JP3660294B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3660294B2 JP3660294B2 JP2001326865A JP2001326865A JP3660294B2 JP 3660294 B2 JP3660294 B2 JP 3660294B2 JP 2001326865 A JP2001326865 A JP 2001326865A JP 2001326865 A JP2001326865 A JP 2001326865A JP 3660294 B2 JP3660294 B2 JP 3660294B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- laser
- processing
- liquid
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/721—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
- H10W90/724—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工とこれを用いた半導体装置の製造方法に関し、特に、基板や、基板上に形成された薄膜の加工に適切に用いられるレーザ加工装置とレーザ加工方法、これらを使用した半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ光を用いた加工技術は、リソグラフィ技術を用いることなくμｍオーダーの微細加工が可能となることから、半導体装置の加工技術として注目されてきている。半導体装置の製造工程では、ウエハ上にレジスト膜、樹脂層、絶縁膜、金属薄膜など、多種多様な層が成膜、積層される。これらの層を正確に処理し、選択除去するために、精密な微細加工が必要となる。
【０００３】
しかし、大気中でレーザ加工を行うと、加工領域周辺にダストが生じ、そのダストが加工部分に付着するという問題がある。ダストは、露光不良、短絡、断線などの不良の原因となり、製造歩留まりが低下する。
【０００４】
また、半導体装置では、シリコン（Ｓｉ）などの半導体基板上に金属薄膜（アルミニウム合金や銅（Ｃｕ）膜等）、絶縁膜（ＳｉＯ2膜やＳｉ3Ｎ4膜等）、レジスト、樹脂等が積層されているが、レーザ加工は主としてアブレーション（加熱による溶融、蒸発）を利用するため、レーザ光照射領域周辺にレーザ光照射による損傷を生じるという問題もある。
【０００５】
図１９は、大気中でのレーザ加工によって受ける損傷の例を示す。図１９（ａ）はシリコン基板に対する損傷を、図１９（ｂ）は金属膜に対する損傷を、図１９（ｃ）はシリコン窒化膜（Ｓｉ3Ｎ4）に対する損傷を、図１９（ｄ）はフォトレジストに対する損傷を示す。
【０００６】
Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中でシリコン単結晶基板１１００を加工し、加工後にシリコン単結晶基板１１００の断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察してみると、図１９（ａ）に示すように、レーザ光照射領域（加工領域）１１１０の周辺に、シリコン多結晶領域１１０１やボイド１１０１Ａが生じ、その周辺に多数の転位１１０２が観測される。
【０００７】
このうち、シリコン多結晶領域１１０１やボイド１１０１Ａの発生は、レーザ光照射によりシリコンが溶融され、溶融シリコンが凝固する際に生じるものと考えられる。
【０００８】
また、レーザ光の照射により、レーザ光照射領域１１１０の周辺に急峻な温度差を生じるので、シリコン単結晶基板１１００が溶融されない領域においても大きな熱ストレスが蓄積され、転位１１０２が生じるものと考えられる。シリコン単結晶基板１１００の表面からの深さが深くなるにつれて、転位１１０２の発生領域は増加する傾向を示し、深さが２００μｍでは、レーザ光照射領域１１１０の中心から半径約１００μｍの広範囲に渡って転位１１０２の発生が観測される。
【０００９】
さらに、レーザ光照射領域１１１０の表面部分では、溶融したシリコンの盛り上がり１１０３が生じており、盛り上がり１１０３の周辺にはレーザ光照射により飛散したシリコン粒子１１０４の付着が観測される。
【００１０】
これらの損傷は、レーザ光の照射エネルギー密度を加工限界の約２．５Ｊ／ｃｍ2まで減少させた場合であっても観測される。ＫｒＦエキシマレーザ等を用いても、同様にレーザ光の照射に伴う損傷が観測されている。Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザや、ＫｒＦエキシマレーザ等、パルス幅が数ｎｓｅｃ以上の加工用レーザは、比較的安価で信頼性も高いが、大気中でシリコン基板等を加工する場合に、照射にともなう損傷をまぬがれ得ない。
【００１１】
一方、１ｐｓｅｃ以下の非常にパルス幅が狭いレーザ光を使用すると、溶融やそれにともなう熱ストレスを生じにくいという報告がなされており、パルス幅が１ｐｓｅｃ以下の加工用レーザとして、チタンサファイアレーザ等が知られている。しかし、このような加工用レーザは非常に高価であるために、半導体装置の加工用レーザとしては好ましくない。
【００１２】
また、シリコン単結晶基板をレーザ加工する際のボイド１１０１Ａ、転位１１０２等の発生は、シリコン基板の強度の低下や、シリコン基板上に形成された素子や配線への損傷を誘発する。盛り上がり１１０３や飛散されたシリコン粒子１１０４等は上層薄膜の劣化を誘発してしまう。結果として、半導体装置を製造する際の歩留まりが低下する。
【００１３】
図１９（ｂ）は、シリコン単結晶基板１１００上にシリコン酸化膜１１２０と、金属薄膜（銅やアルミニウム合金等）１１３０を順次積層した構造において、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中で金属薄膜１１３０を加工した場合の断面構造を示す。図１９（ｃ）は、同様にＱ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中でシリコン窒化膜１１５０を加工したときの断面構造を、図１９（ｄ）は、大気中でフォトレジスト膜１１６０を加工した場合の断面構造を示している。
【００１４】
図１９（ｂ）に示す金属薄膜１１３０のレーザ光照射領域１１１０の周辺には、図１９（ａ）の場合と同様に、盛り上がり１１３３が生じる。盛り上がり１１３３の周辺には、レーザ光１１４０の照射により飛散した多数の金属粒子１１３４が付着している。盛り上がり１１３３の高さは約２μｍ〜５μｍに達し、金属粒子１１３４の粒子径は数μｍの大きさにも達する。このような盛り上がり１１３３や金属粒子１３４は、上層薄膜の信頼性低下の原因となり、半導体装置の製造上の歩留まりが低下する。
【００１５】
さらに走査形マイクロオージェ（μ−ＡＥＳ）分析の結果、金属薄膜１１３０が銅膜である場合、レーザ光照射領域１１１０の周辺、特に盛り上がり１１３３に数十％にも達する炭素（Ｃ）が検出され、炭素汚染１１３５が生じていることがわかる。金属薄膜１１３０は、通常、配線や電極として形成されるが、炭素汚染１１３５は配線や電極の抵抗値を部分的に増大し、所望の回路特性を得ることができない。結果として、半導体装置の製造上の歩留まりを低下させてしまう。
【００１６】
図１９（ｃ）に示すように、シリコン窒化膜１１５０に大気中でレーザ加工を行った場合も、レーザ光照射領域１１１０の周辺に盛り上がり１１５３が生じる。盛り上がり１１５３の周辺に飛散した多数のシリコン窒化物粒子１１５４が付着する。同様に、図１９（ｄ）に示すフォトレジスト膜１１６０でも、レーザ光照射領域１１１０の周辺に盛り上がり１１６３が生じ、盛り上がり１１６３の周辺に飛散した多数のフォトレジスト粒子１１６４の付着が観察される。
【００１７】
シリコン窒化物粒子１１５４やフォトレジスト粒子１１６４は、金属粒子１１３４に比べて小さく、これらの微粒子が、レーザ光照射領域１１１０の周辺に数百μｍに渡って飛散する。このため、シリコン窒化膜１１５０の上層に形成される薄膜に悪影響を与え、フォトレジスト膜１１６０においては露光不良や現像不良等を誘発する。いずれにしても、半導体装置の製造上の歩留まりを低下させてしまう。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術における問題を解決するために、本発明は、第１の目的として、加工対象物の加工面においてレーザ光照射による損傷を低減し、レーザ光照射にともなう飛散物の付着を防止すると同時に、微細加工を精密に施すことができるレーザ加工方法を提供する。
【００１９】
本発明の第２の目的は、上述したレーザ加工を、簡単な構成で実現することのできるレーザ加工装置を提供することにある。
【００２０】
本発明の第３の目的は、上述したレーザ加工を利用して、基板や基板上に形成された膜を精密な加工形状で微細加工することのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【００２１】
本発明の第４の目的は、上述したレーザ加工を利用して、基板上に積層された複数種類の薄膜を、各膜に機械的ストレスを与えることなく精密に微細加工することのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【００２２】
本発明の第５の目的は、上述したレーザ加工を利用して、レジスト下方の反射防止膜を正確に選択除去し、基板上に形成されたアライメントマークの観察を可能にする半導体装置の製造方法を提供する。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
第１の目的を達成するために、本発明により提供されるレーザ加工方法は、（１）加工対象物の加工面にレーザ光を透過させる液体を供給し、（２）この液体を介してレーザ光を加工面上に照射し、（３）加工対象物に超音波振動を与えながらレーザ加工を行う。
【００２４】
加工面上に液体を供給しながらレーザ加工することにより、加工面においてレーザ光照射により発生する熱を奪い去ることができる。また、レーザ光照射により発生する蒸発物の勢いを抑制することができる。
【００２５】
レーザ加工時に加工面に超音波振動を与えることにより、レーザ光照射領域に発生する気泡を連続的に取り除き、加工面への加工くずや飛散粒子の付着を効果的に防止することができる。
【００２６】
たとえば、加工対象物がシリコン単結晶ウエハや化合物半導体基板、絶縁性薄膜、金属薄膜などである場合、レーザ光照射による熱の拡散を抑制することができ、結晶欠陥を防止することができる。また、蒸発物の勢いを抑制できるので、加工くずの飛散を防止することができる。
【００２７】
さらに、超音波振動により、気泡が連続除去されるので、レーザ光の不規則な乱れを防止し、加工精度をいっそう向上することができる。超音波振動により、加工面へのダストや飛散粒子の付着も防止され、良好な加工形状が実現され、最終製品の動作の信頼性が向上する。
【００２８】
加工面へ供給される液体は、一定方向にほぼ均一な流れで供給されることが好ましい。一方向への均一な流れで液体を供給することによって、加工面上での乱流を防止し、レーザ光の揺らぎを排除することができる。
【００２９】
加工対象物が半導体ウエハである場合、このようなレーザ加工により、正確かつ多様な形状のダイシングラインをウエハ上に形成することが可能になる。
【００３０】
第２の目的を達成するために、本発明により提供されるレーザ加工装置は、レーザ発振器と、加工対象物を保持するホルダと、レーザ発振器から発せられたレーザ光を加工対象物の加工面上に導く光学系と、加工面上に液体を供給する液体供給装置を備え、ホルダは、加工対象物の加工面にほぼ揃った位置に位置する液体導入ポートと排出ポートを有する。
【００３１】
ホルダの液体導入ポートと排出ポートを、加工対象物の加工面とほぼ揃った位置に配置することによって、加工面上に供給される液体は、ほぼ一定の流量で加工面上を均一に流れ、排出されることになる。
【００３２】
このレーザ加工装置は、加工対象物に超音波振動を与える機構をさらに有するのが好ましい。超音波振動を与える機構は、たとえばホルダに取り付けられた圧電素子と、この圧電素子を駆動制御する駆動制御装置とで構成される。あるいは、超音波振動を与える機構を、液体供給装置とホルダの液体導入ポートとを接続する管に設置してもよい。
【００３３】
超音波振動を与える機構から発せられる超音波振動は、ホルダを介して、あるいは液体を介して、加工面に伝播される。これにより、加工くずの付着や、発生する気泡を効果的に排除することができる。
【００３４】
第３の目的を達成するために、本発明により提供される半導体製造方法は、（１）基板上に膜を形成し、（２）膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）膜に超音波振動を与えながら、液体を介してレーザ光を膜上の所定の位置に照射して、膜を所定の形状に加工する。
【００３５】
膜はたとえば金属膜であり、超音波振動を与えながら液体供給下で金属膜を所定の配線パターンにレーザ加工する。あるいは、膜は樹脂絶縁膜であり、所定の溝パターンに樹脂絶縁膜を加工し、加工した溝パターンに金属を充填してグローバル配線を形成する。
【００３６】
基板は、たとえばシリコン単結晶基板、III−Ｖ族化合物半導体基板などである。膜はまた、ポリシリコン膜、有機または無機のシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、フォトレジスト、反射防止膜等であってもよい。このような膜の加工は、ダイシングライン、ＶＩＡホール、スルーホール、素子分離溝、配線パターン、電極パターンの形成や、アライメントマーク観察用の選択除去、ウエハ製造番号露出用の選択除去、基板周辺部の選択除去を始め、半導体装置製造の過程で必要とされるすべての膜加工を含む。
【００３７】
半導体基板上の膜に液体を供給し、超音波振動を与えながらレーザ加工することにより、レーザ光照射による熱の広がりを防止し、ボイド、クラック、転位、チッピングの発生を抑制することができる。これにより、正確な形状で半導体装置の膜加工が行なわれ、最終製品の動作の信頼性が向上する。また、製造歩留まりが向上する。
【００３８】
第４の目的を達成するために、半導体装置の製造方法は、（１）基板上に１以上の膜を積層し、（２）膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）液体を介して前記膜上にレーザ光を照射し、各膜のレーザ吸収係数αi と膜厚Ｔiとが、Ｔi≧０．３／αi の関係を満たす条件で、積層した膜を加工する。
【００３９】
このような条件下で、加工面に液体を供給しながらレーザ加工することにより、基板上に積層する各膜への機械的ストレスを抑制して、薄膜におけるクラックの発生を防止できる。結果として、製造歩留まりが向上する。また、気泡を除去してレーザ光の揺らぎを抑制し、加工面へのダストの付着を防止する。これにより、正確な加工形状を達成できる。
【００４０】
第５の目的を達成するために、半導体装置の製造方法は、（１）ウエハ上に反射防止膜を介してレジスト膜を形成し、（２）レジスト膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）この液体を介して細くしぼったレーザ光をレジスト膜上に照射し、レーザ光を走査して、所定の領域のレジスト膜および反射防止膜を除去する。
【００４１】
この方法により、上層レジストのブローや剥離を生じさせずに、下層の反射防止膜を所望の領域だけ正確に選択除去することができる。したがって、反射防止膜の下方に形成されたアライメントマークを、パターン露光用の光学系をそのまま用いて観察することが可能になる。
【００４２】
また、液体を供給しながらレジストや反射防止膜をレーザ加工するので、加工くずや飛散粒子の付着に起因するパターニングエラーを防止し、アライメント精度を大幅に向上できる。
【００４３】
本発明のその他の目的、効果は、図面を参照した以下の詳細な説明で、いっそう明確になる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下で、本発明の実施形態により提供されるレーザ加工装置、レーザ加工方法、および半導体装置の製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。図面は模式的なものであり、説明の便宜上、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なる場合もある。なお、本明細書中で、「基板（あるいは膜）上に」という場合は、基準となる基板あるいは膜の表面に対する相対的な位置関係を言うものであり、間に介在する層の有無は問わないものとする。
【００４５】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置１の図である。レーザ加工装置１は、レーザ発振器２と、加工対象物１０を保持するホルダ７と、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａを加工対象物１０の加工面１０Ａに走査させる走査系６と、ホルダ７に液体８を供給する液体供給装置９を備え、ホルダ７は、加工面１０Ａにほぼ揃った位置にある液体導入ポート７Ｂと排出ポート７Ｃを有する。以下の説明では、加工対象物の一例としてシリコン単結晶のウエハ１０を用いる例をとって説明する。
【００４６】
レーザ加工装置１はさらに、レーザ光２Ａの発振タイミング等を制御するレーザ発振コントローラ３と、ビーム調整レンズユニット４と、ウエハ１０上の照射位置を観測する観測系５とを備える。
【００４７】
レーザ発振器２はたとえばＱ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザであり、基本波（波長１０６４ｎｍ）、第二高調波（波長５３２ｎｍ）、第三高調波（波長３５５ｎｍ）、第四高調波（波長２６６ｎｍ）のいずれかの波長のレーザ光２Ａを照射することが可能である。
【００４８】
レーザ発振器２から照射されるレーザ光２Ａのパルス幅は約１０ｎｓｅｃに設定されており、レーザ光照射領域は図示しないスリット機構により一辺が１０μｍ〜５００μｍ（１０μｍ×１０μｍ〜５００μｍ×５００μｍ）までの範囲内において調整を行うことができる。また、レーザ発振器２のレーザ光発振周波数は１０ｋＨｚに設定されている。レーザ発振器２から発せられるレーザ光２Ａの発振制御、照射領域の制御等は、レーザ発振コントローラ３により行われている。
【００４９】
レーザ発振器２から照射されたレーザ光２Ａは、ビーム調整レンズユニット４、観測系５、走査系６のそれぞれを順次通過し、ウエハ１０の加工面１０Ａに照射される。ビーム調整レンズユニット４は、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａの形状を調整するビーム形状変換装置（不図示）と、加工領域にビームを投影する光学レンズ（不図示）を含む。観測系５は、レーザ光２Ａを光軸から取り出すハーフミラー５Ａと、ハーフミラー５Ａにより取り出されたレーザ光２Ｂを観察する観測用カメラ５Ｂとを少なくとも備える。また、観察系５には、ハロゲンランプ等の照明光が設置されており、レーザ照射領域像を観察することが可能である。観測系５を用いて、レーザ光照射位置のアライメントを施すことできる。
【００５０】
走査系６は、ウエハ１０の加工面１０Ａ上でレーザ光２Ａを連続走査あるいは照射位置シフトさせるための走査ミラー６Ａと、走査ミラー６Ａを駆動制御するための走査制御部６Ｂを少なくとも備える。図１に示す構成例では、走査系６を用いることによりウエハ１０上でのレーザ光２Ａの照射位置を制御しているが、ホルダ７に駆動制御装置を連結し、ホルダ７を水平方向並びに垂直方向に移動することによって、レーザ光２Ａの照射位置を変える構成としてもよい。走査系６は、レーザ光２Ａを加工面上へ導くことのできる一般的な光学系の一例として図１に示す第１実施形態で用いられている。
