JP3869388B2 - 温度調節器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御対象の温度を制御する温度調節器に関する。
【0002】
【従来の技術】
制御装置、例えば、温度を制御する温度調節器のPID制御やPI制御などの積分制御における積分値は、スタート時から大きな偏差(現在値と設定値との差)を積分しており、そのため、温度が設定値に達するころには、相当大きな積分値になるのに対して、操作量は、一般に飽和特性を有するので、温度が設定値に達してから過大な積分操作量が働き、オーバーシュートが発生するという、いわゆる、リセットワインドアップと呼ばれる現象が生じる。
【0003】
かかるリセットワインドアップ対策として、飽和した操作量に、比例ゲインの逆数を乗算して積分要素(積分演算部)の入力にフィードバックすることにより、積分操作量が過大とならないようにする方法がある(例えば、非特許文献1参照)。
【0004】
【非特許文献1】
須田信英他「PID制御」朝倉書店(システム制御情報学会編)、
2000年3月10日、p53
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記比例ゲインの逆数は、任意に設定すると、制御系が不安定になる場合があり、従来では、一定の固定値とされており、このため、制御対象の特性や用途などによっては、必ずしも充分なオーバーシュート抑制効果などが得られない場合があるという難点がある。
【0006】
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、リセットワインドアップに対して有効な温度調節器を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上述の目的を達成するために、次のように構成している。
【0008】
すなわち、本発明の温度調節器は、制御対象からの測定温度を目標温度に一致させるように操作量を、比例ゲインを用いて演算出力する演算制御部と、該演算制御部からの操作量を制限して制御対象側へ出力するリミッタとを備える温度調節器において、前記演算制御部は、少なくとも比例演算部と積分演算部とを含み、前記積分演算部の入力側に、前記リミッタの入力と出力との差をフィードバックするフィードバック手段を設け、前記比例ゲインをKp、係数値をF、前記フィードバック手段におけるフィードバックゲインをF/Kpとしたときに、該フィードバックゲインF/Kpの比例ゲインKpを変更することなく、前記係数値Fを、可変設定できるようにしたものである。
【0010】
本発明によると、リミッタの入力と出力との差、すなわち、リミッタで制限された操作量の飽和量を、積分演算部の入力側にフィードバックするので、積分操作量が過大とならないようにしてオーバーシュート等を抑制することができる。しかも、フィードバックする際のフィードバックゲインを可変設定できるので、制御対象の特性や用途などに応じて、ユーザがフィードバックゲインを可変設定することができ、ユーザの要求に応じたオーバーシュート等の抑制効果を奏することができる。
【0011】
また、本発明の温度調節器は、制御対象からの測定温度を目標温度に一致させるように操作量を、比例ゲインを用いて演算出力する演算制御部と、該演算制御部からの操作量を制限して制御対象側へ出力する第1のリミッタとを備える温度調節器において、前記演算制御部は、少なくとも比例演算部と積分演算部とを含み、前記演算制御部からの前記操作量を、前記第1のリミッタよりも狭い範囲に制限する第2のリミッタと、該第2のリミッタの入力と出力との差を、前記積分演算部の入力側にフィードバックするフィードバック手段とを設け、前記第2のリミッタは、その出力を前記制御対象側に与えることなく、前記演算制御部からの前記操作量を制限するものであり、前記比例ゲインをKp、係数値をF、前記フィードバック手段におけるフィードバックゲインをF/Kpとしたときに、該フィードバックゲインF/Kpの比例ゲインKpを変更することなく、前記係数値Fを、可変設定できるようにしたものである。
【0012】
ここで、第2のリミッタは、第1のリミッタよりも操作量を狭い範囲に制限するものであり、上限値および下限値の少なくとも一方の制限値は、制御対象の特性など応じて設定すればよく、定常偏差をなくすためには、定常状態における整定操作量が制限されないように設定するのが好ましい。
