JP2007019349A - ボンディングワイヤ - Google Patents
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Abstract
【課題】第一ボンディングで接合したボンディングワイヤと半導体素子上の電極との間の接合強度が十分であり、半導体素子を樹脂封入する際にボンディングワイヤ同士の接触による不良が起こりにくく、また、ボール硬度が大きすぎず、チップにクラックを生じないことに加え、さらに振動などによる金属疲労が起こりにくい特性を有するボンディングワイヤを提供する。
【解決手段】Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であるボンディングワイヤとする。
【選択図】 図1
【解決手段】Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であるボンディングワイヤとする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体素子のチップ電極と外部リードとを接続するために使用されるボンディングワイヤに関する。
IC、LSIなどの半導体素子の電極と、外部リードとを接続するために、一般に0.01〜0.1mmの直径を有するボンディングワイヤが用いられている。
前記ワイヤのボンディングには、ボンディング治具となるセラミック製キャピラリー、該キャピラリーを保持するためのもので前後上下左右に移動可能なヘッド、コントローラ、及び、ボール形成のための電気トーチを備えてなる超音波熱圧着式ワイヤボンダーが使用されている。
また、ボンディング方式には、ボンディングワイヤの先端を溶解させてボール状にした後、超音波振動を付加しながら加熱することにより圧着するボールボンディング方式と、超音波を付加しながら押圧してボンディングワイヤを圧着するウェッジボンディング方式がある。第一ボンディングではボールボンディング方式が用いられ、第二ボンディングではウェッジボンディング方式が用いられている。
前記ワイヤボンダーを用いて半導体素子上の電極と外部リードとをボンディングワイヤで接続するためには、まずキャピラリーを半導体素子の電極上に移動させて降下させ、ボールボンディング方式によりボンディングワイヤを該電極に圧着せしめた後(第一ボンディング)、キャピラリーを上昇させて外部リード上に移動させて降下させ、該外部リードに前記ワイヤを圧着せしめ(第二ボンディング)、続いてキャピラリーを上昇させてワイヤを切断するという方法により行われる。
近年、ワイヤボンダーは、ボンディング一工程当たりの所要時間が極めて短くなっており、ボンディングワイヤには、以下のような特性が要求されている。
i)第一ボンディングにおいては、ボンディングワイヤを加熱して溶解したときに、引け巣(収縮孔ないしはピンホールともいう。)や酸化被膜のない真球状のボールが形成され、かつ、該ワイヤと電極との接合状態が良好であること。
ii)第二ボンディングにおいては、ワイヤと外部リードとの接合状態が良好であること。
iii)第一ボンディングと第二ボンディングとの間のワイヤにカールやループ垂れなどのループ異常が発生しないこと。
iv)ボンディング後の樹脂モールドの際、樹脂の流動によるワイヤの変形が起こりにくいこと。
v)長期間保存しても第一および第二ボンディングの接合部が劣化(接合部剥離)しないこと。
純度99.99%以上の金に、例えば、Ca、Be等の元素を0.0001〜0.01質量%添加して硬度を高めた金合金線を使用すると、上記i)〜v)の特性をある程度備えたボンディングワイヤが得られる。このため、ボンディングワイヤには、通常は純金線でなく金合金線が用いられることが多い。
ところが近年、半導体デバイスの多ピン化に伴いボンディングワイヤ間隔の狭ピッチ化及びボンディング距離の長距離化が進んでおり、そのまま従来のボンディングワイヤを用いると、ワイヤループが垂れたり、樹脂封入するときに樹脂の流動抵抗によりボンディングワイヤが変形し、ボンディングワイヤ同士が接触したりする等の不具合が生じる。このため、添加元素の添加量を増やす、添加元素の種類を増やす、等の手段を用いてボンディングワイヤの強度および弾性率を向上させる試みがなされている。
しかしながら、単純に添加元素の添加量を増やす方法、あるいはこれまで用いていた添加元素を複合添加する方法では、ボンディングワイヤの強度および弾性率を向上させることができても、第一ボンディングにおいて加熱溶解して得られるボールが硬すぎるため、半導体素子に亀裂(チップクラック)が生じる、ボール形状が真球にならない、真球に近くともボールを形成する際に収縮孔を生じる、半導体素子上の電極にボンディングしたときにボールがいびつに変形し隣の電極に接触する、引け巣があるため電極との十分な接合強度が得られない、ボンディング後のボールの潰れ形状がいびつなために異常ループを形成してしまい、樹脂封入するときに樹脂の流動抵抗によりボンディングワイヤ同士が接触する、等の不具合が生じる。
