JP3568496B2 - 超音波ワイヤボンディング用共振器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置を製造する際に、超音波でボンディングワイヤの溶接を行う超音波ボンディングに用いられる共振器に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は従来の半導体装置製造に用いられる超音波ボンディングマシンを示し、金線のようなボンディングワイヤ101がクランパ102を経由して超音波ホーン103の先端部分に設けられたキャピラリー104の内部に形成されたワイヤ通路105に通された状態において、キャピラリー104の先端部分より下方に突出したボンディングワイヤ101の先端部分を超音波ホーン103及びキャピラリー104と一緒に下降させて接合対象たる図外の半導体装置やリードフレーム等における電極に重ね合せて電極とキャピラリー104とで挟み付けた後に、超音波ホーン103及びキャピラリー104を超音波振動させることで、ボンディングワイヤ101の先端部分を電極に接合する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記従来例はキャピラリー104を超音波ボンディングマシンに片支持に取付けられた超音波ホーン103の先端部分に設けた構造であるので、ボンディングワイヤ101を電極に接合する場合の加圧力で、超音波ホーン103が超音波ボンディングマシンに対する支持点を支点として傾くように撓み、ボンディングワイヤ101と電極との接合位置が微妙に変化し、適切な接合を行うことができなかった。
【0004】
そこで、本発明は、超音波ホーンをキャピラリーの両側で支持することでボンディングワイヤと電極との接合位置を正確に維持し、適切な接合を行うことができる超音波ボンディング用共振器を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明にあっては、超音波ホーンは、振動子から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも1波長に等しい長さと、当該超音波ホーンの1つの最大振動振幅点から両側に離れた最小振動振幅点に位置する支持部分と、上記1つの最大振動振幅点において超音波ホーンの少なくとも外側下面への貫通孔として形成したボンディングワイヤを通すためのワイヤ通路とを有し、キャピラリーはボンディングワイヤを通すためのワイヤ通路を有し、超音波ホーンのワイヤ通路とキャピラリーのワイヤ通路とを接続するように、キャピラリーが上記1つの最大振動振幅点において超音波ホーンの外側面に取付けられたことより、超音波ホーンが支持部分を介して図外のボンディングマシンに両支持に取付けられ、ボンディングワイヤの先端部分が超音波ホーンのワイヤ通路からキャピラリーのワイヤ通路を経由してキャピラリーより下方に突出し、このボンディングワイヤの先端部分が接合対象とキャピラリーとで所定の加圧力で挟み付けられる場合において、ボンディングワイヤを接合対象に接合する場合の加圧力で、超音波ホーンがボンディングワイヤと接合対象との接合位置を中心として撓み、ボンディングワイヤと接合対象との接合位置を正確に維持することができ、ボンディングワイヤと接合対象とを適切に接合することができる。キャピラリーを中心として超音波ホーンがボンディングマシンに両支持に取付けられるので、接合時にキャピラリーからボンディングワイヤに加わる加圧力が左右でバランスの取れた状態となることから、ボンディングワイヤとして細線は勿論のこと太線や高分子材料で被覆されたワイヤも使用することが可能となる。また、本発明にあっては、キャピラリーが超音波ホーンと別体であれば、超音波ホーンとキャピラリーとを容易に形成することができる。また、本発明にあっては、キャピラリーが上部に結合部と軸方向に延びるワイヤ通路とを有したり、または、キャピラリーの結合部の雄ねじが超音波ホーンのキャピラリー結合部の雌ねじに締結されることによって、キャピラリーが超音波ホーンに取付けられれば、超音波ホーンと別体のキャピラリーとの結合が容易である。本発明にあっては、接合作用部がキャピラリーと別体の板状に構成され、この接合作用部がキャピラリーの底面に接合剤で接合されれば、接合作用部をキャピラリーと別で接合に適しかつ耐久性の高い材質で形成することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1〜図3は一実施形態であって、図1は共振器1を横方向に切断した断面を示し、図2はキャピラリー3の先端部分の断面を示し、図3は共振器1の上面を示す。
