JP3635168B2 - リードフレームのテーピング装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はリードフレームのテーピング装置に係り、より詳しくは複数のリードフレームパターンにテープを同時に取り付けることができるリードフレームテーピング装置に関する。
【0002】
また、本発明はリードフレームへのテープの取り付け状態を判定するためのテーピング感知センサを備えたリードフレームのテーピング装置及びテーピング方法に関する。
【0003】
【従来の技術】
リードフレームは半導体パッケージの構成部品であり、半導体チップを外部回路に接続すると共に半導体チップを支持する働きをする。リードフレームは精緻な構造を有し破損しやすいため、加工及び取扱いには注意が必要である。最近の半導体産業の発達にともない、多様な半導体パッケージに対応するため、多様な形状及び大きさのリードフレームを迅速で効率よく生産するための装置が開発されてきている。
【0004】
リードフレームは薄板状の金属材で形成され、図1に示すような、半導体チップ10を支持するパッド部11と、ワイヤ13によりチップ10の回路と接続される内部リード12と、前記内部リード12及び外部回路に接続される外部リード14とを有するパターン(リードフレームパターンと呼ぶ)を通常複数個含んでいる。
【0005】
このようなリードフレームに関する工程として、内部リード12の端部とパッド部11をメッキする工程や、内部リード12とパッド部11とを接続するワイヤボンディング工程がある。また、ワイヤボンディング工程に先立って、内部リード12の所定の位置にテープ15a、15bを取り付けるテーピング工程(taping process)が含まれることがある。このテーピング作業はリードフレームテーピング装置によりなされる。従来のリードフレームテーピング装置の構成を図2に示す。
【0006】
図2に示されているリードフレームテーピング装置は、ロール状に巻かれたリードフレーム20を回転自在に支持するロール支持部21と、ロール支持部21からパンチング部40へとリードフレーム20を間歇的に1ピッチずつ供給するリードフレーム供給部30と、搬送されているリードフレーム20を感知するリードフレーム感知部23と、供給されたリードフレーム上にテープ15a、15b(図1参照)を取り付けるパンチング部40と、テープ15a、15bが取り付けられたリードフレーム20の応力集中を緩和するためのレベラ24と、レベラ24を通過したテープ15a、15bが取り付けられたリードフレーム20を所定の長さずつ切り出して積載する切り出し及び積載装置50とを含む。ここで、本明細書及び請求項で用いられる“ピッチ”とは各リードフレームパターンの間隔に該当する距離である。
【0007】
また、このリードフレームテーピング装置には、テープ15a、15bを供給するためのテープ供給部60(図3参照)や、リードフレーム20の下側に配置されたヒータ44も備わっている。
【0008】
パンチング部40は、パンチ41と、打抜き金型43と、パンチ41を昇降させるアクチュエータ42とを有しており、パンチ41が降下することにより打抜き金型43の形状に応じてテープ15a、15bが切り出されリードフレーム上に付着される。
【0009】
図3は、図2に示した従来のリードフレームテーピング装置を上から見た図である。図3には、パンチング部40へとテープ15a、15bを供給するテープ供給部60も示されている。
【0010】
テープ供給部60は、テープ15a、15bを搬送する供給ローラ61と、テープからビニルカバー15′を除去し回収するための回収ローラ62を含んでいる。テープ15a、15bは、回転ローラ63の間歇的回転により、供給ローラ61からパンチング部40内の打抜き金型43とパンチ41との間に所定長さずつ供給される。回転ローラ63の外周面には摩擦係数の大きいゴム材(図示せず)が取り付けられており、このゴム材とテープ15a、15bとの間に摩擦力が働くことによって、回転ローラ63が回転するとテープ15a、15bが移送されるようになっている。
【0011】
上述したリードフレームテーピング装置では、パンチング部40のパンチ41の1回の動作により、パンチング部40に供給されたリードフレーム20の内部リード12(図1参照)にテープ15a、15bが同時に貼り付けられる。
【0012】
しかしながら、このようなリードフレームテーピング装置は、一度に1つのリードフレームパターン20a(図2の点線により区分される)に対してしかテーピング作業を行うことができないため、生産性が低く大量生産に不向きである。
【0013】
さらに、このリードフレームテーピング装置は1つのパンチング部40しか備えていないため、リードフレームの変更に対して、それに合った打抜き金型43に交換するのに長時間を要するという問題点がある。すなわち、作業に必要な打抜き金型43の寸法及び種類を変更するため、装置をいったん止めて、必要な打抜き金型43に交換した後、運転を再開する必要がある。