このような不具合を改善したものとして、直進性、破断強度に優れるボンディングワイヤは、例えば特許文献1に開示されている。
しかし、特許文献1に開示されているボンディングワイヤは、実際の使用においては問題はないものの、振動に対する疲労特性が優れているとはいえない。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、第一ボンディングで接合したボンディングワイヤと半導体素子上の電極との間の接合強度が十分であり、半導体素子を樹脂封入する際にボンディングワイヤ同士の接触による不良が起こりにくく、また、ボール硬度が大きすぎず、チップにクラックを生ぜず、かつ、振動に対する十分な疲労特性を有するボンディングワイヤを提供することを目的とする。
本発明に係るボンディングワイヤの第一の態様は、Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とする。
本発明に係るボンディングワイヤの第二の態様は、Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Cuを0.0001質量%以上0.1質量%未満含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とする。
本発明に係るボンディングワイヤの第三の態様は、Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Ca、Be、Ge、希土類元素、Sr、Ba、InおよびTiからなる群より選ばれた1種以上を合計で0.0001質量%以上0.1質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とする。ここで、希土類元素とは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luの17元素である。
本発明に係るボンディングワイヤの第四の態様は、Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Cuを0.0001質量%以上0.1質量%未満含有し、さらにCa、Be、Ge、希土類元素、Sr、Ba、InおよびTiからなる群より選ばれた1種以上を合計で0.0001質量%以上0.1質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とする。
本発明に係るボンディングワイヤは、金属疲労が起きにくく、繰り返し応力を受けやすいリードフレームにボンディングした後においても金属疲労によるワイヤの破断が起こりにくい。
また、本発明に係るボンディングワイヤは、優れた破断強度、ワイヤ直進性を有し、また第一ボンディング時に形成されるボールに収縮孔は観察されず、このボール潰れ形状は真円に近く、接合強度に優れ、さらに、本発明に係るボンディングワイヤを用いてボンディングした後のチップにはクラックが生じない。
このため、本発明に係るボンディングワイヤは、リードの狭ピッチ、半導体素子上の電極の狭パッドピッチ、リードフレームと半導体素子上の電極間の長ループ配線に適する。また、本発明に係るボンディングワイヤは、優れた破断強度を有するため、十数μmφ程度の極細線化も容易であり、かつ、この極細線を用いることによりICを小型化することも可能である。
本発明者は、特許文献1に開示されているボンディングワイヤの疲労特性が優れていない原因を調査・研究したところ、Cuを0.1〜2質量%含むため加工硬化が進みやすく、振動による金属疲労によるネックダメージや破断を発生させやすく、特に、Cuの含有量が2%に近い場合ほど、このことが顕著になることを見出し、本発明に至った。
本発明のボンディングワイヤにおける第一添加元素であるSnには、Cuの添加による加工硬化を抑制し、振動による金属疲労によるネックダメージおよびワイヤ破断を抑える効果がある。また同様に、第一ボンディング時、ボールボンディング方式によりボンディングワイヤを該電極に圧着せしめる際に用いられるボールの硬化を抑制し、そのボールの変形を容易とする効果がある。
Snの添加量が0.0001質量%未満であるとCuが添加されることによって促進される加工硬化を抑制する効果が得られず、振動による金属疲労によるネックダメージによりワイヤ破断が発生するおそれがある。一方、添加量が0.01質量%を上回ると、第一ボンディング後の工程において高温に保持されたとき、接合界面での剥離が起きやすくなる。このため、本発明に係るボンディングワイヤにおいては、Snの添加量の範囲を0.0001質量%以上0.01質量%以下とした。
第二添加元素であるPdには、第一ボンディング後の工程において高温に保持されても、接合界面が剥離することを抑制する効果があり、導通不良を防ぎ、パッケージの信頼性を高める効果がある。また、この元素はワイヤの強度の向上だけでなく、Cuと同じようにボールの硬度を高める効果があるため、添加量が多くなりすぎるとチップクラックの原因となる。
