JP3654736B2 - 半導体素子ボンディング用金合金線 - Google Patents
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の電極と外部リード部を接続するために使用するボンディング用金合金線に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来からトランジスタ、IC,LSI等の半導体素子の電極と外部リードを接続する技術としては、純度99.99重量%以上の高純度金に他の金属元素を微量含有させた金合金線を用いて配線する超音波併用熱圧着ボンディング法が主として用いられている。ここで超音波併用熱圧着ボンディング法により配線し、ループを形成した状態を図1に示す。図中、1はICチップ、2はICチップ上のA1電極、3は金合金線、4はリードフレーム、5はファースト側接合点、6はセカンド側接合点である。
【0003】
最近、半導体装置は外部リード材料として放熱性、コストを考慮して銅合金製のリードフレームを用いる事が多くなってきた。銅合金製のリードフレームを用いた場合、封止用樹脂とリードフレームの熱膨張係数の差が大きく、半導体装置の作動による温度上昇によってループを形成した金合金線に外部応力が加わり、とりわけ半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合、断線を生じ易くなるという問題がある。
【0004】
また半導体装置の小型化、高密度化の要求が高まる中で、ICチップの多ピン化及びこれに伴う狭ピッチ化が要求されている。多ピン化、狭ピッチ化を達成する為には、ループ形状が安定している事が必要である。一方超音波併用熱圧着ボンディング法で配線を行う際、リードフレーム下部に設置された熱源により150〜250℃で加熱されている。この時加熱温度が高いと接着性は良いものの、リードフレームのそりが生じ易くなりループ形状にばらつきが生じ易くなる。また加熱温度が低いとループ形状は安定するものの低温接合であるため、金合金線とリードフレームの接合点(以下セカンド側接合点という)での接合性に問題が生じてくる。この為ループ形状にばらつきが生じることを抑制する為にボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性に優れた金合金線が要求されている。
【0005】
従来、特開平8−199261号には所定量のCuとPdを必須元素とした金合金線とすることにより、狭ピッチ化に対応するために、ボールの収縮孔の生成を防止してループ形状を安定する事が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記提案においては、前述の要求に対して一応の成果は得られているものの、更なる信頼性の向上が求められている。
本発明は、上述したような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、銅合金製のリードフレームを用いた半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合でも、断線を抑制する効果が向上すること、及びボンディング時のループ形状を安定させる為に、ボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性、とりわけピール強度及び振動破断性能が向上した金合金線を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、所定量のCuと所定量のPdを1.65〜4.40重量%、及び残部が金と不可避不純物からなる組成の金合金線とすることにより、前述の目的を達成し得ることを知見し、本発明を完成するに至った。
【0008】
すなわち、本発明によれば下記が提供される。
(1)銅(Cu)が0.15〜2.90重量%、パラジウム(Pd)が1.50〜4.25重量%であってこれらの合計量が1.65〜4.40重量%、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下、及び残部が金と不可避不純物からなる(ただし、(i)Cuが0.15〜1.0重量%、Caが0.0002〜0.02重量%、Pdが1.50〜3.0重量%、Y,Laの1種以上を総計で0.0003〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成、及び、(ii)Cuが0.15〜2.5重量%、Pdが1.50〜4.25重量%、Ca,Be,La,Yの1種以上を総計が0.0002〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成を除く。)ことを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
(2)銅(Cu)が0.50〜2.30重量%、パラジウム(Pd)が1.70〜3.50重量%であって、これらの合計量が2.20〜4.00重量%、及び残部が金と不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
(3)銅(Cu)が0.50〜2.30重量%、パラジウム(Pd)が1.70〜3.50重量%であって、これらの合計量が2.20〜4.00重量%、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下、及び残部が金と不可避不純物からなる(ただし、(i)Cuが0.50〜1.0重量%、Caが0.0002〜0.02重量%、Pdが1.70〜3.0重量%、Y,Laの1種以上を総計で0.0003〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成、及び、(ii)Cuが0.50〜2.30量%、Pdが1.70〜3.50重量%、Ca,Be,La,Yの1種以上を総計が0.0002〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成を除く。)ことを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
