を一定に保てるといった特徴がある。
【００３７】なお、プリント基板１０３上にも信号伝送
パターンを形成してもよい。プリント基板１０３にはセ
ンサコイル１０１が配置されており、このセンサコイル
１０１の端部を信号伝送パターンにはんだ付けし、図示
しないプリント基板１０３とプリント基板１０２との間
をピン接続によって相互の信号伝送パターン間を接続す
ることで、信頼性の高い電気接続の構成が可能となる。
パターンを形成してもよい。プリント基板１０３にはセ
ンサコイル１０１が配置されており、このセンサコイル
１０１の端部を信号伝送パターンにはんだ付けし、図示
しないプリント基板１０３とプリント基板１０２との間
をピン接続によって相互の信号伝送パターン間を接続す
ることで、信頼性の高い電気接続の構成が可能となる。
【００３８】さらに、プリント基板１０２の信号伝送パ
ターンを利用し、センサ回路を形成することもできる。
このように構成することによって、センサコイル１０１
からセンサ回路までの信号伝送距離を極限まで短くで
き、外部のノイズの影響を大幅に抑制することが可能と
なる。
ターンを利用し、センサ回路を形成することもできる。
このように構成することによって、センサコイル１０１
からセンサ回路までの信号伝送距離を極限まで短くで
き、外部のノイズの影響を大幅に抑制することが可能と
なる。
【００３９】図２は図１に示したセンサユニットを用い
た磁気軸受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図
である。図１に示したセンサコイル１０１とセンサ回路
５５とが一体されたセンサユニット６７を磁気軸受スピ
ンドル５０に内蔵した点が従来の図７と比較して異なっ
ている。図２には図示していないが、図８に示したよう
にセンサゼロ点シフト信号４５は外部から入力し、外部
から強制的にセンサ信号の補正をおこなうことができ
る。ここで、センサ回路の全体構成は、前述の図８で説
明したが、プリント基板１０２上には、センサ回路の一
部のみを形成してもよい。
た磁気軸受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図
である。図１に示したセンサコイル１０１とセンサ回路
５５とが一体されたセンサユニット６７を磁気軸受スピ
ンドル５０に内蔵した点が従来の図７と比較して異なっ
ている。図２には図示していないが、図８に示したよう
にセンサゼロ点シフト信号４５は外部から入力し、外部
から強制的にセンサ信号の補正をおこなうことができ
る。ここで、センサ回路の全体構成は、前述の図８で説
明したが、プリント基板１０２上には、センサ回路の一
部のみを形成してもよい。
【００４０】また、スピンドル内部に複数のセンサユニ
ットがある場合、搬送波発生器のみを外部に置き、この
搬送波発生器の出力を各センサユニットに供給するよう
にしてもよい。
ットがある場合、搬送波発生器のみを外部に置き、この
搬送波発生器の出力を各センサユニットに供給するよう
にしてもよい。
【００４１】図３はセンサユニットの他の実施形態を示
す図である。この図３に示した例では、プリント基板を
使用してセンサユニットを構成することは図１の実施形
態と同様であり、さらに回転軸３に対向させるセンサコ
イルが１つとなる場合でもセンサの温度ドリフトを軽減
できる方法を示したものである。
す図である。この図３に示した例では、プリント基板を
使用してセンサユニットを構成することは図１の実施形
態と同様であり、さらに回転軸３に対向させるセンサコ
イルが１つとなる場合でもセンサの温度ドリフトを軽減
できる方法を示したものである。
【００４２】センサユニットは、図示されない回転軸３
の端面に対向して位置検出を行うセンサコイル１１０
と、擬似センサターゲット１１４に対向して使用するセ
ンサコイル１１１とを含む。各センサコイル１１０、１
１１はプリント基板１１２に形成された孔に挿入された
後、樹脂で固定される。ブロック１１５はセンサコイル
１１０，１１１の取り付けられたプリント基板１１２を
固定するものであり、このブロック１１５は金属もしく
はプラスチックからなり、図６に示したセンサコイル１
０の部分に配置されるためにその外形が円形に形成さ
れ、センサコイル１１０に対応する開口部１１６とセン