【0013】
本発明によると、操作量を制限して制御対象側へ出力する第1のリミッタの入力と出力との差を、積分演算部にフィードバックするのではなく、第1のリミッタよりも狭い範囲で操作量を制限する第2のリミッタの入力と出力との差をフィードバックするように構成したので、例えば、制御対象によっては、整定操作量が小さいために、第1のリミッタでは、操作量が飽和せず、積分操作量が過大となるのを抑制できないような場合であっても、第2のリミッタでは、操作量が飽和してその飽和量をフィードバックして積分操作量を抑制することが可能となる。これによって、オーバーシュート等を抑制できるとともに、特に、周期的に繰り返し印加されるような外乱に対して、測定値がシフトするのを抑制することができる。しかも、制御対象の特性や用途などに応じて、ユーザがフィードバックゲインを可変設定することができ、ユーザの要求に応じたオーバーシュート等の抑制効果を奏することができる。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0037】
(実施の形態1)
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る温度調節器1のブロック図である。
【0038】
この実施の形態の温度調節器1は、熱処理盤や熱処理炉などの制御対象2の温度を検出する図示しない温度センサからの測定温度(検出温度)yと目標温度rとの制御偏差eに基づいて、制御偏差がなくなるように操作量を演算出力する演算制御部20と、この演算制御部20からの操作量の上下限を制限して電磁開閉器およびヒータを含む図示しない加熱手段に出力するリミッタ6とを備えている。この実施の形態のリミッタ6は、操作量を、例えば、0%〜100%の範囲に制限している。
【0039】
演算制御部20は、比例演算部(比例要素)3、微分演算部(微分要素)4および積分演算部(積分要素)5を備えている。
【0040】
また、この実施の形態では、リセットワインドアップ対策のために、リミッタ6の入力と出力との差、すなわち、リミッタ6で制限された操作量の飽和量を、積分演算部5の入力側にフィードバックするフィードバック手段9を設けている。
【0041】
このフィードバック手段9は、リミッタ6に入力される操作量からリミッタ6の出力を差し引いて操作量の飽和量を算出する第1の算出部としての減算部8と、この操作量の飽和量に、後述するフィードバックゲインF/Kpを乗算するフィードバック要素7と、このフィードバック要素7の出力を、制御偏差eから差し引く第2の算出部としての減算部10とを備えている。
【0042】
演算制御部20、リミッタ6およびフィードバック手段9は、例えば、マイクロコンピュータによって構成される。
【0043】
なお、図1の比例演算部3、微分演算部4、積分演算部5およびフィードバック要素7におけるKpは比例ゲイン、TDは微分時間、λは不完全微分であることを示し、TIは積分時間、sはラプラス演算子、Fは後述のようにして設定算出される係数値である。
【0044】
この実施の形態の温度調節器1では、リセットワインドアップ対策として、フィードバック要素7におけるフィードバックゲインを可変設定できるようにしており、しかも、制御系が不安定状態にならないように、設定可能範囲を、次のように制限している。
【0045】
図2は、図1の操作量の飽和量をフィードバックするフィードバックループの部分15を示すブロック図であり、この図2では、積分演算部5およびフィードバック要素7の伝達関数を、Z変換してディジタル(離散系)で示している。なお、ΔTは、サンプリング時間である。
【0046】
この図2より、操作量の飽和量をフィードバックするフィードバックループの部分15の式は、
【0047】
【数1】
となる。よって、偏差eから操作量uまでのパルス伝達関数を計算すると、
【0048】
【数2】
【0049】
【数3】
【0050】
【数4】
【0051】
【数5】
となる。故に、特性方程式は、
【0052】
【数6】
【0053】
【数7】
【0054】
【数8】
安定条件は、特性方程式の根の絶対値が、単位円内にあることなので、
【0055】
【数9】
【0056】
【数10】
【0057】
【数11】
