JP3628139B2 - 半導体素子ボンディング用金合金線 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の電極と外部リード部を接続するために使用するボンディング用金合金線に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来からトランジスタ、IC,LSI等の半導体素子の電極と外部リードを接続する技術としては、純度99.99重量%以上の高純度金に他の金属元素を微量含有させた金合金線を用いて配線する超音波併用熱圧着ボンディング法が主として用いられている。
【0003】
ここで超音波併用熱圧着ボンディング法により配線し、ループを形成した状態を図1に示す。1はICチップ、2はICチップ上のAl電極、3は金合金線、4はリードフレーム、5はファースト側接合点、6はセカンド側接合点である。
最近、半導体装置は外部リード材料として放熱性、コストを考慮して銅合金製のリードフレームを用いる事が多くなってきた。銅合金製のリードフレームを用いた場合、封止用樹脂とリードフレームの熱膨張係数の差が大きく、半導体装置の作動による温度上昇によってループを形成した金合金線に外部応力が加わり、とりわけ半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合、断線を生じ易くなるという問題がある。
【0004】
また、半導体装置の小型化、高密度化の要求が高まる中で、ICチップの多ピン化及びこれに伴う狭ピッチ化が要求されている。多ピン化、狭ピッチ化を達成する為には、ループ形状が安定している事が必要である。一方前記の超音波併用熱圧着ボンディング法で配線を行う際、リードフレーム下部に設置された熱源により150〜250℃で加熱される。この時加熱温度が高いと接着性は良いものの、リードフレームのそりが生じ易くなり、ループ形状にばらつきが生じ易くなる。また加熱温度が低いと、ループ形状は安定するものの、低温接合であるため金合金線とリードフレームの接合点(以下セカンド側接合点という)での接合性に問題が生じてくる。
【0005】
そこで、ループ形状にばらつきが生じることを抑制する為に、ボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性に優れた金合金線が要求されている。
本出願人は、特開平7−305126号において、所定量のY,Pt,LaとAg,Pdの少なくとも1種を必須元素とした金合金線とすることにより、熱サイクルの環境に晒された場合の断線を制御することが出来ることを提案した。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記提案においては、前述の要求に対して一応の成果は得られているものの、更なる信頼性の向上が求められている。
本発明は上述したような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、銅合金製のリードフレームを用いた半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合でも、断線を制御する効果を向上させ、またかつボンディング時のループ形状を安定させる為に、ボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性、とりわけピール強度及び振動破断性能が向上した金合金線を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は鋭意研究を重ねた結果、所定量のAgと所定量のPd,Ptのうち少なくとも1種と所定量のY,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種及び残部が金と不可避不純物からなる組成の金合金線とすることにより、前述の目的を達成し得ることを知見し、本発明を完成するに至った。
【0008】
すなわち、本発明によれば下記が提供される。
(1)銀(Ag)を0.4〜30重量%、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%、そして残部が金及び不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
(2)銀(Ag)が2.0〜10重量%、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種が0.5〜2.0重量%であることを特徴とする(1)記載の半導体素子ボンディング用金合金線。
(3)更に銅(Cu)を30重量%以下含有することを特徴とする(1)又は(2)記載の半導体素子ボンディング用金合金線。
(4)更にカルシウム(Ca)を0.05重量%以下含有することを特徴とする(1)、(2)又は(3)記載の半導体素子ボンディング用金合金線。
【0009】
【発明の実施の形態】
原料金としては、少なくとも99.99重量%以上に精製した高純度金を用いることが好ましい。更に好ましくは99.995重量%以上であり、最も好ましくは99.999重量%以上である。この為合金中の不可避不純物は0.01重量%未満が好ましい。更に好ましくは0.005重量%未満であり、最も好ましくは0.001重量%未満である。
【0010】
上記の如き高純度金に、0.2〜0.5重量%のPd,Ptのうち少なくとも1種と、0.0001〜0.05重量%のY,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種との共存において、0.4〜30重量%のAgを含有した組成とすることにより、前記課題を達成することができる。