【００５１】
ホルダ７は、中央にウエハ１０を設置するトレーのような形状で構成されている。ホルダ７の平面形状は、載置する加工対象物の形状に応じて適宜変更することができる。半導体ウエハのように円盤状の加工対象物を載置する場合には、円形のホルダ７を使用することができる。また、液晶表示装置に使用される石英ガラス基板、プリント配線基板等のような矩形の加工対象物を載置する場合には、矩形のホルダ７を使用することができる。勿論、矩形のホルダ７に円盤状のウエハ１０を設置してもよい。
【００５２】
図１に示す例では、ホルダ７は水平に設置されているので、加工面１０Ａの高さと、液体導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃの高さがほぼ一致する。もちろん、ホルダ７は必ずしも水平である必要はなく、どのような角度であっても、導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃが、加工面１０Ａとほぼ揃うように配置される。導入ポート７Ｂと排出ポート７Ｃは、ウエハ１０の加工面１０Ａを間にはさんでほぼ反対側に位置するのが好ましく、液体供給装置９から供給される液体が、ウエハ１０の加工面１０Ａ上で乱流を生じることなく、一方向にほぼ均一に流れる構成となっている。このような構成により、加工面１０Ａ全体にわたって、微粒子などの加工くずやレーザ照射にともなう気泡の付着を効果的に防止することができる。
【００５３】
ホルダ７はさらに、加工面１０Ａ上を流れる液体を覆い、レーザ光２Ａを透過させる透明な窓７Ａを備える。レーザ発振器２から発振されたレーザ光２Ａは、窓７Ａと液体８とを透過してウエハ１０の加工面１０Ａに照射される。窓７Ａは、レーザ加工時にウエハ１０上に流れる液体８の散水を防止する。
【００５４】
液体８として任意の液体を用いることができるが、ウエハ１０などの加工対象物の加工面１０Ａで、レーザ光照射により照射領域近傍で発生する熱を奪い去ることができ、レーザ光照射により発生する蒸発物の勢いを抑制できるものが好ましい。本発明の実施形態では、後述するように、液体８として純水、アンモニア水溶液、グリシン過酸化水素水等を実用的に使用することができる。
【００５５】
純水は、大半の材料の加工に使用することができる。アンモニア水溶液は、シリコンを加工する場合、純水を使用したレーザ加工に比べて、レーザ加工速度を高速化することができる。グリシン過酸化水素水は、温度の上昇により銅（Ｃｕ）のエッチングを進行させる特性があり、レーザ光の照射による自然温度上昇によって、銅配線などの加工を効率的に進めることができる。
【００５６】
液体供給装置９は、基本的に加工面１０Ａのレーザ光照射領域が流動する液体８に浸されるように液体８を供給すればよいが、熱をより多く奪い去り、蒸発物の勢いをより減少させるために、ウエハ１０の全体が液体８に浸るように液体を供給してもよい。
【００５７】
液体供給装置９は、たとえば循環ポンプであり、流入管９Ａ並びに流出管９Ｂを通してホルダ７に連接される。液体供給装置９として循環ポンプを用いる場合は、加工くずを除去するためのフィルタ（不図示）を設ける。
【００５８】
ホルダ７に供給される液体は、レーザ光照射領域に発生する気泡を連続的に取り除くために、加工面１０Ａ上で乱流を生じないように一定方向に流動しさえすればよいので、循環せずにそのまま排出される構成であってもよい。ホルダ７の導入ポート７Ａと排出ポート７Ｂが、加工面１０Ａとほぼ揃った位置に配置されることから、液体供給装置９から一定流量で供給される液体８は、レーザ光２Ａに不規則な揺らぎを与えないように、加工面１０Ａ上でほぼ一定方向に均一に流れる。液体供給装置９は少なくともレーザ加工が実際に行われているときに駆動されていればよい。
【００５９】
図１に示す装置を用いたレーザ加工方法では、加工対象物１０の加工面１０Ａ上に液体８を供給し、加工面１０Ａ上を流動する液体８を介して、加工面１０Ａの所定の位置にレーザ光２Ａを照射して加工する。
加工面上を流れる液体を介してレーザ加工することにより、レーザ照射領域に発生する気泡や加工くずを連続的に除去することができる。加工面上を流動する液体は、一定方向へのほぼ均一な流れであることが好ましい。これにより、加工面上での乱流を防止し、液体を透過するレーザ光に不規則な乱れを生じさせない。
【００６０】
また、第１実施形態に係るレーザ加工では、加工面上を流れる液体により、レーザ照射面に発生する熱を逃がすことができるので、レーザ光照射領域近傍の損傷を低減することができる。たとえば、加工対象物がシリコン単結晶基板や化合物半導体基板、絶縁性の薄膜、導電性の薄膜などの場合、レーザ光の照射による熱の広がりを抑制し、結晶欠陥の生成を防止することができる。また、レーザ加工による微粒子などの飛散物が加工面に付着するのを防止できる。
【００６１】
これらの効果により、正確な微細加工を実現することができる。
【００６２】
（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置１００の図である。レーザ加工装置１００は、レーザ発振器２と、加工対象物(たとえばウエハ)１０を保持するホルダ７と、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａをウエハ１０の加工面１０Ａに走査させる走査系６と、ホルダ７に液体８を供給する液体供給装置９と、ウエハ１０の加工面１０Ａを超音波振動させる超音波印加メカニズムとを備える。
【００６３】
超音波印加メカニズムは、図２の例では、ホルダ７の裏面に取り付けられた圧電素子１２０と、この圧電素子１２０を駆動制御する駆動制御回路１２１とで構成される。この場合、超音波振動は、圧電素子１２０からホルダ７を介してウエハ１０に伝播され、結果的にウエハ１０の加工面１０Ａが超音波振動することになる。
【００６４】
また、図示はしないが、超音波印加メカニズムは、液体供給装置９とホルダ７とを連結する液体流入管９Ａに設けてもよい。この場合は、ホルダ７に供給される液体８自体に超音波振動を与え、液体８がウエハ１０の加工面１０Ａ上を流動するときに、加工面１０Ａに超音波振動を与える。
【００６５】
ホルダ７は、第１実施形態と同様に、レーザ光２Ａを透過させる透明な窓７Ａと、ウエハ１０の加工面１０Ａにほぼ揃った位置にある液体導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃを有する。
【００６６】
レーザ加工装置１００はさらに、レーザ光２Ａの発振タイミング等を制御するレーザ発振コントローラ３と、ビーム調整レンズユニット４と、ウエハ１０上の照射位置を観測する観測系５とを備える。
【００６７】
図２に示すレーザ加工装置１００を用いたレーザ加工方法では、加工対象物（ウエハ）１０の加工面１０Ａ上にレーザ光を透過させる液体８を供給し、この液体８を介してレーザ光２Ａを加工面１０Ａに照射するとともに、加工面１０Ａに超音波振動を与えて、超音波振動の下でレーザ加工を行う。
【００６８】
超音波振動は、たとえば、加工対象物１０の加工面１０Ａと反対側の面から超音波を印加する。あるいは、液体８にあらかじめ超音波振動を与えておき、超音波振動する液体８が加工面１０Ａに超音波振動を与えてもよい。また、超音波振動は、少なくともレーザ光の照射面に与えられればよいが、加工面１０Ａの全体に印加されてもよい。
【００６９】
このようなレーザ加工方法では、レーザ加工中に加工面１０Ａが超音波振動するので、レーザ光により発生する気泡を効果的に取り除くことができる。さらに、レーザ加工による微粒子がたとえ加工面１０Ａに付着したとしても、振動により効果的に取り除くことができる。第２実施形態のレーザ加工装置１００では、ウエハ１０の加工面１０Ａ上にほぼ均一に流動する液体８を供給することに加え、レーザ光照射の際に、ウエハ１０の加工面１０Ａに超音波振動を与えることにより、加工くずやレーザ光２Ａの照射により発生する気泡を、より効果的に取り除くことができる。
【００７０】
（第３実施形態）
上述した第１実施形態または第２実施形態のレーザ加工装置およびレーザ加工方法を、半導体装置の製造過程で必要とされる種々の加工に適用した例を説明する。以下で説明する適用例は、第１実施形態のレーザ加工装置と第２実施形態のレーザ加工装置のいずれを用いても、良好に達成できる。
【００７１】
（１）半導体基板のレーザ加工
図３は、第１実施形態または第２実施形態のレーザ加工方法を適用して、シリコン単結晶基板である半導体基板（ウエハ）１１にトレンチ１１Ｔを形成する例を示す。
【００７２】
半導体基板へのレーザ加工は、ブレードやワイヤーソーに代えて、ウエハをチップに切り出すダイシング技術として期待されている。特に、半導体チップの薄膜化、パターンの微細化が進むなかで、半導体チップの切り出し方法として、先に半導体ウエハの表面から途中まで溝を形成（ハーフカット）し、その後半導体ウエハの裏面からハーフカットした溝に到達するまで研摩してチップに分離する先ダイシング技術が有効である。
【００７３】
具体的には、図３（ａ）に示すようにシリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に、乱流が生じないように液体（不図示）を一定方向に供給しながら、加工面１１Ａにレーザ光２Ａを照射して、幅が約１０μｍ、深さが５０μｍの溝１１Ｔを形成する。加工時に、加工面１１Ａに超音波振動を与える場合は、微粒子や飛散物をより効率的に除去しながら溝１１Ｔを形成できる。
【００７４】
加工時のレーザ光の形状は、短辺方向が１０μｍ、長辺方向が５００μｍの矩形である。レーザ光の１パルスあたりの照射エネルギー密度は４Ｊ／ｃｍ2、発振周波数は１０ｋＨｚであり、長辺方向に１０ｍｍ／ｓｅｃで走査することよって、ライン状に加工する。レーザ波長は２６６ｎｍ、パルス幅は１０ｎｓｅｃである。シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに供給される液体８には純水が使用されている。なお、純水は、たとえば図１に示すように、流入管９Ａ、流出管９Ｂを通して循環されており、加工面１１Ａ上で、ほぼ一定流速で一定方向に流動する。また、図２に示す装置を用い、加工面１１Ａに超音波振動を与えた場合は、微粒子などの飛散物の付着をより効果的に防止することができる。
【００７５】
ＴＥＭで断面形状を観察の結果、図３（ａ）に示すように、レーザ光照射領域１２の近傍においてクラックや転位等の損傷がないことが確認された。また、図１９（ａ）に示すように、大気中でレーザ加工したときに観察されたボイド１１０１Ａ、転移１１０２、盛り上がり１１０３等の損傷も見られず、良好な断面加工形状が達成された。さらに、図１９（ａ）に示すようなシリコン粒子１１０４等の飛散物もほとんど観察されなかった。
【００７６】
上述した流動液中レーザ加工においては、波長２６６ｎｍの第四高調波のレーザ光２Ａが使用されているが、波長３５５ｎｍの第三高調波、波長５３２ｎｍの第二高調波、さらに波長１０６４ｎｍの基本波を使用しても、レーザ光照射に伴う損傷を防止し、飛散物の付着を防止することができる。たとえばレーザ光２Ａの照射エネルギー密度を約５倍の２０Ｊ／ｃｍ2にした基本波のレーザ光を使用して、同様の効果を達成することができる。
【００７７】
また、図３（ａ）の例では、シリコンウエハ１１にダイシングラインのための溝１１Ｔを形成しているが、液体供給下でレーザ加工により溝１１Ｔを形成する技術は、Ｇａ、Ｐ、Ａｓ、Ｉｎ、Ａｌなどの化合物で形成される発光ダイオードや半導体レーザの素子分離にも適用することができる。
【００７８】
図３（ｂ）は、比較例として、ブレード１３を使用して先ダイシングした例を示す。通常は、ダイシングに幅３０μｍ〜４０μｍのブレード１３が使用され、このブレード１３により、深さ５０μｍ〜１００μｍの溝を形成することができる。しかし、ブレード１３を使用してシリコンウエハ１１に深さ５０μｍの溝１１Ｔを形成すると、機械的なストレスが発生し、ダイシング加工領域１２ｄの周辺においてシリコンウエハ１１の内部にクラック１１ａや転位１１ｂが発生し、シリコンウエハ１１の表面部にチッピング１１ｃが発生してしまう。このようなダイシング加工に伴う損傷の発生幅は約１００μｍにも達し、ダイシング領域周辺の約１００μｍの範囲内にトランジスタ、抵抗素子、容量素子等の素子を配設することができない。さらに、これらのクラック１１ａやチッピング１１ｃは、ダイシング後の半導体チップの機械的強度を低下させてしまう。
【００７９】
図３（ｃ）は、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに、液体８としてアンモニア水溶液を供給してレーザ加工した例を示す。レーザ光２Ａをアンモニア水溶液（不図示）を介してシリコンウエハ１１の加工面１１Ａに照射し、溝１１Ｕを形成したときの加工条件は、純水を使用した場合と同様に、レーザ光の短辺方向が１０μｍ、長辺方向が５００μｍｍ、走査速度が１０ｍｍ／ｓｅｃ、発振周波数が１０ｋＨｚ、照射エネルギー密度が４Ｊ／ｃｍ2・パルス、波長が２６６ｎｍである。
【００８０】
ＴＥＭを使用した断面形状の観察の結果、アンモニア水溶液中でレーザ光２Ａを照射した場合には、純水中と同じレーザ加工条件で、溝１１Ｕの深さが１００μｍにまで達している。液体として純水を使用した場合の溝１１Ｔの深さが約５０μｍであったことに比較し、約２倍の深さのレーザ加工を実現することができる。
【００８１】
さらに、図３（ｂ）に示したようにブレード１３を用いた場合に生じるクラック１１ａ、転移１１ｂ、チッピング１１ｃ等の損傷がなく、また、図１９（ａ）に示すようなボイド１１０１Ａ、転移１１０２、盛り上がり１１０３等もほとんど生じない。結果として、良好な加工断面形状を得ることができる。さらに、シリコン粒子１１０４等の飛散物も、レーザ光照射領域１２の近傍においてほとんど観察されなかった。
【００８２】
また、上述したレーザ加工条件の走査速度は１０ｍｍ／ｓｅｃであるが、走査速度を２倍の速さの２０ｍｍ／ｓｅｃにした場合に、深さ約５０μｍの溝１１Ｕを形成することができた。すなわち、液体８にアンモニア水溶液を使用することにより、純水中のレーザ加工速度に対して、同じ深さに溝を形成するのに、レーザ加工速度を約２倍の速さに設定することができ、レーザ加工時間を短縮することができる。
【００８３】
また、加工面１１Ａにアンモニア水溶液を供給するとともに、超音波振動を与える場合は、シリコン粒子などの飛散物の付着をより効果的に防止できる。
【００８４】
図４は、レーザ光の波長とシリコンの光吸収係数、および吸収深さとの関係を示す図である。基本波の波長１０６４ｎｍの光吸収係数は、波長５３２ｎｍの第二高調波、波長３５５ｎｍの第三高調波及び波長２６６ｎｍの第四高調波と比較して非常に小さい。基本波のレーザ光を用いた場合に、第四高調波と比較して、約５倍の照射エネルギー密度を必要としたのは、光吸収係数が小さくなり、加工に必要な照射エネルギー密度を大きくする必要があるからである。
【００８５】
波長１１００ｎｍ以上のレーザ光を用いる場合には、光吸収係数が小さいため、照射エネルギー密度をさらに大きくする必要がある。波長１１００ｎｍ以上の光には、たとえば波長１３２１ｎｍのＹＬＦレーザが知られているが、このレーザを用いる場合は、約３０Ｊ／ｃｍ2のエネルギー密度を必要とする。このような高いエネルギー密度のレーザ光を使用すると、液中でレーザ加工を行なったとしても、レーザ照射による熱を十分に取り去ることができず、加工領域周辺には照射損傷が生じる可能性が高い。そこで、シリコン単結晶の半導体ウエハを加工する場合は、波長１１００ｎｍ以下のレーザ光を使用することが実用的である。
【００８６】
（２）半導体基板上の絶縁膜のレーザ加工
図５は、第１実施形態および第２実施形態に係るレーザ加工方法を、シリコンウエハ１１と、その上に形成された絶縁膜の加工に適用した例を示す。図５に示す例では、第四高調波である波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを使用し、加工面上に供給する液体８として、純水を使用する。
【００８７】
図５（ａ）では、シリコン酸化膜２０が、例えばシリコンウエハ１１の全面に形成され、素子間を絶縁分離する素子分離膜や層間絶縁膜等に使用されている。シリコン酸化膜２０の表面２０Ａと、シリコンウエハ１１の露出した加工面１１Ａ上には、レーザ光２Ａを照射して加工する間、液体（不図示）が供給され、液体を介して加工面を照射して溝１１Ｔを形成する。液体は、乱流が生じないように、一定方向にほぼ均一な流れで供給されるのが好ましい。
【００８８】
図５（ａ）に示す例では、シリコン酸化膜２０は波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを吸収しないので、レーザ光２Ａはシリコン酸化膜２０を透過して直接シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに照射され、溝１１Ｔが形成される。溝１１Ｔの形成に伴い、この上層に配設されたシリコン酸化膜２０はブローされる。このとき、シリコン酸化膜２０上、およびシリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に液体８が供給されているので、シリコン酸化膜２０やシリコンウエハ１１の微粒子は洗い流される。したがって、加工面への飛散物の飛散、付着は防止される。
【００８９】
図５（ｂ）では、シリコン単結晶のウエハ１１上に、有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３を積層した複合絶縁膜をレーザ加工する。レーザ光２Ａを照射して加工する際に、有機シリコン酸化膜２３の加工面２３Ａ、シリコン窒化膜２２の加工面２２Ａ、有機シリコン酸化膜２１の加工面２１Ａ、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に液体８を供給する。レーザ光２Ａは液体８を透過して、加工面を順次レーザ加工し、溝１１Ｔを形成する。
【００９０】
図５（ｂ）に示す例では、有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３のそれぞれが波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを吸収するので、有機シリコン酸化膜２３、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２１は順次レーザ加工され、さらにウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ光２Ａが照射されて、クラック等を生じることなく、溝１１Ｔのレーザ加工が行われる。
【００９１】
図５（ａ）および５（ｂ）に示すいずれの例も、半導体ウエハのダイシング工程に良好に適用される。
【００９２】
なお、図５（ｂ）の例において、シリコンウエハ１１上の多層絶縁膜を構成する各薄膜（有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３）にクラックを生じさせることなくレーザ加工を実現できる条件は、以下のように求められる。
【００９３】