サコイル１１１に対応する開口部１１７が形成されてい
る。
の端面に対向して位置検出を行うセンサコイル１１０
と、擬似センサターゲット１１４に対向して使用するセ
ンサコイル１１１とを含む。各センサコイル１１０、１
１１はプリント基板１１２に形成された孔に挿入された
後、樹脂で固定される。ブロック１１５はセンサコイル
１１０，１１１の取り付けられたプリント基板１１２を
固定するものであり、このブロック１１５は金属もしく
はプラスチックからなり、図６に示したセンサコイル１
０の部分に配置されるためにその外形が円形に形成さ
れ、センサコイル１１０に対応する開口部１１６とセン
サコイル１１１に対応する開口部１１７が形成されてい
る。
【００４３】擬似センサターゲット１１４は回転軸３と
同等の磁気特性および電気特性を有する材料で構成され
てセンサコイル１１１と対向する。回転軸３との非対向
面が絶縁基板１１３を介して、擬似センサターゲット１
１４側から、図示しないねじで、ブロック１１５に固定
することでセンサユニットが構成される。ここで、ブロ
ック１１５はセンサコイル１１１に対向する部分に孔を
空けておき、センサコイル１１１は擬似センサターゲッ
ト１１４のみに対向するようにする。さらに、絶縁基板
１１３の厚さは、図９でのＸ１に相当し、回転軸３の位
置を検出するセンサコイル１１０と回転軸３とのギャッ
プと同等にする。
同等の磁気特性および電気特性を有する材料で構成され
てセンサコイル１１１と対向する。回転軸３との非対向
面が絶縁基板１１３を介して、擬似センサターゲット１
１４側から、図示しないねじで、ブロック１１５に固定
することでセンサユニットが構成される。ここで、ブロ
ック１１５はセンサコイル１１１に対向する部分に孔を
空けておき、センサコイル１１１は擬似センサターゲッ
ト１１４のみに対向するようにする。さらに、絶縁基板
１１３の厚さは、図９でのＸ１に相当し、回転軸３の位
置を検出するセンサコイル１１０と回転軸３とのギャッ
プと同等にする。
【００４４】このようにプリント基板１１２を使用する
ことにより、センサコイルの配置位置を簡単に決定でき
る。さらに、プリント基板１１２上に信号伝送パターン
を形成することで、各センサコイル１１０，１１１から
そのケーブル出力部までのワイヤハーネスを必要とせ
ず、またこの信号伝送パターンは一意に決まるために、
内部の抵抗や容量を一定に保てるといった特徴がある。
ことにより、センサコイルの配置位置を簡単に決定でき
る。さらに、プリント基板１１２上に信号伝送パターン
を形成することで、各センサコイル１１０，１１１から
そのケーブル出力部までのワイヤハーネスを必要とせ
ず、またこの信号伝送パターンは一意に決まるために、
内部の抵抗や容量を一定に保てるといった特徴がある。
【００４５】さらに、プリント基板１１２の信号伝送パ
ターンを利用し、センサ回路を形成することもできる。
このように構成することによって、センサコイル１１
０，１１１からセンサ回路までの信号伝送距離を極限ま
で短くでき、外部のノイズの影響を大幅に抑制すること
が可能となる。
ターンを利用し、センサ回路を形成することもできる。
このように構成することによって、センサコイル１１
０，１１１からセンサ回路までの信号伝送距離を極限ま
で短くでき、外部のノイズの影響を大幅に抑制すること
が可能となる。
【００４６】ここで、センサ回路は、図８で説明したが
プリント基板１０２上には、センサ回路の一部のみを形
成してもよい。
プリント基板１０２上には、センサ回路の一部のみを形
成してもよい。
【００４７】図４はこの発明の他の実施形態における磁
気軸受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図であ
る。図４を参照して、従来の図１１と比較して、コント
ローラ５１にはモータコントローラ５８のみが配置さ
れ、センサコイル６３，センサ回路５５，磁気軸受制御
回路５６，パワーアンプ５７，および電磁石４，５，６
を１箇所に配置させた電磁石ユニット６７を構築し、さ
らに回転検出センサアンプ５４，シーケンス回路５９，
異常検出回路６０，通信回路６１，ＤＣ／ＤＣ電源５３
およびＡＣ／ＤＣ電源５２を磁気軸受スピンドル５０に