【0058】
【数12】
【0059】
【数13】
【0060】
【数14】
ここで、全パラメータは、正値なので、飽和量をフィードバックするフィードバックループ部分15の安定条件は、上述の数12および数14より、
0<ΔT・F/TI≦2
となる。
【0061】
したがって、A=ΔT・F/TIとおくと、
フィードバックループの安定条件は、
0<A≦2となる。
【0062】
図3に、Aを、安定条件の範囲外であるA=0.0およびA=2.1に設定した場合と、安定条件の範囲内であるA=2.0に設定した場合のシミュレーションの結果を示す。この図3では、目標温度を、100℃に設定した例を示している。
【0063】
破線で示されるA=0.0および一点鎖線で示されるA=2.1のいずれの場合も不安定となるのに対して、実線で示されるA=2.0の場合は、安定となっている。
【0064】
そこで、この実施の形態では、フィードバック要素7のフィードバックゲインF/Kpの係数値Fを、0<A(=ΔT・F/TI)≦2の安定条件を満足させるように設定するものである。
【0065】
すなわち、この実施の形態の温度調節器1では、温度設定などの各種の設定を行なう図示しない操作キーの操作によって、所望の設定モードにしてAの値を設定操作するものであり、この設定値Aに基づいて、前記Fを算出してフィードバックゲインF/Kpを設定するのである。なお、この設定値Aは、通信によって上位のコンピュータなどから設定するようにしてもよい。
【0066】
図4は、このフィードバック要素7のフィードバックゲインの設定のフローチャートであり、かかる処理は、上述のマイクロコンピュータによって行われる。
【0067】
先ず、設定された設定値Aを読み込み(ステップn1)、安定条件 0<A≦2を満足するか否かを判断し(ステップn2)、満足するときには、F(=TI×A/ΔT)を算出し(ステップn3)、満足しないときには、ステップn1に戻り、例えば、設定値Aが、設定可能範囲でないことを報知して再度の設定を促す。ステップn4では、算出されたFをフィードバック要素7に設定して終了する。
【0068】
なお、比例ゲインKp、微分時間TDおよび積分時間TIは、従来と同様にオートチューニングによって決定される。
【0069】
図5は、この実施の形態によるオーバーシュートの抑制のシミュレーション結果を示す図である。
【0070】
この図5では、設定値Aを、上述の設定可能範囲であるA=0.01(実線)、A=0.02(破線)、A=1.00(一点鎖線)にそれぞれ設定した場合を示しており、目標温度を、100℃としている。
【0071】
この図5に示されるように、設定値Aによって、オーバーシュート量を調整できることが分かる。
【0072】
したがって、制御対象の特性や用途などに応じて、ユーザが設定可能範囲で設定値Aを設定することにより、所望のオーバーシュート抑制効果を得ることができる。
【0073】
設定値Aは、このようにオーバーシュートを抑制できるだけではなく、次のような周期的な繰り返し外乱の印加による温度シフトを抑制する効果もある。
【0074】
例えば、半導体ウェハを、熱処理盤に載置して順番に熱処理する熱処理装置では、図6に示されるように、目標温度である100℃に制御された熱処理盤に、外乱として半導体ウェハを載置する度に、半導体ウェハに熱が奪われて熱処理盤の温度が一旦低下し、半導体ウェハが熱処理される間に再び目標温度に復帰し、次の半導体ウェハが載置されると、再び熱処理盤の温度が低下し、再び目標温度に復帰するという温度変化を周期的に繰り返すものである。
【0075】
なお、周期的とは、一定周期に限らず、処理工程上の多少の時間的なずれを含むものである。
【0076】
このような熱処理盤の温度制御において、オーバーシュートを抑制するために積分時間を大きめに設定すると、図6の破線で示されるように、全体的に温度が徐々に上昇するという温度シフトの問題がある。
【0077】
これに対して、この実施の形態では、操作量の飽和量をフィードバックすることにより、徐々に蓄積される過大な積分操作量を抑制することができる。特に、上述の設定値Aの設定によって、この温度シフトを抑制することができ、例えば、図6の実線で示されるように、A=0.1に設定した場合には、温度のシフトをなくすことができる。
【0078】
(実施の形態2)