まず、シリコンウエハ１１上に有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３の各々を単層膜として形成した試料を準備する。単層絶縁膜のレーザ光吸収係数をαｉ（ｎｍ-1）、膜厚をｔｉ（ｎｍ）とする。下地となるシリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ光２Ａが照射されても、上層の絶縁膜に損傷を与えないためには、加工面１１Ａに到達するレーザ光２Ａの照射エネルギー密度を３Ｊ／ｃｍ2以下に設定する必要がある。一方、ウエハ１１と絶縁膜に溝１１Ｔをレーザ加工するには、少なくとも４Ｊ／ｃｍ2の照射エネルギー密度を必要とする。また、有機シリコン酸化膜２１、２３のそれぞれを実際にレーザ加工するために必要とされる照射エネルギー密度は１Ｊ／ｃｍ2であり、シリコン窒化膜２２を実際にレーザ加工するために必要とされる照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2である。
【００９４】
溝１１Ｔのレーザ加工に必要な照射エネルギー密度をＩi（４Ｊ／ｃｍ2）とし、シリコンウエハ１１上に形成された、有機シリコン酸化膜２１、２３、シリコン窒化膜２２などの単層絶縁膜のレーザ光吸収係数をαi、膜厚をｔiとしたとき、絶縁膜を透過してシリコンウエハ１１の加工面１１Ａに到達するレーザ光２Ａの照射エネルギー密度Ｉｓは、式（１）により表すことができる。
【００９５】
Ｉｓ＝Ｉi（１−Ｒ）ｅｘｐ（−αi・ｔi） （１）
ここでＲは反射係数である。
【００９６】
上述したように、シリコンウエハ１１上の絶縁膜に損傷を与えずにシリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ加工を行う場合には、照射エネルギー密度Ｉｓを３Ｊ／ｃｍ2以下に設定する必要がある。また、式（１）において、反射係数Ｒは絶縁膜ではほぼ０に近似することができる。従って、照射エネルギー密度Ｉｓ≦３Ｊ／ｃｍ2、照射エネルギー密度Ｉi＝４Ｊ／ｃｍ2の条件を式（１）に代入すると、絶縁膜の膜厚ｔiが、式（２）として求まる。
【００９７】
ｔi ≧０．３（１／αi） （２）
シリコンウエハ１１上の積層膜を構成する各絶縁膜のレーザ光吸収係数αi および膜厚ｔi が式（２）を満たす場合、絶縁膜にクラック等の損傷を生じることなく、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ加工することが可能になる。また、図５の例では、基板の例としてシリコンウエハを用いているが、シリコンゲルマニウムやIII‐Ｖ族化合物半導体などの半導体ウエハ一般についても同様のことが当てはまる。
【００９８】
純水を各層の加工面上に供給しながらレーザ加工するので、レーザ光２Ａの照射により発生する熱や、気泡、飛散物を除去し、照射領域１２近傍の損傷を減少することができる効果は、上述したとおりである。
【００９９】
図５に示す例では、液体８として純水を使用しているが、液体８としてアンモニア水溶液を使用する場合は、純水を使用した場合に比べて、シリコンウエハ１１に対するレーザ加工速度を向上できる。
【０１００】
供給する液体８を加工面上で流動させる場合は、レーザ光照射領域１２に発生する気泡を連続的に取り除くことができるので、レーザ光２Ａを連続的に照射することができ、加工効率を向上することができる。
【０１０１】
さらに、加工面に超音波振動を与える場合は、レーザ加工により発生した微粒子が加工面に付着するのを効果的に防止できる。
【０１０２】
さらに、多層（複合）絶縁膜構造を有するウエハをレーザ加工する場合に、ウエハ上の各絶縁膜のレーザ吸収係数αｉと膜厚ｔｉを、ｔｉ≧０．３／αｉの関係を満たすように設定することによって、各絶縁膜への機械的ストレスを抑制して、レーザ加工を進めることができる。したがって、上層の積層絶縁膜にクラックを生じさせることなく、ウエハに微細加工を施すことができ、製造上の歩留まりを向上することができる。
【０１０３】
（３）半導体ウエハ上の金属膜のレーザ加工
図６は、シリコン単結晶のウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成した金属膜をレーザ加工する例を示す。図６の例では、金属膜として銅膜３０、３１を用いる。銅膜の加工面３０Ａ、３１Ａ上に、乱流を生じないようにほぼ均一な流れで液体（不図示）を供給し、液体を介してレーザ光２Ａで加工面３０Ａ、３１Ａを照射してレーザ加工する。必要に応じて、加工面３０Ａ、３１Ａに超音波振動を与える。レーザ加工された銅膜３０、３１は、例えば素子間を電気的に接続する配線、電源を供給する電源配線、電極等に使用される。
【０１０４】
図６（ａ）に示す例では、シリコンウエハ１１上に形成された膜厚５００ｎｍのピュアな銅薄膜３０をレーザ加工する。加工面３０Ａ上に供給する液体として純水を使用し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザを用いる。レーザ光の形状は、１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１０５】
μ−ＡＥＳによる分析の結果、大気中のレーザ加工で照射領域１１１０近傍に生じていた数十％の炭素汚染１１３５（図１９（ｂ））が、銅薄膜３０のレーザ光照射領域１２の近傍には生じていないことが確認された。従って、照射領域近傍の銅薄膜３０の比抵抗値も上昇することなく、本来の１．８μΩｃｍの比抵抗値を維持することができた。
【０１０６】
さらに、ＴＥＭを使用した断面形状の観察の結果、大気中でのレーザ加工で照射領域近傍に生じていた盛り上がり１１３３や飛散金属粒子１１３４（図１９（ｂ））も観測されなかった。
【０１０７】
純水の供給下で銅薄膜３０をレーザ加工すると、レーザ光照射領域１２の近傍の炭素汚染や盛り上がり、飛散粒子の付着を効果的に防止できる。この効果は、レーザ光２Ａの波長を３５５ｎｍ、５３２ｎｍ、１０６４ｎｍと変化させても同様に達成される。すなわち、純水を透過し、銅薄膜３０に吸収されるような波長を有するレーザ光２Ａであれば、シリコンウエハ１１上の金属薄膜３０を良好にレーザ加工することができる。
【０１０８】
図６（ｂ）に示す例では、シリコンウエハ１１上に形成された膜厚１μｍの銅厚膜３１をレーザ加工する。加工面３１Ａ上に供給する液体として純水を使用し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザを用いる。レーザ光の形状は、１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。図６（ａ）と同じ条件でのレーザ加工では、銅厚膜３１に形成されるトレンチ３１Ｔは、シリコン酸化膜２０まで到達することができない。
【０１０９】
そこで、図６（ｃ）に示すように、加工面３１Ａ上に供給する液体（不図示）としてグリシン過酸化水素水を使用して、膜厚１μｍの銅厚膜３１をレーザ加工する。グリシン過酸化水素水は、第四高調波の波長２６６ｎｍ及び第３高調波の波長３５５ｎｍのレーザ光２Ａを吸収してしまうので、レーザ加工には第二高調波の波長５３２ｎｍのレーザ光２Ａ（または基本波の波長１０６４ｎｍのレーザ光２Ａ）を実用的に使用することができる。レーザ光２Ａの照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１１０】
グリシン過酸化水素水は、室温ではエッチングを進行させず、温度が約１００℃に上昇すると数μｍ／ｍｉｎ程度のエッチングを生じさせる。ウエハ上の銅膜のレーザ加工にグリシン過酸化水素水中を用いる場合は、レーザ光２Ａの照射エネルギーでグリシン過酸化水素水が加熱され、特にヒータ等の加熱装置を必要とせずに、レーザエッチングを促進することができる。したがって、膜厚１μｍの銅厚膜３１に、シリコン酸化膜２０に到達するトレンチ３１Ｔを良好に形成することができる。結果として、銅厚膜３１が完全にパターニングされる。
【０１１１】
μ―ＡＥＳによる分析の結果、グリシン過酸化水素水を供給しながら銅厚膜３１をレーザ加工する場合も、大気中でのレーザ加工で照射領域１２近傍に生じていた数十％の炭素汚染は観察されなかった。したがって、照射領域１２の近傍で銅膜３１の比抵抗値の増大もなく、本来の値である１．８μΩｃｍが良好に維持されていた。
【０１１２】
照射領域１２近傍での盛り上がりや金属粒子の飛散もなく、良好な断面形状で銅膜３１を微細加工することができた。
【０１１３】
図６に示す例では、ウエハ上の金属膜として銅膜を例にとって説明したが、主導電層としての銅膜上に耐食性向上のためのニッケル膜、クロム膜等を積層した複合膜、あるいは、アルミニウム膜、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｃｕ―Ｓｉ等）膜等の単層膜、これらの単層膜にバリアメタル膜や反射防止膜を積層した複合膜を液体供給下でレーザ加工する場合も同様の効果が達成される。
【０１１４】
（４）シリコン窒化膜およびフォトレジストのレーザ加工
図７（ａ）は、シリコンウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成したシリコン窒化膜４０上に液体（不図示）を供給しながらレーザ加工する例を、図７（ｂ）は、同じくシリコンウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成したフォトレジスト４１上に液体（不図示）を供給しながらレーザ加工する例を示す。
【０１１５】
シリコン窒化膜４０やフォトレジスト膜４１の熱拡散係数は、シリコンウエハ１１や金属膜の熱拡散係数より約１桁程度小さく、レーザ照射領域周辺への熱影響は比較的小さい。Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第３高調波や第４高調波のようなＤＵＶ光を利用するレーザ加工では、シリコン窒化膜４０のような無機絶縁膜の結合ボンドや、フォトレジスト膜４１のような有機材料の結合ボンドを直接切断することができ、より一層熱影響の少ない非熱加工（アブレーション加工）が行えるものと期待されている。
【０１１６】
図７（ａ）の例では、シリコン窒化膜４０は、例えばＣＶＤやスパッタリング等によりシリコンウエハ１１上に２０ｎｍの膜厚で形成されている。このシリコン窒化膜４０上に純水を供給し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波である波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａで加工する。レーザ光２Ａの形状は１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１１７】
ＳＥＭで断面形状を観察の結果、大気中でレーザ加工した場合にレーザ照射領域近傍に生じた盛り上がりやシリコン窒化物粒子の飛散（図１９（ｃ）参照）は観察されなかった。
【０１１８】
なお、シリコン窒化膜４０は、第三高調波の波長３５５ｎｍ、第二高調波の波長５３２ｎｍ、基本波の波長１０６４ｎｍのレーザ光を吸収しないので、これらの波長ではレーザ加工を行うことができない。レーザ加工が行われたシリコン窒化膜４０は、例えば上下配線間の層間絶縁膜、素子等を覆い保護する保護膜等に使用される。
【０１１９】
図７（ｂ）に示す例では、シリコンウエハ１１上のシリコン酸化膜２０の上に、スピンコート等によりレジスト材料を塗布後、ベークして、たとえば５００ｎｍの膜厚のフォトレジスト膜４１を形成する。フォトレジスト膜４１の加工面４１Ａ上に純水（不図示）を供給し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波（波長２６６ｎｍ）のレーザ光２Ａで、純水を介して所定領域をレーザ加工する。レーザ光２Ａの形状は１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１２０】
ＳＥＭで断面形状を観察の結果、大気中でのレーザ加工で照射領域近傍に生じていた盛り上がり、フォトレジスト粒子の飛散（図１９（ｄ）参照）は、観測されなかった。レーザ加工が行われたフォトレジスト膜４１は、素子や配線、電極等のパターニングを行うエッチングマスク等に使用される。
【０１２１】
図７（ａ）、７（ｂ）に示すいずれの例でも、レーザ加工中に、加工面に超音波振動を与えることによって、加工面への飛散微粒子の付着を、より効果的に防止できることは、上述したとおりである。
【０１２２】
（５）ダイシングライン形成に適用されるレーザ加工
図３と関連して説明した先ダイシング方法以外に、あらかじめ薄膜化したシリコンウエハを最後にダイシングする技術にも、液体供給下でのレーザ加工を適用できる。図８は、このようなダイシング工程を示す図である。
【０１２３】
まず、図８（ａ）に示すように、シリコンウエハ１１のデバイス面５０をダイシングテープ５５で保持する。次に、図８（ｂ）に示すように、シリコンウエハ１１を裏面から機械的に研磨し、ウエハ１１を薄膜化する。一般に、薄膜化されたウエハには機械的ストレスにより破砕層が形成されて強度の低下を引き起こすため、ウェットエッチングやドライエッチング等で破砕層を取り除いて、チップ強度の低下を抑制する。
【０１２４】
次に、図８（ｃ）に示すように、ダイシングテープ５５を除去し、シリコンウエハ１１をひっくり返して、シリコンウエハ１１の裏面を、新たにダイシングテープ５６で保持する。
【０１２５】
最後に、図８（ｄ）に示すように、デバイス面５０に液体（不図示）を供給しながら、レーザ加工して、シリコンウエハ１１を切断する。必要に応じて、デバイス面５０に超音波を印加しながらレーザ加工すると、デバイス面への微細加工くずや気泡の付着を効果的に防止することができる。
【０１２６】
ブレードを用いてダイシングした場合は、チップ側壁に損傷が生じてチップ強度が低下し、また、厚さが５０μｍ以下の領域では、ブレードによるダイシング中にチップが割れて、歩留まりが低下するという問題がある。これに対して、図１または図２の装置でダイシングを施すと、厚さ５０μｍ以下の領域においてもチップ割れを生じることなくダイシングラインの形成が可能である。また、チップ側壁の損傷や、ボイド、転位、盛り上がりなどの欠陥も抑制され、チップの信頼性が向上する。
【０１２７】
図９は、液中レーザ加工でダイシングラインを形成することにより、ウエハ６０上のチップ配置を最適化した例を示す。ブレードを使用したダイシングでは図９（ａ）に示すように格子状のラインしか形成できないが、液中レーザ加工でダイシングすると、ウエハ６０上に任意の形状のダイシングラインを形成することができる。たとえば、図９（ｂ）に示すように、ダイシングラインをジグザグの階段状にずらしながら、チップ配置を最適にすることで、１枚のウエハ６０上に作製されるチップの数を増やすことができる。また図９（ｃ）に示すように、チップ形状をたとえば６角形にすることで、最大数のチップを切り出すことができる。
【０１２８】
さらには、図１０に示すように、１枚のウエハ６０上にそれぞれ異なるサイズや形状のチップＡ，Ｂ，Ｃを形成することも可能になる。たとえば数百枚単位でしか生産しないチップを作製する場合に、このダイシング方法は非常に有効である。
【０１２９】
（６）グローバル配線の形成に適用されるレーザ加工
図１１は、液体供給下でのレーザ加工を、単層のグローバル配線の形成に適用した例を、図１２および１３は、多層のグローバル配線の形成に適用した例を示す。グローバル配線はチップ上の回路ブロックにまたがって延び、グローバルクロック等を供給する上層配線である。長距離配線であることから、配線遅延を極力低減することが求められ、抵抗の低減が重要である。したがって、汚染や飛散微粒子の付着を効果的に防止することのできる液体供給下でのレーザ加工が、有効に適用される。
【０１３０】
単層グローバル配線の形成にあたって、まず図１１（ａ）に示すように、シリコンウエハ６１上に絶縁膜６２を介してパッド６３を形成した基板を準備する。次に、図１１（ｂ）に示すように、絶縁膜６２およびパッド６３の全面を覆って、Ｃｕ／Ｔａ／ＴａＮ、Ｐｄ／Ｔｉ／Ｎｉ等の金属薄膜６４を形成する。次に、図１１（ｃ）に示すように、金属膜６４上に樹脂絶縁膜６５を形成する。次に、図１１（ｄ）に示すように、樹脂絶縁膜６５上に液体（不図示）を供給しながら、レーザ加工する。このとき、加工面に超音波振動を与えてもよい。
【０１３１】
次に、図１１（ｅ）に示すように、Ｃｕ、Ａｕ、はんだ等の電解メッキにより、パターンを埋め込んでメッキ層６６を形成する。最後に、図１１（ｆ）に示すように、有機溶剤により樹脂絶縁膜６５を除去し、酢酸、塩酸、硝酸、希フッ酸などの酸溶液を用いてエッチングすることにより、露出した下層の金属薄膜６４を除去する。これによりグローバル金属配線６６ａや金属バンプ６６ｂが形成される。
【０１３２】
このような方法では、高価な露光用マスクやＣＭＰを必要とするフォトリソグラフィ工程を用いずに、基板上に配線を正確に形成することが可能になる。
【０１３３】
従来法では、樹脂膜にたとえば感光性ポリイミド等を用いてフォトリソグラフィによりパターニングしていたが、この方法では、現像工程を要するため、廃液を排出することとなり、環境に悪影響を与えていた。また、フォトリソグラフィを用いた工程では、感光性の樹脂絶縁膜を用いる必要性があるため、使用できる材料に制限を与え、たとえばテフロン系の樹脂膜などの安価で低い誘電率の材料を用いることができなかった。これに対し、液中レーザ加工を用いると、ほぼすべての樹脂膜の加工が可能になり、加工面がより正確で、損傷やダストの発生のない良好なパターンを形成することができる。
【０１３４】
図１２および１３は、多層グローバル配線の形成工程を示し、図１３（ｅ）の工程は、図１２（ｄ）に引き続く工程である。
【０１３５】
まず、図１２（ａ）に示すように、シリコンウエハ７１上に絶縁膜７２を介して下層配線７３を形成した基板を準備する。次に、図１２（ｂ）に示すように、基板全面を覆って、第１の樹脂絶縁膜７５を形成する。次に、図１２（ｃ）に示すように、樹脂絶縁膜７５上に液体（不図示）を供給しながら、所定の箇所にレーザ光を照射して、下層配線７３上の樹脂絶縁膜７５を除去し、ヴィアホールを形成して下層配線７３の一部を露出する。
【０１３６】
次に、図１２（ｄ）に示すように、Ｃｕ／Ｔａ／ＴａＮ、Ｐｄ／Ｔｉ／Ｎｉ等の金属薄膜７４を形成し、さらに、図１３（ｅ）に示すように、第２の樹脂絶縁膜７７を形成する。次に図１３（ｆ）に示すように、第２の樹脂絶縁膜７７上に液体を供給しながら再度レーザ加工を行い、配線溝７８、７９をパターニングする。
【０１３７】
次に、図１３（ｇ）に示すように、ＡｕやＣｕ等を電解メッキで形成し、配線溝７８、７９を金属７６で埋め込む。最後に、図１３（ｈ）に示すように、有機溶剤により第２の樹脂絶縁膜７７を除去し、酸溶液で露出した下層金属薄膜７４をエッチングして、金属配線７６ａ、７６ｂを形成する。この工程を繰り返すことにより、製造コストの高いフォトリソグラフィ工程を用いることなく、多層配線を高い信頼性で正確に形成することができる。
【０１３８】
上述した工程は、半導体デバイス面上のはんだバンプやＡｕバンプ、あるいはグローバル配線の形成、実装基板上の配線の形成にも適用できる。
【０１３９】
（７）アライメントマーク上のレジストを選択除去するレーザ加工
半導体デバイスの微細化にともない、リソグラフィ工程で下地に設けたアライメントマークを観察してアライメント精度を向上させる技術が必須となっている。
【０１４０】
半導体リソグラフィ工程におけるパターニングのための露光は、ＫｒＦエキシマレーザやＡｒＦエキシマレーザなどの紫外領域のレーザを用いて行なわれる。これらの紫外領域のレーザ光を用いて微細パターニングする際には、下地の光学的な影響を排除する必要があるため、レジストの下層に反射防止膜が形成されている。反射防止膜は、紫外領域の光を吸収して下地への紫外線の侵入をブロックするので、下地に形成されたアライメントマークの検出は、露光用の光学系とは別に設置された可視光線のアライメント観察用の光学系で行なわれている。
【０１４１】