【0014】
また、パンチング部40(図2)によりリードフレーム20にテープ15a、15bを取り付ける工程は取り付け条件に大きく影響されるため、取り付け不良が発生することがある。(例えば、リードフレーム20にテープ15a、15bを取り付ける際、ヒータ44の温度は通常170℃以上の高温に保たれるが、この温度の変動などによりテープ15a、15bが取り付けられないことがある。また、アクチュエータ42に供給される空気圧が規定値以下の場合も、テープ15a、15bの取り付けが不完全となり得る。)このため、従来はテーピング作業時に常時作業者が製品を監視するなどして不良品を検出していたが、良/不良の判定精度が作業者の集中力などに影響されるため信頼性が低いという問題点があった。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の第1の目的は、作業効率を改善するべく少なくとも2つの複数のリードフレームパターンに対して同時にテープを取り付けることができるリードフレームテーピング装置を提供することである。
【0016】
本発明の第2の目的は、打抜き金型を取り替えることなく異なる種類のリードフレームパターンにテープを取り付けることができるように、複数のパンチング部を備えたリードフレームテーピング装置を提供することである。
【0017】
本発明の第3の目的は、リードフレームへのテープの取付け状態を自動的に判定することのできるリードフレームテーピング装置を提供することである。
【0018】
本発明の第4の目的は、リードフレームへのテープの取り付け状態を自動的に検査する過程を含むことを特徴とするリードフレームのテーピング方法を提供することである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
前記本発明の第1の目的を達成するため、本発明の一側面によると、一度に少なくとも2つのリードフレームパターンを供給するべくリードフレームを少なくとも2ピッチずつ間歇的に搬送するリードフレーム供給部と、前記供給されたリードフレームパターンのそれぞれに取り付けるべきテープを供給するテープ供給部と、前記テープがその間に供給されるよう配置され、前記供給されたテープを同時に切り出して前記リードフレームパターンのそれぞれに取り付けるパンチ及び打抜き金型と、前記パンチを昇降させるアクチュエータとを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング装置が提供される。
【0020】
前記第2の目的を達成するため、本発明の他の側面によると、間に供給されるテープを切り出してリードフレームに取り付けるパンチ及び打抜き金型と、前記パンチを昇降させるアクチュエータとを各々含む複数のパンチング部と、前記複数のパンチング部に前記リードフレームを複数ピッチずつ間歇的に供給するリードフレーム供給部と、前記各パンチング部に供給されたリードフレームに取り付けるべきテープを供給するテープ供給部とを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング装置が提供される。
【0021】
さらに本発明の別の側面によると、前記第1及び第2の目的を達成するため、間に供給されるテープを切り出して少なくとも2つのリードフレームパターンに同時に取り付けるパンチ及び打抜き金型と、前記パンチを昇降させるアクチュエータとを各々含む複数のパンチング部と、前記複数のパンチング部に前記リードフレームを前記パンチング部の数の倍数に等しいピッチずつ間歇的に供給するリードフレーム供給部と、前記複数のパンチング部に供給されたリードフレームのそれぞれに取り付けるべきテープを供給するテープ供給部とを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング装置が提供される。
【0022】
前記各パンチング部のパンチ及び打抜き金型は2つのリードフレームパターンに同時にテープを取り付け、前記リードフレーム供給部は前記リードフレームを前記パンチング部の数の2倍に等しいピッチずつ供給することが望ましい。
【0023】
前記第3の目的を達成するため、本発明によるリードフレームのテーピング装置は、テーピングされたリードフレームに光を投射し、リードフレームを通過した光量によりリードフレームへのテープの取り付け状態を検査するテーピング感知センサを含む。
【0024】
このテーピング感知センサは好適には、前記リードフレームのテープの取り付け部位に光を投射する発光部と、前記リードフレームを通過した光を受光する受光部と、前記受光された光を電気信号に変換する信号変換部と、前記信号変換部から電気信号を受けてテープの取り付け状態を判断する制御部と、前記制御部から運転停止信号を受けて前記リードフレームテーピング装置の運転を止める駆動部とを含む
【0025】