図7は、本発明の他の実施の形態の温度調節器1−1のブロック図であり、上述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0079】
上述の実施の形態では、操作量の上下限を制限するリミッタ6は、例えば、0%〜100%の範囲で操作量を制限するものであり、したがって、操作量が0%〜100%の範囲にあるとき、すなわち、操作量が飽和しない限りは、減算部8の出力が0となってフィードバックループが機能せず、積分操作量を抑制できないことになる。
【0080】
したがって、例えば、制御対象の特性によって、定常状態における整定操作量が低く、リミッタ6で操作量が制限されないような場合には、上述の実施の形態の構成では、積分操作量を抑制するフィードバックループが機能せず、積分操作量が過大となるのを有効に抑制できないことになる。
【0081】
特に、上述の半導体ウェハの熱処理のような周期的な外乱が繰り返されるような場合には、操作量が飽和しないときには、徐々に蓄積される過大な積分操作量によって、図8に示されるように、温度が全体的に徐々に上昇するという温度シフトが上述のように生じることになる。
【0082】
そこで、この実施の形態では、図7に示されるように、演算制御部20からの操作量を制限して制御対象2側に出力するリミッタ6(以下「第1のリミッタ」という)とは別に、この第1のリミッタ6よりも狭い範囲、例えば、0%〜20%の範囲に操作量を制限する第2のリミッタ21を設けている。
【0083】
そして、この第2のリミッタ21の入力と出力との差、すなわち、第2のリミッタ21によって制限された操作量の飽和量を、上述の実施の形態と同様に、積分演算部5の入力側にフィードバックしている。その他の構成は、上述の実施の形態と同様である。
【0084】
この実施の形態によれば、整定操作量が、例えば、10%〜15%程度と小さく、第1のリミッタ6で操作量が制限されることがないような制御対象であっても、周期的な外乱が繰り返されるような場合には、第2のリミッタ21では、操作量が制限されて飽和量がフィードバックされて過大な積分操作量が抑制できることになる。したがって、周期的な繰り返し外乱の印加による温度シフトを、図9に示されるように、十分に抑制することができる。
【0085】
なお、この実施の形態では、第1,第2のリミッタ6,21は、並列的に設けたけれども、本発明の他の実施の形態として、例えば、図10に示されるように、第1のリミッタ6の後段に、第2のリミッタ21を設けるようにしてもよい。
【0086】
(実施の形態3)
図11は、本発明の他の実施の形態の温度調節器1−3のブロック図であり、上述の図1の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0087】
従来、オフセット調整などのために、補正値を設定することにより、制御対象2の温度を検出する温度センサからの入力である検出温度(測定温度)に、前記補正値を加算して入力を補正するようにしている。
【0088】
このような従来例では、整定状態において、入力補正を行なうと、例えば、図12の一点鎖線で示されるようにオーバーシュートや温度の振れが生じるという難点がある。
【0089】
この図12においては、100℃に整定している状態で、1℃の入力補正を行なった例を示している。
【0090】
そこで、この実施の形態では、図11に示されるように、補正手段としての入力補正手段11には、設定された補正値が入力される一次遅れフィルタ12を設けており、この一次遅れフィルタ12の出力を、加算部13において、温度センサからの検出温度に加算して補正入力値としている。
【0091】
この実施の形態では、一次遅れフィルタの特性を、例えば、
{1+(1−B)CTIs}/(1+CTIs)としている。
【0092】
ここで、B,Cは、固定値あるいはユーザが設定可能なパラメータである。
【0093】
図13は、B=0.6、C=1.0とした場合の一次遅れフィルタ12の出力を示すものである。この図13においては、補正値として、実線で示されるように1℃を設定した場合の一次遅れフィルタ12の出力を破線で示している。
【0094】
この図13に示されるように、設定された補正値が、加算部13にそのまま与えられるのではなく、徐々に設定された補正値なるような補正値が加算部13に与えられることになり、これによって、上述の図12の実線で示されるように、入力補正時のオーバーシュートや温度の振れが抑制されることになる。