しかし、この方法では、観察用の光軸と、露光用の光軸が別々に設置されるため、温度などの周囲環境の微小な変化の影響を受けて、光軸間の距離が変動し、アライメント精度が損なわれる。
【０１４２】
精度向上のためには、露光用の光学系を用いてアライメントをするのが好ましいが、レジストの下層には反射防止膜があるので、アライメントマークを露出するためにレジストと反射防止膜とを除去する必要がある。
【０１４３】
アライメントマーク上のレジストと反射防止膜だけを選択的に除去するために、大気中でレーザ加工すると、周囲に加工くずや微粒子が飛散してしまうことは上述のとおりである。飛散物がレジスト上に付着すると、レジストのパターニングエラーを引き起こし、歩留まりを低下させる。
【０１４４】
そこで、液体供給下でレーザを照射し、必要に応じて加工面に超音波振動を与えながら、アライメントマーク上の少なくとも反射防止膜を選択除去することにより、飛散物の付着のない状態でアライメントマークを露出する。
【０１４５】
特に、図１４（ａ）および１４（ｂ）に示すように、シリコンウエハ８１上の絶縁膜８２に形成されたアライメントマーク８３を観察するために、レジスト８５と反射防止膜８４上に液体（不図示）を供給しながら、細く絞ったレーザ光２Ａで加工面を走査することによって、所望の領域を選択除去することができる。
【０１４６】
図１４（ａ）に示すように、ビーム径８７を１０μｍ×８０μｍにしぼり、レーザ光またはステージ（不図示）を、図１４（ｂ）に示す加工領域８８に沿って走査する。図１４（ｃ）に示すようにワンショットでレーザ加工した場合、レジストの種類や膜厚によっては、あるいはレジストと反射防止膜との密着性の変化によって、反射防止膜８４とレジスト８５との界面で、はがれ８９が生じる場合がある。これは、反射防止膜８４がレーザの熱を吸収して溶融蒸発し、レジスト８５と反射防止膜８４との界面でストレスが発生し、上層のレジスト８５を吹き飛ばすためである。このはがれ現象は、フォトレジスト、無機膜、反射防止膜の多層構造で形成された複合レジスト膜の場合にも顕著に現れる。
【０１４７】
アライメントマーク８３は、通常は一辺が５０μｍから２００μｍの大きさで形成されている。ビーム径８７を１６０μｍ×８０μｍで照射した場合、図１４（ｃ）に示すようなはがれ８９が生じる。図１４（ａ）、１４（ｂ）に示すように、細く絞ったレーザビームを液体供給下で走査することによって、レジスト８５のはがれを効果的に抑制し、かつ飛散物の付着のない良好な加工が実現される。
【０１４８】
図１５はレーザ加工で使用するビーム形状の変形例を示す。図１５（ａ）に示すように、複数のスリット８７で構成されるビーム形状のレーザ光を照射し、照射位置を所定幅だけシフトすることによって、所望の領域を加工することができる。この場合も、加工面上には液体が流動的に供給され、必要に応じて、加工面に超音波振動が与えられる。また、図１５（ｂ）に示すように、ビームの断面形状をモザイク状に加工して第１の方向にシフトした後、第１の方向と垂直な第２の方向にシフトさせて最終加工形状にすることもできる。いずれの場合もひとつひとつのビーム径を小さくしてあるので、レジストのはがれを防止することができる。
【０１４９】
もちろん、レジストのはがれが生じない場合には、ビーム形状を加工領域と同一にして加工してもよい。また、反射防止膜８４を形成した後にアライメントマーク上の反射防止膜８４をレーザ加工により選択的に除去し、その後レジスト８５を形成しても、露光用の光学系を用いたアライメントが可能となる。
【０１５０】
（８）チップオンチップ型半導体装置のレーザ加工
図１６は、チップオンチップ型の半導体装置に、液体供給下でのレーザ加工を適用した例を示す。
【０１５１】
近年、半導体デバイス内にスルーホールを形成し、スルーホール内に埋め込まれたＣｕ等の金属を配線として半導体チップを積層するチップオンチップ技術が注目されている。図１６に示すように、パッド９３上に金属バンプ９８を有する第１および第３のチップ９０ａ、９０ｃの間に、第２のチップ９０ｂをはさんで積層する。第２のチップ９０ｂは、スルーホール内に絶縁膜９７を介して金属を充填した配線プラグ９６を有する。各チップはそれぞれ半導体基板９１の表面上に多層配線構造９５が形成されており、第２のチップ９０ｂは半導体基板９１の裏面側に絶縁膜９２が形成されている。このようなスタックされたチップ間を接続することによって、配線長を大幅に短縮でき、配線遅延が抑制できる。
【０１５２】
現在、チップスループラグの穴あけ加工はＲＩＥで行なわれているが、加工速度が遅く、生産性が悪い。一方、大気中でレーザ照射によりスルーホール用の穴をあけると、シリコンデバイスに照射損傷を生じ、スルーホール近傍の素子が不良になることは先に説明したとおりである。
【０１５３】
そこで、スルーホールを形成する基板表面に、乱流を生じないように液体を供給し、流動する液体を介してレーザ照射してスルーホールを形成する。必要に応じて、加工面に超音波振動を与える。加工面に供給する液体はそのまま排出してもよいし、循環させてもよい。後者の場合は、フィルタを設置して、洗い流された加工くずを除去する。液体供給下でレーザ加工することにより、損傷や飛散物の付着のない良好な加工形状が達成される。また、スルーホール形成の高速化と、デバイス動作の信頼性を両立させることができる。
【０１５４】
図１７および１８は、チップオンチップ型の半導体装置に用いられるチップにスルーホールを形成する工程例を示し、図１８（ｅ）は図１７（ｄ）に引き続く工程である。まず、図１７（ａ）に示すように、シリコンウエハ１１０上にシリコン酸化膜１１１を形成した基板上に、液体（不図示）を供給しながらレーザ光を照射して、ホール１１３を形成する。次に、図１７（ｂ）に示すように、ホール１１３の壁面と基板上のシリコン酸化膜１１１上にシリコン酸化膜１１４を形成する。以下の図１７（ｃ）〜図１８（ｈ）の工程は、従来の工程と同様であり、ホール１１３に金属１１５を充填し表面を平坦化してシリコン酸化膜１１４を覆って金属膜１１５を形成し（図１７（ｃ））、シリコン酸化膜１１１上の金属膜１１５およびシリコン酸化膜１１４を除去してスループラグ１１５を形成し（図１７（ｄ））、スループラグ１１５とシリコン酸化膜１１１上に配線層および層間絶縁膜から成る多層配線構造１１６を形成したうえで、最上層の配線層を選択的に露出させてパッド１１７を形成する（図１８（ｅ））。シリコン基板１１０を研磨等により薄膜化し（図１８（ｆ））、裏面にシリコン酸化膜１１８を堆積してから（図１８（ｇ））、平坦化してスループラグ面を露出してバンプとの接続面を形成する（図１８（ｈ））。
【０１５５】
チップの加工面に流動液体を供給しながら直接レーザ加工してホールを形成することにより、加工時間が大幅に短縮される。また、シリコンウエハへのダメージや飛散粒子の付着のない良好な加工断面形状が達成され、最終的な半導体装置の動作の信頼性が向上する。また、レーザ加工中に加工面に超音波を印加することにより、飛散粒子や気泡の付着をより効果的に防止できる。
【０１５６】
以上説明したように、液体供給下でのレーザ加工を半導体装置の製造方法に適用した場合は、加工面への気泡やダストの付着を抑制し、高い制御性で素材を選択的に加工することができる。半導体装置の製造を例にとってレーザ加工の適用を説明したが、半導体基板はシリコンウエハに限定されず、III−Ｖ族化合物半導体基板であっても、同様の効果が達成できる。また、半導体装置の製造だけではなく、液晶表示装置等に使用される石英ガラス基板、プリント配線基板等に使用される樹脂基板（例えばエポキシ系樹脂基板、ポリイミド系樹脂基板等。）、セラミックス基板、炭化珪素基板等の加工にも、液体供給下でのレーザ加工を良好に適用できる。また、特に、マザーボード、ドーターボード、ベビーボード、ＣＰＵボード、メモリボード等のプリント配線基板や、１個又は複数のベアチップを実装する実装基板にも適用することができる。
【０１５７】
また、上述した液体供給下でのレーザ加工は、半導体装置、配線基板等の電子部品の製造のみならず、精密機械部品のレーザ加工にも応用することができる。
【０１５８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、加工面でのレーザ光照射による損傷を低減し、光照射にともなう飛散物の付着を効果的に防止して、正確な形状の微細加工を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。
【図３】本発明の第３実施形態として、シリコン基板の加工に適用した例を示し、図３（ａ）は液体に純水を用いた場合の断面図、図３（ｂ）は比較例として機械的切断加工による断面図、図３（ｃ）はレーザ加工で液体にアンモニア水を用いた場合の断面図である。
【図４】レーザ光の波長と、シリコンのレーザ光吸収係数および吸収深さとの関係を示す図である。
【図５】シリコン基板とその上に形成された絶縁膜を、液体供給下でレーザ加工した例を示す図である。
【図６】シリコン基板に絶縁膜を介して形成された金属膜を、液体供給下でレーザ加工した例を示す図である。
【図７】図７（ａ）は、シリコン基板上に形成されたシリコン窒化膜を液体供給下でレーザ加工した例を、図７（ｂ）はシリコン基板上に形成されたフォトレジスト膜を液体供給下でレーザ加工した断面構造を示す図である。
【図８】あらかじめ薄膜化したシリコンウエハを液体供給下のレーザ加工でダイシングする例を示す図である。
【図９】液体供給下でのレーザ加工により、ウエハ上に任意の形状のダイシングラインを形成し、チップ配置を最適化した例を示す図である。
【図１０】液体供給下のレーザ加工により、ひとつのウエハからサイズや形状の異なるチップをダイシングする例を示す図である。
【図１１】液体供給下のレーザ加工を、単層グローバル配線の形成に適用する例を示す図である。
【図１２】液体供給下のレーザ加工を、多層グローバル配線の形成に適用する例を示す図である。
【図１３】液体供給下のレーザ加工を、多層グローバル配線の形成に適用する例を示す図であり、図１２（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図１４】液体供給下で細く絞ったビームを走査して、反射防止膜上に形成されたレジストをレーザ加工する例を示す図である。
【図１５】走査ビームのスリット形状の例を示す図である。
【図１６】液体供給下でのレーザ加工を、チップオンチップ型の半導体装置に適用した例を示す図である。
【図１７】図１６に示したチップオンチップ型の半導体装置におけるスルーホール形成に液体供給下でのレーザ加工を用いた例を示す図である。
【図１８】チップオンチップ型の半導体装置におけるスルーホール形成に液体供給下でのレーザ加工を用いた例を示す図であり、図１７（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図１９】従来のレーザ加工技術により生じるダメージを示す図である。
【符号の説明】
１、１００ レーザ加工装置
２ レーザ発振器
３ レーザ発振コントローラ
４ 光学系
５ 観測系
６ 走査系
７ ホルダ
７Ａ 透明窓
７Ｂ 液体導入ポート
７Ｃ 液体排出ポート
８ 液体
９ 液体供給装置
１０ 加工対象物
１０Ａ 加工対象面
１１、６１、７１、８１ シリコン単結晶ウエハ
２０ シリコン酸化膜
２１、２３ 有機シリコン酸化膜
２２、４０ シリコン窒化膜
３０、３１ 金属膜（Ｃｕ膜）
４１ フォトレジスト膜
５０ 素子面
５５、５６ ダイシングテープ
６０ ウエハ
６５、７７、８５ レジスト
６６、７６ 金属配線
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工とこれを用いた半導体装置の製造方法に関し、特に、基板や、基板上に形成された薄膜の加工に適切に用いられるレーザ加工装置とレーザ加工方法、これらを使用した半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ光を用いた加工技術は、リソグラフィ技術を用いることなくμｍオーダーの微細加工が可能となることから、半導体装置の加工技術として注目されてきている。半導体装置の製造工程では、ウエハ上にレジスト膜、樹脂層、絶縁膜、金属薄膜など、多種多様な層が成膜、積層される。これらの層を正確に処理し、選択除去するために、精密な微細加工が必要となる。
【０００３】
しかし、大気中でレーザ加工を行うと、加工領域周辺にダストが生じ、そのダストが加工部分に付着するという問題がある。ダストは、露光不良、短絡、断線などの不良の原因となり、製造歩留まりが低下する。
【０００４】
また、半導体装置では、シリコン（Ｓｉ）などの半導体基板上に金属薄膜（アルミニウム合金や銅（Ｃｕ）膜等）、絶縁膜（ＳｉＯ2膜やＳｉ3Ｎ4膜等）、レジスト、樹脂等が積層されているが、レーザ加工は主としてアブレーション（加熱による溶融、蒸発）を利用するため、レーザ光照射領域周辺にレーザ光照射による損傷を生じるという問題もある。
【０００５】
図１９は、大気中でのレーザ加工によって受ける損傷の例を示す。図１９（ａ）はシリコン基板に対する損傷を、図１９（ｂ）は金属膜に対する損傷を、図１９（ｃ）はシリコン窒化膜（Ｓｉ3Ｎ4）に対する損傷を、図１９（ｄ）はフォトレジストに対する損傷を示す。
【０００６】
Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中でシリコン単結晶基板１１００を加工し、加工後にシリコン単結晶基板１１００の断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察してみると、図１９（ａ）に示すように、レーザ光照射領域（加工領域）１１１０の周辺に、シリコン多結晶領域１１０１やボイド１１０１Ａが生じ、その周辺に多数の転位１１０２が観測される。
【０００７】
このうち、シリコン多結晶領域１１０１やボイド１１０１Ａの発生は、レーザ光照射によりシリコンが溶融され、溶融シリコンが凝固する際に生じるものと考えられる。
【０００８】
また、レーザ光の照射により、レーザ光照射領域１１１０の周辺に急峻な温度差を生じるので、シリコン単結晶基板１１００が溶融されない領域においても大きな熱ストレスが蓄積され、転位１１０２が生じるものと考えられる。シリコン単結晶基板１１００の表面からの深さが深くなるにつれて、転位１１０２の発生領域は増加する傾向を示し、深さが２００μｍでは、レーザ光照射領域１１１０の中心から半径約１００μｍの広範囲に渡って転位１１０２の発生が観測される。
【０００９】
さらに、レーザ光照射領域１１１０の表面部分では、溶融したシリコンの盛り上がり１１０３が生じており、盛り上がり１１０３の周辺にはレーザ光照射により飛散したシリコン粒子１１０４の付着が観測される。
【００１０】
これらの損傷は、レーザ光の照射エネルギー密度を加工限界の約２．５Ｊ／ｃｍ2まで減少させた場合であっても観測される。ＫｒＦエキシマレーザ等を用いても、同様にレーザ光の照射に伴う損傷が観測されている。Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザや、ＫｒＦエキシマレーザ等、パルス幅が数ｎｓｅｃ以上の加工用レーザは、比較的安価で信頼性も高いが、大気中でシリコン基板等を加工する場合に、照射にともなう損傷をまぬがれ得ない。
【００１１】
一方、１ｐｓｅｃ以下の非常にパルス幅が狭いレーザ光を使用すると、溶融やそれにともなう熱ストレスを生じにくいという報告がなされており、パルス幅が１ｐｓｅｃ以下の加工用レーザとして、チタンサファイアレーザ等が知られている。しかし、このような加工用レーザは非常に高価であるために、半導体装置の加工用レーザとしては好ましくない。
【００１２】
また、シリコン単結晶基板をレーザ加工する際のボイド１１０１Ａ、転位１１０２等の発生は、シリコン基板の強度の低下や、シリコン基板上に形成された素子や配線への損傷を誘発する。盛り上がり１１０３や飛散されたシリコン粒子１１０４等は上層薄膜の劣化を誘発してしまう。結果として、半導体装置を製造する際の歩留まりが低下する。
【００１３】
図１９（ｂ）は、シリコン単結晶基板１１００上にシリコン酸化膜１１２０と、金属薄膜（銅やアルミニウム合金等）１１３０を順次積層した構造において、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中で金属薄膜１１３０を加工した場合の断面構造を示す。図１９（ｃ）は、同様にＱ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波を用いて、大気中でシリコン窒化膜１１５０を加工したときの断面構造を、図１９（ｄ）は、大気中でフォトレジスト膜１１６０を加工した場合の断面構造を示している。
【００１４】
図１９（ｂ）に示す金属薄膜１１３０のレーザ光照射領域１１１０の周辺には、図１９（ａ）の場合と同様に、盛り上がり１１３３が生じる。盛り上がり１１３３の周辺には、レーザ光１１４０の照射により飛散した多数の金属粒子１１３４が付着している。盛り上がり１１３３の高さは約２μｍ〜５μｍに達し、金属粒子１１３４の粒子径は数μｍの大きさにも達する。このような盛り上がり１１３３や金属粒子１３４は、上層薄膜の信頼性低下の原因となり、半導体装置の製造上の歩留まりが低下する。
【００１５】
さらに走査形マイクロオージェ（μ−ＡＥＳ）分析の結果、金属薄膜１１３０が銅膜である場合、レーザ光照射領域１１１０の周辺、特に盛り上がり１１３３に数十％にも達する炭素（Ｃ）が検出され、炭素汚染１１３５が生じていることがわかる。金属薄膜１１３０は、通常、配線や電極として形成されるが、炭素汚染１１３５は配線や電極の抵抗値を部分的に増大し、所望の回路特性を得ることができない。結果として、半導体装置の製造上の歩留まりを低下させてしまう。
【００１６】
図１９（ｃ）に示すように、シリコン窒化膜１１５０に大気中でレーザ加工を行った場合も、レーザ光照射領域１１１０の周辺に盛り上がり１１５３が生じる。盛り上がり１１５３の周辺に飛散した多数のシリコン窒化物粒子１１５４が付着する。同様に、図１９（ｄ）に示すフォトレジスト膜１１６０でも、レーザ光照射領域１１１０の周辺に盛り上がり１１６３が生じ、盛り上がり１１６３の周辺に飛散した多数のフォトレジスト粒子１１６４の付着が観察される。
【００１７】
シリコン窒化物粒子１１５４やフォトレジスト粒子１１６４は、金属粒子１１３４に比べて小さく、これらの微粒子が、レーザ光照射領域１１１０の周辺に数百μｍに渡って飛散する。このため、シリコン窒化膜１１５０の上層に形成される薄膜に悪影響を与え、フォトレジスト膜１１６０においては露光不良や現像不良等を誘発する。いずれにしても、半導体装置の製造上の歩留まりを低下させてしまう。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術における問題を解決するために、本発明は、第１の目的として、加工対象物の加工面においてレーザ光照射による損傷を低減し、レーザ光照射にともなう飛散物の付着を防止すると同時に、微細加工を精密に施すことができるレーザ加工方法を提供する。
【００１９】
本発明の第２の目的は、上述したレーザ加工を、簡単な構成で実現することのできるレーザ加工装置を提供することにある。
【００２０】
本発明の第３の目的は、上述したレーザ加工を利用して、基板や基板上に形成された膜を精密な加工形状で微細加工することのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【００２１】
本発明の第４の目的は、上述したレーザ加工を利用して、基板上に積層された複数種類の薄膜を、各膜に機械的ストレスを与えることなく精密に微細加工することのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【００２２】