Pdの添加量が0.01質量%未満であると、第一ボンディング後の工程において高温に保持されたときに、接合界面が剥離することによって発生する導通不良を抑制できず、パッケージの信頼性を高める効果が得られなくなる。一方、添加量が20質量%を上回ると第一ボンディング後においてボンディングワイヤを加熱して溶解したときに形成されるボール表面にしわを生じ、接合後のボンディングワイヤの引張強度のばらつきが大きくなり、直進性に異常をきたしたり、ボールが硬くなりすぎて第一ボンディング時に半導体素子に亀裂を生じさせたりする場合がある。このため、本発明に係るボンディングワイヤにおいては、Pdの添加量の範囲を0.01質量%以上20質量%以下とした。
第三添加元素であるCuは、Pdとの相乗効果によってボールを硬くするので、高い接合強度を安定的に得ることに効果がある。一方、Cuの添加量が多くなりすぎると、硬化による金属疲労が原因でネック部が振動破断を起こすとともに、ボールの硬化によって第一ボンディング時に半導体素子に亀裂(チップダメージ)を生じさせるおそれがあるが、Cuの添加量が多いことによる金属疲労およびチップダメージへの悪影響は、本発明のようにSnとPdを組み合わせて含有させることにより、低減させることができる。
Cuの添加量が0.0001質量%未満であると、高い接合強度を安定的に得にくくなる。一方、添加量が0.1質量%以上であると加工硬化が進みやすく、振動が原因の金属疲労によるネックダメージや破断が発生しやすい上、ボールの硬化によってチップダメージを生じさせるおそれがある。このため、本発明に係るボンディングワイヤにおいては、Cuの添加量の好ましい範囲を0.0001質量%以上0.1質量%未満とした。
第4添加元素であるCa、Be、Ge、希土類元素、Sr、Ba、InおよびTiは、Sn、Pd、およびCuとの相乗効果によりワイヤの直進性を更に向上させる他、常温および高温での引張強度、および接合強度をさらに向上させ、かつ、結晶粒径を微細化する働きにより、ネック切れ、ネックダメージを防止する効果がある。
これら第4添加元素の1種以上の合計が0.0001質量%未満であると、Sn、Pd、およびCuとの相乗効果が現れず、直進性、引張強度、接合強度の向上、結晶粒径の微細化についての効果が生じない。一方、第4添加元素の1種以上の合計が0.1質量%上回ると、第一ボンディング時のボールの真球度が不十分となり、接合後の引張強度のばらつきが大きくなったり、直進性に異常をきたしたり、ボールが硬くなりすぎて第一ボンディング時に半導体素子に亀裂を生じたりする場合がある。
純度99.99質量%以上の高純度金に、Sn、Pd、Cu、Ca、Be、Ge、希土類元素、Ba、In、Tiを種々の割合で添加し、表1に示す組成の金合金を溶解鋳造した。得られた鋳造品を圧延および線引き加工することで20μmφのボンディングワイヤを得た。次に、これらのワイヤを室温における破断伸びが4%になるように、連続焼鈍炉で熱処理し、ボンディングワイヤのサンプルとした。
得られたボンディングワイヤのサンプルについて、以下のような評価を行った。
(引け巣の評価)
得られたボンディングワイヤのそれぞれのサンプルについて、第一ボンディングする際に加熱溶解して得られるボールを採取し、電子顕微鏡を用いて倍率2000倍でボールの表面の観察を行い、収縮孔である引け巣の有無を調べた。表2にその結果を示す。
得られたボンディングワイヤのそれぞれのサンプルについて、第一ボンディングする際に加熱溶解して得られるボールを採取し、電子顕微鏡を用いて倍率2000倍でボールの表面の観察を行い、収縮孔である引け巣の有無を調べた。表2にその結果を示す。
(ボール硬度の評価)
微小硬度計(MVK−G3、株式会社明石製作所製)を用いて、採取したボールの硬度(単位:Hv)を測定した。表2にその結果を示す。
微小硬度計(MVK−G3、株式会社明石製作所製)を用いて、採取したボールの硬度(単位:Hv)を測定した。表2にその結果を示す。
(異常ループの評価)
得られたボンディングワイヤを用いてワイヤボンディングを5000回行い、樹脂封止前のワイヤ変形量を測定した。図1に示すように、第一ボンディング点Aと第二ボンディング点Bを結ぶ直線2から、ボンディングワイヤ1の断面の中心点を結んだ線までの最も遠い距離をワイヤ変形量L1とした。第一ボンディング点Aと第二ボンディング点Bとの間の距離L0は5.0mmとした。ワイヤ流れ量L1は金属顕微鏡を用いて測定した。ワイヤ流れ量が0.02mmを上回るものを異常ループとした。表2にその結果を示す。
得られたボンディングワイヤを用いてワイヤボンディングを5000回行い、樹脂封止前のワイヤ変形量を測定した。図1に示すように、第一ボンディング点Aと第二ボンディング点Bを結ぶ直線2から、ボンディングワイヤ1の断面の中心点を結んだ線までの最も遠い距離をワイヤ変形量L1とした。第一ボンディング点Aと第二ボンディング点Bとの間の距離L0は5.0mmとした。ワイヤ流れ量L1は金属顕微鏡を用いて測定した。ワイヤ流れ量が0.02mmを上回るものを異常ループとした。表2にその結果を示す。
