JP3585993B2 - ボンディング用金線 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、ICチップの電極と外部リード部を接続するために使用するボンディング用金線に関し、さらに詳しくは、半導体装置組み立ての際、超音波出力の増加等によってボンディングワイヤのネック部が損傷を受ける程度を大幅に低減することができるICチップボンディング用金線に関する。
【0002】
【従来の技術とその問題点】
従来、ICチップ上の電極と外部リード部を接続する技術としては、金線を用いた超音波併用熱圧着ボンディング法が主として用いられている。また、最近の半導体装置の高速化,高機能化の要求に伴って電極と外部リード部の数が増加した結果、電極から外部リード部迄の配線距離が長くなっている。一方では、半導体装置を小型,薄型にするため、電極と外部リード部の配線距離を極端に短くすることによって対応している。
この為、多数のリード線を用いながら短く配線を行うことが要求され、これに対応するために、ボンディング装置を用いてループを形成する過程で、ループ形成と逆方向へボールネック部を過酷に屈曲させて変形させた後にループを張る、所謂リバース変形を行うことによって、ループ高さとループ形状を安定化させる試みがなされている。
【0003】
しかし乍ら前述の様なリバース変形を行って形成されたループは、半導体装置の作動段階で半導体の発熱に伴う熱サイクルの環境に晒された場合、ボールネック部に断線不良が発生するという問題が生じていた。
この様な半導体作動中の断線不良を防止するために、ボールネック部を過酷に屈曲,変形させてループを張った場合、その後の過酷な熱サイクル試験において断線が生じることの少ない金線が要求されている。
【0004】
他方、従来において、振動により金ボール直上のネック部が破断するという問題を改善することを目的として、Eu、Ca、Ge、Beを所定量含有させたものがある(特開平5−9624号)。
しかし乍ら上記従来の提案は、ボンディングワイヤーをボールネック部で過酷に屈曲,変形させてループを張った後に過酷な熱サイクル環境に晒された場合でも、ボールネック部での断線の少ない金線として十分なものとはいえない状態にある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述したような従来事情に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、超音波出力を増大させた超音波併用熱圧着ボンディングを行い、且つボールネック部を過酷に屈曲,変形させてループを張る、所謂リバース変形を行ってループを形成した後に過酷な熱サイクル環境に晒されても断線が生じることの少ないICチップボンディング用金線を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等が鋭意研究を重ねた結果、99.999重量%以上の高純度金に、アンチモン(Sb)、ビスマス(Bi)を所定量含有させ、且つカルシウム(Ca),ゲルマニウム(Ge)の内少なくとも1種を所定量含有させることにより、それら各元素の相乗効果によって前述の目的を達成し得ることを知見し、本発明を完成するに至った。
【0007】
すなわち本願第1発明は、アンチモン(Sb):0.0005〜0.01重量%、ビスマス(Bi):0.0001〜0.005重量%を含有し、且つカルシウム(Ca):0.00005〜0.01重量%,ゲルマニウム(Ge):0.0001〜0.01重量%の内少なくとも1種を含有し、残部が金であることを特徴とするICチップボンディング用金線である。
【0008】
さらに本願第2発明は、上記第1発明に、ユウロピウム(Eu),イットリウム(Y),ランタン(La),鉛(Pb),エルビウム(Er),カドリニウム(Gd),セリウム(Ce),プラセオジム(Pr),ネオジム(Nd),サマリウム(Sm),イッテルビウム(Yb)の内少なくとも1種を0.0001〜0.02重量%をさらに含有することを特徴とするICチップボンディング用金線である。