本発明の第５の目的は、上述したレーザ加工を利用して、レジスト下方の反射防止膜を正確に選択除去し、基板上に形成されたアライメントマークの観察を可能にする半導体装置の製造方法を提供する。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
第１の目的を達成するために、本発明により提供されるレーザ加工方法は、（１）加工対象物の加工面にレーザ光を透過させる液体を供給し、（２）この液体を介してレーザ光を加工面上に照射し、（３）加工対象物に超音波振動を与えながらレーザ加工を行う。
【００２４】
加工面上に液体を供給しながらレーザ加工することにより、加工面においてレーザ光照射により発生する熱を奪い去ることができる。また、レーザ光照射により発生する蒸発物の勢いを抑制することができる。
【００２５】
レーザ加工時に加工面に超音波振動を与えることにより、レーザ光照射領域に発生する気泡を連続的に取り除き、加工面への加工くずや飛散粒子の付着を効果的に防止することができる。
【００２６】
たとえば、加工対象物がシリコン単結晶ウエハや化合物半導体基板、絶縁性薄膜、金属薄膜などである場合、レーザ光照射による熱の拡散を抑制することができ、結晶欠陥を防止することができる。また、蒸発物の勢いを抑制できるので、加工くずの飛散を防止することができる。
【００２７】
さらに、超音波振動により、気泡が連続除去されるので、レーザ光の不規則な乱れを防止し、加工精度をいっそう向上することができる。超音波振動により、加工面へのダストや飛散粒子の付着も防止され、良好な加工形状が実現され、最終製品の動作の信頼性が向上する。
【００２８】
加工面へ供給される液体は、一定方向にほぼ均一な流れで供給されることが好ましい。一方向への均一な流れで液体を供給することによって、加工面上での乱流を防止し、レーザ光の揺らぎを排除することができる。
【００２９】
加工対象物が半導体ウエハである場合、このようなレーザ加工により、正確かつ多様な形状のダイシングラインをウエハ上に形成することが可能になる。
【００３０】
第２の目的を達成するために、本発明により提供されるレーザ加工装置は、レーザ発振器と、加工対象物を保持するホルダと、レーザ発振器から発せられたレーザ光を加工対象物の加工面上に導く光学系と、加工面上に液体を供給する液体供給装置を備え、ホルダは、加工対象物の加工面にほぼ揃った位置に位置する液体導入ポートと排出ポートを有する。
【００３１】
ホルダの液体導入ポートと排出ポートを、加工対象物の加工面とほぼ揃った位置に配置することによって、加工面上に供給される液体は、ほぼ一定の流量で加工面上を均一に流れ、排出されることになる。
【００３２】
このレーザ加工装置は、加工対象物に超音波振動を与える機構をさらに有するのが好ましい。超音波振動を与える機構は、たとえばホルダに取り付けられた圧電素子と、この圧電素子を駆動制御する駆動制御装置とで構成される。あるいは、超音波振動を与える機構を、液体供給装置とホルダの液体導入ポートとを接続する管に設置してもよい。
【００３３】
超音波振動を与える機構から発せられる超音波振動は、ホルダを介して、あるいは液体を介して、加工面に伝播される。これにより、加工くずの付着や、発生する気泡を効果的に排除することができる。
【００３４】
第３の目的を達成するために、本発明により提供される半導体製造方法は、（１）基板上に膜を形成し、（２）膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）膜に超音波振動を与えながら、液体を介してレーザ光を膜上の所定の位置に照射して、膜を所定の形状に加工する。
【００３５】
膜はたとえば金属膜であり、超音波振動を与えながら液体供給下で金属膜を所定の配線パターンにレーザ加工する。あるいは、膜は樹脂絶縁膜であり、所定の溝パターンに樹脂絶縁膜を加工し、加工した溝パターンに金属を充填してグローバル配線を形成する。
【００３６】
基板は、たとえばシリコン単結晶基板、III−Ｖ族化合物半導体基板などである。膜はまた、ポリシリコン膜、有機または無機のシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、フォトレジスト、反射防止膜等であってもよい。このような膜の加工は、ダイシングライン、ＶＩＡホール、スルーホール、素子分離溝、配線パターン、電極パターンの形成や、アライメントマーク観察用の選択除去、ウエハ製造番号露出用の選択除去、基板周辺部の選択除去を始め、半導体装置製造の過程で必要とされるすべての膜加工を含む。
【００３７】
半導体基板上の膜に液体を供給し、超音波振動を与えながらレーザ加工することにより、レーザ光照射による熱の広がりを防止し、ボイド、クラック、転位、チッピングの発生を抑制することができる。これにより、正確な形状で半導体装置の膜加工が行なわれ、最終製品の動作の信頼性が向上する。また、製造歩留まりが向上する。
【００３８】
第４の目的を達成するために、半導体装置の製造方法は、（１）基板上に１以上の膜を積層し、（２）膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）液体を介して前記膜上にレーザ光を照射し、各膜のレーザ吸収係数αi と膜厚Ｔiとが、Ｔi≧０．３／αi の関係を満たす条件で、積層した膜を加工する。
【００３９】
このような条件下で、加工面に液体を供給しながらレーザ加工することにより、基板上に積層する各膜への機械的ストレスを抑制して、薄膜におけるクラックの発生を防止できる。結果として、製造歩留まりが向上する。また、気泡を除去してレーザ光の揺らぎを抑制し、加工面へのダストの付着を防止する。これにより、正確な加工形状を達成できる。
【００４０】
第５の目的を達成するために、半導体装置の製造方法は、（１）ウエハ上に反射防止膜を介してレジスト膜を形成し、（２）レジスト膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、（３）この液体を介して細くしぼったレーザ光をレジスト膜上に照射し、レーザ光を走査して、所定の領域のレジスト膜および反射防止膜を除去する。
【００４１】
この方法により、上層レジストのブローや剥離を生じさせずに、下層の反射防止膜を所望の領域だけ正確に選択除去することができる。したがって、反射防止膜の下方に形成されたアライメントマークを、パターン露光用の光学系をそのまま用いて観察することが可能になる。
【００４２】
また、液体を供給しながらレジストや反射防止膜をレーザ加工するので、加工くずや飛散粒子の付着に起因するパターニングエラーを防止し、アライメント精度を大幅に向上できる。
【００４３】
本発明のその他の目的、効果は、図面を参照した以下の詳細な説明で、いっそう明確になる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下で、本発明の実施形態により提供されるレーザ加工装置、レーザ加工方法、および半導体装置の製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。図面は模式的なものであり、説明の便宜上、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なる場合もある。なお、本明細書中で、「基板（あるいは膜）上に」という場合は、基準となる基板あるいは膜の表面に対する相対的な位置関係を言うものであり、間に介在する層の有無は問わないものとする。
【００４５】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置１の図である。レーザ加工装置１は、レーザ発振器２と、加工対象物１０を保持するホルダ７と、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａを加工対象物１０の加工面１０Ａに走査させる走査系６と、ホルダ７に液体８を供給する液体供給装置９を備え、ホルダ７は、加工面１０Ａにほぼ揃った位置にある液体導入ポート７Ｂと排出ポート７Ｃを有する。以下の説明では、加工対象物の一例としてシリコン単結晶のウエハ１０を用いる例をとって説明する。
【００４６】
レーザ加工装置１はさらに、レーザ光２Ａの発振タイミング等を制御するレーザ発振コントローラ３と、ビーム調整レンズユニット４と、ウエハ１０上の照射位置を観測する観測系５とを備える。
【００４７】
レーザ発振器２はたとえばＱ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザであり、基本波（波長１０６４ｎｍ）、第二高調波（波長５３２ｎｍ）、第三高調波（波長３５５ｎｍ）、第四高調波（波長２６６ｎｍ）のいずれかの波長のレーザ光２Ａを照射することが可能である。
【００４８】
レーザ発振器２から照射されるレーザ光２Ａのパルス幅は約１０ｎｓｅｃに設定されており、レーザ光照射領域は図示しないスリット機構により一辺が１０μｍ〜５００μｍ（１０μｍ×１０μｍ〜５００μｍ×５００μｍ）までの範囲内において調整を行うことができる。また、レーザ発振器２のレーザ光発振周波数は１０ｋＨｚに設定されている。レーザ発振器２から発せられるレーザ光２Ａの発振制御、照射領域の制御等は、レーザ発振コントローラ３により行われている。
【００４９】
レーザ発振器２から照射されたレーザ光２Ａは、ビーム調整レンズユニット４、観測系５、走査系６のそれぞれを順次通過し、ウエハ１０の加工面１０Ａに照射される。ビーム調整レンズユニット４は、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａの形状を調整するビーム形状変換装置（不図示）と、加工領域にビームを投影する光学レンズ（不図示）を含む。観測系５は、レーザ光２Ａを光軸から取り出すハーフミラー５Ａと、ハーフミラー５Ａにより取り出されたレーザ光２Ｂを観察する観測用カメラ５Ｂとを少なくとも備える。また、観察系５には、ハロゲンランプ等の照明光が設置されており、レーザ照射領域像を観察することが可能である。観測系５を用いて、レーザ光照射位置のアライメントを施すことできる。
【００５０】
走査系６は、ウエハ１０の加工面１０Ａ上でレーザ光２Ａを連続走査あるいは照射位置シフトさせるための走査ミラー６Ａと、走査ミラー６Ａを駆動制御するための走査制御部６Ｂを少なくとも備える。図１に示す構成例では、走査系６を用いることによりウエハ１０上でのレーザ光２Ａの照射位置を制御しているが、ホルダ７に駆動制御装置を連結し、ホルダ７を水平方向並びに垂直方向に移動することによって、レーザ光２Ａの照射位置を変える構成としてもよい。走査系６は、レーザ光２Ａを加工面上へ導くことのできる一般的な光学系の一例として図１に示す第１実施形態で用いられている。
【００５１】
ホルダ７は、中央にウエハ１０を設置するトレーのような形状で構成されている。ホルダ７の平面形状は、載置する加工対象物の形状に応じて適宜変更することができる。半導体ウエハのように円盤状の加工対象物を載置する場合には、円形のホルダ７を使用することができる。また、液晶表示装置に使用される石英ガラス基板、プリント配線基板等のような矩形の加工対象物を載置する場合には、矩形のホルダ７を使用することができる。勿論、矩形のホルダ７に円盤状のウエハ１０を設置してもよい。
【００５２】
図１に示す例では、ホルダ７は水平に設置されているので、加工面１０Ａの高さと、液体導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃの高さがほぼ一致する。もちろん、ホルダ７は必ずしも水平である必要はなく、どのような角度であっても、導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃが、加工面１０Ａとほぼ揃うように配置される。導入ポート７Ｂと排出ポート７Ｃは、ウエハ１０の加工面１０Ａを間にはさんでほぼ反対側に位置するのが好ましく、液体供給装置９から供給される液体が、ウエハ１０の加工面１０Ａ上で乱流を生じることなく、一方向にほぼ均一に流れる構成となっている。このような構成により、加工面１０Ａ全体にわたって、微粒子などの加工くずやレーザ照射にともなう気泡の付着を効果的に防止することができる。
【００５３】
ホルダ７はさらに、加工面１０Ａ上を流れる液体を覆い、レーザ光２Ａを透過させる透明な窓７Ａを備える。レーザ発振器２から発振されたレーザ光２Ａは、窓７Ａと液体８とを透過してウエハ１０の加工面１０Ａに照射される。窓７Ａは、レーザ加工時にウエハ１０上に流れる液体８の散水を防止する。
【００５４】
液体８として任意の液体を用いることができるが、ウエハ１０などの加工対象物の加工面１０Ａで、レーザ光照射により照射領域近傍で発生する熱を奪い去ることができ、レーザ光照射により発生する蒸発物の勢いを抑制できるものが好ましい。本発明の実施形態では、後述するように、液体８として純水、アンモニア水溶液、グリシン過酸化水素水等を実用的に使用することができる。
【００５５】
純水は、大半の材料の加工に使用することができる。アンモニア水溶液は、シリコンを加工する場合、純水を使用したレーザ加工に比べて、レーザ加工速度を高速化することができる。グリシン過酸化水素水は、温度の上昇により銅（Ｃｕ）のエッチングを進行させる特性があり、レーザ光の照射による自然温度上昇によって、銅配線などの加工を効率的に進めることができる。
【００５６】
液体供給装置９は、基本的に加工面１０Ａのレーザ光照射領域が流動する液体８に浸されるように液体８を供給すればよいが、熱をより多く奪い去り、蒸発物の勢いをより減少させるために、ウエハ１０の全体が液体８に浸るように液体を供給してもよい。
【００５７】
液体供給装置９は、たとえば循環ポンプであり、流入管９Ａ並びに流出管９Ｂを通してホルダ７に連接される。液体供給装置９として循環ポンプを用いる場合は、加工くずを除去するためのフィルタ（不図示）を設ける。
【００５８】
ホルダ７に供給される液体は、レーザ光照射領域に発生する気泡を連続的に取り除くために、加工面１０Ａ上で乱流を生じないように一定方向に流動しさえすればよいので、循環せずにそのまま排出される構成であってもよい。ホルダ７の導入ポート７Ａと排出ポート７Ｂが、加工面１０Ａとほぼ揃った位置に配置されることから、液体供給装置９から一定流量で供給される液体８は、レーザ光２Ａに不規則な揺らぎを与えないように、加工面１０Ａ上でほぼ一定方向に均一に流れる。液体供給装置９は少なくともレーザ加工が実際に行われているときに駆動されていればよい。
【００５９】
図１に示す装置を用いたレーザ加工方法では、加工対象物１０の加工面１０Ａ上に液体８を供給し、加工面１０Ａ上を流動する液体８を介して、加工面１０Ａの所定の位置にレーザ光２Ａを照射して加工する。
加工面上を流れる液体を介してレーザ加工することにより、レーザ照射領域に発生する気泡や加工くずを連続的に除去することができる。加工面上を流動する液体は、一定方向へのほぼ均一な流れであることが好ましい。これにより、加工面上での乱流を防止し、液体を透過するレーザ光に不規則な乱れを生じさせない。
【００６０】
また、第１実施形態に係るレーザ加工では、加工面上を流れる液体により、レーザ照射面に発生する熱を逃がすことができるので、レーザ光照射領域近傍の損傷を低減することができる。たとえば、加工対象物がシリコン単結晶基板や化合物半導体基板、絶縁性の薄膜、導電性の薄膜などの場合、レーザ光の照射による熱の広がりを抑制し、結晶欠陥の生成を防止することができる。また、レーザ加工による微粒子などの飛散物が加工面に付着するのを防止できる。
【００６１】
これらの効果により、正確な微細加工を実現することができる。
【００６２】
（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置１００の図である。レーザ加工装置１００は、レーザ発振器２と、加工対象物(たとえばウエハ)１０を保持するホルダ７と、レーザ発振器２から発せられたレーザ光２Ａをウエハ１０の加工面１０Ａに走査させる走査系６と、ホルダ７に液体８を供給する液体供給装置９と、ウエハ１０の加工面１０Ａを超音波振動させる超音波印加メカニズムとを備える。
【００６３】
超音波印加メカニズムは、図２の例では、ホルダ７の裏面に取り付けられた圧電素子１２０と、この圧電素子１２０を駆動制御する駆動制御回路１２１とで構成される。この場合、超音波振動は、圧電素子１２０からホルダ７を介してウエハ１０に伝播され、結果的にウエハ１０の加工面１０Ａが超音波振動することになる。
【００６４】
また、図示はしないが、超音波印加メカニズムは、液体供給装置９とホルダ７とを連結する液体流入管９Ａに設けてもよい。この場合は、ホルダ７に供給される液体８自体に超音波振動を与え、液体８がウエハ１０の加工面１０Ａ上を流動するときに、加工面１０Ａに超音波振動を与える。
【００６５】
ホルダ７は、第１実施形態と同様に、レーザ光２Ａを透過させる透明な窓７Ａと、ウエハ１０の加工面１０Ａにほぼ揃った位置にある液体導入ポート７Ｂおよび排出ポート７Ｃを有する。
【００６６】
レーザ加工装置１００はさらに、レーザ光２Ａの発振タイミング等を制御するレーザ発振コントローラ３と、ビーム調整レンズユニット４と、ウエハ１０上の照射位置を観測する観測系５とを備える。
【００６７】
図２に示すレーザ加工装置１００を用いたレーザ加工方法では、加工対象物（ウエハ）１０の加工面１０Ａ上にレーザ光を透過させる液体８を供給し、この液体８を介してレーザ光２Ａを加工面１０Ａに照射するとともに、加工面１０Ａに超音波振動を与えて、超音波振動の下でレーザ加工を行う。
【００６８】
超音波振動は、たとえば、加工対象物１０の加工面１０Ａと反対側の面から超音波を印加する。あるいは、液体８にあらかじめ超音波振動を与えておき、超音波振動する液体８が加工面１０Ａに超音波振動を与えてもよい。また、超音波振動は、少なくともレーザ光の照射面に与えられればよいが、加工面１０Ａの全体に印加されてもよい。
【００６９】
このようなレーザ加工方法では、レーザ加工中に加工面１０Ａが超音波振動するので、レーザ光により発生する気泡を効果的に取り除くことができる。さらに、レーザ加工による微粒子がたとえ加工面１０Ａに付着したとしても、振動により効果的に取り除くことができる。第２実施形態のレーザ加工装置１００では、ウエハ１０の加工面１０Ａ上にほぼ均一に流動する液体８を供給することに加え、レーザ光照射の際に、ウエハ１０の加工面１０Ａに超音波振動を与えることにより、加工くずやレーザ光２Ａの照射により発生する気泡を、より効果的に取り除くことができる。
【００７０】
（第３実施形態）
上述した第１実施形態または第２実施形態のレーザ加工装置およびレーザ加工方法を、半導体装置の製造過程で必要とされる種々の加工に適用した例を説明する。以下で説明する適用例は、第１実施形態のレーザ加工装置と第２実施形態のレーザ加工装置のいずれを用いても、良好に達成できる。
【００７１】
（１）半導体基板のレーザ加工
図３は、第１実施形態または第２実施形態のレーザ加工方法を適用して、シリコン単結晶基板である半導体基板（ウエハ）１１にトレンチ１１Ｔを形成する例を示す。
【００７２】
半導体基板へのレーザ加工は、ブレードやワイヤーソーに代えて、ウエハをチップに切り出すダイシング技術として期待されている。特に、半導体チップの薄膜化、パターンの微細化が進むなかで、半導体チップの切り出し方法として、先に半導体ウエハの表面から途中まで溝を形成（ハーフカット）し、その後半導体ウエハの裏面からハーフカットした溝に到達するまで研摩してチップに分離する先ダイシング技術が有効である。
【００７３】
具体的には、図３（ａ）に示すようにシリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に、乱流が生じないように液体（不図示）を一定方向に供給しながら、加工面１１Ａにレーザ光２Ａを照射して、幅が約１０μｍ、深さが５０μｍの溝１１Ｔを形成する。加工時に、加工面１１Ａに超音波振動を与える場合は、微粒子や飛散物をより効率的に除去しながら溝１１Ｔを形成できる。