さらに、本発明の第4の目的を達成するため、本発明によると、リードフレームを供給する過程と、前記供給されたリードフレームにテープを取り付ける過程と、前記テーピングされたリードフレームの縁部に光を投射する過程と、前記リードフレームのリードの間を通過した光量を測定して所定の基準値と比較し、前記光量が前記基準値を越える場合テーピング作業を停止し、前記光量が前記基準値を越えない場合テーピング作業を続ける過程とを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング方法が提供される。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態について詳しく説明する。
【0027】
本発明の第1実施例によるリードフレームテーピング装置を図4及び図5に示す。これらの図面に示されているように、本実施例のリードフレームテーピング装置は1回のパンチングにより、2つのリードフレームパターン100a、100b(点線により区分される)に同時にテープ150a、150b、150c、150dを取り付けることができる。
【0028】
このリードフレームテーピング装置は、アクチュエータ120により昇降されるパンチ110と、パンチ110が通過する通孔130aが形成された打抜き金型130を含んでいる。パンチ110と打抜き金型130との間にテープ供給部140によりテープ150a、150b、150c、150dが供給される。テープ供給部140にはテープを搬送する供給ローラ141と、テープからカバー150′を除去し回収するための回収ローラ142とが備えられている。
【0029】
リードフレーム100は打抜き金型130の下を通過するようにリードフレーム供給部160により供給される。また、ヒータ170′がリードフレーム100の下側に配置されている。
【0030】
本実施例によるリードフレームテーピング装置では、リードフレーム供給部160はリードフレーム100を間歇的に2ピッチずつ搬送する。従って、打抜き金型130の下に、2つのリードフレームパターン100a、100bが同時に供給される。
【0031】
テープ150a、150b、150c、150dが回転ローラ143の間歇的回転により供給ローラ141からパンチ110と打抜き金型130との間に供給されると、アクチュエータ120が作動してパンチ110を降下させる。それによって、テープ150a、150b、150c、150dは切り出され2つのリードフレームパターン100a、100bの両縁部に取り付けられる。より正確には、テープ150a、150bはリードフレームパターン100aの両縁部に取り付けられ、テープ150c、150dはリードフレームパターン100bの両縁部に取り付けられる。その後、パンチ110はアクチュエータ120に駆動されて上昇し、リードフレーム供給部160は更に2ピッチだけリードフレーム100を送り、次の2つのリードフレームパターンをパンチング部に供給する。この後も上述した動作が繰り返し行われる。このように、本実施例におけるリードフレームテーピング装置では、一回のパンチングにより2つのリードフレームパターンに同時にテーピング作業を行うことができる。
【0032】
また、本実施例のリードフレームテーピング装置は、リードフレームパターン100a、100bへのテープ150a、150b、150c、150dの取り付け状態を検査するテーピング感知センサ170を含む。図4及び図6を参照されたい。テーピング感知センサ170は、光を投射する発光部171と、投射された光を受光する受光部172と、受光された光を電気的な信号に変換する信号変換部と、信号変換部から信号を受けてテープの取り付け状態を判断し、判断結果に応じて運転停止信号を出力する制御部と、制御部から運転停止信号を受けてリードフレームテーピング装置の運転を止める駆動部とを含む。
【0033】
発光部171と受光部はリードフレーム100をはさむように位置し、発光部171は好適には光源と複数の光ファイバで構成される。
【0034】
テーピング感知センサ170を具備した本発明のリードフレームテーピング装置を用いたリードフレームのテーピング方法を図4、図6及び図7を参照して以下に説明する。
【0035】
テープ150a、150b、150c、150dの取付け工程を終えたリードフレーム100がテーピング感知センサ170を通過するとき、発光部171から一定量の光がリードフレーム100に向けて投射される(ステップS1)。望ましくは、発光部171から光の投射される部位はテープ150a、150b、150c、150dが取り付けられるべきリードフレーム100の縁部である。この際、リードフレーム100にテープ150a、150b、150c、150dが正常に取り付けらていれば、光は反射され少量の光のみがリード12、14(図1参照)の間を通過する。一方、リードフレーム100にテープ150a、150b、150c、150dが正常に取り付けられていない場合は、比較的多量の光がリード12、14の間を通過する。リードフレーム100を通過した光はリードフレーム100をはさんで発光部171の反対側に位置する受光部172に受光され(ステップS2)、電気信号に変換されて制御部に送られる。制御部は受光された光量が所定の基準値を越えるか否かを判断する(ステップS3)。