(チップクラックの評価)
第一ボンディング後、水酸化ナトリウムを使用して、アルミニウムパッドを溶解することでワイヤボールをパッドから剥離し、パッド下におけるチップクラックの発生の有無について、金属顕微鏡を用いて倍率500倍で観察した。表2にその結果を示す。
第一ボンディング後、水酸化ナトリウムを使用して、アルミニウムパッドを溶解することでワイヤボールをパッドから剥離し、パッド下におけるチップクラックの発生の有無について、金属顕微鏡を用いて倍率500倍で観察した。表2にその結果を示す。
(常温引張強度の評価)
得られたボンディングワイヤについて、引張試験機(株式会社東洋ボールドウィン製 テンシロンUTM−4−100)を用いて常温で引張試験を行った。測定した常温での引張強度(単位:N)を表2に示す。
得られたボンディングワイヤについて、引張試験機(株式会社東洋ボールドウィン製 テンシロンUTM−4−100)を用いて常温で引張試験を行った。測定した常温での引張強度(単位:N)を表2に示す。
(振動に対する疲労特性の評価)
各ボンディングワイヤを用いてボンディング済みのリードフレームに、振動試験機(Shinken社製、G01−022およびG21−020L))により、周波数50Hz、振幅2mm、時間6分の条件で振動を加え、振動による破断の発生の有無を調査した。表2にその結果を示す。
各ボンディングワイヤを用いてボンディング済みのリードフレームに、振動試験機(Shinken社製、G01−022およびG21−020L))により、周波数50Hz、振幅2mm、時間6分の条件で振動を加え、振動による破断の発生の有無を調査した。表2にその結果を示す。
(高温保管後のボール剥がれ評価)
得られたボンディングワイヤを用いて、Alパッドを持つチップへボンディングし、それを高温保管炉(175℃)内に100hr保管後、ワイヤの引張試験を行い、第一ボンディング点である金ボールとアルミパッドの界面で剥がれが発生するか調査した。表2にその結果を示す。
得られたボンディングワイヤを用いて、Alパッドを持つチップへボンディングし、それを高温保管炉(175℃)内に100hr保管後、ワイヤの引張試験を行い、第一ボンディング点である金ボールとアルミパッドの界面で剥がれが発生するか調査した。表2にその結果を示す。
表2からわかるように、本発明の範囲内の実施例1〜32は、いずれもボールに引け巣が発生しておらず、このボールの潰れ形状は真円に近く、第一ボンディング点における接合強度は良好と考えられる。また、実施例1〜32のいずれも異常ループが発生しておらず、直進性に優れていた。
また、実施例1〜32のいずれにおいても、振動による破断は生じておらず、本発明の範囲内の実施例1〜32は、振動に対する疲労特性に優れていることがわかる。
なお、実施例1〜32のいずれも、ボール硬度(Hv)は高すぎるとはいえず、チップクラックはいずれにも生じていなかった。また、常温での引張強度は、0.065〜0.114(N)であり、実用上問題ないレベルであった。
これに対して、比較例1〜3は、Cuの含有量が1質量%であり、本発明の上限値である0.1質量%を上回っている。このため、比較例1〜3のいずれも振動による疲労により破断が生じた。
比較例4は、Pdの含有量が25質量%であり、本発明の上限値である20質量%を上回っている。このため、比較例4はボールに引け巣が生じており、第一ボンディング点における接合強度は良好ではないと考えられる。また、ボール硬度(Hv)が56.4と大きくなってしまっている。さらに、異常ループおよびチップクラックも生じた。
比較例5は、Snの含有量が0.015質量%であり、本発明の上限値である0.01質量%を上回っている。このため、高温保管後の引張試験でボールの剥がれが発生した。
従来例1は、Snが含有されていないため、Snの含有量が本発明の下限値である0.0001質量%を下回っている。このため、振動による破断が生じた。
1 ボンディングワイヤ
2 ボンディング中心線
L0 第一ボンディング点と第二ボンディング点との間の距離
L1 ワイヤ変形量
A 第一ボンディング点
B 第二ボンディング点
2 ボンディング中心線
L0 第一ボンディング点と第二ボンディング点との間の距離
L1 ワイヤ変形量
A 第一ボンディング点
B 第二ボンディング点
Claims (4)
- Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とするボンディングワイヤ。
- Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Cuを0.0001質量%以上0.1質量%未満含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とするボンディングワイヤ。
- Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Ca、Be、Ge、希土類元素、Sr、Ba、InおよびTiからなる群より選ばれた1種以上を合計で0.0001質量%以上0.1質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とするボンディングワイヤ。
- Snを0.0001質量%以上0.01質量%以下、Pdを0.01質量%以上20質量%以下、Cuを0.0001質量%以上0.1質量%未満含有し、さらにCa、Be、Ge、希土類元素、Sr、Ba、InおよびTiからなる群より選ばれた1種以上を合計で0.0001質量%以上0.1質量%以下含有し、残部がAuおよび不可避不純物であることを特徴とするボンディングワイヤ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200930A JP2007019349A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | ボンディングワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200930A JP2007019349A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | ボンディングワイヤ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007019349A true JP2007019349A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37756219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200930A Pending JP2007019349A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | ボンディングワイヤ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007019349A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007111248A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Nippon Steel Materials Co., Ltd. | 半導体素子接続用金線 |
US20180130763A1 (en) * | 2015-06-15 | 2018-05-10 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10468370B2 (en) | 2015-07-23 | 2019-11-05 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200930A patent/JP2007019349A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8415797B2 (en) | 2006-03-24 | 2013-04-09 | Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd. | Gold wire for semiconductor element connection |
US20180130763A1 (en) * | 2015-06-15 | 2018-05-10 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10137534B2 (en) | 2015-06-15 | 2018-11-27 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10414002B2 (en) | 2015-06-15 | 2019-09-17 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10610976B2 (en) | 2015-06-15 | 2020-04-07 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10737356B2 (en) * | 2015-06-15 | 2020-08-11 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10468370B2 (en) | 2015-07-23 | 2019-11-05 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
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