【００７４】
加工時のレーザ光の形状は、短辺方向が１０μｍ、長辺方向が５００μｍの矩形である。レーザ光の１パルスあたりの照射エネルギー密度は４Ｊ／ｃｍ2、発振周波数は１０ｋＨｚであり、長辺方向に１０ｍｍ／ｓｅｃで走査することよって、ライン状に加工する。レーザ波長は２６６ｎｍ、パルス幅は１０ｎｓｅｃである。シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに供給される液体８には純水が使用されている。なお、純水は、たとえば図１に示すように、流入管９Ａ、流出管９Ｂを通して循環されており、加工面１１Ａ上で、ほぼ一定流速で一定方向に流動する。また、図２に示す装置を用い、加工面１１Ａに超音波振動を与えた場合は、微粒子などの飛散物の付着をより効果的に防止することができる。
【００７５】
ＴＥＭで断面形状を観察の結果、図３（ａ）に示すように、レーザ光照射領域１２の近傍においてクラックや転位等の損傷がないことが確認された。また、図１９（ａ）に示すように、大気中でレーザ加工したときに観察されたボイド１１０１Ａ、転移１１０２、盛り上がり１１０３等の損傷も見られず、良好な断面加工形状が達成された。さらに、図１９（ａ）に示すようなシリコン粒子１１０４等の飛散物もほとんど観察されなかった。
【００７６】
上述した流動液中レーザ加工においては、波長２６６ｎｍの第四高調波のレーザ光２Ａが使用されているが、波長３５５ｎｍの第三高調波、波長５３２ｎｍの第二高調波、さらに波長１０６４ｎｍの基本波を使用しても、レーザ光照射に伴う損傷を防止し、飛散物の付着を防止することができる。たとえばレーザ光２Ａの照射エネルギー密度を約５倍の２０Ｊ／ｃｍ2にした基本波のレーザ光を使用して、同様の効果を達成することができる。
【００７７】
また、図３（ａ）の例では、シリコンウエハ１１にダイシングラインのための溝１１Ｔを形成しているが、液体供給下でレーザ加工により溝１１Ｔを形成する技術は、Ｇａ、Ｐ、Ａｓ、Ｉｎ、Ａｌなどの化合物で形成される発光ダイオードや半導体レーザの素子分離にも適用することができる。
【００７８】
図３（ｂ）は、比較例として、ブレード１３を使用して先ダイシングした例を示す。通常は、ダイシングに幅３０μｍ〜４０μｍのブレード１３が使用され、このブレード１３により、深さ５０μｍ〜１００μｍの溝を形成することができる。しかし、ブレード１３を使用してシリコンウエハ１１に深さ５０μｍの溝１１Ｔを形成すると、機械的なストレスが発生し、ダイシング加工領域１２ｄの周辺においてシリコンウエハ１１の内部にクラック１１ａや転位１１ｂが発生し、シリコンウエハ１１の表面部にチッピング１１ｃが発生してしまう。このようなダイシング加工に伴う損傷の発生幅は約１００μｍにも達し、ダイシング領域周辺の約１００μｍの範囲内にトランジスタ、抵抗素子、容量素子等の素子を配設することができない。さらに、これらのクラック１１ａやチッピング１１ｃは、ダイシング後の半導体チップの機械的強度を低下させてしまう。
【００７９】
図３（ｃ）は、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに、液体８としてアンモニア水溶液を供給してレーザ加工した例を示す。レーザ光２Ａをアンモニア水溶液（不図示）を介してシリコンウエハ１１の加工面１１Ａに照射し、溝１１Ｕを形成したときの加工条件は、純水を使用した場合と同様に、レーザ光の短辺方向が１０μｍ、長辺方向が５００μｍｍ、走査速度が１０ｍｍ／ｓｅｃ、発振周波数が１０ｋＨｚ、照射エネルギー密度が４Ｊ／ｃｍ2・パルス、波長が２６６ｎｍである。
【００８０】
ＴＥＭを使用した断面形状の観察の結果、アンモニア水溶液中でレーザ光２Ａを照射した場合には、純水中と同じレーザ加工条件で、溝１１Ｕの深さが１００μｍにまで達している。液体として純水を使用した場合の溝１１Ｔの深さが約５０μｍであったことに比較し、約２倍の深さのレーザ加工を実現することができる。
【００８１】
さらに、図３（ｂ）に示したようにブレード１３を用いた場合に生じるクラック１１ａ、転移１１ｂ、チッピング１１ｃ等の損傷がなく、また、図１９（ａ）に示すようなボイド１１０１Ａ、転移１１０２、盛り上がり１１０３等もほとんど生じない。結果として、良好な加工断面形状を得ることができる。さらに、シリコン粒子１１０４等の飛散物も、レーザ光照射領域１２の近傍においてほとんど観察されなかった。
【００８２】
また、上述したレーザ加工条件の走査速度は１０ｍｍ／ｓｅｃであるが、走査速度を２倍の速さの２０ｍｍ／ｓｅｃにした場合に、深さ約５０μｍの溝１１Ｕを形成することができた。すなわち、液体８にアンモニア水溶液を使用することにより、純水中のレーザ加工速度に対して、同じ深さに溝を形成するのに、レーザ加工速度を約２倍の速さに設定することができ、レーザ加工時間を短縮することができる。
【００８３】
また、加工面１１Ａにアンモニア水溶液を供給するとともに、超音波振動を与える場合は、シリコン粒子などの飛散物の付着をより効果的に防止できる。
【００８４】
図４は、レーザ光の波長とシリコンの光吸収係数、および吸収深さとの関係を示す図である。基本波の波長１０６４ｎｍの光吸収係数は、波長５３２ｎｍの第二高調波、波長３５５ｎｍの第三高調波及び波長２６６ｎｍの第四高調波と比較して非常に小さい。基本波のレーザ光を用いた場合に、第四高調波と比較して、約５倍の照射エネルギー密度を必要としたのは、光吸収係数が小さくなり、加工に必要な照射エネルギー密度を大きくする必要があるからである。
【００８５】
波長１１００ｎｍ以上のレーザ光を用いる場合には、光吸収係数が小さいため、照射エネルギー密度をさらに大きくする必要がある。波長１１００ｎｍ以上の光には、たとえば波長１３２１ｎｍのＹＬＦレーザが知られているが、このレーザを用いる場合は、約３０Ｊ／ｃｍ2のエネルギー密度を必要とする。このような高いエネルギー密度のレーザ光を使用すると、液中でレーザ加工を行なったとしても、レーザ照射による熱を十分に取り去ることができず、加工領域周辺には照射損傷が生じる可能性が高い。そこで、シリコン単結晶の半導体ウエハを加工する場合は、波長１１００ｎｍ以下のレーザ光を使用することが実用的である。
【００８６】
（２）半導体基板上の絶縁膜のレーザ加工
図５は、第１実施形態および第２実施形態に係るレーザ加工方法を、シリコンウエハ１１と、その上に形成された絶縁膜の加工に適用した例を示す。図５に示す例では、第四高調波である波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを使用し、加工面上に供給する液体８として、純水を使用する。
【００８７】
図５（ａ）では、シリコン酸化膜２０が、例えばシリコンウエハ１１の全面に形成され、素子間を絶縁分離する素子分離膜や層間絶縁膜等に使用されている。シリコン酸化膜２０の表面２０Ａと、シリコンウエハ１１の露出した加工面１１Ａ上には、レーザ光２Ａを照射して加工する間、液体（不図示）が供給され、液体を介して加工面を照射して溝１１Ｔを形成する。液体は、乱流が生じないように、一定方向にほぼ均一な流れで供給されるのが好ましい。
【００８８】
図５（ａ）に示す例では、シリコン酸化膜２０は波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを吸収しないので、レーザ光２Ａはシリコン酸化膜２０を透過して直接シリコンウエハ１１の加工面１１Ａに照射され、溝１１Ｔが形成される。溝１１Ｔの形成に伴い、この上層に配設されたシリコン酸化膜２０はブローされる。このとき、シリコン酸化膜２０上、およびシリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に液体８が供給されているので、シリコン酸化膜２０やシリコンウエハ１１の微粒子は洗い流される。したがって、加工面への飛散物の飛散、付着は防止される。
【００８９】
図５（ｂ）では、シリコン単結晶のウエハ１１上に、有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３を積層した複合絶縁膜をレーザ加工する。レーザ光２Ａを照射して加工する際に、有機シリコン酸化膜２３の加工面２３Ａ、シリコン窒化膜２２の加工面２２Ａ、有機シリコン酸化膜２１の加工面２１Ａ、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａ上に液体８を供給する。レーザ光２Ａは液体８を透過して、加工面を順次レーザ加工し、溝１１Ｔを形成する。
【００９０】
図５（ｂ）に示す例では、有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３のそれぞれが波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａを吸収するので、有機シリコン酸化膜２３、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２１は順次レーザ加工され、さらにウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ光２Ａが照射されて、クラック等を生じることなく、溝１１Ｔのレーザ加工が行われる。
【００９１】
図５（ａ）および５（ｂ）に示すいずれの例も、半導体ウエハのダイシング工程に良好に適用される。
【００９２】
なお、図５（ｂ）の例において、シリコンウエハ１１上の多層絶縁膜を構成する各薄膜（有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３）にクラックを生じさせることなくレーザ加工を実現できる条件は、以下のように求められる。
【００９３】
まず、シリコンウエハ１１上に有機シリコン酸化膜２１、シリコン窒化膜２２、有機シリコン酸化膜２３の各々を単層膜として形成した試料を準備する。単層絶縁膜のレーザ光吸収係数をαｉ（ｎｍ-1）、膜厚をｔｉ（ｎｍ）とする。下地となるシリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ光２Ａが照射されても、上層の絶縁膜に損傷を与えないためには、加工面１１Ａに到達するレーザ光２Ａの照射エネルギー密度を３Ｊ／ｃｍ2以下に設定する必要がある。一方、ウエハ１１と絶縁膜に溝１１Ｔをレーザ加工するには、少なくとも４Ｊ／ｃｍ2の照射エネルギー密度を必要とする。また、有機シリコン酸化膜２１、２３のそれぞれを実際にレーザ加工するために必要とされる照射エネルギー密度は１Ｊ／ｃｍ2であり、シリコン窒化膜２２を実際にレーザ加工するために必要とされる照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2である。
【００９４】
溝１１Ｔのレーザ加工に必要な照射エネルギー密度をＩi（４Ｊ／ｃｍ2）とし、シリコンウエハ１１上に形成された、有機シリコン酸化膜２１、２３、シリコン窒化膜２２などの単層絶縁膜のレーザ光吸収係数をαi、膜厚をｔiとしたとき、絶縁膜を透過してシリコンウエハ１１の加工面１１Ａに到達するレーザ光２Ａの照射エネルギー密度Ｉｓは、式（１）により表すことができる。
【００９５】
Ｉｓ＝Ｉi（１−Ｒ）ｅｘｐ（−αi・ｔi） （１）
ここでＲは反射係数である。
【００９６】
上述したように、シリコンウエハ１１上の絶縁膜に損傷を与えずにシリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ加工を行う場合には、照射エネルギー密度Ｉｓを３Ｊ／ｃｍ2以下に設定する必要がある。また、式（１）において、反射係数Ｒは絶縁膜ではほぼ０に近似することができる。従って、照射エネルギー密度Ｉｓ≦３Ｊ／ｃｍ2、照射エネルギー密度Ｉi＝４Ｊ／ｃｍ2の条件を式（１）に代入すると、絶縁膜の膜厚ｔiが、式（２）として求まる。
【００９７】
ｔi ≧０．３（１／αi） （２）
シリコンウエハ１１上の積層膜を構成する各絶縁膜のレーザ光吸収係数αi および膜厚ｔi が式（２）を満たす場合、絶縁膜にクラック等の損傷を生じることなく、シリコンウエハ１１の加工面１１Ａにレーザ加工することが可能になる。また、図５の例では、基板の例としてシリコンウエハを用いているが、シリコンゲルマニウムやIII‐Ｖ族化合物半導体などの半導体ウエハ一般についても同様のことが当てはまる。
【００９８】
純水を各層の加工面上に供給しながらレーザ加工するので、レーザ光２Ａの照射により発生する熱や、気泡、飛散物を除去し、照射領域１２近傍の損傷を減少することができる効果は、上述したとおりである。
【００９９】
図５に示す例では、液体８として純水を使用しているが、液体８としてアンモニア水溶液を使用する場合は、純水を使用した場合に比べて、シリコンウエハ１１に対するレーザ加工速度を向上できる。
【０１００】
供給する液体８を加工面上で流動させる場合は、レーザ光照射領域１２に発生する気泡を連続的に取り除くことができるので、レーザ光２Ａを連続的に照射することができ、加工効率を向上することができる。
【０１０１】
さらに、加工面に超音波振動を与える場合は、レーザ加工により発生した微粒子が加工面に付着するのを効果的に防止できる。
【０１０２】
さらに、多層（複合）絶縁膜構造を有するウエハをレーザ加工する場合に、ウエハ上の各絶縁膜のレーザ吸収係数αｉと膜厚ｔｉを、ｔｉ≧０．３／αｉの関係を満たすように設定することによって、各絶縁膜への機械的ストレスを抑制して、レーザ加工を進めることができる。したがって、上層の積層絶縁膜にクラックを生じさせることなく、ウエハに微細加工を施すことができ、製造上の歩留まりを向上することができる。
【０１０３】
（３）半導体ウエハ上の金属膜のレーザ加工
図６は、シリコン単結晶のウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成した金属膜をレーザ加工する例を示す。図６の例では、金属膜として銅膜３０、３１を用いる。銅膜の加工面３０Ａ、３１Ａ上に、乱流を生じないようにほぼ均一な流れで液体（不図示）を供給し、液体を介してレーザ光２Ａで加工面３０Ａ、３１Ａを照射してレーザ加工する。必要に応じて、加工面３０Ａ、３１Ａに超音波振動を与える。レーザ加工された銅膜３０、３１は、例えば素子間を電気的に接続する配線、電源を供給する電源配線、電極等に使用される。
【０１０４】
図６（ａ）に示す例では、シリコンウエハ１１上に形成された膜厚５００ｎｍのピュアな銅薄膜３０をレーザ加工する。加工面３０Ａ上に供給する液体として純水を使用し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザを用いる。レーザ光の形状は、１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１０５】
μ−ＡＥＳによる分析の結果、大気中のレーザ加工で照射領域１１１０近傍に生じていた数十％の炭素汚染１１３５（図１９（ｂ））が、銅薄膜３０のレーザ光照射領域１２の近傍には生じていないことが確認された。従って、照射領域近傍の銅薄膜３０の比抵抗値も上昇することなく、本来の１．８μΩｃｍの比抵抗値を維持することができた。
【０１０６】
さらに、ＴＥＭを使用した断面形状の観察の結果、大気中でのレーザ加工で照射領域近傍に生じていた盛り上がり１１３３や飛散金属粒子１１３４（図１９（ｂ））も観測されなかった。
【０１０７】
純水の供給下で銅薄膜３０をレーザ加工すると、レーザ光照射領域１２の近傍の炭素汚染や盛り上がり、飛散粒子の付着を効果的に防止できる。この効果は、レーザ光２Ａの波長を３５５ｎｍ、５３２ｎｍ、１０６４ｎｍと変化させても同様に達成される。すなわち、純水を透過し、銅薄膜３０に吸収されるような波長を有するレーザ光２Ａであれば、シリコンウエハ１１上の金属薄膜３０を良好にレーザ加工することができる。
【０１０８】
図６（ｂ）に示す例では、シリコンウエハ１１上に形成された膜厚１μｍの銅厚膜３１をレーザ加工する。加工面３１Ａ上に供給する液体として純水を使用し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザを用いる。レーザ光の形状は、１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。図６（ａ）と同じ条件でのレーザ加工では、銅厚膜３１に形成されるトレンチ３１Ｔは、シリコン酸化膜２０まで到達することができない。
【０１０９】
そこで、図６（ｃ）に示すように、加工面３１Ａ上に供給する液体（不図示）としてグリシン過酸化水素水を使用して、膜厚１μｍの銅厚膜３１をレーザ加工する。グリシン過酸化水素水は、第四高調波の波長２６６ｎｍ及び第３高調波の波長３５５ｎｍのレーザ光２Ａを吸収してしまうので、レーザ加工には第二高調波の波長５３２ｎｍのレーザ光２Ａ（または基本波の波長１０６４ｎｍのレーザ光２Ａ）を実用的に使用することができる。レーザ光２Ａの照射エネルギー密度は３Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１１０】
グリシン過酸化水素水は、室温ではエッチングを進行させず、温度が約１００℃に上昇すると数μｍ／ｍｉｎ程度のエッチングを生じさせる。ウエハ上の銅膜のレーザ加工にグリシン過酸化水素水中を用いる場合は、レーザ光２Ａの照射エネルギーでグリシン過酸化水素水が加熱され、特にヒータ等の加熱装置を必要とせずに、レーザエッチングを促進することができる。したがって、膜厚１μｍの銅厚膜３１に、シリコン酸化膜２０に到達するトレンチ３１Ｔを良好に形成することができる。結果として、銅厚膜３１が完全にパターニングされる。
【０１１１】
μ―ＡＥＳによる分析の結果、グリシン過酸化水素水を供給しながら銅厚膜３１をレーザ加工する場合も、大気中でのレーザ加工で照射領域１２近傍に生じていた数十％の炭素汚染は観察されなかった。したがって、照射領域１２の近傍で銅膜３１の比抵抗値の増大もなく、本来の値である１．８μΩｃｍが良好に維持されていた。
【０１１２】
照射領域１２近傍での盛り上がりや金属粒子の飛散もなく、良好な断面形状で銅膜３１を微細加工することができた。
【０１１３】
図６に示す例では、ウエハ上の金属膜として銅膜を例にとって説明したが、主導電層としての銅膜上に耐食性向上のためのニッケル膜、クロム膜等を積層した複合膜、あるいは、アルミニウム膜、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｃｕ―Ｓｉ等）膜等の単層膜、これらの単層膜にバリアメタル膜や反射防止膜を積層した複合膜を液体供給下でレーザ加工する場合も同様の効果が達成される。
【０１１４】
（４）シリコン窒化膜およびフォトレジストのレーザ加工
図７（ａ）は、シリコンウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成したシリコン窒化膜４０上に液体（不図示）を供給しながらレーザ加工する例を、図７（ｂ）は、同じくシリコンウエハ１１上にシリコン酸化膜２０を介して形成したフォトレジスト４１上に液体（不図示）を供給しながらレーザ加工する例を示す。
【０１１５】
シリコン窒化膜４０やフォトレジスト膜４１の熱拡散係数は、シリコンウエハ１１や金属膜の熱拡散係数より約１桁程度小さく、レーザ照射領域周辺への熱影響は比較的小さい。Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第３高調波や第４高調波のようなＤＵＶ光を利用するレーザ加工では、シリコン窒化膜４０のような無機絶縁膜の結合ボンドや、フォトレジスト膜４１のような有機材料の結合ボンドを直接切断することができ、より一層熱影響の少ない非熱加工（アブレーション加工）が行えるものと期待されている。
【０１１６】