【0036】
通過した光量が所定の基準値を越える場合、制御部は、テープ150a、150b、150c、150dがリードフレームに正常に接着されていないと判断し、リードフレームテーピング装置の運転停止信号を駆動部に送り、駆動部はこの信号に応じてリードフレームテーピング装置の運転を停止させる(ステップS4)。作業者は不良品の発生に対してしかるべき処置をした後、再びリードフレームテーピング装置の運転を開始する(ステップS5)。一方、通過した光量が所定の基準値を越えない場合は、制御部はテープ150a、150b、150c、150dが正常に取り付けられたものと判断し、テーピング作業を継続させる(ステップS6)。
【0037】
本発明の第2実施例によるリードフレームテーピング装置を図8に示す。このリードフレームテーピング装置は2つのパンチング部を備えている。詳述すると、このリードフレームテーピング装置は、2つのパンチング部200a、200bと、パンチング部200a、200bにリードフレーム100を供給するリードフレーム供給部260と、各パンチング部200a、200bに供給されたリードフレーム100に取り付けられるべきテープ250a、250b、250c、250dを供給するテープ供給部140(図5参照)とを含む。本実施例でもリードフレーム供給部260がリードフレーム100を2ピッチずつ供給することにより、2つのリードフレームパターン100a、100b(図面の点線により区分される)に対して同時にテーピング作業を行うことが可能である。本発明によると、パンチング部の数は2より多くてもよく、その場合、リードフレーム供給部260がリードフレーム100をパンチング部の数に等しいピッチずつ搬送することによって、パンチング部の数と同数のリードフレームパターンに対して同時にテーピング作業をすることができる。
【0038】
図8に示した実施例の各パンチング部200a、200bは、テープ250a、250b、250c、250dを切り出してリードフレーム100に取り付けるためのパンチ210及び打抜き金型230と、パンチ210を昇降させるアクチュエータ220とを含んでいる。また、リードフレーム100の下側にヒータ270′が配置されている。
【0039】
この実施例では、2つのパンチング部200a、200bは、同時に動作させることも、または相異なる時に動作させることもできる。パンチング部の数が2より多い場合も同様で、各パンチング部の動作を独立して制御することができる。特に、N番目に位置するアクチュエータ220の動作タイミングとN+1番目に位置するアクチュエータ220の動作タイミングとを異なるようにすることができる。従って、例えば図8の実施例では、パンチング部200aと200bとで異なるパンチ210及び打抜き金型230を使用することにより、2種類の異なるリードフレーム100を選択的にテーピングすることが可能である。すなわち、Aタイプのリードフレーム100に対するテーピング作業時にはパンチング部200aのみが作動するようにし、パンチング部200bは停止状態とし、また、Bタイプのリードフレーム100が供給される場合は、パンチング部200aは停止し、パンチング部200bが動作するようにすることができる。従って、テーピングされるリードフレーム100の種類が変わっても、パンチ210及び打抜き金型230を取り替えることなく、各パンチング部200a、200bを選択的に動作させることによりテープ取り付けが可能である。
【0040】
本実施例のリードフレームテーピング装置においても、先に示した実施例と同様に、テープの取り付け状態を感知するテーピング感知センサ270を具備することが好ましい。
【0041】
本発明の第3実施例によるリードフレームテーピング装置を図9及び図10に示す。ここで、前に示された図面と同じ参照符号は同じ構成要素を指す。図示されているように、本実施例のリードフレームテーピング装置は、2つのパンチング部300a、300bを含んでおり、各パンチング部300a、300bは2つのリードフレームパターン100a、100b(点線により区分される)に同時にテープ350a、350b、350c、350dを取り付けることが可能な構成となっている。本例では、パンチング部の数は2つであり、また各パンチング部は一度に2つのリードフレームパターンに対しテーピング作業することができるように構成されているが、パンチング部の数及び各パンチング部が一度にテーピング作業することのできるリードフレームパターンの数は任意であることは勿論である。
【0042】