Agの含有量が0.4重量%以上になると、0.4重量%未満のものと対比して、セカンド側接合性が向上する、即ち、ピール強度が大きくなり、振動破断性能が向上する。一方、Agの含有量が30重量%を越えると、熱サイクル後の断線が生じ易くなり、セカンド側接合性も低下する。従って、Agの含有量は0.4〜30重量%である。2.0〜10重量%がより好ましい。
【0011】
Pd,Ptのうち少なくとも1種の含有量が0.2重量%以上になると、0.2重量%未満のものと比べてセカンド側接合性が向上し、ピール強度が大きくなり、振動数性能が向上する。一方、Pd,Ptのうち少なくとも1種の含有量が5.0重量%を越えると、熱サイクル後の断線が生じ易くなり、セカンド側接合性も低下し、またICチップに割れが生じ易くなる。従って、Pd,Ptのうち少なくとも1種の含有量は0.2〜5.0重量%である。0.5〜2.0重量%がより好ましい。
【0012】
特に、Agの含有量が2.0〜10重量%で、かつPd,Ptのうち少なくとも1種が0.5〜2.0重量%の場合、熱サイクル後の断線性能、セカンド側接合性ともに一段と優れたものになるので、好適である。
次に、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種の含有量は0.0001重量%未満になると、0.0001重量%以上のものと対比して熱サイクル後の断線が生じ易くなり、セカンド側接合性も低下する。一方、この含有量が0.05重量%を超えると同様に断線が生じ易くなり、セカンド側接合性も低下する。従って、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種の含有量は0.0001〜0.05重量%である。
【0013】
本発明の金合金線では、さらにCuを30重量%以下含む場合にも、同様の効果を奏することを確認した。しかしCuの含有量が30重量%を越えると、熱サイクル後の断線が生じ易くなり、セカンド側接合性も低下する。Cuの下限は特に限定されないが、実用上は0.001重量%である。
さらに、Caを0.05重量%以下含む場合にも、同様の効果を奏することができることを確認した。下限は限定されないが、実用上は0.0001重量%である。
【0014】
本発明の金合金線の好ましい製造方法を説明すると、前記高純度金に所定量の元素を添加し、真空溶解炉で溶解した後インゴットに鋳造する。そのインゴットに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終冷間加工により直径10〜100μmの細線とした後最終アニールを施す。
本発明の半導体素子ボンディング用金合金線は半導体装置の実装に際して、ICチップ等の半導体素子をリードフレームに接続する超音波併用熱圧着ボンディング法で好ましく用いられる。特にはリードフレームとして銅製リードフレームを用いる半導体装置用に好ましく用いられる。
【0015】
【実施例】
(実施例1)
純度99.999重量%の高純度金に所定量のAg,Pd,Yを添加し真空溶解炉で溶解した後、鋳造して表1に示す組成の金合金インゴットを得、これに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終冷間加工により直径30μmとし、伸び率4%となるように最終アニールを行った。
【0016】
この金合金線を全自動ワイヤボンダー(新川株式会社製UTC−50型)を用いて加熱温度150℃でICチップのAl電極と銅合金リードフレームとの間を超音波併用熱圧着ボンディング法でボンディングし、ピン数100個のボンディングした試料を作成した。次いで試料をエポキシ樹脂で樹脂封止した後、−10℃×30分と150℃×30分の熱サイクルテストを100回行った。
【0017】
100個の試料を測定に供し、導通テストにより断線の有無を確認し、熱サイクル後の破断率を求め、その結果を表1に示した。
更に前記ボンディングした試料のリードフレーム側即ちセカンド側のピール強度及び振動破断性能を測定した。ピール強度は直径30μmのピール荷重で表示した。振動破断性能の測定方法図2を用いて説明する。図中、11はICチップ、12はAl電極、13は金合金線、14,14′はリードフレーム、15は鉄製台、16,16′はリードフレーム固定用磁石、17は振動子である。リードフレーム14,14′をリードフレーム固定用磁石16,16′で固定し、ICチップ11を搭載した部分を振動子17で上下方向(矢印方向)に振動させた。周波数100Hz、上下振幅合計0.4mm、振動数20000回振動させた後、400倍の金属顕微鏡を用いてリードフレーム側即ちセカンド側のワイヤの破断数を調査した。300箇所調査し、その破断数の割合を振動破断率として表1に示した。
【0018】
(実施例2〜59)(比較例1〜8)
金合金線の組成を表1〜3に示すようにしたこと以外は実施例1と同様にして直径30μmの線に仕上げ、熱サイクル後の破断率、セカンド側のピール強度及び振動破断率を実施例1と同様にして測定し、その測定結果を表1〜3に示した。
【0019】
【表1】
【0020】
【表2】
【0021】
【表3】
【0022】
(試験結果)
(1)高純度金にAgを0.4〜30重量%、Pd,Ptのうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%含有した組成である実施例1〜45は熱サイクル後の破断率が1.5%以下であり、ピール強度は7.3〜13.4g、振動破断率は1.8%以下と優れた効果を示した。