【0007】
図1を参照し、実施形態における共振器1の主要な部分について説明する。共振器1は超音波ホーン2とキャピラリー3とを備える。超音波ホーン2は振動子4から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも1波長の長さ(最大振動振幅点f1から最大振動振幅点f5までの長さ)を有する棒状であって、アルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れされた鉄等のような音響特性の良い素材により、ワイヤ通路5とキャピラリー結合部分6と部品結合部分7及び図3に示す支持部分8を備えた単一ボディとして形成される。ワイヤ通路5はボンディングワイヤ9を通すために超音波ホーン2の最大振動振幅点f3に位置するように形成された貫通孔である。キャピラリー結合部分6はワイヤ通路5の一端部分に同軸状に形成された雌ねじが形成されたねじ孔である。部品結合部分7は超音波ホーン2に振動子4又は図外のブースタを無頭ねじ10により同軸状に取付けるための雌ねじが形成されたねじ孔であって、超音波ホーン2の最大振動振幅点f1;f5が存在する左右端面の中央に形成される。
【0008】
キャピラリー3はボンディングワイヤ9を通すために超音波ホーン2の外側面である下面に最大振動振幅点f3に位置するように設けられる。キャピラリー3はアルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れされた鉄等のような音響特性の良い素材により超音波ホーン2とは別体に形成された直線的な棒状であって、上部に連結部分11を備え、内部にワイヤ通路12を軸心方向に貫通するように備える。連結部分11は外周面に雄ねじを有する。ワイヤ通路12はドリルのような工具でキャピラリー3の連結部分11の上面より下面に向けて穴あけ加工され、ワイヤ通路12の下部は図2に示すようにドリルの先端形状を反映した上方より下方に行くに従って徐々に直径が小さくなる円錐形となってキャピラリー3の下面に貫通する。そして、連結部分11の雄ねじがキャピラリー結合部分6の雌ねじに締結されることにより、キャピラリー3は超音波ホーン2に超音波ホーン2の下面より突出するように取付けられる。このようにキャピラリー3が超音波ホーン2に取付けられると、キャピラリー3のワイヤ通路12と超音波ホーン2のワイヤ通路5とが同軸状に連なる。
【0009】
キャピラリー3の下面にはキャピラリー3とは別体に形成された板状の接合作用部分13がろう材のような接合剤14で接合される。接合作用部分13はハイス鋼のような超硬鋼を板状に形成したものであって、その板状のまま接合剤でキャピラリー3の外側面に接合された後、接合作用部分13には接合作用部分13の外側面からキャピラリー3の側に向けて小孔15が放電加工やワイヤ加工又はウォーター加工等により形成された後、接合作用部分13の外側面が研磨される。小孔15はボンディングワイヤ9が通過可能な大きさであって、図2に示すようにキャピラリー3の下面に貫通したワイヤ通路12の開口に同軸状に連なる。
【0010】
図3に示すように、支持部分8はキャピラリー3と直交するように最大振動振幅点f3より左右両側に等距離の最小振動振幅点f2;f4の位置で超音波ホーン2の前後の外側面に位置しており、超音波ホーン2に中心線L2及び最大振動振幅点f3を通り中心線L2に直交する中心線L3を線対称軸とする対称位置に配置され、かつ、前後左右対称形である。支持部分8は根元部分16と中間部分17と取付部分18とを備える。根元部分16は最小振動振幅点f2;f4の位置で超音波ホーン2より外側に振動方向Xと直交するようにまっすぐ突出する厚肉な板状である。中間部分17は根元部分16と取付部分18とを繋ぐものであって、振動方向Xと平行する方向の薄肉な板状である。取付部分18は振動方向Xと平行する方向の厚肉な板状である。根元部分16と中間部分17と取付部分18とよりなるクランク形状は前後左右対称形状であるが、左右同じ向きでも良い。超音波ホーン2の中間部分17にはくびれ部19を形成したが、くびれ部19は設けられないこともある。
【0011】