配置したものである。このように構成することで、磁気
軸受に関する各要素間距離を短くでき、ケーブルハーネ
スを減らすことができると同時に、外部ノイズの影響を
抑制できることから、信頼性が向上する。
気軸受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図であ
る。図４を参照して、従来の図１１と比較して、コント
ローラ５１にはモータコントローラ５８のみが配置さ
れ、センサコイル６３，センサ回路５５，磁気軸受制御
回路５６，パワーアンプ５７，および電磁石４，５，６
を１箇所に配置させた電磁石ユニット６７を構築し、さ
らに回転検出センサアンプ５４，シーケンス回路５９，
異常検出回路６０，通信回路６１，ＤＣ／ＤＣ電源５３
およびＡＣ／ＤＣ電源５２を磁気軸受スピンドル５０に
配置したものである。このように構成することで、磁気
軸受に関する各要素間距離を短くでき、ケーブルハーネ
スを減らすことができると同時に、外部ノイズの影響を
抑制できることから、信頼性が向上する。
【００４８】図５は電磁石ユニットの具体的な構成例を
示す図である。図５において、プリント基板７５にはセ
ンサコイル７２，センサ回路７３，磁気軸受制御回路７
４，およびパワーアンプ７６が配置されている。このプ
リント基板７５と電磁石７１とがステー７７に固定され
ている。信号の流れは、センサコイル７２→センサ回路
７３→磁気軸受制御回路７４→パワーアンプ７６とな
る。これらを同一のプリント基板７５の信号伝送パター
ンによって接続できるため、前述したように大幅にスピ
ンドル製造コストを低減することができる。
示す図である。図５において、プリント基板７５にはセ
ンサコイル７２，センサ回路７３，磁気軸受制御回路７
４，およびパワーアンプ７６が配置されている。このプ
リント基板７５と電磁石７１とがステー７７に固定され
ている。信号の流れは、センサコイル７２→センサ回路
７３→磁気軸受制御回路７４→パワーアンプ７６とな
る。これらを同一のプリント基板７５の信号伝送パター
ンによって接続できるため、前述したように大幅にスピ
ンドル製造コストを低減することができる。
【００４９】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【００５０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、セン
サユニット，もしくは磁気軸受ユニットをスピンドル本
体内に構成することで、大幅なコストダウンおよび信頼
性向上が図れる。
サユニット，もしくは磁気軸受ユニットをスピンドル本
体内に構成することで、大幅なコストダウンおよび信頼
性向上が図れる。
【図１】 この発明の一実施形態における磁気軸受スピ
ンドル装置に用いられるセンサユニットを示す図であ
る。
ンドル装置に用いられるセンサユニットを示す図であ
る。
【図２】 図１に示したセンサユニットを用いた磁気軸
受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図である。
受スピンドル装置の全体構成を示すブロック図である。
【図３】 センサユニットの他の実施形態を示す図であ
る。
る。
【図４】 この発明の他の実施形態における磁気軸受ス
ピンドル装置の全体構成を示すブロック図である。
ピンドル装置の全体構成を示すブロック図である。
【図５】 電磁石ユニットの具体的な構成例を示す図で
ある。
ある。
【図６】 磁気軸受を採用した従来のターボ分子ポンプ
装置本体の縦断面図である。
装置本体の縦断面図である。
【図７】 磁気軸受スピンドル装置のシステム概念図で
ある。
ある。
【図８】 磁気式センサの概略の構成図である。
【図９】 擬似センサを用いたシステム構成に関する図
である。
である。
【図１０】 回転軸のラジアル方向変位を測定する従来
のセンサコイル部分の断面を示す図である。
のセンサコイル部分の断面を示す図である。
４，５，６ 電磁石、７ モータ、５０ 磁気軸受スピ
ンドル、５１ コントローラ、５２ ＡＣ／ＤＣ電源、
５３ ＤＣ／ＤＣ電源、５４ 回転検出センサアンプ、
５５，７３ センサ回路、５６，７４ 磁気軸受制御回
路、５７，７６パワーアンプ、５８ モータコントロー