(2)この中でもAgを2.0〜10重量%、Pd,Ptのうち少なくとも1種を0.5〜2.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%含有した組成では熱サイクル後の破断率が0%であり、ピール強度は11.3〜13.4g、振動破断率は0%となり、一段と優れた効果を示した。この為好ましくはAgを2.0〜10重量%、Pd,Ptのうち少なくとも1種を0.5〜2.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%含有した組成とすることである。
(3)更に、Cuを0.01〜30重量%含有した組成である実施例46〜51も前記効果が維持出来る。
(4)更に、Caを0.0005〜0.05重量%含有した組成である実施例52〜58も同様に前記効果が維持出来る。
(5)本発明の必須成分の何れも含有しない高純度金を用いた比較例1は熱サイクル後の破断率が5.9%、ピール強度は1.6g、振動破断率は4.9%と何れも悪いものであった。
(6)高純度金に本発明の必須成分を所定量含有するものの、Agの含有量が0.4重量%未満である比較例2、その含有量が20重量%を超える比較例3は熱サイクル後の破断率が2.2〜3.8%、ピール強度は3.2〜4.8g、振動破断率は2.1〜3.6%と何れも高純度金と対比すると効果は得られているものの、本願の効果の方が優れていることが判る。
(7)高純度金に本発明の必須成分を所定量含有するものの、Pd,Ptのうち少なくとも1種の含有量が0.2重量%未満である比較例4,5、その含有量が5.0重量%を超える比較例6は熱サイクル後の破断率が2.3〜2.4%、ピール強度は3.1〜4.6g、振動破断率は2.1〜2.3%と何れも高純度金と対比すると効果は得られているものの、本願の効果の方が優れていることが判る。
(8)高純度金に本発明の必須成分を所定量含有するものの、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を含有しない比較例7,8は熱サイクル後の破断率が2.3〜2.4%、ピール強度は3.1〜4.6g、振動破断率は2.1〜2.3%と何れも高純度金と対比すると効果は得られているものの、本願の効果の方が優れていることが判る。
【0023】
【発明の効果】
本発明により所定量のAg,所定量のPd,Ptのうち少なくとも1種、所定量のY,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を含有し残部が金及び所定量の不純物からなる組成を有する半導体素子ボンディング用金合金線によれば、銅合金製のリードフレームを用いた半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合でも、断線を抑制する効果が向上する、またボンディング時のループ形状を安定させる為に、ボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性、とりわけピール強度及び振動破断性能が向上に効果的である。前記含有成分に加えて所定量のCu又はそれに加えて所定量のCaを含有した場合においても、同様の効果を示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体素子の電極と外部リードとをワイヤボンディングした状態を示す。
【図2】ワイヤボンディングの振動破断性能の測定方法を説明する図。
【符号の説明】
1…ICチップ
2…ICチップ上のAl電極
3…金合金線
4…リードフレーム
5…ファースト側接合点
6…セカンド側接合点
Claims (5)
- 銀(Ag)を0.4〜30重量%、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%、そして残部が金及び不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銀(Ag)を0.4〜30重量%、銅(Cu)を30重量%以下、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%、そして残部が金及び不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銀(Ag)を0.4〜30重量%、カルシウム(Ca)を0.05重量%以下、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%、そして残部が金及び不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銀(Ag)を0.4〜30重量%、銅(Cu)を30重量%以下、カルシウム(Ca)を0.05重量%以下、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種を0.2〜5.0重量%、Y,La,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.0001〜0.05重量%、そして残部が金及び不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銀(Ag)を2.0〜10重量%、パラジウム(Pd)、白金(Pt)のうち少なくとも1種が0.5〜2.0重量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体素子ボンディング用金合金線。
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