本実施例によるリードフレームテーピング装置では、リードフレーム供給部260は、リードフレームをパンチング部の数の2倍に等しいピッチ、即ち、4ピッチずつ供給することにより一度に4つのリードフレームパターンのテーピングを行うことが可能である。一般に、リードフレーム供給部は、リードフレームテーピング装置が一度にテーピング作業可能なリードフレームパターンの数に等しいピッチずつリードフレーム100を供給することができる。例えば、各パンチング部が一度にテーピング可能なリードフレームパターンの数が同じ場合は、その数にパンチング部の数をかけた値に等しいピッチずつリードフレームを供給することができ、それによってテーピング作業効率が向上する。
【0043】
リードフレーム100が供給されると、テープ供給部140によりテープ350a、350b、350c、350dが供給される。続いて、アクチュエータ320が作動してパンチ310が打抜き金型330へと降下しテープ350a、350b、350c、350dが切り出されてリードフレーム100に取り付けられる。
【0044】
本実施例においても、パンチング部300a、300bは同時に動作させることも異なるタイミングで動作させることもできる。パンチング部の数が2より多い場合も同様に、各パンチング部の動作は独立して制御可能である。特に、N番目に位置するアクチュエータ320の動作タイミングとN+1番目に位置するアクチュエータ320の動作タイミングを異なるようにすることができる。従って、例えば図9及び図10に示した例では、パンチング部300aと300bとで異なるパンチ310及び打抜き金型330を使用して、異なるリードフレーム100を選択的にテーピングすることが可能である。すなわち、Aタイプのリードフレーム100に対するテーピング作業時にはパンチング部300aのみを動作させ、パンチング部300bは停止状態にし、また、Bタイプのリードフレーム100が供給されるときは、パンチング部300aは停止状態にし、パンチング部300bだけを動作させることができる。こうして、テーピングされるリードフレーム100の種類が変わっても、パンチ310及び打抜き金型330を取り替えることなく、各パンチング部300a、300bを選択的に動作させることにより、種類の異なるリードフレーム100にテープを取り付けることが可能となっている。
【0045】
本実施例のリードフレームテーピング装置においても、テープの取り付け状態を感知するテーピング感知センサ270を具備することが好ましい。
【0046】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によるリードフレームテーピング装置では、少なくとも2つのリードフレームパターンに同時にテープを取り付けることができるため作業効率が改善される。
【0047】
また、複数のパンチング部を具備し、パンチング部によって異なるパンチ及び打抜き金型を使用して各パンチング部を選択的に作動させることにより、種類の異なるリードフレームに対しても、金型を交換することなくテープを連続的に取り付けることができ、交換に必要な時間が節約される。
【0048】
さらに、テーピングされたリードフレームを検査するテーピング感知センサを設けることにより、作業員の目視検査などによることなく、不良品の的確な検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレームを1パターン分だけ示した斜視図である。
【図2】従来のリードフレームテーピング装置の概略構成を示す側面図である。
【図3】図2に示されたリードフレームテーピング装置の一部の平面図である。
【図4】本発明の第1実施例によるリードフレームテーピング装置を示す側面図である。
【図5】図4に示されたリードフレームテーピング装置の平面図である。
【図6】本発明のリードフレームテーピング装置に採用されたテーピング感知センサの構成を示すブロック図である。
【図7】本発明によるリードフレームのテーピング方法を説明するための図面である。
【図8】本発明の第2実施例によるリードフレームテーピング装置を示す側面図である。
【図9】本発明の第3実施例によるリードフレームテーピング装置を示す側面図である。
【図10】図9に示されたリードフレームテーピング装置を示す平面図である。
【符号の説明】
10 半導体チップ
11 パッド部
12 内部リード
13 ワイヤ
14 外部リード
15a、15b テープ
15′ ビニルカバー
20 リードフレーム
21 ロール支持部
23 リードフレーム感知部
24 レベラ
30 リードフレーム供給部
40 パンチング部
41 パンチ
42 アクチュエータ
43 打抜き金型
44 ヒータ
50 切り出し及び積載装置
60 テープ供給部
61 供給ローラ
62 回収ローラ
63 回転ローラ
100a、100b リードフレームパターン
110 パンチ
120 アクチュエータ
130 打抜き金型
130a 通孔
140 テープ供給部
141 供給ローラ
142 回収ローラ
143 回転ローラ
150a、150b、150c、150d テープ
150′ カバー
160 リードフレーム供給部
170 テーピング感知センサ
170′ ヒータ
171 発光部
172 受光部
200a、200b パンチング部