【0095】
なお、上述のBの値によって、曲線状に変化を開始する点を調整することができ、Cの値によって、設定された補正値に達するまでの時間を調整することができる。
【0096】
この実施の形態の入力補正手段11を、上述の実施の形態2に設けてもよい。
【0098】
上述の実施の形態では、制御対象を加熱する場合に適用して説明したけれども、本発明は、制御対象を冷却する場合にも適用できるのは勿論であり、アンダーシュートを抑制することができる。
【0099】
上述の実施の形態では、PID制御に適用したけれども、本発明は、比例積分制御などの積分制御を含む他の制御(例えば現代制御、ファジィやニューロなどの知識型制御であっても積分を使うもの)にも適用できるものである。
【0101】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、操作量の飽和量を、積分演算部の入力側にフィードバックする際に、フィードバックゲインを設定可能としているので、制御対象の特性や用途などに応じて、ユーザがフィードバックゲインを可変設定することができ、所望のオーバーシュート等の抑制効果や周期的な繰り返し外乱印加による測定値のシフトを抑制する効果などを奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一つの実施の形態に係る温度調節器のブロック図
【図2】図1の操作量の飽和量のフィードバックループ部分のブロック図
【図3】設定値Aによる制御特性の相違を示す図
【図4】フィードバックゲイン設定のフローチャート
【図5】設定値Aによるオーバーシュート抑制効果を示す図
【図6】図1の実施の形態の温度シフト抑制効果を示す図
【図7】本発明の他の実施の形態に係る温度調節器のブロック図
【図8】操作量が飽和しない場合の温度シフトを示す図
【図9】図7の実施の形態の温度シフト抑制効果を示す図
【図10】図7の変形例を示すブロック図
【図11】本発明の他の実施の形態に係る温度調節器のブロック図
【図12】図11の実施の形態によるオーバーシュート抑制効果を示す図
【図13】フィルタ特性の一例を示す図
【符号の説明】
1,1−1〜3 温度調節器 2 制御対象 3 比例演算部
4 微分演算部 5 積分演算部 6,21 リミッタ
7 フィードバック要素 9 フィードバック手段
11 入力補正手段 12 一次遅れフィルタ
Claims (2)
- 制御対象からの測定温度を目標温度に一致させるように操作量を、比例ゲインを用いて演算出力する演算制御部と、該演算制御部からの操作量を制限して制御対象側へ出力するリミッタとを備える温度調節器において、
前記演算制御部は、少なくとも比例演算部と積分演算部とを含み、
前記積分演算部の入力側に、前記リミッタの入力と出力との差をフィードバックするフィードバック手段を設け、
前記比例ゲインをKp、係数値をF、前記フィードバック手段におけるフィードバックゲインをF/Kpとしたときに、該フィードバックゲインF/Kpの比例ゲインKpを変更することなく、前記係数値Fを、可変設定できるようにしたことを特徴とする温度調節器。 - 制御対象からの測定温度を目標温度に一致させるように操作量を、比例ゲインを用いて演算出力する演算制御部と、該演算制御部からの操作量を制限して制御対象側へ出力する第1のリミッタとを備える温度調節器において、
前記演算制御部は、少なくとも比例演算部と積分演算部とを含み、
前記演算制御部からの前記操作量を、前記第1のリミッタよりも狭い範囲に制限する第2のリミッタと、該第2のリミッタの入力と出力との差を、前記積分演算部の入力側にフィードバックするフィードバック手段とを設け、
前記第2のリミッタは、その出力を前記制御対象側に与えることなく、前記演算制御部からの前記操作量を制限するものであり、
前記比例ゲインをKp、係数値をF、前記フィードバック手段におけるフィードバックゲインをF/Kpとしたときに、該フィードバックゲインF/Kpの比例ゲインKpを変更することなく、前記係数値Fを、可変設定できるようにしたことを特徴とする温度調節器。
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