ラ、５９ シーケンス回路、６０ 異常検出回路、６１
通信回路、６２ 回転検出センサ、６６ ケーブル、
６７電磁石ユニット、７１ 電磁石、６３，７２，１０
１，１１０，１１１ センサコイル、７５，１０２，１
０３，１１２ プリント基板、１０４ 固定ブロック、
１０６，１１６，１１７ 開口部、１１３ 絶縁基板、
１１４ 擬似センサターゲット、１１５ ブロック。
ンドル、５１ コントローラ、５２ ＡＣ／ＤＣ電源、
５３ ＤＣ／ＤＣ電源、５４ 回転検出センサアンプ、
５５，７３ センサ回路、５６，７４ 磁気軸受制御回
路、５７，７６パワーアンプ、５８ モータコントロー
ラ、５９ シーケンス回路、６０ 異常検出回路、６１
通信回路、６２ 回転検出センサ、６６ ケーブル、
６７電磁石ユニット、７１ 電磁石、６３，７２，１０
１，１１０，１１１ センサコイル、７５，１０２，１
０３，１１２ プリント基板、１０４ 固定ブロック、
１０６，１１６，１１７ 開口部、１１３ 絶縁基板、
１１４ 擬似センサターゲット、１１５ ブロック。
Claims (16)
- 【請求項１】 回転軸が磁気軸受され、センサによって
前記回転軸の位置を検出し、その検出信号で前記磁気軸
受を制御する磁気軸受スピンドル装置において、 前記センサは、 センサコイル取付けられた第１のプリント基板と、 前記回転軸の近傍に配置され、前記センサコイルが前記
回転軸に対向するように前記第１のプリント基板が取付
けられる第２のプリント基板を備えたことを特徴とす
る、磁気軸受スピンドル装置。 - 【請求項２】 前記第２のプリント基板には、前記セン
サコイルに接続されるセンサ回路が配置されることを特
徴とする、請求項１に記載の磁気軸受スピンドル装置。 - 【請求項３】 前記センサ回路は、 前記センサコイルに搬送波信号を与える搬送波発生回路
と、 前記回転軸と前記センサコイルとの間隙に応じて変化す
るセンサコイルのインダクタンスに基づいて前記搬送波
信号の振幅を変化させる同調回路と、 前記振幅の変化を検出する検波回路と、 前記検波回路の出力信号の補正を行うシフト回路と、 前記シフト回路で補正された信号を増幅する増幅回路と
の一部もしくは全部を含むことを特徴とする、請求項２
に記載の磁気軸受スピンドル装置。 - 【請求項４】 前記センサ回路は、 前記回転軸と前記センサコイルとの間隙に応じて変化す
るセンサコイルのインダクタンスに基づいて外部から与
えられる搬送波信号の振幅を変化させる同調回路と、 前記振幅の変化を検出する検波回路と、 前記線検波回路の出力信号の補正を行うシフト回路と、 前記シフト回路で補正された信号を増幅する増幅回路と
の一部もしくは全部を含むことを特徴とする、請求項２
に記載の磁気軸受スピンドル装置。 - 【請求項５】 回転軸が磁気軸受され、センサによって
前記回転軸のアキシャル位置を検出し、その検出信号で
前記磁気軸受を制御する磁気軸受スピンドル装置におい
て、 前記センサは、 前記回転軸に対向させた第１のセンサコイルおよび前記
回転軸に対向しない第２のセンサコイルが配置される非
磁性および絶縁材料からなる第１の基板と、 絶縁材料からなる第２の基板と、 前記第１のセンサコイルと対向する回転軸と同等の磁性
材料および電気特性を有する材料からなる第３の基板と
を含み、 前記第２のセンサコイルを前記第２の基板を介して、前
記第３の基板に対向させることを特徴とする、磁気軸受
スピンドル装置のセンサユニット。 - 【請求項６】 前記第２の基板の厚さは、通常の磁気軸
受浮上時に構成されるセンサコイルと対向する回転軸間
の隙間とほぼ同じであることを特徴とする、請求項５に
記載の磁気軸受スピンドル装置のセンサユニット。 - 【請求項７】 さらに、前記第１の基板，前記第２の基
板および前記第３の基板が一体に取付けられる固定ブロ
ックを含み、 前記第２のセンサコイルは前記固定ブロックと対向しな
いように配置させることを特徴とする、請求項５または
６に記載の磁気軸受スピンドル装置のセンサユニット。 - 【請求項８】 前記固定ブロックは、前記第１および第
２のセンサコイルに対向する位置には、配置させないこ
とを特徴とする、請求項７に記載の磁気軸受スピンドル
装置のセンサユニット。 - 【請求項９】 前記第１もしく第２の基板にはセンサ回