本実施形態の構造によれば、超音波ホーン2がキャピラリー3より両側へ等距離だけ離れた最小振動振幅点に位置するように設けられた支持部分8の取付部分18を介して図外のボンディングマシンに両支持に取付けられる。その状態において、図1に示すように、ボンディングワイヤ9が共振器1とは別に設けられたクランパ20を経由して超音波ホーン2のワイヤ通路5よりキャピラリー3のワイヤ通路12を経由して接合作用部分13の小孔15より下方に通された状態において、ボンディングワイヤ9が超音波ホーン2及びキャピラリー3と一緒に下降されることにより、接合作用部分13の先端より下方に突出したボンディングワイヤ9の先端部分が接合対象である図外の半導体装置又はリードフレーム等における電極に重ね合せられて電極と接合作用部分13とで所定の加圧力で挟み付けられる。
【0012】
特に、超音波ホーン2がキャピラリー3より両側へ等距離だけ離れた最小振動振幅点に位置するように設けられた支持部分8を有した構造であるので、超音波ホーン2が支持部分8を介して図外のボンディングマシンに両支持に取付けられることにより、ボンディングワイヤ9の先端部分が接合対象としての電極とキャピラリー3の接合作用部分13とで所定の加圧力で挟み付けられる場合において、ボンディングワイヤ9を電極に接合する場合の加圧力で、超音波ホーン2がボンディングワイヤ9と電極との接合位置を中心として撓み、ボンディングワイヤ9と電極との接合位置を正確に維持することができる。
【0013】
ボンディングワイヤ9と電極との接合位置が正確に維持された状態において、振動子4が超音波振動を発振する。この超音波振動に超音波ホーン2及びキャピラリー3並びに接合作用部分13が矢印X方向に共振し、その共振による超音波振動が接合作用部分13からボンディングワイヤ9の先端部分及び接合対象としての電極との接触部分に作用し、ボンディングワイヤ9の先端部分と電極とを適切に接合することができる。
【0014】
実施形態ではボンディングワイヤ9を通すために超音波ホーン2とキャピラリー3とに渡ってワイヤ通路5;12を上下方向に直線的に貫通するように形成したが、ワイヤ通路5を超音波ホーン2の中間部から径方向外側に貫通するようにして、ボンディングワイヤ9を超音波ホーン2の途中から小孔15に通しても同様に適用できる。又、超音波ホーン2からワイヤ通路5を省略し、ワイヤ通路12をキャピラリー3の中間部から径方向外側に貫通するように形成して、ボンディングワイヤ9をキャピラリー3の途中から小孔15に通しても同様に適用できる。接合作用部分13をキャピラリー3とは別部材で形成したが同一部材でキャピラリー3と一体的に形成すれば、接合作用部分13のキャピラリー3への接合剤14での結合は必要ない。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の共振器の内部構造を示す断面図。
【図2】実施形態のキャピラリー先端部分を示す断面図。
【図3】同実施形態の共振器を示す平面図。
【図4】従来例を示す模式図。
【符号の説明】
1 共振器
2 超音波ホーン
3 キャピラリー
8 支持部分
9 ボンディングワイヤ
Claims (5)
- 超音波ホーンは、振動子から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも1波長に等しい長さと、当該超音波ホーンの1つの最大振動振幅点から両側に離れた最小振動振幅点に位置する支持部分と、上記1つの最大振動振幅点において超音波ホーンの少なくとも外側下面への貫通孔として形成したボンディングワイヤを通すためのワイヤ通路とを有し、キャピラリーはボンディングワイヤを通すためのワイヤ通路を有し、超音波ホーンのワイヤ通路とキャピラリーのワイヤ通路とを接続するように、キャピラリーが上記1つの最大振動振幅点において超音波ホーンの外側面に取付けられたことを特徴とする超音波ワイヤボンディング用共振器。
- キャピラリーが超音波ホーンと別体であることを特徴とする請求項1記載の超音波ワイヤボンディング用共振器。
- キャピラリーが上部に結合部と軸方向に延びるワイヤ通路とを有することを特徴とする請求項1記載の超音波ワイヤボンディング用共振器。
- キャピラリーの結合部の雄ねじが超音波ホーンのキャピラリー結合部の雌ねじに締結されることによって、キャピラリーが超音波ホーンに取付けられたことを特徴とする請求項3記載の超音波ワイヤボンディング用共振器。
- 接合作用部がキャピラリーと別体の板状に構成され、この接合作用部がキャピラリーの底面に接合剤で接合されたことを特徴とする請求項1記載超音波ワイヤボンディング用共振器。
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