図７（ａ）の例では、シリコン窒化膜４０は、例えばＣＶＤやスパッタリング等によりシリコンウエハ１１上に２０ｎｍの膜厚で形成されている。このシリコン窒化膜４０上に純水を供給し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波である波長２６６ｎｍのレーザ光２Ａで加工する。レーザ光２Ａの形状は１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１１７】
ＳＥＭで断面形状を観察の結果、大気中でレーザ加工した場合にレーザ照射領域近傍に生じた盛り上がりやシリコン窒化物粒子の飛散（図１９（ｃ）参照）は観察されなかった。
【０１１８】
なお、シリコン窒化膜４０は、第三高調波の波長３５５ｎｍ、第二高調波の波長５３２ｎｍ、基本波の波長１０６４ｎｍのレーザ光を吸収しないので、これらの波長ではレーザ加工を行うことができない。レーザ加工が行われたシリコン窒化膜４０は、例えば上下配線間の層間絶縁膜、素子等を覆い保護する保護膜等に使用される。
【０１１９】
図７（ｂ）に示す例では、シリコンウエハ１１上のシリコン酸化膜２０の上に、スピンコート等によりレジスト材料を塗布後、ベークして、たとえば５００ｎｍの膜厚のフォトレジスト膜４１を形成する。フォトレジスト膜４１の加工面４１Ａ上に純水（不図示）を供給し、Ｑ−ｓｗｉｔｃｈ Ｎｄ ＹＡＧレーザの第四高調波（波長２６６ｎｍ）のレーザ光２Ａで、純水を介して所定領域をレーザ加工する。レーザ光２Ａの形状は１０μｍ×１０μｍ、照射エネルギー密度は０．５Ｊ／ｃｍ2、ショット数は１である。
【０１２０】
ＳＥＭで断面形状を観察の結果、大気中でのレーザ加工で照射領域近傍に生じていた盛り上がり、フォトレジスト粒子の飛散（図１９（ｄ）参照）は、観測されなかった。レーザ加工が行われたフォトレジスト膜４１は、素子や配線、電極等のパターニングを行うエッチングマスク等に使用される。
【０１２１】
図７（ａ）、７（ｂ）に示すいずれの例でも、レーザ加工中に、加工面に超音波振動を与えることによって、加工面への飛散微粒子の付着を、より効果的に防止できることは、上述したとおりである。
【０１２２】
（５）ダイシングライン形成に適用されるレーザ加工
図３と関連して説明した先ダイシング方法以外に、あらかじめ薄膜化したシリコンウエハを最後にダイシングする技術にも、液体供給下でのレーザ加工を適用できる。図８は、このようなダイシング工程を示す図である。
【０１２３】
まず、図８（ａ）に示すように、シリコンウエハ１１のデバイス面５０をダイシングテープ５５で保持する。次に、図８（ｂ）に示すように、シリコンウエハ１１を裏面から機械的に研磨し、ウエハ１１を薄膜化する。一般に、薄膜化されたウエハには機械的ストレスにより破砕層が形成されて強度の低下を引き起こすため、ウェットエッチングやドライエッチング等で破砕層を取り除いて、チップ強度の低下を抑制する。
【０１２４】
次に、図８（ｃ）に示すように、ダイシングテープ５５を除去し、シリコンウエハ１１をひっくり返して、シリコンウエハ１１の裏面を、新たにダイシングテープ５６で保持する。
【０１２５】
最後に、図８（ｄ）に示すように、デバイス面５０に液体（不図示）を供給しながら、レーザ加工して、シリコンウエハ１１を切断する。必要に応じて、デバイス面５０に超音波を印加しながらレーザ加工すると、デバイス面への微細加工くずや気泡の付着を効果的に防止することができる。
【０１２６】
ブレードを用いてダイシングした場合は、チップ側壁に損傷が生じてチップ強度が低下し、また、厚さが５０μｍ以下の領域では、ブレードによるダイシング中にチップが割れて、歩留まりが低下するという問題がある。これに対して、図１または図２の装置でダイシングを施すと、厚さ５０μｍ以下の領域においてもチップ割れを生じることなくダイシングラインの形成が可能である。また、チップ側壁の損傷や、ボイド、転位、盛り上がりなどの欠陥も抑制され、チップの信頼性が向上する。
【０１２７】
図９は、液中レーザ加工でダイシングラインを形成することにより、ウエハ６０上のチップ配置を最適化した例を示す。ブレードを使用したダイシングでは図９（ａ）に示すように格子状のラインしか形成できないが、液中レーザ加工でダイシングすると、ウエハ６０上に任意の形状のダイシングラインを形成することができる。たとえば、図９（ｂ）に示すように、ダイシングラインをジグザグの階段状にずらしながら、チップ配置を最適にすることで、１枚のウエハ６０上に作製されるチップの数を増やすことができる。また図９（ｃ）に示すように、チップ形状をたとえば６角形にすることで、最大数のチップを切り出すことができる。
【０１２８】
さらには、図１０に示すように、１枚のウエハ６０上にそれぞれ異なるサイズや形状のチップＡ，Ｂ，Ｃを形成することも可能になる。たとえば数百枚単位でしか生産しないチップを作製する場合に、このダイシング方法は非常に有効である。
【０１２９】
（６）グローバル配線の形成に適用されるレーザ加工
図１１は、液体供給下でのレーザ加工を、単層のグローバル配線の形成に適用した例を、図１２および１３は、多層のグローバル配線の形成に適用した例を示す。グローバル配線はチップ上の回路ブロックにまたがって延び、グローバルクロック等を供給する上層配線である。長距離配線であることから、配線遅延を極力低減することが求められ、抵抗の低減が重要である。したがって、汚染や飛散微粒子の付着を効果的に防止することのできる液体供給下でのレーザ加工が、有効に適用される。
【０１３０】
単層グローバル配線の形成にあたって、まず図１１（ａ）に示すように、シリコンウエハ６１上に絶縁膜６２を介してパッド６３を形成した基板を準備する。次に、図１１（ｂ）に示すように、絶縁膜６２およびパッド６３の全面を覆って、Ｃｕ／Ｔａ／ＴａＮ、Ｐｄ／Ｔｉ／Ｎｉ等の金属薄膜６４を形成する。次に、図１１（ｃ）に示すように、金属膜６４上に樹脂絶縁膜６５を形成する。次に、図１１（ｄ）に示すように、樹脂絶縁膜６５上に液体（不図示）を供給しながら、レーザ加工する。このとき、加工面に超音波振動を与えてもよい。
【０１３１】
次に、図１１（ｅ）に示すように、Ｃｕ、Ａｕ、はんだ等の電解メッキにより、パターンを埋め込んでメッキ層６６を形成する。最後に、図１１（ｆ）に示すように、有機溶剤により樹脂絶縁膜６５を除去し、酢酸、塩酸、硝酸、希フッ酸などの酸溶液を用いてエッチングすることにより、露出した下層の金属薄膜６４を除去する。これによりグローバル金属配線６６ａや金属バンプ６６ｂが形成される。
【０１３２】
このような方法では、高価な露光用マスクやＣＭＰを必要とするフォトリソグラフィ工程を用いずに、基板上に配線を正確に形成することが可能になる。
【０１３３】
従来法では、樹脂膜にたとえば感光性ポリイミド等を用いてフォトリソグラフィによりパターニングしていたが、この方法では、現像工程を要するため、廃液を排出することとなり、環境に悪影響を与えていた。また、フォトリソグラフィを用いた工程では、感光性の樹脂絶縁膜を用いる必要性があるため、使用できる材料に制限を与え、たとえばテフロン系の樹脂膜などの安価で低い誘電率の材料を用いることができなかった。これに対し、液中レーザ加工を用いると、ほぼすべての樹脂膜の加工が可能になり、加工面がより正確で、損傷やダストの発生のない良好なパターンを形成することができる。
【０１３４】
図１２および１３は、多層グローバル配線の形成工程を示し、図１３（ｅ）の工程は、図１２（ｄ）に引き続く工程である。
【０１３５】
まず、図１２（ａ）に示すように、シリコンウエハ７１上に絶縁膜７２を介して下層配線７３を形成した基板を準備する。次に、図１２（ｂ）に示すように、基板全面を覆って、第１の樹脂絶縁膜７５を形成する。次に、図１２（ｃ）に示すように、樹脂絶縁膜７５上に液体（不図示）を供給しながら、所定の箇所にレーザ光を照射して、下層配線７３上の樹脂絶縁膜７５を除去し、ヴィアホールを形成して下層配線７３の一部を露出する。
【０１３６】
次に、図１２（ｄ）に示すように、Ｃｕ／Ｔａ／ＴａＮ、Ｐｄ／Ｔｉ／Ｎｉ等の金属薄膜７４を形成し、さらに、図１３（ｅ）に示すように、第２の樹脂絶縁膜７７を形成する。次に図１３（ｆ）に示すように、第２の樹脂絶縁膜７７上に液体を供給しながら再度レーザ加工を行い、配線溝７８、７９をパターニングする。
【０１３７】
次に、図１３（ｇ）に示すように、ＡｕやＣｕ等を電解メッキで形成し、配線溝７８、７９を金属７６で埋め込む。最後に、図１３（ｈ）に示すように、有機溶剤により第２の樹脂絶縁膜７７を除去し、酸溶液で露出した下層金属薄膜７４をエッチングして、金属配線７６ａ、７６ｂを形成する。この工程を繰り返すことにより、製造コストの高いフォトリソグラフィ工程を用いることなく、多層配線を高い信頼性で正確に形成することができる。
【０１３８】
上述した工程は、半導体デバイス面上のはんだバンプやＡｕバンプ、あるいはグローバル配線の形成、実装基板上の配線の形成にも適用できる。
【０１３９】
（７）アライメントマーク上のレジストを選択除去するレーザ加工
半導体デバイスの微細化にともない、リソグラフィ工程で下地に設けたアライメントマークを観察してアライメント精度を向上させる技術が必須となっている。
【０１４０】
半導体リソグラフィ工程におけるパターニングのための露光は、ＫｒＦエキシマレーザやＡｒＦエキシマレーザなどの紫外領域のレーザを用いて行なわれる。これらの紫外領域のレーザ光を用いて微細パターニングする際には、下地の光学的な影響を排除する必要があるため、レジストの下層に反射防止膜が形成されている。反射防止膜は、紫外領域の光を吸収して下地への紫外線の侵入をブロックするので、下地に形成されたアライメントマークの検出は、露光用の光学系とは別に設置された可視光線のアライメント観察用の光学系で行なわれている。
【０１４１】
しかし、この方法では、観察用の光軸と、露光用の光軸が別々に設置されるため、温度などの周囲環境の微小な変化の影響を受けて、光軸間の距離が変動し、アライメント精度が損なわれる。
【０１４２】
精度向上のためには、露光用の光学系を用いてアライメントをするのが好ましいが、レジストの下層には反射防止膜があるので、アライメントマークを露出するためにレジストと反射防止膜とを除去する必要がある。
【０１４３】
アライメントマーク上のレジストと反射防止膜だけを選択的に除去するために、大気中でレーザ加工すると、周囲に加工くずや微粒子が飛散してしまうことは上述のとおりである。飛散物がレジスト上に付着すると、レジストのパターニングエラーを引き起こし、歩留まりを低下させる。
【０１４４】
そこで、液体供給下でレーザを照射し、必要に応じて加工面に超音波振動を与えながら、アライメントマーク上の少なくとも反射防止膜を選択除去することにより、飛散物の付着のない状態でアライメントマークを露出する。
【０１４５】
特に、図１４（ａ）および１４（ｂ）に示すように、シリコンウエハ８１上の絶縁膜８２に形成されたアライメントマーク８３を観察するために、レジスト８５と反射防止膜８４上に液体（不図示）を供給しながら、細く絞ったレーザ光２Ａで加工面を走査することによって、所望の領域を選択除去することができる。
【０１４６】
図１４（ａ）に示すように、ビーム径８７を１０μｍ×８０μｍにしぼり、レーザ光またはステージ（不図示）を、図１４（ｂ）に示す加工領域８８に沿って走査する。図１４（ｃ）に示すようにワンショットでレーザ加工した場合、レジストの種類や膜厚によっては、あるいはレジストと反射防止膜との密着性の変化によって、反射防止膜８４とレジスト８５との界面で、はがれ８９が生じる場合がある。これは、反射防止膜８４がレーザの熱を吸収して溶融蒸発し、レジスト８５と反射防止膜８４との界面でストレスが発生し、上層のレジスト８５を吹き飛ばすためである。このはがれ現象は、フォトレジスト、無機膜、反射防止膜の多層構造で形成された複合レジスト膜の場合にも顕著に現れる。
【０１４７】
アライメントマーク８３は、通常は一辺が５０μｍから２００μｍの大きさで形成されている。ビーム径８７を１６０μｍ×８０μｍで照射した場合、図１４（ｃ）に示すようなはがれ８９が生じる。図１４（ａ）、１４（ｂ）に示すように、細く絞ったレーザビームを液体供給下で走査することによって、レジスト８５のはがれを効果的に抑制し、かつ飛散物の付着のない良好な加工が実現される。
【０１４８】
図１５はレーザ加工で使用するビーム形状の変形例を示す。図１５（ａ）に示すように、複数のスリット８７で構成されるビーム形状のレーザ光を照射し、照射位置を所定幅だけシフトすることによって、所望の領域を加工することができる。この場合も、加工面上には液体が流動的に供給され、必要に応じて、加工面に超音波振動が与えられる。また、図１５（ｂ）に示すように、ビームの断面形状をモザイク状に加工して第１の方向にシフトした後、第１の方向と垂直な第２の方向にシフトさせて最終加工形状にすることもできる。いずれの場合もひとつひとつのビーム径を小さくしてあるので、レジストのはがれを防止することができる。
【０１４９】
もちろん、レジストのはがれが生じない場合には、ビーム形状を加工領域と同一にして加工してもよい。また、反射防止膜８４を形成した後にアライメントマーク上の反射防止膜８４をレーザ加工により選択的に除去し、その後レジスト８５を形成しても、露光用の光学系を用いたアライメントが可能となる。
【０１５０】
（８）チップオンチップ型半導体装置のレーザ加工
図１６は、チップオンチップ型の半導体装置に、液体供給下でのレーザ加工を適用した例を示す。
【０１５１】
近年、半導体デバイス内にスルーホールを形成し、スルーホール内に埋め込まれたＣｕ等の金属を配線として半導体チップを積層するチップオンチップ技術が注目されている。図１６に示すように、パッド９３上に金属バンプ９８を有する第１および第３のチップ９０ａ、９０ｃの間に、第２のチップ９０ｂをはさんで積層する。第２のチップ９０ｂは、スルーホール内に絶縁膜９７を介して金属を充填した配線プラグ９６を有する。各チップはそれぞれ半導体基板９１の表面上に多層配線構造９５が形成されており、第２のチップ９０ｂは半導体基板９１の裏面側に絶縁膜９２が形成されている。このようなスタックされたチップ間を接続することによって、配線長を大幅に短縮でき、配線遅延が抑制できる。
【０１５２】
現在、チップスループラグの穴あけ加工はＲＩＥで行なわれているが、加工速度が遅く、生産性が悪い。一方、大気中でレーザ照射によりスルーホール用の穴をあけると、シリコンデバイスに照射損傷を生じ、スルーホール近傍の素子が不良になることは先に説明したとおりである。
【０１５３】
そこで、スルーホールを形成する基板表面に、乱流を生じないように液体を供給し、流動する液体を介してレーザ照射してスルーホールを形成する。必要に応じて、加工面に超音波振動を与える。加工面に供給する液体はそのまま排出してもよいし、循環させてもよい。後者の場合は、フィルタを設置して、洗い流された加工くずを除去する。液体供給下でレーザ加工することにより、損傷や飛散物の付着のない良好な加工形状が達成される。また、スルーホール形成の高速化と、デバイス動作の信頼性を両立させることができる。
【０１５４】
図１７および１８は、チップオンチップ型の半導体装置に用いられるチップにスルーホールを形成する工程例を示し、図１８（ｅ）は図１７（ｄ）に引き続く工程である。まず、図１７（ａ）に示すように、シリコンウエハ１１０上にシリコン酸化膜１１１を形成した基板上に、液体（不図示）を供給しながらレーザ光を照射して、ホール１１３を形成する。次に、図１７（ｂ）に示すように、ホール１１３の壁面と基板上のシリコン酸化膜１１１上にシリコン酸化膜１１４を形成する。以下の図１７（ｃ）〜図１８（ｈ）の工程は、従来の工程と同様であり、ホール１１３に金属１１５を充填し表面を平坦化してシリコン酸化膜１１４を覆って金属膜１１５を形成し（図１７（ｃ））、シリコン酸化膜１１１上の金属膜１１５およびシリコン酸化膜１１４を除去してスループラグ１１５を形成し（図１７（ｄ））、スループラグ１１５とシリコン酸化膜１１１上に配線層および層間絶縁膜から成る多層配線構造１１６を形成したうえで、最上層の配線層を選択的に露出させてパッド１１７を形成する（図１８（ｅ））。シリコン基板１１０を研磨等により薄膜化し（図１８（ｆ））、裏面にシリコン酸化膜１１８を堆積してから（図１８（ｇ））、平坦化してスループラグ面を露出してバンプとの接続面を形成する（図１８（ｈ））。
【０１５５】
チップの加工面に流動液体を供給しながら直接レーザ加工してホールを形成することにより、加工時間が大幅に短縮される。また、シリコンウエハへのダメージや飛散粒子の付着のない良好な加工断面形状が達成され、最終的な半導体装置の動作の信頼性が向上する。また、レーザ加工中に加工面に超音波を印加することにより、飛散粒子や気泡の付着をより効果的に防止できる。
【０１５６】
以上説明したように、液体供給下でのレーザ加工を半導体装置の製造方法に適用した場合は、加工面への気泡やダストの付着を抑制し、高い制御性で素材を選択的に加工することができる。半導体装置の製造を例にとってレーザ加工の適用を説明したが、半導体基板はシリコンウエハに限定されず、III−Ｖ族化合物半導体基板であっても、同様の効果が達成できる。また、半導体装置の製造だけではなく、液晶表示装置等に使用される石英ガラス基板、プリント配線基板等に使用される樹脂基板（例えばエポキシ系樹脂基板、ポリイミド系樹脂基板等。）、セラミックス基板、炭化珪素基板等の加工にも、液体供給下でのレーザ加工を良好に適用できる。また、特に、マザーボード、ドーターボード、ベビーボード、ＣＰＵボード、メモリボード等のプリント配線基板や、１個又は複数のベアチップを実装する実装基板にも適用することができる。
【０１５７】
また、上述した液体供給下でのレーザ加工は、半導体装置、配線基板等の電子部品の製造のみならず、精密機械部品のレーザ加工にも応用することができる。
【０１５８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、加工面でのレーザ光照射による損傷を低減し、光照射にともなう飛散物の付着を効果的に防止して、正確な形状の微細加工を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。
【図３】本発明の第３実施形態として、シリコン基板の加工に適用した例を示し、図３（ａ）は液体に純水を用いた場合の断面図、図３（ｂ）は比較例として機械的切断加工による断面図、図３（ｃ）はレーザ加工で液体にアンモニア水を用いた場合の断面図である。
【図４】レーザ光の波長と、シリコンのレーザ光吸収係数および吸収深さとの関係を示す図である。
【図５】シリコン基板とその上に形成された絶縁膜を、液体供給下でレーザ加工した例を示す図である。
【図６】シリコン基板に絶縁膜を介して形成された金属膜を、液体供給下でレーザ加工した例を示す図である。
【図７】図７（ａ）は、シリコン基板上に形成されたシリコン窒化膜を液体供給下でレーザ加工した例を、図７（ｂ）はシリコン基板上に形成されたフォトレジスト膜を液体供給下でレーザ加工した断面構造を示す図である。
【図８】あらかじめ薄膜化したシリコンウエハを液体供給下のレーザ加工でダイシングする例を示す図である。
【図９】液体供給下でのレーザ加工により、ウエハ上に任意の形状のダイシングラインを形成し、チップ配置を最適化した例を示す図である。
【図１０】液体供給下のレーザ加工により、ひとつのウエハからサイズや形状の異なるチップをダイシングする例を示す図である。
【図１１】液体供給下のレーザ加工を、単層グローバル配線の形成に適用する例を示す図である。
【図１２】液体供給下のレーザ加工を、多層グローバル配線の形成に適用する例を示す図である。
【図１３】液体供給下のレーザ加工を、多層グローバル配線の形成に適用する例を示す図であり、図１２（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図１４】液体供給下で細く絞ったビームを走査して、反射防止膜上に形成されたレジストをレーザ加工する例を示す図である。