【0009】
【作用】
前述の通り本発明は、所定量のSb、Biと、所定量のCa,Geの内少なくとも1種とからなる第1群、Eu,Y,La,Pb,Er,Gd,Ce,Pr,Nd,Sm,Ybの内少なくとも1種の所定量からなる第2群の成分を含有した組成となっている。
以下、本発明の詳細な構成とその作用について説明する。
本発明で使用する出発原料は、純度が99.999重量%以上の金を含有し残部が不可避不純物からなるものである。該出発原料にSb、Bi、Ca,Geを上記構成になるよう含有した組成にすることにより、それら金属元素同士の相乗効果によって、超音波出力を増大させた超音波併用熱圧着ボンディングを行い、且つループ形成の際にリバース変形を加えたボンディングワイヤのネック部の信頼性において、疲労特性に優れ、熱サイクルの環境に晒された場合の破断性能に優れた金合金線を得ることが出来る。
次に、本発明の金合金線の成分組成を上記の通り限定した理由を説明する。
【0010】
〔第1群;Sb〕
Sbは、Biと、Ca,Geの内少くとも1種との共存において、ボールネック部の信頼性向上に優れた効果を示す。
Sb含有量が0.0005重量%以上になると0.0005重量%未満と対比してボールネック部の信頼性が大きくなり、0.01重量%を越えると良好なボール形成が出来なくなってくると共に接合時に電極割れが生じてくる。このためSb含有量を0.0005〜0.01重量%と定めた。
Sbを前記規定量含有してもBiとCa,Geの内少くとも1種とのいずれかが含有されていない場合と対比して、BiとCa,Geの内少くとも1種との共存においてボールネック部の信頼性が向上するためSbはBiとCa,Geの内少くとも1種との共存が必要である。
さらに好ましい組成は、Sb及びBi及びCa、又はそれに加えてGeを含有させることであり、この組成において、ボールネック部の信頼性向上にさらに優れた効果を示す。
【0011】
〔第1群;Bi〕
Biは、Sbと、Ca,Geの内少くとも1種との共存において、ボールネック部の信頼性向上に優れた効果を示す。
Bi含有量が0.0001重量%以上になると0.0001重量%未満と対比してボールネック部の信頼性が大きくなり、0.005重量%を越えると良好なボール形成が出来なくなってくると共に接合時に電極割れが生じてくる。このためBi含有量を0.0001〜0.005重量%と定めた。
Biを前記規定量含有してもSbとCa,Geの内少くとも1種とのいずれかが含有されていない場合と対比して、SbとCa,Geの内少くとも1種との共存においてボールネック部の信頼性が向上するためBiはSbとCa,Geの内少くとも1種との共存が必要である。
さらに好ましい組成は、Bi及びSb及びCa、又はそれに加えてGeを含有させることであり、この組成において、ボールネック部の信頼性向上にさらに優れた効果を示す。
【0012】
〔第1群;Ca,Ge〕
Ca,Geの内少くとも1種は、Sb及びBiとの共存において、ボールネック部の信頼性向上に優れた効果を示す。
Ca含有量が0.00005重量%以上になると0.00005重量%未満と対比してボールネック部の信頼性が大きくなり、0.01重量%を越えると良好なボール形成が出来なくなってくる。
Ge含有量が0.0001重量%以上になると0.0001重量%未満と対比してボールネック部の信頼性が大きくなり、0.01重量%を越えると良好なボール形成が出来なくなってくる。
このため、Ca含有量を0.00005〜0.01重量%、Ge含有量を0.0001〜0.01重量%と定めた。
Ca,Geの内少くとも1種を含有してもSb又はBiが含有されていない場合と対比して、Sb及びBiとの共存においてボールネック部の信頼性が向上するためCa,Geの内少なくとも1種はSb及びBiとの共存が必要である。
さらに好ましい組成は、Ca又はそれに加えてGeにSb及びBiを含有させることであり、この組成において、ボールネック部の信頼性向上にさらに優れた効果を示す。
【0013】
〔第2群;Eu,Y,La,Pb,Er,Gd,Ce,Pr,Nd,Sm,Yb〕