【0009】
原料金としては少なくとも99.99重量%以上に精製した高純度金を用いることが好ましい。更に好ましくは99.995重量%以上であり、最も好ましくは99.999重量%以上である。この為合金中の不可避不純物は0.01重量%以下が好ましい。更に好ましくは0.005重量%以下であり、最も好ましくは0.001重量%以下である。
【0010】
前記高純度金に、0.15〜2.90重量%Cuと1.50〜4.25重量%Pdとの共存であって、その合計量が1.65〜4.40重量%である組成とすることにより、本発明の目的を達成することが出来る。
CuとPdの共存組成においてPdと共存したCuの含有量が0.15重量%未満になると、熱サイクルの後の破断性能が大きくなり、セカンド側の接合性が低下する。またCuの含有量が2.90重量%をこえると、同様に熱サイクルの後の破断性能、セカンド側の接合性とも低下する。
【0011】
CuとPdの共存組成においてCuと共存したPdの含有量が1.50重量%未満になると、熱サイクルの後の破断性能が大きくなり、セカンド側の接合性が低下する。またPdの含有量が4.25重量%をこえると、同様に熱サイクルの後の破断性能、セカンド側の接合性とも低下する。
また、0.15〜2.90重量%Cuと1.50〜4.25重量%Pdとの共存組成であっても、その合計量が4.40重量%を超えると、熱サイクルの後の破断性能が大きくなり、セカンド側の接合性が低下する。従って、高純度金に0.15〜2.90重量%Cuと1.50〜4.25重量%Pdが共存し、かつその合計量が1.65〜4.40重量%であることが必要である。
【0012】
なお、上記共存組成において、0.50〜2.30重量%Cuと1.70〜3.50重量%Pdとが共存し、かつその合計量が2.20〜4.00重量%である組成になると、熱サイクルの後の破断性能、セカンド側の接合性とも一段と向上してくる。従って、0.50〜2.30重量%Cuと1.70〜3.50重量%Pdとが共存し、かつ、その合計量が2.20〜4.00重量%である組成とすることが好ましい。
【0013】
上記組成において、さらに、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下含有した場合においても、同様に熱サイクルの後の破断性能、セカンド側の接合性は向上する。これらの元素の添加量の下限は特に限定されないが、実用上0.0001重量%である。
本発明の金合金線の好ましい製造方法を説明する。高純度金に所定量の元素を添加し、真空溶解炉で溶解した後インゴットに鋳造する。インゴットに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終冷間加工により直径10〜100μmの細線とした後最終アニールを施す。
【0014】
本発明の半導体素子ボンディング用金合金線は半導体装置の実装に際して、ICチップ等の半導体素子をリードフレームに接続する超音波併用熱圧着ボンディング法で好ましく用いられる。特にはリードフレームとして銅製リードフレームを用いる半導体装置用に好ましく用いられる。
【0015】
【実施例】
(例1)
純度99.999重量%の高純度金に所定量のCu,Pdを添加し真空溶解炉で溶解した後、鋳造して表1に示す組成の金合金インゴットを得、これに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終冷間加工により直径30μmとし、伸び率4%となるように最終アニールを行った。
【0016】
この金合金線を全自動ワイヤボンダー(新川株式会社製UTC−50型)を用いて加熱温度150℃でICチップのAl電極と銅合金リードフレームの間を超音波併用熱圧着ボンディング法でボンディングし、ピン数100個のボンディングした試料を作成した。次いでその試料をエポキシ樹脂で樹脂封止した後、−10℃×30分と150℃×30分の熱サイクルテストを100回行った。
【0017】
100個の試料を測定に供し、導通テストにより断線の有無を確認し、熱サイクル後の破断率を求めその結果を表1に示した。更にボンディングした試料のリードフレーム側即ちセカンド側のピール強度及び振動破断性能を測定した。ピール強度は直径30μmのピール荷重で表示した。振動破断性能の測定方法を図2を用いて説明する。図中、11はICチップ、12はAl電極、13は金合金線、14,14′はリードフレーム、15は鉄製台、16,16′はリードフレーム固定用磁石、17は振動子である。リードフレーム14,14′をリードフレーム固定用磁石16,16′で、固定し、ICチップ11を搭載した部分を振動子17で上下方向(矢印方向)に振動させた。周波数100Hz、上下振幅合計0.4mm、振動数20000回振動させた後、400倍の金属顕微鏡を用いてリードフレーム側即ちセカンド側のワイヤの破断数を調査した。300箇所調査しその破断数の割合を振動破断率として表1に示した。
(例2〜26)(比較例1〜9)
金合金線の組成を表1〜2に示すようにしたこと以外は例1と同様にして直径30μmの線に仕上げ、熱サイクル後の破断率、セカンド側のピール強度及び振動破断率を例1と同様にして測定し、その測定結果を表1〜3に示した。
【0018】
【表1】
【0019】
【表2】
【0020】
(試験結果)
(1)高純度金に0.15〜2.90重量%のCuと1.50〜4.25重量%のPdを含有し、CuとPdの合計量が1.65重量%又は4.40重量%の組成である例1〜4は熱サイクル後の破断率が1.1〜1.4%、ピール強度が8.1〜8.6g、振動破断率は1.2〜1.5%と優れたものであった。
(2)上記(1)においてCuとPdの合計量が2.20〜4.00重量%の組成である例5〜11は、熱サイクル後の破断率が0%、ピール強度が11.8〜13.4g、振動破断率は0%と更に優れたものであった。このことから本発明の課題に対して、所定量のCuとPdを含有し、かつCuとPdの合計量を2.20〜4.00重量%の組成とする事が好ましいことが判る。