【図１５】走査ビームのスリット形状の例を示す図である。
【図１６】液体供給下でのレーザ加工を、チップオンチップ型の半導体装置に適用した例を示す図である。
【図１７】図１６に示したチップオンチップ型の半導体装置におけるスルーホール形成に液体供給下でのレーザ加工を用いた例を示す図である。
【図１８】チップオンチップ型の半導体装置におけるスルーホール形成に液体供給下でのレーザ加工を用いた例を示す図であり、図１７（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図１９】従来のレーザ加工技術により生じるダメージを示す図である。
【符号の説明】
１、１００ レーザ加工装置
２ レーザ発振器
３ レーザ発振コントローラ
４ 光学系
５ 観測系
６ 走査系
７ ホルダ
７Ａ 透明窓
７Ｂ 液体導入ポート
７Ｃ 液体排出ポート
８ 液体
９ 液体供給装置
１０ 加工対象物
１０Ａ 加工対象面
１１、６１、７１、８１ シリコン単結晶ウエハ
２０ シリコン酸化膜
２１、２３ 有機シリコン酸化膜
２２、４０ シリコン窒化膜
３０、３１ 金属膜（Ｃｕ膜）
４１ フォトレジスト膜
５０ 素子面
５５、５６ ダイシングテープ
６０ ウエハ
６５、７７、８５ レジスト
６６、７６ 金属配線
Claims (15)
- 基板上に樹脂絶縁膜を形成し、
前記樹脂絶縁膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、
前記樹脂絶縁膜に超音波振動を与えながら、前記液体を介して前記樹脂絶縁膜上の所定の位置にレーザ光を照射して、前記樹脂絶縁膜を所定のパターンに溝加工し、
前記溝加工した樹脂絶縁膜に金属を充填してグローバル配線を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記液体は、前記樹脂絶縁膜上に一定方向にほぼ均一な流れで供給されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記液体によって前記樹脂絶縁膜に伝播されることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記基板を介して前記樹脂絶縁膜に伝播されることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記基板を保持するホルダに取り付けられた圧電素子により印加されることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に１以上の膜を積層し、
前記膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、
前記液体を介して前記膜上にレーザ光を照射し、各膜のレーザ吸収係数αi と膜厚Ｔiとが、Ｔi≧０．３／αi の関係を満たす条件で、前記積層した膜を加工する半導体装置の製造方法。 - 前記液体は、前記膜上に一定方向にほぼ均一な流れで供給されることを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記膜に超音波振動を与えながら加工を行うことを特徴とする請求項６又は７に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記液体によって前記膜に伝播されることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記基板を介して前記膜に伝播されることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
- ウエハ上に反射防止膜を介してレジスト膜を形成し、
前記レジスト膜上にレーザ光を透過させる液体を供給し、
前記液体を介して、細くしぼったレーザ光をレジスト膜上に照射し、
前記レーザ光を走査して、所定の領域のレジスト膜および反射防止膜を除去する半導体装置の製造方法。 - 前記液体は、前記レジスト膜上に一定方向にほぼ均一な流れで供給されることを特徴とする請求項１１に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記レジスト膜に超音波振動を与えながら加工を行うことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記液体によって前記レジスト膜に伝播されることを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記超音波振動は、前記ウエハを介して前記レジスト膜に伝播されることを特徴とする請求項１３に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001326865A JP3660294B2 (ja) | 2000-10-26 | 2001-10-24 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-326361 | 2000-10-26 | ||
| JP2000326361 | 2000-10-26 | ||
| JP2001326865A JP3660294B2 (ja) | 2000-10-26 | 2001-10-24 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002224878A JP2002224878A (ja) | 2002-08-13 |
| JP3660294B2 true JP3660294B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=26602789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001326865A Expired - Lifetime JP3660294B2 (ja) | 2000-10-26 | 2001-10-24 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3660294B2 (ja) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4659300B2 (ja) | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
| JP4606741B2 (ja) | 2002-03-12 | 2011-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 加工対象物切断方法 |
| EP3252806B1 (en) | 2002-03-12 | 2019-10-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Substrate dividing method |
| TWI326626B (en) | 2002-03-12 | 2010-07-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser processing method |
| TWI265550B (en) | 2002-05-14 | 2006-11-01 | Toshiba Corp | Fabrication method, manufacturing method for semiconductor device, and fabrication device |
| AU2003260374A1 (en) * | 2002-08-06 | 2004-02-25 | Xsil Technology Limited | Laser machinining |
| TWI520269B (zh) | 2002-12-03 | 2016-02-01 | 濱松赫德尼古斯股份有限公司 | Cutting method of semiconductor substrate |
| JP4328520B2 (ja) * | 2002-12-06 | 2009-09-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP4544876B2 (ja) | 2003-02-25 | 2010-09-15 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| FR2852250B1 (fr) | 2003-03-11 | 2009-07-24 | Jean Luc Jouvin | Fourreau de protection pour canule, un ensemble d'injection comportant un tel fourreau et aiguille equipee d'un tel fourreau |
| DE60315515T2 (de) | 2003-03-12 | 2007-12-13 | Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu | Laserstrahlbearbeitungsverfahren |
| JP3842769B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2006-11-08 | 株式会社東芝 | レーザ加工装置、レーザ加工方法、及び半導体装置の製造方法 |
| JP4563097B2 (ja) | 2003-09-10 | 2010-10-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体基板の切断方法 |
| JP2006073690A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
| JP4486472B2 (ja) | 2004-10-26 | 2010-06-23 | 東京エレクトロン株式会社 | レーザー処理装置及びその方法 |
| JP4486476B2 (ja) | 2004-10-29 | 2010-06-23 | 東京エレクトロン株式会社 | レーザー処理装置及びレーザー処理方法 |
| JP4843212B2 (ja) | 2004-10-29 | 2011-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | レーザー処理装置及びレーザー処理方法 |
| JP2006196701A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| KR100601905B1 (ko) | 2005-02-23 | 2006-07-18 | 주식회사 이오테크닉스 | 산소 차폐 장치와 이를 이용한 레이저 가공 장치 및 방법 |
| JP2007067278A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンド方法及びエキスパンド装置 |
| JP4678281B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-04-27 | 株式会社デンソー | 半導体基板の分断装置 |
| JP2007144494A (ja) | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | レーザー処理装置及びレーザー処理方法 |
| WO2008114470A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | プラスチック基板の切断方法、及びプラスチック基板の切断装置 |
| JP5263918B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2013-08-14 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP5436917B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2014-03-05 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP5671724B2 (ja) * | 2011-02-21 | 2015-02-18 | 株式会社奈良機械製作所 | 液相レーザーアブレーション方法及び装置 |
| CN104584343B (zh) * | 2012-05-30 | 2018-09-25 | Ipg光子公司 | 制造激光二极管基座的激光烧蚀工艺和激光二极管单元 |
| CN104951116B (zh) * | 2014-03-31 | 2018-08-31 | 宸盛光电有限公司 | 触控装置及其制造方法 |
| KR101650076B1 (ko) * | 2014-06-10 | 2016-08-22 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 취성 재료 기판의 가공방법 |
| JP6447140B2 (ja) * | 2015-01-06 | 2019-01-09 | 日本電気硝子株式会社 | マイクロホールアレイ及びその製造方法 |
| JP2019069465A (ja) * | 2017-10-11 | 2019-05-09 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP6907093B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2021-07-21 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP2019130552A (ja) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 株式会社ディスコ | レーザー加工方法 |
| JP7123643B2 (ja) * | 2018-06-11 | 2022-08-23 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP7174231B2 (ja) | 2018-09-25 | 2022-11-17 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法および発光装置 |
| KR102310466B1 (ko) * | 2019-06-27 | 2021-10-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
| JP7522065B2 (ja) * | 2020-03-25 | 2024-07-24 | 高純度シリコン株式会社 | 多結晶シリコン塊のクリーニング方法 |
| CN116936658A (zh) * | 2022-06-21 | 2023-10-24 | 浙江晶科能源有限公司 | 背接触太阳能电池及光伏组件 |
-
2001
- 2001-10-24 JP JP2001326865A patent/JP3660294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002224878A (ja) | 2002-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3660294B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| US6720522B2 (en) | Apparatus and method for laser beam machining, and method for manufacturing semiconductor devices using laser beam machining | |
| US10796962B2 (en) | Semiconductor wafer processing method | |
| JP4471632B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
| JP4422463B2 (ja) | 半導体ウエーハの分割方法 | |
| JP4959422B2 (ja) | ウエーハの分割方法 | |
| CN104584214B (zh) | 载体晶片从器件晶片的激光去键合 | |
| JP7187215B2 (ja) | ＳｉＣ基板の加工方法 | |
| WO2000050198A1 (en) | Method for machining work by laser beam | |
| JP2016500918A (ja) | 半導体ウェーハを処理するための方法 | |
| JP7258414B2 (ja) | 光デバイスウェーハの加工方法 | |
| JP2014520407A (ja) | ダイアタッチフィルム（ｄａｆ）又は他の材料層をダイシングする前におけるレーザカットされた半導体のエッチング | |
| US20060009008A1 (en) | Method for the laser processing of a wafer | |
| TWI607526B (zh) | 切割包含複數個積體電路之基板的方法 | |
| JP2005277136A (ja) | 基板製造方法および基板製造装置 | |
| TWI886264B (zh) | 用於封裝製造之雷射燒蝕 | |
| US20180108565A1 (en) | Method of laser-processing device wafer | |
| JP2004106048A (ja) | 加工方法、及び加工装置 | |
| KR102918388B1 (ko) | 고급 패키징을 위한 마이크로 비아 형성 방법들 | |
| JP7641519B2 (ja) | 素子チップの製造方法および基板処理方法 | |
| JP7527728B2 (ja) | チップの製造方法 | |
| JP2020092191A (ja) | デバイスチップの製造方法 | |
| JP2004273771A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP7463035B2 (ja) | 積層ウェーハの加工方法 | |
| JP7693336B2 (ja) | ウェーハの製造方法、チップの製造方法、ウェーハ及びレーザービームの位置合わせ方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040728 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041007 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050308 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050316 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080325 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090325 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120325 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130325 Year of fee payment: 8 |