第1群の成分に、第2群の成分すなわちEu,Y,La,Pb,Er,Gd,Ce,Pr,Nd,Sm,Ybの内少なくとも1種の成分を0.0001〜0.02重量%含有した場合、ボールネック部の信頼性において、第1群のみを含有する組成と対比して同等の効果を有する。
この場合、第2群の成分を含有しても、第1群の成分であるSb、Biと、Ca,Geの内少なくとも1種とのいずれかを含有しない場合、ボールネック部の信頼性において優れた効果は得られない。
さらに好ましい組成は、Ca,Geの内少なくとも1種として、Ca又はそれに加えてGeを含有させることであり、この組成において、Geを単独で含有する場合と比較してボールネック部の信頼性はさらに優れた効果を示す。
【0014】
【実施例】
以下、表1〜表8に示す実施例及び比較例について説明する。
(実施例1)
表中に示す組成と成るように99.999重量%の金地金と各元素を含む母合金を真空溶解炉で溶解した後鋳造し、溝ロール,伸線機を用いた冷間加工と熱処理を繰り返し,最終線径30μm、伸び率4%の細線になるように仕上げた。この細線をボンディングワイヤとして、高速自動ボンダを用いてICチップ電極上に超音波熱圧着ボンディングを行った。超音波出力を0.5Wとし最初のボール接合を行った後、ループ形成と逆方向にキャピラリを一旦動かしそのリバース角度を垂直方向に対して60度に設定し、ボールネック部を苛酷に屈曲させて変形させ、次いで正規のループを形成した。
まず細線を用いてボール形状、振動試験を行い、さらにICチップ電極上にボンディングを行った後、接合時の電極割れ、熱サイクル試験を行った。測定結果を表2に示す。
【0015】
(実施例2〜30/比較例1〜14)
表中に示す組成としたこと以外は実施例1と同様にして細線に仕上げ、試験を行った。結果を表2,表5,表8に示す。
【0016】
測定方法は以下の通りである。
〔ボール形状〕
高速自動ボンダに組み込まれている電気トーチを用いて金ボールを作製し、走査型電子顕微鏡を用いて金ボールの大きさ、真球度、表面状態を観察した。
金ボールの大きさは線径の2.5倍、即ち75μmφを基準とし、真球度、表面状態は比較サンプル対比で測定した。10個測定して全て良好な時は「良好」、1個でも不良がある時は「不良」と表示した。
【0017】
〔接合時の電極割れ〕
高速自動ボンダーを用いて100個のボンディングテストを行い、電極割れ不良の発生がないものを「良好」、1個でも割れ不良の発生があるものを「不良」と表示した。
【0018】
〔熱サイクル試験〕
ループを形成した後エポキシ樹脂にて封止し、−10℃×30分と150℃×30分の熱サイクルテストを2000回行った。100個の試料を測定に供し、導通テストにより断線の有無を確認した。断線した個数を破断率(%)で表示した。
【0019】
〔振動試験〕
基板材料として、ICチップ電極に代えて銀メッキしたリードフレーム1を用意したこと以外は実施例1と同様にしてボンディングを行い、振動試験の材料とした。
図1に示す振動試験機2を用い、前記リードフレーム1に先端をボンディングしたワイヤ3をクランプ4で保持し、軸5を中心に左右両側へ振幅させる振動試験を次の条件で行い、破断に至るまでの振動回数を測定した。
スパン距離(L1 ):150μm
両側振幅(L2 ):26μm
振動周波数:40Hz(1秒間に40回)
同様の試験を3回繰り返し、得られた平均値を表示した。
【0020】
【表1】
【0021】
【表2】
【0022】
【表3】
【0023】
【表4】
【0024】
【表5】
【0025】
【表6】
【0026】
【表7】
【0027】
【表8】
【0028】
以上の測定結果から明らかなように、所定量のSb、Biと、所定量のCa,Geの内少くとも1種とからなる第1群の成分を含有した実施例1〜15は、ボール形状が良好であり、ボンディング時の電極割れ不良の発生がないと共に、熱サイクル試験後の破断率が1%以下、振動試験での破断に至るまでの振動回数が12,000回以上でありボールネック部の信頼性向上に優れた効果を示した。またこの中でも、Ca,Geの内少なくとも1種としてCa又はそれに加えてGeを含有した実施例1〜7,15は、熱サイクル試験後の破断率が0%、振動試験での破断に至るまでの振動回数が13,000回以上でありボールネック部の信頼性向上にさらに優れた効果を示した。