210 パンチ
220 アクチュエータ
230 打抜き金型
250a、250b、250c、250d テープ
260 リードフレーム供給部
270 テーピング感知センサ
270′ ヒータ
300a、300b パンチング部
310 パンチ
320 アクチュエータ
330 打抜き金型
350a、350b、350c、350d テープ

Claims (13)

  1. 間に供給されるテープを切り出してリードフレームに取り付けるパンチ及び打抜き金型と、前記パンチを昇降させるアクチュエータとを各々含む複数のパンチング部と、
    前記複数のパンチング部に前記リードフレームを複数ピッチずつ間歇的に供給するリードフレーム供給部と、
    前記各パンチング部に供給されたリードフレームに取り付けるべきテープを供給するテープ供給部とを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング装置。
  2. 前記複数のパンチング部のそれぞれのアクチュエータの動作タイミングが相異なることを特徴とする請求項1に記載のリードフレームのテーピング装置。
  3. N番目のパンチング部のアクチュエータの動作タイミングとN+1番目のアクチュエータの動作タイミングが相異なることを特徴とする請求項2に記載のリードフレームのテーピング装置。
  4. 前記N番目のパンチング部のパンチ及び打抜き金型と、前記N+1番目のパンチング部のパンチ及び打抜き金型が相異なることを特徴とする請求項3に記載のリードフレームのテーピング装置。
  5. 前記テーピングされたリードフレームに光を投射し、リードフレームを通過した光量により前記リードフレームへのテープの取り付け状態を検査するテーピング感知センサをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のリードフレームのテーピング装置。
  6. 前記テーピング感知センサが、
    前記リードフレームのテープの取り付け部位に光を投射する発光部と、
    前記リードフレームを通過した光を受光する受光部と、
    前記受光された光を電気信号に変換する信号変換部と、
    前記信号変換部から電気信号を受けてテープの取り付け状態を判断する制御部と、
    前記制御部から運転停止信号を受けて前記リードフレームテーピング装置の運転を止める駆動部とを含むことを特徴とする請求項5に記載のリードフレームのテーピング装置。
  7. 間に供給されるテープを切り出して少なくとも2つのリードフレームパターンに同時に取り付けるパンチ及び打抜き金型と、前記パンチを昇降させるアクチュエータとを各々含む複数のパンチング部と、
    前記複数のパンチング部に前記リードフレームを前記パンチング部の数の倍数に等しいピッチずつ間歇的に供給するリードフレーム供給部と、
    前記複数のパンチング部に供給されたリードフレームのそれぞれに取り付けるべきテープを供給するテープ供給部とを含むことを特徴とするリードフレームのテーピング装置。
  8. 前記各パンチング部のパンチ及び打抜き金型は2つのリードフレームパターンに同時にテープを取り付け、前記リードフレーム供給部は前記リードフレームを前記パンチング部の数の2倍に等しいピッチずつ供給することを特徴とする請求項7に記載のリードフレームのテーピング装置。
  9. 前記複数のパンチング部の各アクチュエータの動作タイミングが相異なることを特徴とする請求項7に記載のリードフレームのテーピング装置。
  10. N番目のパンチング部のアクチュエータの動作タイミングとN+1番目のパンチング部のアクチュエータの動作タイミングが相異なることを特徴とする請求項9に記載のリードフレームのテーピング装置。
  11. 前記N番目のパンチング部のパンチ及び打抜き金型と前記N+1番目のパンチング部のパンチ及び打抜き金型が相異なることを特徴とする請求項10に記載のリードフレームのテーピング装置。
  12. 前記テーピングされたリードフレームに光を投射し、リードフレームを通過した光量により前記リードフレームへのテープの取り付け状態を検査するテーピング感知センサをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載のリードフレームのテーピング装置。
  13. 前記テーピング感知センサが、
    前記リードフレームのテープの取り付け部位に光を投射する発光部と、
    前記リードフレームを通過した光を受光する受光部と、
    前記受光された光を電気信号に変換する信号変換部と、
    前記信号変換部から電気信号を受けてテープの取り付け状態を判断する制御部と、
    前記制御部から運転停止信号を受けて前記リードフレームテーピング装置の運転を止める駆動部とを含むことを特徴とする請求項12に記載のリードフレームのテーピング装置。
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