路が設けられることを特徴とする、請求項７または８に
記載の磁気軸受スピンドル装置のセンサユニット。 - 【請求項１０】 前記センサ回路は、 前記センサコイルに搬送波信号を与える搬送波発生回路
と、 前記回転軸と前記センサコイルとの間隙に応じて変化す
るセンサコイルのインダクタンスに基づいて前記搬送波
信号の振幅を変化させる同調回路と、 前記振幅の変化を検出する検波回路と、 前記検波回路の出力信号の補正を行うシフト回路と、 前記シフト回路で補正された信号を増幅する増幅回路と
の一部もしくは全部を含むことを特徴とする、請求項９
に記載の磁気軸受スピンドル装置。 - 【請求項１１】 回転軸を磁気軸受するための電磁石
と、 前記回転軸の位置を検出するセンサコイルおよび前記セ
ンサコイルが接続されるセンサ回路を含むセンサユニッ
トと、 前記センサ回路の出力に基づいて前記電磁石を制御する
磁気軸受制御回路と、 前記磁気軸受制御回路からの出力に基づいて、前記電磁
石に電流を供給するパワーアンプとをそれぞれ近接させ
て配置したことを特徴とする、磁気軸受ユニット。 - 【請求項１２】 さらに、前記センサ回路および前記磁
気軸受制御回路に供給する制御電源もしくは前記電磁石
への供給電力を外部から供給することを特徴とする、請
求項１１に記載の磁気軸受ユニット。 - 【請求項１３】 さらに、前記センサ回路の出力を補正
するためのセンサゼロ点シフト信号が外部から供給され
ることを特徴とする、請求項１２に記載の磁気軸受ユニ
ット。 - 【請求項１４】 前記センサユニットの出力を外部に出
力することを特徴とする、請求項１２または１３に記載
の磁気軸受ユニット。 - 【請求項１５】 前記スピンドル本体から離れた位置
に、外部との間で通信を行うための通信回路と、前記セ
ンサ回路の出力を補正するためのセンサゼロ点補償回路
と、前記磁気軸受が制御不能になったことを検出するタ
ッチダウン検出回路と、前記回転軸の回転を検出するセ
ンサ出力が与えられる回転検出アンプと、交流電圧から
各種直流電圧を出力する電源回路の全部もしくは一部を
搭載することを特徴とする、請求項１４に記載の磁気軸
受ユニット。 - 【請求項１６】 前記磁気軸受スピンド装置はターボ分
子ポンプに使用されることを特徴とする、請求項１ない
し１５のいずれかに記載の磁気軸受スピンドル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002110830A JP2003307219A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | センサユニット、これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンドル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002110830A JP2003307219A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | センサユニット、これを用いた磁気軸受ユニットおよび磁気軸受スピンドル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003307219A true JP2003307219A (ja) | 2003-10-31 |
Family
ID=29393845
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2003307219A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006274999A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
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2002
- 2002-04-12 JP JP2002110830A patent/JP2003307219A/ja not_active Withdrawn
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