【0029】
さらに前記第1群の成分に加えて、Eu,Y,La,Pb,Er,Gd,Ce,Pr,Nd,Sm,Ybの内少なくとも1種の所定量からなる第2群の成分を含有した実施例16〜30は、第1群のみを含有する実施例1〜7と対比して同等のさらに優れた効果を示した。
尚、実施例は省略したが、第1群の成分に加えて第2群の成分を含有した場合において、第1群の成分中Ca,Geの内少なくとも1種としてGe単独で含有した場合は実施例8〜14と対比して同等の優れた効果を示し、またそれに加えてCaを含有した場合は実施例15と同等のさらに優れた効果を示すことが確認できた。
【0030】
これに対し、本発明に係る第1群、第2群、第3群の成分のいずれも含有しない比較例1は、熱サイクル試験後の破断率が15%、振動試験での破断に至るまでの回数が6,400回程度であることが判る。
また、第1群の必須成分中、Sb又はBiのいずれか1種を含有しない比較例3〜9は、熱サイクル試験後の破断率5〜7%、振動試験での破断に至るまでの回数8,800〜9,800回程度であることが判る。
【0031】
また、第1群の必須成分を含有してもその内のいずれか1種の含有量が本発明の規定量を越える比較例10〜13は、熱サイクル試験後の破断率3%、振動試験での破断に至るまでの回数11,000回以上で、前記比較例に比べれば改善されるものの、ボール形状又はチップ電極割れの点で不良であることが判る。
【0032】
さらにまた、第1群の成分中Caのみを含有すると共に第2群の成分中Ybを含有した比較例2、第1群の成分及び第2群の成分を同時に含有するが本課題に対して不適なInを含有した比較例14は、熱サイクル試験後の破断率2〜3%、振動試験での破断に至るまでの回数11,000回以上、ボール形状及びチップ電極割れの双方で良好と、前記比較例に比べれば改善されるものの、本発明に対して劣ることが判る。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るICチップボンディング用金線は、99.999重量%以上の高純度金に、所定量のSb、Biと、Ca,Geの内少なくとも1種の所定量とを含有した組成としたので、超音波出力を増大させた超音波併用熱圧着ボンディングを行い、且つリバース変形を加えて形成したループのネック部において、疲労特性に優れると共に熱サイクルの環境に晒された場合の破断性能を大幅に向上することが出来た。
従って、多数のリード線を用いながら短く配線を行う半導体装置の組み立てにおいて高い信頼性が得られ、半導体装置の高速化,高機能化,小型化,薄型化の促進に極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】振動試験の概要を示す簡略図。
【符号の説明】
1:リードフレーム
2:振動試験機
3:ボンディングワイヤ
4:クランプ
5:振幅中心軸
Claims (2)
- アンチモン(Sb):0.0005〜0.01重量%、ビスマス(Bi):0.0001〜0.005重量%を含有し、且つカルシウム(Ca):0.00005〜0.01重量%,ゲルマニウム(Ge):0.0001〜0.01重量%の内少なくとも1種を含有し、残部が金であることを特徴とするICチップボンディング用金線。
- ユウロピウム(Eu),イットリウム(Y),ランタン(La),鉛(Pb),エルビウム(Er),カドリニウム(Gd),セリウム(Ce),プラセオジム(Pr),ネオジム(Nd),サマリウム(Sm),イッテルビウム(Yb)の内少なくとも1種を0.0001〜0.02重量%をさらに含有することを特徴とする請求項1記載のICチップボンディング用金線。
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