(3)本発明に従う所定量のCuとPdを含有し、所定量のCuとPdの合計量に加えて、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下含有した組成である例12〜26は、熱サイクル後の破断率が0%、ピール強度が11.7〜13.5g、振動破断率は0%と優れたものであった。前記所定量のCuとPdを含有し、かつ所定量のCuとPdの合計量が含有されている限り、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下含有した組成であっても同様の効果が得られる事が判る。
(4)高純度金にCuとPdの何れも含有しない比較例1は熱サイクル後の破断率が5.9%、ピール強度が1.6g、振動破断率は4.9%と悪いことが判る。
(5)CuとPdの共存組成において、Pdの含有量が1.50重量%未満である比較例2〜4は、熱サイクル後の破断率が2.3〜3.8%、ピール強度が2.8〜4.1g、振動破断率が2.4〜3.9%であった。比較例1と対比してCuとPdを共存した効果は得られているものの、本発明になる組成とする方がさらに優れた効果が得られる事が判る。
(6)CuとPdの共存組成において、Cuの含有量が0.15重量%未満である比較例5は、熱サイクル後の破断率が2.2%、ピール強度が2.6g、振動破断率が2.4%であった。比較例1と対比してCuとPdを共存した効果は得られているものの、本発明になる組成とする方がさらに優れた効果が得られる事が判る。
(7)CuとPdの共存組成において、Pdの含有量が5.0重量%である比較例6は、熱サイクル後の破断率が3.8%、ピール強度が4.4g、振動破断率が3.3%であった。比較例1と対比してCuとPdを共存した効果は得られているものの、本発明になる組成とする方がさらに優れた効果が得られる事が判る。
(8)高純度金に所定量のCuとPdを含有していながら、CuとPdの合計量が5.0〜5.1重量%である比較例7〜9は、熱サイクル後の破断率が3.5〜3.8%、ピール強度が4.4〜4.7g、振動破断率は3.2〜3.6%であった。比較例1と対比してCuとPdを共存した効果は得られているものの、本発明になる組成とする方がさらに優れた効果が得られる事が判る。
【0021】
【発明の効果】
本発明によりCuが0.15〜2.90重量%、パラジウムPdが1.50〜4.25重量%であり、かつその合計量が1.65〜4.40重量%、及び残部が金と不可避不純物からなる組成を有する半導体素子ボンディング用金合金線によれば、銅合金製のリードフレームを用いた半導体装置が過酷な熱サイクルの環境に晒された場合でも、断線を抑制する効果が向上し、またボンディング時のループ形状を安定させる為に、ボンディング時の加熱温度を150℃と低温度で行いながらセカンド側接合点での接合性、とりわけピール強度及び振動破断性能を向上させることに効果的である。
【0022】
上記含有成分に加えてY,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下含有した場合においても、同様の効果を示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体素子の電極とリードの間をワイヤボンディングした様子を示す。
【図2】ボンディングした試料の振動破断性能の測定方法を説明する。
【符号の説明】
1…ICチップ
2…ICチップ上のAl電極
3…金合金線
4…リードフレーム
5…ファースト側接合点
6…セカンド側接合点
Claims (3)
- 銅(Cu)が0.15〜2.90重量%、パラジウム(Pd)が1.50〜4.25重量%であってこれらの合計量が1.65〜4.40重量%、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下、及び残部が金と不可避不純物からなる(ただし、(i)Cuが0.15〜1.0重量%、Caが0.0002〜0.02重量%、Pdが1.50〜3.0重量%、Y,Laの1種以上を総計で0.0003〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成、及び、(ii)Cuが0.15〜2.5重量%、Pdが1.50〜4.25重量%、Ca,Be,La,Yの1種以上を総計が0.0002〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成を除く。)ことを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銅(Cu)が0.50〜2.30重量%、パラジウム(Pd)が1.70〜3.50重量%であって、これらの合計量が2.20〜4.00重量%、及び残部が金と不可避不純物からなることを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
- 銅(Cu)が0.50〜2.30重量%、パラジウム(Pd)が1.70〜3.50重量%であって、これらの合計量が2.20〜4.00重量%、Y,La,Ca,Ru,Ir,Eu,Yb,Gd,Beのうち少なくとも1種を0.05重量%以下、及び残部が金と不可避不純物からなる(ただし、(i)Cuが0.50〜1.0重量%、Caが0.0002〜0.02重量%、Pdが1.70〜3.0重量%、Y,Laの1種以上を総計で0.0003〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成、及び、(ii)Cuが0.50〜2.30量%、Pdが1.70〜3.50重量%、Ca,Be,La,Yの1種以上を総計が0.0002〜0.03重量%、残部が金と不可避不純物からなる組成を除く。)ことを特徴とする半導体素子ボンディング用金合金線。
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